JPS61116195A - 流量調整機構 - Google Patents
流量調整機構Info
- Publication number
- JPS61116195A JPS61116195A JP23763684A JP23763684A JPS61116195A JP S61116195 A JPS61116195 A JP S61116195A JP 23763684 A JP23763684 A JP 23763684A JP 23763684 A JP23763684 A JP 23763684A JP S61116195 A JPS61116195 A JP S61116195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- flow path
- rate adjustment
- adjustment mechanism
- radial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Pipe Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、例えば、マスフローコントローラー等にお
いて流体の流量をコントロールするｆ５！量ｇ整機構に
関するものである。
いて流体の流量をコントロールするｆ５！量ｇ整機構に
関するものである。
従来技術及びその問題点
従来、ガスの計測と制御は体積流量計で行われてきたが
、最近になり製造装置の自動化、コンピユータ化に伴い
、計測、制御とも電気信号で操作を行えるマスフローコ
ントローラーが広く用いられるようになってきた。
、最近になり製造装置の自動化、コンピユータ化に伴い
、計測、制御とも電気信号で操作を行えるマスフローコ
ントローラーが広く用いられるようになってきた。
この場合、ガスはセンサ一部とバイパス部に分流され、
両者における流量比を一定にして、センサ一部における
流量を熱電気的に検出することによって全体のガス流量
を検知するようになっている。そして、バイパス部は流
路の途中に設けられた壁部と押し付け部材との間に流量
調整部材を介在せしめて径方向の流路を形成し前記径方
向流路の断面積を変化せしめて層流状態でガス流量を調
整するようにしているのであるが、従来の流量調整部材
としては、環状の薄板を多数積層状に配列したものを用
い、この環状薄板には、径方向にフォトエツチング法に
より溝が形成されたものが用いられていた。しかしなが
ら、このフォトエツチング法による溝の形成は、面倒で
あるばかりでなく、径方向の流路の断面積の増減はこの
環状薄板の枚数を増減して行うことになるので、適当な
枚数を選定する為にこれを出し入れすることは極め七面
倒な作業になっていた。
両者における流量比を一定にして、センサ一部における
流量を熱電気的に検出することによって全体のガス流量
を検知するようになっている。そして、バイパス部は流
路の途中に設けられた壁部と押し付け部材との間に流量
調整部材を介在せしめて径方向の流路を形成し前記径方
向流路の断面積を変化せしめて層流状態でガス流量を調
整するようにしているのであるが、従来の流量調整部材
としては、環状の薄板を多数積層状に配列したものを用
い、この環状薄板には、径方向にフォトエツチング法に
より溝が形成されたものが用いられていた。しかしなが
ら、このフォトエツチング法による溝の形成は、面倒で
あるばかりでなく、径方向の流路の断面積の増減はこの
環状薄板の枚数を増減して行うことになるので、適当な
枚数を選定する為にこれを出し入れすることは極め七面
倒な作業になっていた。
したがって、この発明の目的は、前記のような流量調整
機構において、径方向の流路断面積を簡便に微調整でき
るような機構を提供することである。
機構において、径方向の流路断面積を簡便に微調整でき
るような機構を提供することである。
問題点を解決するための手段及び作用
本発明は、前記のような流量調整機構において、流量調
整部材を平ワッシャーと径方向の流路を形成し得るよう
な形状の環状バネの組合せとするか、又は、流量調整部
材を薄板状のコイルバネで形成するようにしたことを特
徴とするものである。
整部材を平ワッシャーと径方向の流路を形成し得るよう
な形状の環状バネの組合せとするか、又は、流量調整部
材を薄板状のコイルバネで形成するようにしたことを特
徴とするものである。
前記の環状ハネ又は薄板状のコイルバネは、径方向の流
路を形成し得るものであって、押し付け部材がねじ込ま
れるにしたがって、そのねじ込み量に応じて径方向の流
路断面積が減少して、層流状態で微細に流路断面積が変
更できるように作用するばかりでなく、バネの反発力に
よって、ねじの緩みを防止するように作用する。
路を形成し得るものであって、押し付け部材がねじ込ま
れるにしたがって、そのねじ込み量に応じて径方向の流
路断面積が減少して、層流状態で微細に流路断面積が変
更できるように作用するばかりでなく、バネの反発力に
よって、ねじの緩みを防止するように作用する。
実 施 例
以下本発明の実施例をマスフローコントローラーに適用
した場合について添付図面に基づいて説明する。なお、
実施例は例示のものであって、これに限定する一趣旨の
もので、はない。「流体」には、ガスのみならず、流体
も当然含まれる。
した場合について添付図面に基づいて説明する。なお、
実施例は例示のものであって、これに限定する一趣旨の
もので、はない。「流体」には、ガスのみならず、流体
も当然含まれる。
第１図において、符号１０は１次側流路、符号２０は２
次側流路であって、この１次側流路から２次側流路への
流体の流量を微細に１周整しようとするものである。
次側流路であって、この１次側流路から２次側流路への
流体の流量を微細に１周整しようとするものである。
符号３０はマスフローコントローラーの技術分野におい
て一般にバイパスナンドといわれているもので、特許請
求の範囲における「押し付け部材」に該当し、一端部に
ねじ部３１が、他の端部に柱状突出部３２が形成されて
いて、中間の円筒状部分３３はねじ部３１よりもやや径
が小さくなっていて、中心流路３４から更に径方向に孔
３５が形成されている。第１図の左側から流れてきた流
体は中心流路３４から孔３５を通り円柱状部分３３の外
側の環状流路３６を経て後述の流量調整部材４０の径方
向流路を経て柱状突出部３２の外側から２次流路２０へ
流れていく （第２図も参照）。
て一般にバイパスナンドといわれているもので、特許請
求の範囲における「押し付け部材」に該当し、一端部に
ねじ部３１が、他の端部に柱状突出部３２が形成されて
いて、中間の円筒状部分３３はねじ部３１よりもやや径
が小さくなっていて、中心流路３４から更に径方向に孔
３５が形成されている。第１図の左側から流れてきた流
体は中心流路３４から孔３５を通り円柱状部分３３の外
側の環状流路３６を経て後述の流量調整部材４０の径方
向流路を経て柱状突出部３２の外側から２次流路２０へ
流れていく （第２図も参照）。
符号４０は、押し付け部材であるバイパスナツト３０と
流路の途中に設けられた壁部２０′との間に介在して径
方向の流路を形成する流量調整部材である。なお、１次
流路と２次流路の径の関係で壁部２０′が設けられない
ときは、流路中に環状部分を設けて壁部とすればよい。
流路の途中に設けられた壁部２０′との間に介在して径
方向の流路を形成する流量調整部材である。なお、１次
流路と２次流路の径の関係で壁部２０′が設けられない
ときは、流路中に環状部分を設けて壁部とすればよい。
第２図はこの流量調整部材４０の第１の実施例を示すも
ので、第３図の平ワツシヤ−４１と第４図の波形ワッシ
ャ−４２とを交互に組合せたものになっている。平ワッ
シャー４１の間に挟まれた波形ワッシャー４２は平ワッ
シャーの間において圧縮されることによって、径方向の
流路が微細に変更でき、すきまがゼロになるように圧縮
されたとき流路断面積もゼロになる。
ので、第３図の平ワツシヤ−４１と第４図の波形ワッシ
ャ−４２とを交互に組合せたものになっている。平ワッ
シャー４１の間に挟まれた波形ワッシャー４２は平ワッ
シャーの間において圧縮されることによって、径方向の
流路が微細に変更でき、すきまがゼロになるように圧縮
されたとき流路断面積もゼロになる。
なお、この場合、平ワッシャーの間に挟まれる環状バネ
は、径方向の流路を形成し得るとともにバネ力を作用さ
せ得るものであればよいのであるから、さらばねの外周
及び／又は内周に歯形を形成したような第５〜７図に示
すようなものでもよい。符号４３乃至４５は夫々内歯、
外歯、内・外歯を形成した環状ハネを示す。
は、径方向の流路を形成し得るとともにバネ力を作用さ
せ得るものであればよいのであるから、さらばねの外周
及び／又は内周に歯形を形成したような第５〜７図に示
すようなものでもよい。符号４３乃至４５は夫々内歯、
外歯、内・外歯を形成した環状ハネを示す。
このような平ワッシャーと環状バネとの組合せを用いる
ときは、規格品として市販されているものを用いること
ができるので、極めて安価に本発明の流量調整機構を製
造することができる。全体としての枚数は必要とする流
量に応じて定められる。
ときは、規格品として市販されているものを用いること
ができるので、極めて安価に本発明の流量調整機構を製
造することができる。全体としての枚数は必要とする流
量に応じて定められる。
次に第８図に示すものは、薄板をコイル状に形成したバ
ネ４６の実施例を示すものである。
ネ４６の実施例を示すものである。
このようなコイル状の板バネを用いれば、部品点数が少
（てすみ、全体の構成及び組立てが極めて簡単になる。
（てすみ、全体の構成及び組立てが極めて簡単になる。
なお、以上いずれの場合においても、バイパスナツトの
柱状突出部３２の先端部をかしめることによって流量調
整部材４０をａ落しないように保持することができる。
柱状突出部３２の先端部をかしめることによって流量調
整部材４０をａ落しないように保持することができる。
柱状突出部３２の形状は、第９図のような三角柱の形状
のみならず、第１０図の変形三角柱３２′、第１１図の
四角柱３２“等各種のものがあることば当然である。
のみならず、第１０図の変形三角柱３２′、第１１図の
四角柱３２“等各種のものがあることば当然である。
第１図において、１次流路側にはねじ１０′が切っであ
るので、外部からドライバーを挿入してバイパスナンド
３０を回転前進させることによって、環状バネ又はコイ
ルばねが圧縮されると共に、径方向の流路の断面積を微
細に変化させることができる。そして、一旦設定された
流路面積は、バネの作用により軸方向の力が常に加わっ
ているためにナンドが緩むことがなく、長期に亘り一定
の値を保持することができる。
るので、外部からドライバーを挿入してバイパスナンド
３０を回転前進させることによって、環状バネ又はコイ
ルばねが圧縮されると共に、径方向の流路の断面積を微
細に変化させることができる。そして、一旦設定された
流路面積は、バネの作用により軸方向の力が常に加わっ
ているためにナンドが緩むことがなく、長期に亘り一定
の値を保持することができる。
なお、第１図中符号５０の部分はマスフローコントロー
ラーのセンサ一部であるが、本発明の要旨ではないので
説明は省略する。
ラーのセンサ一部であるが、本発明の要旨ではないので
説明は省略する。
発明の効果
本発明は、以上に説明したように、極めて簡便な機構で
、流体の流量を層流状態で’ｍｉ、ｍに変化させること
ができる流量調整機構を提供しうるちのであって、マス
フローコントローラー等に好適な利用分野を有するもの
である。
、流体の流量を層流状態で’ｍｉ、ｍに変化させること
ができる流量調整機構を提供しうるちのであって、マス
フローコントローラー等に好適な利用分野を有するもの
である。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図はマスフロ
ーコントローラーの要部断面図、第２図は本発明を通用
したバイパスナツトの斜視図、第３図は平ワッシャーの
斜視図、第４図は波形ワッシャーの斜視図、第５図乃至
第７図は環状バネの他の実施例を示す正面図、第８図は
薄板状のコイルバネの実施例の正面図、第９図乃至第１
１図は柱状突出部の異なる実施例を示す側面図である。 １０、２０・・・流路 ２０′・・・壁部３０
・・・押し付け部材 ４０・・・流量調整部材４１
・・・平ワッシャー ４２、４３．４４．４５・・・環状バネ４６・・・薄板
状コイルバネ 代理人 弁理士 祐用尉−外２名 第１図 第２図 第８図 、声 第９図 第１０図 第１１図手続補正
書 昭和５９年１２月６日
ーコントローラーの要部断面図、第２図は本発明を通用
したバイパスナツトの斜視図、第３図は平ワッシャーの
斜視図、第４図は波形ワッシャーの斜視図、第５図乃至
第７図は環状バネの他の実施例を示す正面図、第８図は
薄板状のコイルバネの実施例の正面図、第９図乃至第１
１図は柱状突出部の異なる実施例を示す側面図である。 １０、２０・・・流路 ２０′・・・壁部３０
・・・押し付け部材 ４０・・・流量調整部材４１
・・・平ワッシャー ４２、４３．４４．４５・・・環状バネ４６・・・薄板
状コイルバネ 代理人 弁理士 祐用尉−外２名 第１図 第２図 第８図 、声 第９図 第１０図 第１１図手続補正
書 昭和５９年１２月６日
Claims (5)
- （１）流路の途中に設けられた壁部と押し付け部材との
間に流量調整部材を介在せしめて径方向の流路を形成し
、前記径方向流路の断面積を変化せしめて流体の流量を
調整する流量調整機構において、前記流量調整部材が平
ワッシャーと径方向の流路を形成し得るような形状の環
状バネとからなることを特徴とする流量調整機構。 - （２）流路の途中に投けられた壁部と押し付け部材との
間に流量調整部材を介在せしめて径方向の流路を形成し
、前記径方向流路の断面積を変化せしめて流体の流量を
調整する流量調整機構において、前記流量調整部材が薄
板をコイル状に形成したバネからなることを特徴とする
流量調整機構。 - （３）前記押し付け部材がねじ部とそれより径の小さい
円筒状部分とを有することを特徴とする、特許請求の範
囲第１項又は第２項記載の流量調整機構。 - （４）前記押し付け部材が前記ねじ部の反対側に柱状突
出部をさらに有することを特徴とする特許請求の範囲第
３項記載の流量調整機構。 - （５）前記環状バネが波形ワッシャーである、特許請求
の範囲第１項記載の流量調整機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23763684A JPS61116195A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 流量調整機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23763684A JPS61116195A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 流量調整機構 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25876089A Division JPH02153409A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | マスフローコントローラーの流量調整機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61116195A true JPS61116195A (ja) | 1986-06-03 |
| JPH0228039B2 JPH0228039B2 (ja) | 1990-06-21 |
Family
ID=17018260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23763684A Granted JPS61116195A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 流量調整機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61116195A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS485860U (ja) * | 1971-05-31 | 1973-01-23 | ||
| JPS5544277A (en) * | 1978-09-25 | 1980-03-28 | Nec Home Electronics Ltd | Display system of television multiplex character broadcast receiver |
| JPS5597569A (en) * | 1979-01-18 | 1980-07-24 | Nec Corp | Fluid throttle valve |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP23763684A patent/JPS61116195A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS485860U (ja) * | 1971-05-31 | 1973-01-23 | ||
| JPS5544277A (en) * | 1978-09-25 | 1980-03-28 | Nec Home Electronics Ltd | Display system of television multiplex character broadcast receiver |
| JPS5597569A (en) * | 1979-01-18 | 1980-07-24 | Nec Corp | Fluid throttle valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0228039B2 (ja) | 1990-06-21 |
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