JPS61118724A - 光シヤツタ−アレイ素子 - Google Patents
光シヤツタ−アレイ素子Info
- Publication number
- JPS61118724A JPS61118724A JP59239808A JP23980884A JPS61118724A JP S61118724 A JPS61118724 A JP S61118724A JP 59239808 A JP59239808 A JP 59239808A JP 23980884 A JP23980884 A JP 23980884A JP S61118724 A JPS61118724 A JP S61118724A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical shutter
- electrode
- voltage
- flat plate
- array element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
- G02F1/0551—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学式プリンターの書き込み用デバイス、カ
メラにおける高速光シャッター等、光制御機器に用いる
ことが出来る固体の光シャッターアレイ素子に関するも
のである。
メラにおける高速光シャッター等、光制御機器に用いる
ことが出来る固体の光シャッターアレイ素子に関するも
のである。
従来例の構成とその問題点
近年、光通信、光学情報処理などの光関連技術の開発が
非常に活発に行なわれており、それに伴う、光学部品、
光制御デバイスの開発が重要視されている。その中にあ
って、電気光学効果を有する固体の透光性磁器も、光制
御デバイスとしての光シャッターとして利用出来１種々
の応用が期待されている。特に、上記光シャッター素子
をアレイ状に形成し、最近非常に注目を集めている非衝
撃形プリンターの一種である光学式プリンターの書き込
み用ヘッドとしての応用が期待されている。
非常に活発に行なわれており、それに伴う、光学部品、
光制御デバイスの開発が重要視されている。その中にあ
って、電気光学効果を有する固体の透光性磁器も、光制
御デバイスとしての光シャッターとして利用出来１種々
の応用が期待されている。特に、上記光シャッター素子
をアレイ状に形成し、最近非常に注目を集めている非衝
撃形プリンターの一種である光学式プリンターの書き込
み用ヘッドとしての応用が期待されている。
現在、上記光シャッターアレイ素子として知られている
ものは、 Ｌａ添加のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＬＺ
Ｔ）等の透光性磁器の平板上の表裏対称に、もしくは少
なくとも片面に、複数個の電極を設けた基板を、上記電
極に電圧を印加した時に生じる電界ベクトルの方向に対
して、±４６°の偏光軸を有する偏光板で挾んだ構造を
有したものである。
ものは、 Ｌａ添加のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＬＺ
Ｔ）等の透光性磁器の平板上の表裏対称に、もしくは少
なくとも片面に、複数個の電極を設けた基板を、上記電
極に電圧を印加した時に生じる電界ベクトルの方向に対
して、±４６°の偏光軸を有する偏光板で挾んだ構造を
有したものである。
しかし、上記のような表面電極構造では、素子に電圧を
印加した場合、電極端部及び表面に電界が集中し、駆動
効率が悪く、印加電圧が高くなる。
印加した場合、電極端部及び表面に電界が集中し、駆動
効率が悪く、印加電圧が高くなる。
そのため、電極形成部に溝を設け、溝壁面に電極を設け
ることによシ、低電圧駆動を可能にした構造も・提案さ
れている。以下従来の光シャッターアレイ素子について
、図面を参照しながら説明する。
ることによシ、低電圧駆動を可能にした構造も・提案さ
れている。以下従来の光シャッターアレイ素子について
、図面を参照しながら説明する。
第１図亀は、従来の光シャッターアレイ素子の構成図を
示したものであり、１はＰＬＺＴ平板、２はＰＬＺＴ平
板１上に設けられた共通電極、３は電圧印加用電極群で
ある。４は偏光子、５は検光子であり、これらは、共通
電極２と、電圧印加用電極群間に電圧を印加した時に生
じる電界ベクトルの方向に対して、±４６°の方向に、
偏光軸が互いに直交するように構成される。第１図すは
。
示したものであり、１はＰＬＺＴ平板、２はＰＬＺＴ平
板１上に設けられた共通電極、３は電圧印加用電極群で
ある。４は偏光子、５は検光子であり、これらは、共通
電極２と、電圧印加用電極群間に電圧を印加した時に生
じる電界ベクトルの方向に対して、±４６°の方向に、
偏光軸が互いに直交するように構成される。第１図すは
。
第１図ａのイーロ間の断面図を示したものであシ。
図からも明らかなように、ＰＬＺＴ平板に設ける電極は
、ＰＬＺＴ平板１の表面に溝を設け、上記溝の側面及び
底面に形成されている。
、ＰＬＺＴ平板１の表面に溝を設け、上記溝の側面及び
底面に形成されている。
以下、図のように構成された従来の光シャッターアレイ
素子について、その動作を説明する。
素子について、その動作を説明する。
第１図ａ偏光子４の後部から光を照射した場合、ＰＬＺ
Ｔ平板１上に形成された電圧印加用電極群３と、共通電
極２の電極間に電圧を印加しない時は、電気光学効果に
よる複屈折は生じず、偏光子４、及び検光子５によって
光は遮断されるが、電圧印加用電極群３に電圧を印加す
ると、電気光学効果のカー効果によって複屈折を生じ、
光の偏光状態が変化し、光が透過する。従って、電圧印
加用電極群３の任意の電極に電圧を印加すれば、任意の
部分の光を透過することが出来、検光子６の前部に感光
体などを置いておけば、任意のパターン表示が可能であ
シ、非撃形の光プリンターの書き込みヘッドとして利用
出来る。また、電極部分を溝の壁面に形成しているので
、共通電極２と、電圧印加用電極群３間に印加する電圧
が低下出来ておシ、特性の上では、実用的な光シャッタ
ーアレイ素子である。
Ｔ平板１上に形成された電圧印加用電極群３と、共通電
極２の電極間に電圧を印加しない時は、電気光学効果に
よる複屈折は生じず、偏光子４、及び検光子５によって
光は遮断されるが、電圧印加用電極群３に電圧を印加す
ると、電気光学効果のカー効果によって複屈折を生じ、
光の偏光状態が変化し、光が透過する。従って、電圧印
加用電極群３の任意の電極に電圧を印加すれば、任意の
部分の光を透過することが出来、検光子６の前部に感光
体などを置いておけば、任意のパターン表示が可能であ
シ、非撃形の光プリンターの書き込みヘッドとして利用
出来る。また、電極部分を溝の壁面に形成しているので
、共通電極２と、電圧印加用電極群３間に印加する電圧
が低下出来ておシ、特性の上では、実用的な光シャッタ
ーアレイ素子である。
しかしながら、ＰＬＺＴ電気光学材料は、電気光学効果
としてのカー効果が大きいだけでなく。
としてのカー効果が大きいだけでなく。
電界を印加すると、電界の２乗に比例した歪を生じる現
象（電歪現象）も大きく、第１図ａ、ｂのような従来の
電極構造では、第１図すのムの部分、即ち、溝壁面と、
ＰＬＺＴ平板１の表面の交線部分に電界が集中する傾向
があシ、さらに、構造の上からも、電歪現象による歪が
ムの部分に集中し、機械的な破壊を起こし易く、従来素
子構造では、電圧の０Ｎ１０ＦＦをくり返すことにより
、経時的な劣化が起こるという問題を有していた。
象（電歪現象）も大きく、第１図ａ、ｂのような従来の
電極構造では、第１図すのムの部分、即ち、溝壁面と、
ＰＬＺＴ平板１の表面の交線部分に電界が集中する傾向
があシ、さらに、構造の上からも、電歪現象による歪が
ムの部分に集中し、機械的な破壊を起こし易く、従来素
子構造では、電圧の０Ｎ１０ＦＦをくり返すことにより
、経時的な劣化が起こるという問題を有していた。
発明の目的
本発明の目的は、光学式プリンター等、光制御デバイス
として用いて非常に有効であり、駆動電圧が低く、長期
駆動による経時的な変化の少ない信頼性に優れた光シャ
ッターアレイ素子を提供することである。
として用いて非常に有効であり、駆動電圧が低く、長期
駆動による経時的な変化の少ない信頼性に優れた光シャ
ッターアレイ素子を提供することである。
発明の構成
複数個の電極を設け、前記平板の表裏に偏光板を偏光軸
が互いに９０°の角度をなすように配置した光シャッタ
ーアレイ素子であって、前記板状透光性磁器の上記電極
配設位置には、電極配設用の溝を設け、上記電極を少な
くとも上記溝壁面と上記溝壁面につらなる前記板状透光
性磁器表面にわたって形成し、かつ、上記電極部とそれ
につらなる光シャッター部の一部にわたって、樹脂を形
成した構造を有するものであって、これによシ、低電圧
駆動で、長期信頼性に優れた光シャッターアレイ素子と
なるものである。
が互いに９０°の角度をなすように配置した光シャッタ
ーアレイ素子であって、前記板状透光性磁器の上記電極
配設位置には、電極配設用の溝を設け、上記電極を少な
くとも上記溝壁面と上記溝壁面につらなる前記板状透光
性磁器表面にわたって形成し、かつ、上記電極部とそれ
につらなる光シャッター部の一部にわたって、樹脂を形
成した構造を有するものであって、これによシ、低電圧
駆動で、長期信頼性に優れた光シャッターアレイ素子と
なるものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第２図ａ、ｂは、本発明の実施例における光シャッター
アレイ素子の構成を示したものである。
アレイ素子の構成を示したものである。
第２図ａ、ｂにおいて、１１はＰＬＺＴ平板、１２はＰ
ＬＺＴ平板１１上に設けられた共通電極、１３は電圧印
加用電極群である。１４はＰＬＺＴ平板上の電極部と、
それに連なる光シャッター部の−部にわたって形成され
た絶縁性の樹脂、１６は偏光子、１６は検光子を示して
あシ、共通電極１２と電圧印加用電極群１３間に電圧を
印加した時に生じる電界ベクトルの方向に対して、±４
５°の方向に偏光軸を有するように構成されている。第
２図すは、第２図ａのイーロ間の断面図を示したもので
ある。
ＬＺＴ平板１１上に設けられた共通電極、１３は電圧印
加用電極群である。１４はＰＬＺＴ平板上の電極部と、
それに連なる光シャッター部の−部にわたって形成され
た絶縁性の樹脂、１６は偏光子、１６は検光子を示して
あシ、共通電極１２と電圧印加用電極群１３間に電圧を
印加した時に生じる電界ベクトルの方向に対して、±４
５°の方向に偏光軸を有するように構成されている。第
２図すは、第２図ａのイーロ間の断面図を示したもので
ある。
以上のように構成された本実施例の光シャッターアレイ
素子について、以下にその動作を説明する。
素子について、以下にその動作を説明する。
本発明にかかる構成を有する光シャッターアレイ素子に
おいても、従来の構成を有する光シャッターアレイ素子
の原理と同様であり、第２図！Ｌ１５の偏光子の後部か
ら光を照射した場合、ＰＬＺＴ平板１１上に形成された
電圧印加用電極群１３と、共通電極１２の間に電圧を印
加しない時は、電気光学効果てよる複屈折は生じず、光
は遮断されるが、電圧印加用電極群１３に電圧を印加す
ると、その電圧の印加された部分のみ、光の偏光状態が
変化し、光が透過するようになる。しかし１本発明にか
かわる実施例の場合は、第２図すの断面図かられかるよ
うに、電極を電極配設用の溝壁面及び、それにつらなる
ＰＬＺＴ平板１１表面にわたって形成することにより、
電歪現象による歪が集中し易く、機械的破壊の起こり易
い第２図すにおけるＢの部分（第１図ム部と同じ）に電
界がかがらないようにし、８部が歪まないようにすると
同時に、電極端部である第２図すにおけるＣの部分には
、樹脂を形成することにより、機械的に歪みに＜＜シ、
電極端部で起こる急激な歪量の差によるストレスを緩和
している。これにょシ、８部。
おいても、従来の構成を有する光シャッターアレイ素子
の原理と同様であり、第２図！Ｌ１５の偏光子の後部か
ら光を照射した場合、ＰＬＺＴ平板１１上に形成された
電圧印加用電極群１３と、共通電極１２の間に電圧を印
加しない時は、電気光学効果てよる複屈折は生じず、光
は遮断されるが、電圧印加用電極群１３に電圧を印加す
ると、その電圧の印加された部分のみ、光の偏光状態が
変化し、光が透過するようになる。しかし１本発明にか
かわる実施例の場合は、第２図すの断面図かられかるよ
うに、電極を電極配設用の溝壁面及び、それにつらなる
ＰＬＺＴ平板１１表面にわたって形成することにより、
電歪現象による歪が集中し易く、機械的破壊の起こり易
い第２図すにおけるＢの部分（第１図ム部と同じ）に電
界がかがらないようにし、８部が歪まないようにすると
同時に、電極端部である第２図すにおけるＣの部分には
、樹脂を形成することにより、機械的に歪みに＜＜シ、
電極端部で起こる急激な歪量の差によるストレスを緩和
している。これにょシ、８部。
０部での劣化をなくし、かつ、従来と同様、電極部を埋
込み型にすることによシ、厚み方向に対しても有効な電
界がかかり、低電圧駆動を実現出来ている。以上のよう
に、本実施例の構造により、駆動電圧は低下させたまま
で、長期駆動にょる経時的な素子の劣化のない信頼性に
非常に優れた光 １シャッターアンイ素子が
実現出来た。
込み型にすることによシ、厚み方向に対しても有効な電
界がかかり、低電圧駆動を実現出来ている。以上のよう
に、本実施例の構造により、駆動電圧は低下させたまま
で、長期駆動にょる経時的な素子の劣化のない信頼性に
非常に優れた光 １シャッターアンイ素子が
実現出来た。
本実施例においては、厚さ４００μｍのＰＬＺＴ平板を
用い、フォトリソグラフィ技術を用い。
用い、フォトリソグラフィ技術を用い。
ＰＬＺＴ平板１１のエツチングを、化学エツチング法に
よシ行ない、電極配設部の溝を形成した。
よシ行ない、電極配設部の溝を形成した。
ＰＬＺＴのエツチング深さは約２μｍであった。
その後、全面に電極としてｃｒ−ムＵを蒸着し、再度フ
ォトリソグラフィー技術によシ、前記ＰＬＺＴエツチン
グ部を完全だ覆ってしまう複数個の電極を形成した。こ
の時、 Ｏｒ−ムＵの電極厚みは約１μｍであった。ま
た、第２図ａにおいて、電圧印加用電極群１３の電極幅
は５０μｍ、電極間隔は７０μｍ、光シャッター部の電
極間隔は４０μｍで構成した。この時、本発明にかかわ
る光シャッターアレイ素子、及び従来構成の光シャッタ
ー７レイ素子のどちらの場合も、印加電圧７０Ｖで光シ
ャッター部の透過率が最大となった。さらに、本発明に
かかわる光シャッターアレイ素子と、従来構成の光シャ
ッターアレイ素子について、７０Ｖ 、 Ｉ Ｋ１１ｚ
の矩形波パルスを長期印加した場合の、各素子の経時変
化を調べた結果、従来素子構造では、約２００時間で、
第１図すの太部にクラックが入シ、素子が劣化したが、
本発明における素子構造では、２０００時間駆動後も、
変化が見られず、安定した透過率が得られた。
ォトリソグラフィー技術によシ、前記ＰＬＺＴエツチン
グ部を完全だ覆ってしまう複数個の電極を形成した。こ
の時、 Ｏｒ−ムＵの電極厚みは約１μｍであった。ま
た、第２図ａにおいて、電圧印加用電極群１３の電極幅
は５０μｍ、電極間隔は７０μｍ、光シャッター部の電
極間隔は４０μｍで構成した。この時、本発明にかかわ
る光シャッターアレイ素子、及び従来構成の光シャッタ
ー７レイ素子のどちらの場合も、印加電圧７０Ｖで光シ
ャッター部の透過率が最大となった。さらに、本発明に
かかわる光シャッターアレイ素子と、従来構成の光シャ
ッターアレイ素子について、７０Ｖ 、 Ｉ Ｋ１１ｚ
の矩形波パルスを長期印加した場合の、各素子の経時変
化を調べた結果、従来素子構造では、約２００時間で、
第１図すの太部にクラックが入シ、素子が劣化したが、
本発明における素子構造では、２０００時間駆動後も、
変化が見られず、安定した透過率が得られた。
なお、本実施例では、電極材料として、Ｏｒ−ムＵを使
用したが、他の電極材料でも同様の効果が得られること
は容易に推測される。また、ＰＬＺＴ平板上の電極配設
用の溝も、化学エツチングによシ行なったが、物理的な
エツチング、機械的な方法でも可能で１）、限定するも
のではない。
用したが、他の電極材料でも同様の効果が得られること
は容易に推測される。また、ＰＬＺＴ平板上の電極配設
用の溝も、化学エツチングによシ行なったが、物理的な
エツチング、機械的な方法でも可能で１）、限定するも
のではない。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明は、電気光学効
果を有する固体の板状透光性磁器上の少なくとも一方の
面に、光シャッター列を形成するように複数個の電極を
設け、前記平板の表裏に、偏光板を偏光軸が互いに９０
°の角度をなすように配置した光シャッターアレイ素子
であって、前記板状透光性磁器の上記電極配設位置には
、電極配設用の溝を設け、上記電極を少なくとも上記溝
壁面と上記溝壁面につらなる前記板状透光性磁器表面に
わたって形成し、かつ、上記電極部とそれに連なる光シ
ャッター部の一部にわたって、樹脂を形成した構造を有
することにより、電圧を印加した時に、電歪現象によっ
て生じる歪の集中を緩和し、長時間駆動による素子の機
械的な破壊による劣化をなくし、かつ、低電圧駆動を実
現した信頼性の高い光シャッターアレイ素子である。以
上述べたことは、今後増々開発が注目されている光制御
デバイス、光情報処理技術の中にあって、光学式プリン
ター等の書き込みヘッドや、その他の応用機器において
、低電圧でかつ、高信頼性を有する本発明の光シャッタ
ーアレイ素子は、大きな効果を与えるものである。
果を有する固体の板状透光性磁器上の少なくとも一方の
面に、光シャッター列を形成するように複数個の電極を
設け、前記平板の表裏に、偏光板を偏光軸が互いに９０
°の角度をなすように配置した光シャッターアレイ素子
であって、前記板状透光性磁器の上記電極配設位置には
、電極配設用の溝を設け、上記電極を少なくとも上記溝
壁面と上記溝壁面につらなる前記板状透光性磁器表面に
わたって形成し、かつ、上記電極部とそれに連なる光シ
ャッター部の一部にわたって、樹脂を形成した構造を有
することにより、電圧を印加した時に、電歪現象によっ
て生じる歪の集中を緩和し、長時間駆動による素子の機
械的な破壊による劣化をなくし、かつ、低電圧駆動を実
現した信頼性の高い光シャッターアレイ素子である。以
上述べたことは、今後増々開発が注目されている光制御
デバイス、光情報処理技術の中にあって、光学式プリン
ター等の書き込みヘッドや、その他の応用機器において
、低電圧でかつ、高信頼性を有する本発明の光シャッタ
ーアレイ素子は、大きな効果を与えるものである。
第１図ａは従来の光シャッターアレイ素子の一構成図、
第１図すはその局部断面図、第２図ａは本発明の一実施
例における光シャッターアレイ素子の構成図、第２図す
は同局部断面図である。 １・・・・・・ＰＩ、Ｚで平板、２・・・・・・共通電
極、３・・・・・・電圧印加用電極群、４・・・・・・
偏光子、６・・・・・・検光子、１１・・・・・・ＰＬ
ＺＴ平板、１２・・・・・・共通電極、１３・・・・・
・電圧印加用電極群、１４・・・・・・絶縁樹脂膜、１
５・・・・・・偏光子、１６・・・・・・検光子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 （（Ｌ） ？ （１Ｐ） 第２図 （αラ バ
第１図すはその局部断面図、第２図ａは本発明の一実施
例における光シャッターアレイ素子の構成図、第２図す
は同局部断面図である。 １・・・・・・ＰＩ、Ｚで平板、２・・・・・・共通電
極、３・・・・・・電圧印加用電極群、４・・・・・・
偏光子、６・・・・・・検光子、１１・・・・・・ＰＬ
ＺＴ平板、１２・・・・・・共通電極、１３・・・・・
・電圧印加用電極群、１４・・・・・・絶縁樹脂膜、１
５・・・・・・偏光子、１６・・・・・・検光子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 （（Ｌ） ？ （１Ｐ） 第２図 （αラ バ
Claims (1)
- 電気光学効果を有する固体の板状透光性磁器上の少なく
とも一方の面に、光シャッター列を形成するように複数
個の電極を設け、前記平板の表裏に偏光板を偏光軸が互
いに９０°の角度をなすように配置した光シャッターア
レイ素子であって、前記板状透光性磁器の上記電極配設
位置には、電極配設用の溝を設け、上記電極を少なくと
も上記溝壁面と上記溝壁面につらなる前記板状透光性磁
器表面にわたって形成し、かつ、上記電極部とそれにつ
らなる光シャッター部の一部にわたって、樹脂を形成し
た構造を有することを特徴とする光シャッターアレイ素
子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59239808A JPS61118724A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 光シヤツタ−アレイ素子 |
| DE8585308315T DE3584419D1 (de) | 1984-11-14 | 1985-11-14 | Element bestehend aus einer reihe von lichtschaltern. |
| US06/798,029 US4697889A (en) | 1984-11-14 | 1985-11-14 | Light shutter array element |
| EP85308315A EP0182622B1 (en) | 1984-11-14 | 1985-11-14 | Light shutter array element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59239808A JPS61118724A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 光シヤツタ−アレイ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61118724A true JPS61118724A (ja) | 1986-06-06 |
Family
ID=17050160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59239808A Pending JPS61118724A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 光シヤツタ−アレイ素子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4697889A (ja) |
| EP (1) | EP0182622B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61118724A (ja) |
| DE (1) | DE3584419D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6333727A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-13 | Fuji Xerox Co Ltd | 光シヤツタ−装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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