JPS61113141A

JPS61113141A - 情報記録媒体の製造システム

Info

Publication number: JPS61113141A
Application number: JP23252184A
Authority: JP
Inventors: Yasutake Oshima; 大島　泰毅; Keiji Kakinuma; 柿沼　敬二; Kenichi Akitsu; 秋津　健一; Masayoshi Taguchi; 田口　真義; Atsuo Konuma; 小沼　充生
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Emi Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; EMI Records Japan Inc
Priority date: 1984-11-06
Filing date: 1984-11-06
Publication date: 1986-05-31

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は情報記録媒体の製造システムに係り、詳しくは
コンパクトディスク（以下ＣＤと略記する）の蒸着工程
において、１着ホルダのマスクユニ、トから蒸着済みＣ
Ｄを取外してスタンドにストックする一方、蒸着前のＣ
Ｄをスタンドから取出してマスクユニットに組込む作業
を自動化して省力化を図ると共に、蒸着歩留の向上を図
る製造システムに関するものである。

〔従来の技術〕

ＣＤの製造システムにあっては、通常、プラスチック成
型工程で表面にピントを有したプラスチック製のディス
ク（情報記録済ディスク）を形成した後、蒸着工程で該
ディスクの表面にアルミニウム反射膜を形成し、この後
保護膜塗布工程で該アルミニウム反射膜上に透明なプラ
スチック保護膜を形成するようになっている。

上述の蒸着工程では、マスクユニット（外周マスクとセ
ンタマスクとディスクベースとよりなる）を用い、第４
図に示すように、ディスク１の中心部及び外周部にアル
ミニウム反射膜（以下反射膜と略記する）２が形成され
ないようにしている。

これにより、反射膜２は、次工程の保護膜塗布工程でプ
ラスチック保護膜により密封されることになる。このよ
うにするのは、ディスク１の外周端面や中心孔の内周端
面で反射膜２が露呈していると、この露呈した部分から
反射膜２が浸蝕されて剥離するためである。

従来の蒸着工程では、マスクユニットからセンタマスク
、外周マスクを外して、蒸着済みのディスクを取り出す
作業や、蒸着前のディスクをディスクベースに取り付け
てセンタマスク、外周マスクを装着する作業等を人手に
より行っていた。これら作業は操作が複雑で、位置合わ
せ等は人が目視しながら正確に行わなければならない等
の理由で、ロボフトを使用することができなかったため
である。

このため、処理能力に限界があり、また蒸着前のディス
クにセンタマスク、外周マスクを装着する際に、ゴミ等
が付着するのを回避できず、さらにセンタマスク、外周
マスクの肌着に際し、不注意によりディスクを傷付ける
等の問題があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は蒸着工程の処理能力の限界や、ゴミ等の付着や
傷等の問題を解決するものである。すなわち、本発明は
蒸着工程においてマスクユニット、ディスクの脱着作業
等を自動化して省力化を図ると共に、蒸着歩留の向上を
図ることができる情報記録媒体の製造システムを提供す
ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者等はマスクユニット、ディスクの脱着作業等を
自動化するため鋭意研究した結果、これら作業を複数の
工程に分割することにより、簡単な操作の組合わせで実
施できることを見い出し本発明をなすに至った。

すなわち、本発明は、スクウェア循環ベースマシンによ
りディスク供給部、マスクユニット肌着作業部、ディス
ク取出部を循環するパレットを儂え、マスクユニット脱
着作業部で蒸着カートの蒸着ホルダから外されてパレッ
ト上に移載されたマスクユニット（７着済みのディスク
をセンタマスクと外周マスクによりディスクベース上に
固定したもの）が咳パレットによりディスク取出部にま
で移送される間に、マスク取外装置によりディスクベー
スから外周マスク、センタマスクを取外してこれらマス
クをパレット上に載置し、ディスク取出部で蒸着済みの
ディスクをディスク取出ハンドにより取出スタンドに移
載する一方、ディスク供給部でパレット上のディスクベ
ースにディスク供給ハンドにより供給スタンドから蒸着
前の情報記録済みディスクを移載し、該パレットにより
マスクユニット脱着作業部にまで移送される間に、マス
ク取付装置によりパレット上に載置されたセンタマスク
と外周マスクをディスクベースに装着して蒸着前のディ
スクを固定したマスクユニットを組立てるローディング
工程と、前記蒸着カートを二台備え、蒸着チャンバより引出され
た一方の蒸着カートの蒸着ホルダからマスフユニットを
外して前記マスクユニット脱着作業部のパレットに移載
する一方、該パレットによって移送されたマスクユニ７
トを取出して蒸着ホルダにセットし、この作業の終了後
、蒸着チャンバ内の他方の蒸着カートと入れ換える蒸着
工程と、蒸着前の情弗記録済みディスクを積載した供給
スタンドを前記ディスク供給部と対向する位置に移送す
る供給移送工程と、蒸着済みのディスクが所定枚数積載された取出スタンド
をストック部に移送する取出移送工程とからなることを
特徴としている。

以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の製造システムの一例を示す説明図、第
２図は同システムを実施する装置を示す斜視図である一本システムは、ローディング工程（１）と、蒸着工程（
ｆｆ）と、供給移送工程（ＩＩ［）と、取８移送工程（
ｒＶ）とからなる。

ローディング工程（１）では、スクウェア循環ベースマ
シン３によりディスク供給部Ａ、アイドル部Ｂ１マスク
取付部Ｃ１静電ブロ一部Ｄ１マスクユニット移載部Ｅ、
マスクユニット脱着作業部Ｆ　Ｉ、Ｆ　ｚ、外周マスク
取外し部Ｇ、静電ブロ一部Ｈ、センタマスク取外し部ｒ
、アイドル部Ｊ、ディスク取出部Ｋを循環するパレット
４を使用し、マスクユニット脱着作業部Ｆ１またはＦよ
で蒸着ホルダ５から外されてパレット４の一方の載置部
４ａに移載されたマスクユニット６　（このマスクユニ
ット６は第１２図に示すように、ディスクベース７とセ
ンタマスク８と外周マスク９とからなり、ここでは蒸着
済みのディスク１が固定されている。）が、該パレット
４により外周マスク取外し部Ｇに移送されると外周マス
ク取外装置１０（第１８図、第１９図参照）により外周
マスク９が外される。

外された外周マスク９は、同じパレット４の他方の！３
！置装４ｂに移載される。

次いで、パレット４により静電ブロ一部Ｈに移送され、
ここで静電ブロー装置１１　（第２０図、第２１図参照
）により蒸着時のアルミニウム粉が除去される。

静電ブローが終了すると、センタマスク取外し部！に移
送されてセンタマスク取外し装置１２　（第２２図〜第
２４図参照）に劣りセンタマスク８が外される。

外されたセンタマスク８は、同じパレット４の他方の！
！２置部４ｂに移載される。

そして、アイドル部Ｊを経てディスク取出部Ｋに移送さ
れ、ここでディスク取出ハンド１３（第２５図、第２６
図参照）によりディスクベース７からディスク取出部に
と対向する位置にあるスタンド１４（第３図参照）に移
載される。

ディスク１が取出されたパレット４の一方の載置部４ａ
にはディスクベース７が載置され、他方の載置部４ｂに
はセンタマスク８、外周マスク９が載置されている。こ
のパレット４はディスク供給部Ａに移送され、ここでデ
ィスク供給ハンド１５（第２５図、第２７図参照）によ
りディスク供給部Ａと対向する位置にあるスタンド１４
がらディスクベース７上に蒸着前の情報記録済みディス
ク１が移載される。

次いで、アイドル部Ｂを経てマスク取付部Ｃに移送され
、ここでマスク取付装置１６（第２８図〜第３０図参照
）により他方の載置部４ｂに載置されていたセンタマス
ク８、外周マスク９が装着されて、ディスク１がディス
クベース７上に固定される。これによりマスクユニ７ト
６が組み立てられる。

次いで、静電ブロ一部りに移送され、ここで静電ブロー
装置１７　（第３１図、第３２図参照）によりゴミ等が
除去される。

静電ブローが終了すると、マスクユニット移載部Ｅに移
送され、ここで移載装置１８（第°３３図、第３４図参
照）により一方の載置部４ａがら他方の！！置部４ｂに
移し換えられて、マスクユニット脱着作業部Ｆ、または
Ｆ２に移送される。

蒸着工程（ｎ）では、マスクユニット脱着作業部Ｆ、、
Ｆ、と対向するように配置された引出部１９ａ　、１９
ｂ間に蒸着チャンバ２ｏを設け、蒸着ホルダ５を装備し
た自転、公転式の蒸着カート２１を蒸着チャンバ２０内
に交互に入れてアルミニウムを蒸着する蒸着装置２２を
使用し、一方の引出部１９ａに引き出されたカート２１
の蒸着ホルダ５から作業員が手作業でマスクユニット６
を外して、これをマスクユニット脱着作業部Ｆ１または
Ｆ２のパレット４に移載する一方、該パレット４により
移送されてきたマスクユニット６を取出してこれを蒸着
ホルダ５にセットし、この作業終了後、該カート２１を
蒸着チャンバ２０内の他方のカニト２１と入れ換え、他
方のカート２１を引出部１９ｂに引き出し、同様の作業
を繰り返す。

供給移送工程（ＩＩＩ）では、ＣＤスタンド供給取出装
置２３（第３５図〜第４０図参照）の一端部にある供給
ストフカ部２４から蒸着前の情報記録済みディスク１を
複数枚積層したスタンド１４をディスク供給部Ａと対向
する位置に移送し、該スタンド１４が空になったら、こ
れをディスク取出部にと対向する位置に移送する一方、
供給スト７力部２４から蒸着前のディスク１が積載され
た新たなスタンド１４をディスク供給部Ａと対向する位
置まで移送する。

取出移送工程ＣＩ’／）では、供給移送工程（Ｉ［［）
からディスク取出部にと対向する位置に移送された空の
スタンド１４に蒸着済みディスク１が所定枚数積載され
たら、これをＣＤスタンド供給取出装置２３の他端部に
ある取出ストフカ部２５に移送する。

供給ハンドエ５により供給移送工程（Ｉ）のスタンド１
４からディスク１を１枚ずつパレット４に移載するとき
、スタンド１４に残ったスペーサ２６は取出移送工程（
ＩＶ）のスタンド１４に移載される。この場合、蒸着前
のディスク１をパレット４に移載−スペーサ２６を取出
工程（ＩＶ）のスタンド１４に移載−蒸着後のディスク
１をスタンド１４に移載の順に行われる。

上述のように本実施例のシステムでは、作業員がマスク
ユニット脱着作業部Ｆ１とＦ２に交互に移動してマスク
ユニット６を脱着するだけでよく、ディスク１、センタ
マスク８、外周マスク９を手作業で脱着しなくてもすむ
、ディスク１、センタマスク８、外周マスク９の脱着は
ローディング工程（１）で自動的に行われる。

したがって、蒸着処理能力を大幅に向上することが可能
である上に、作業員も１名程度ですむ。

また、作業員は、マスクユニット６に触れるだけでディ
スク１に直接触れることがな（、ディスク１にゴミ等が
付着したり、ディスク１を傷付けるおそれがない、この
ため、ゴミ等が付着したまま蒸着することにより生ずる
ピンホール等を可及的に少なくすることができ、蒸着歩
留を向上させることができる。

次の上記システムを実施する各装置について詳細に説明
する。

第５図〜第１１図はスクウェア循環ベースマシン３、パ
レット４を示している。スクウェア循環ベースマシン３
は、第５図に示すように、架台ベース２７上にガイド板
２８，２９により平面視四角形状のガイド溝部３０を形
成すると共に、パレット移動装置３１とパレット位置決
め機構３２を装備して構成されている。

ガイド溝部３０は、ディスク供給部Ａ、アイドル部Ｂ５
マスク取付部Ｃ１静電ブロ一部Ｄ、マスクユニット移載
部Ｅ、マスクユニット脱着作業部Ｆ、、Ｆｔ、外周マ不
り取外し部Ｇ、静静電ブロード、センタマスク取外し部
Ｉ、アイドル部Ｊ、ディスク取出部にと遊び部り、Ｍの
１４個のステージに区画されていモ、１２個のパレット
４がガイド板２８．２９に案内されて循環する。

ガイド溝部２．０の底部には、第６図に示すように、ガ
イド板２８，２９に沿ってローラ支持板３３が設けられ
ていて、該ローラ支持板２２にパレット４の底面を支持
すると共に、その移動を円滑にするガイドローラ３４が
適宜間隔をお゛いて配設されている。ガイド溝部３０の
各コーナ部の底部には、パレット４の方向転換を円滑に
するフリーベアリング３５が配置されている。

パレット移動装置３１は、シリンダ３６と、該シリンダ
３６のシリンダロッド３７の先端に引掛片３８を設けて
なるパレット押しアーム３９とから構成されていて、ガ
イド溝部３０の各辺部の底部にそれぞれ配設されている
。

シリンダ３６を動作させてシリンダロッド３７をシリン
ダ３６内に後退させることにより、引掛片３８がパレッ
ト４の側面を押してパレット４を１ステージ移動させる
。パレット４を移動させた後は（このときパレット４が
あったステージは空になっている）、シリンダロッド３
７を前進させて次の移動操作に備える。このとき、引掛
片３８を外側のガイドＶｉ２８のコーナ部に形成した切
欠２８ａに収めておいて、空になったステージに次のパ
レット４が移動してくる際に邪魔にならないようにして
いる。

パレット４は、上述のパレット移動装置３１により間欠
的に１ステージずつ移動されてガイド溝部３０を循環す
る。

パレット位置決め機構３２は、シリンダ４０と、該シリ
ンダ４０により前進後退させられてパレ。

ト４の上面にもうけられたストッパ兼位置決め駒４１に
係脱するピン４２と、該ピン４２を案内するガイド台４
３とから構成されていて、パレット４の位置決めを必要
とするステージ（ディスク供給部Ａ１マスク取付部Ｃ１
マスクユニ、ト移載部Ｅ２外周マスク取外し部Ｇ、セン
タマスク取外し部１１ディスク取出部に等）にそれぞれ
配置されている。

パレット４が位置決めを必要とするステージに移動して
くると、シリンダ４０が動作してそのシリンダロッド４
４が前進し、これによりシリンダロッド４４とピン４２
とを連結するアーム４５が回転してピン４２を前進させ
、ピン４２の先端がス）−／パ兼位置決め駒４１の係合
凹部４１ａに係合する。パレット４はこれにより所定ス
テージに正確に位置決めされる。

なお、ガイド溝部３０の各コーナ部には、ダンパー機構
４６が設けられている。このダンパー機構４６は外側の
ガイド板２８に固定されていて、その緩衝ピストン４７
がガイド溝部３０内に突出し、パレット４の移動時の衝
撃を緩和する。

本システムでは、長方形状のパレット４を使用するため
、上述のスクウェア循環ベースマシン３を採用している
。パレット４を搬送するのにタレット式ベースマシンを
採用することもできるが、無駄なスペースが生じて大型
化する。スクウェア１ｉＸベースマシン３では、タレン
ト式ベースマシンのように無駄なスペースがなく、タレ
ント式ベースマシンよりも小型化でき、スペースをとら
ず、クリーンルーム内の装置として通している。

また、パレット４を移動するのに、パレット４をガイド
ローラ３４で支え、シリンダ３６からなるパレット移動
装置３１を使用しているため、フリーフローコンベア方
式に比して移動速度を速くでき（サイクル短縮が可能）
、停止中のパレット４が振動せず、高精度の作業が可能
である。また、チェン駆動方式に比してパレット４の外
にはみ出る駆動部がなく、コンパクトになり、設置のた
めの床面積を小さく出来る。

次にパレット４について説明すると、第７図〜第９図に
示すように、パレット４の側縁部の２ヶ斤に前述のスト
ッパ兼位置決め駒４１が設けられ、ミた載置部４ａ　、
４ｂの各コーナ部に外周マスクスタンド４８がそれぞれ
設けられている。また、載置部４ａ、４ｂの長さ方向両
端位置にはスペース４９とガイドピン５０が設けられ、
また他方の載置部４ｂのスペーサ４９間には長さ方向に
沿ってセンタマスクスタンド５１が所定の間隔をおいて
３個配置されている。

外周マスクスタンド４８は外周マスク９を位置決めし、
またガイドピン５０はディスクベース７を位置決めし、
またスペーサ４９はマスクユニット６の高さの位置決め
をする。

第１０図は載置部４ａ、４ｂにマスクユニットを載置し
た状態を示している。また、第１１図はセンタマスク取
外装置１２によって取外さ孔たセンタマスク８をセンタ
マスクスタンド５１にセットした状態を示している。

なお、パレット４には、セフティガイド５２が設けられ
ていて、外周マスク９の左右置き違いを確認できるよう
になっている。

第１２図はマスクユニット６を示してる。マスクユニッ
ト６の基台を構成するディスクベース７は断面コ字状に
形成されていて、ディスク１、外周マスク９を安定して
支持できる横幅Ｗと複数個（３個）のディスク１を取付
けるに必要な長さを有し、これら横幅Ｗと長さに対して
厚さＴの精度が充分に得られる剛性をもった軽量構造に
なっている。

ディスクベース７の長さ方向両端部には位置決め孔５３
，５３，５４，５４が設けられていて、一方の位置決め
孔５３．５３には前述のパレット４に立設したガイドピ
ン５０が嵌入し、他方の位置決め孔５４，５４には外周
マスク９に設けたガイドピン５５が嵌入する。

ディスクベース７の上面には、ディスク１を支えるセン
タ駒５６が複数個（３個）配設されていると共に、該セ
ンタ駒５６間に外周マスク９を固定するためのマグネッ
ト５７が配設されている。

センタ駒５６は、ディスク１の内径を精度良く基円する
円筒案内部５８と、ディスク１を保持するフランジ部５
９と、バナナチップ状に形成されてセンタマスク８を位
置決め、保持する保持部６０とから構成されている（第
１４図参照）。

センタマスク８は、第１４図に詳細に示すように、マス
ク部６１の中央に保持部６０が嵌入される中空部６２を
をした突起６３を立設して構成されている。この突起６
３の上部には頚部６４が形成されていて、該頚部６４に
引掛けてセンタマスク８を外すことができるようになっ
ている。

外周マスク９には上述のセンタ駒５６と等しいピッチで
マスク穴９ａが形成され、そして全体の剛性を保つため
両側縁に折返し部６５が形成されている。外周マスク９
の長さ方向両端部には前述のガイドピン５５が設けられ
ていると共に、位置決め溝６６が形成されている。

第１３図〜第１７図は上述のマスクユニット６が取付け
られる蒸着ホルダ５を示している。蒸着ホルダ５は、シ
ャフト６７の長さ方向両端に三角形状の上下板６８．６
８を固定して構成されていて、マスクユニット６を取付
ける三個の取付面を有している。

シャフト６７には、自転・公転式の蒸着カート２１によ
り回転力が付与される爪部材６９が設けられている。ま
た、上下板６８，６８には、上述の位置決め溝６６に係
合するガイドピン７０と、外周マスク９またはディスク
ベース７を固定するマグネット７１　（第１５図参照）
が設けられている。

外用マスク９の位置決め溝６６にガイドピン７０を係合
させ、マグネット７１に外周マスク９を固定させること
により、マスクユニット６が著者ホルダ５に取付けられ
る。

なお、外周マスク９間の隙間から蒸着材（アルミニウム
）が侵入するのを阻止するため、上下板６８．６８間に
遮蔽リブ７２（第１６図、第１７図参照）が設けられて
いる。

蒸着カート２１については、詳細に図示しないが、上述
の蒸着ホルダ５を複数個支持した支持枠７３自体を太陽
歯車７４により公転させると共に、遊星歯車により各蒸
着ホルダ５を自転させる構成になっている（第２図参照
）。

第１８図、第１９図はガイド溝部３０の外周マスク取外
し部Ｇに装備される外周マスク取外装置１０を示してい
る。外周マスク取外装置１０は、ディスクベース７をロ
ックするロック機構７５と、外周マスク９を押えて固定
するハンドフレーム７６を昇降する昇降機構７７と、該
ハンドフレーム７６に装備されて外周マスク９をクラン
プする１対のチャック７８．７８を育したクランプ機構
７９と、ハンドフレーム７６をパレット４の一方の載置
部４ａ上と他方の載置部４ｂ上の間で往復させるスライ
ド機構８０とから構成されている。

パレット４が外周マスク取外し部Ｇに移送されてパレッ
ト位置決め機構３２により位置決めロックされると、口
７り機構７５のシリン夛８１が動作して、クランプ８２
がディスクベース７を押え込む一方、昇降機構７７のシ
リンダ８３によりハンドフレーム７６が下降して：亥ハ
ンドフレーム７６に設けた押えビン８４がスプリング８
４ａの弾↑θ力で外周マスク９を押える０次いで、クラ
ンプ機構７９のシリンダ８５が動作してチャック部７８
．７８が外周マスク９をクランプする。このとき、チャ
ック７８の受台７８ａが外周マスク９の下部に入り込む
と共に、側部７８ｂが外周マスク９の両端部に形成した
溝に入り、外周マスク９がずれないようにしている。こ
の後、シリンダ８３により外周マスク９がハンドフレー
ム７６とともに上昇して、ディスクベース７から離れる
。

外周マスク９が分離されると、ロック機構７５が解除さ
れる。これと同時に、スライド機構８０のシリンダ８６
により外周マスク９がハンドフレーム７６とともにパレ
ット４の他方の載置部４ｂ上に移動される０次いで、シ
リンダ８３により外周マスク９がハンドフレーム７６と
ともに下降し、他方の載置部４ｂの外周マスクスタンド
４８内に収められる。この後、シリンダ８５が動作して
チャック部７８．７８が外周マスク９から離れ、クラン
プが解除される。

外周マスク９の°クランプが解除されると、シリンダ８
３によりハンドフレーム７６が上昇し、次いでシリンダ
８６により元の位置に復帰する。この後、パレット位置
決め機構３２のロックが解除され、パレット４が次の静
電ブロ一部Ｈに移送される。

第２０図、第２１図は、静電プロ一部Ｈに装備される静
電ブロー装置１１を示している。静電ブロー装置１１は
、イオン化されたエアーをディスク１等に吹き付ける静
電ブローノズル８７と該静電ブローノズル８７から吹き
付けられたエアー等を吸引除去する排気ダクト８８とを
組合わせた静電７’　ｏ　−ユニフ）　８９　ト、ｔＫ
静電−ｙローユニット８９をディスク１等の上で回転さ
せる回転駆動機構９０と、パレット４及び静電ブローユ
ニット８９を覆うボックス状のシャフタ９１とから構成
されている。

シャンク９１は、載置部４ａを覆う部屋９１ａと載置部
４ｂを覆う部Ｍ９１ｂとに仕切られていて、各部屋９１
ａ、９１ｂ内にそれぞれ静電ブローユニット８９が三組
ずつ配置されている。

静電ブローユニ７ト８９は回転駆動機構９０の回転軸９
２にアジャスター９３を介して取付けられていて、該ア
ジャスター９３によりディスク１等からの高さと角度が
調整可能になっている。

パレット４が外周マスク取外し部Ｇから静電プロ一部Ｈ
に移送されてくると、シリンダ９４によリシャ７夕９１
が下降して、部屋９１ａが一方の載置部４ａ上のディス
ク１、センタマスク８、ディスクベース７を覆い、部屋
９１ｂが他方の載置部４ｂ上の外周マスク９を覆う０次
いで、回転駆動機構９０のモータ９５が動作して伝達機
構９６により回転軸９２が回転される。これにより各静
電ブローユニット８９がディスク１等の上で回転しつつ
静電ブローを行う、このとき、静電ブローノズル８７か
らディスク１に吹き付けられたエアー及び該エアーによ
り吹き上げられたアルミニウム粉等のゴミは、排気ダク
ト８８により直ちに吸引除去されるため、静電ブローに
際しゴミが飛び敗って囲周に悪影響を及ぼすおそれがな
い。

静電ブローが終了すると、シリンダ９４によりシャッタ
９１及び静電ブローユニット８９が上昇し、パレット４
がセンタマスク取外し部！に移送される。

第２２図〜第２４図はセンタマスク取外し部Ｉにｍ（１
１されるセンタマスク取外装置！１２を示している。セ
ンタマスク取外装置１２は、ディスクベース７をロック
するロック機構９７と、センタマスク８を押えて画定す
るハンドフレーム９日を昇降する昇降機構９９と、該ハ
ンドフレーム９８に上下動可能に装備されてセンタマス
ク８をクランプする１対のチャ７り部１００，１００を
有したチャンク機構１０１と、ハンドフレーム９Ｂを一
方の載置部４ａ上と他方の載置部４ｂ上の間を往復させ
るスライド機構１０２とから構成されている。

パレット４がセンタマスク取外し部Ｉに移送されてパレ
ット位置決め機構３２により位置決めロックされると、
ロック機構９７のシリンダ１０３が動作してクランプ１
０４がパレット４の一方の載置部４ａ上のディスクベー
ス７を押え込む一方、昇降機構９９のシリンダ１０５に
よりハンドフレーム９８が下降して該ハンドフレーム９
８に設けた押えビン１０６がスプリング１０６ａの弾ｔ
ａ力でセンタマスク８の頭部を押える０次いで、チャッ
ク機構１０１のシリンダ１０７が動作してチャック部１
００，１００がセンタマスク８の頚部６４をチャックす
る。この後、シリンダ１０５によりハンドフレーム９８
が上昇して、センタマスク８がディスクベース７から離
れる。

センタマスク８が取外されると、ロック機構９７が解除
される。これと同時に、スライド機構１０２のシリンダ
１０８によりハンドフレーム９８がスライドされてセン
タマスク８が他方の載置部４ｂ上に移動される０次いで
、シリンダ１０５゜１８１によりハンドフレーム９８が
下降すると共にハンドフレーム９８に対しチャック機ｔ
ｌｌ１０１が下降してセンタマスク８がセンタマスクス
タンド５１に押し込められる。この後、シリンダ１０７
が動作してチャック部１００，１００がセンタマスク８
から離れ、チャックが解除される。

センタマスク８のチャックが解除されると、シリンダ１
０５によりハンドフレーム９８が上昇し、次いでシリン
ダ１０８により元の位置に復帰する。

この後、パレット位置決め機構３２のロックが解除され
、パレット４がアイドル部Ｊを経てディスク取出部Ｋに
移送される。

第２５図〜第２７図はディスク取出部Ｋに装備されるデ
ィスク取出ハンド１３と、ディスク供給部Ａに装備され
るディスク供給ハンド１５を示している。

ディスク取出ハンド１３は支持環１０９の一方の側部に
設けられ、ディスク供給ハンド１５は他方の側部に設け
られている。

まず、ディスク取出ハンド１３について説明すると、第
２５図、第２６図に示すように、ディスク１を真空吸引
力により吸着する吸盤１１０が設けられた吸着ハンド１
１１と、該吸着ハンド１１１をパレット４とディスク取
出部にと対向する位置の空のスタンド１４との間で往復
させるスライド機構１１２と、吸着ハンド１１１を昇降
させる昇降機構１１３とから構成されている。

パレット４がディスク取出部Ｋに移送されてパレット位
置決め機構３２により位置決めロックされると、昇降機
構１１３のシリンダ１１４によりｔ＆着ハンド１１１が
下降して＋Ｉ＆盤１１０がディスク１に押し付けられる
。このとき、図示しないバキューム用Ｑｂ１弁が作動し
て吸盤１１０に吸引力が生じる。

ディスク１が吸着されて一定の真空度に達すると、シリ
ンダ１１４により吸着ハンド１１１が上昇し、ディスク
１は吸盤１１０に吸着されてディスクベース７から離れ
る０次いで、スライド機構１１２のロッドレスシリンダ
１１５によりＩＩＦハンド１１１がディスク取出部にと
対向する位置の空のスタンド１４上にスライドされ、そ
して該位置でシリンダ１１４により吸着ハンド１１１が
下降し、ディスク１がスタンド１４の上端テーパ部１４
ａ　（第３図参照）に挿入される。

吸着ハンド１１１の下降後、バキューム用配管内の作動
が停止し、吸盤１１０の吸引力がなくなる。このとき、
図示しないバキューム用配管内にクリーンエアーを流し
て吸盤１１０よりブローさせ、ディスクｌと吸盤１１０
の離れをよくしている。

ディスク１が吸盤１１０から離れるとスタンド１４にガ
イドされながら落下する。ディスク１がスタンド１４に
移載されると、シリンダ１１４により吸着ハンド１１１
が上昇し、ついでロッドレスシリンダ１１５により元の
位置の復帰する。

吸着ハンド１１１が復帰すると、パレット位置決め機構
３２のロックが解除され、パレット４がディスク供給部
Ａに移送される。

次にディスク供給ハンド１５を第２５図、第２７図を参
照して説明すると、スライドハンド１１６をスライドさ
せるスライド機構１１７と、８亥スライドハンド１１６
に上下動可能に装備姿れたハンドフレーム１１８と、デ
ィスク１を真空吸引力により吸着する吸盤１１９が設け
られて該ハンドフレーム１１８に上下動可能に装備され
た吸着ハンド１２０とから構成されている。

吸盤１１９により蒸着前のディスク１を吸着した状態で
パレット４がディスク供給部Ａに移送されるのを待機す
る。パレット４がパレット位置決め機構３２によりディ
スク供給部Ａに位置決めロックされると、ハンドフレー
ム１１８がシリンダ１２１により下降し、同時に吸着ハ
ンド１２０がシリンダ１２２により下降して、ディスク
１がディスクベース７上のセンタ駒５６に挿入される。

ハンドフレーム１１８、吸着ハンド１２０の下降後、図
示しないバキューム用を磁弁の作動が停止し、吸盤１１
９の吸引力がなくなる。このとき、図示しないバキュー
ム用配管内にクリーンエアーを流して吸盤１１９よりブ
ローさせ、ディスク１と吸盤１１９との離れをよくして
いる。

このようにしてディスク１をディスクベース７に装着す
ると、シリンダ１２１によりハンドフレーム１１８が上
昇し、またシリンダ１２２により吸着ハンド１２０が上
昇する０次いで、スライド機構１１７のロアドレスシリ
ンダ１２３によりハンドフレーム１１８、吸着ハンド１
２０がスライドハンド１１６とともにスライドされて、
ディスク供給部Ａと対問する位置に待機しているスタン
ド１４上に位置する。この後、シリンダ１２１によりハ
ンドフレーム１１８が下降し、吸盤１１９がスタンド１
４の一番上に積載されているディスク１に押し付けられ
る。

ハンドフレーム１１８が下降すると、図示しないバキュ
ーム用ｔｖｉ弁が作動して吸盤１１９に吸引力が生じる
。ディスク１が吸着されて一定の真空度に達すると、シ
リンダ１２１によりハンドフレーム１１８が上昇して、
ディスク１がスタンド１４から取出される０次いで、ロ
ッドレスシリンダ１２３により元の待機位置に復帰して
、パレット４が移送されてくるのを待機する。

第２８図〜第３０図はマスク取付部Ｃに装備されるマス
ク取付装置１６を示している。マスク取付装置１６は、
ハンドフレーム１２４をスライドさせるスライド機構１
２５と、該ハンドフレーム１２４を昇降きせる昇降機構
１２６と、ハンドフレーム１２４に装備されて外周マス
ク９をクランプするクランプ機構１２７と、ハンドフレ
ーム１２４に上下動可能に装備されてセンタマスク８を
チャックするチャ７り機構１２８とから構成されている
。

パレット４がディスク供給部Ａからアイドル部Ｂ８経て
マスク取付部Ｃに移送されてパレット位置決め機構３２
により位置決めロックされると、ハンドフレーム１２４
が昇降機構１２６のシリンダ１２９によりパレット４の
他方の載置部４ｂ上に下降する。この他方の載置部４ｂ
には、センタマスク８、外周マスク９が載置されている
。

ハンドフレーム１２４の下降と同時にシリンダ１３０に
よりチャック機構１２８が下降する。ハンドフレーム１
２４の下降により、ハンドフレーム１２４に設けた押え
ピン１３１がスプリング１３１ａの弾撥力により外周マ
スク９を押え込む。

次いで、チャック機構１２８のシリンダ１３２（第３０
図参照）によりチャック部１３３がセンタマスク８の頚
部６４をチャックする。また１、これと同時にクランプ
機ｊＲｌ　２７のシリンダ１３４゜１３４によりチャッ
ク１３５，１３５の受台１３５ａ、１３５ａが外周マス
ク９の下部に入り込むと共に、側部１３５ｂ、１３５ｂ
が外周マスク９のｊ！ｊ端部に形成した溝に入り外周マ
スク９をずれないようにクランプする。

この後、シリンダ１２９によりハンドフレーム１２４が
上昇し、またシリンダ１３０によりチャック機構１２８
が上昇する。チャック機構１２８が上昇する際、ハンド
フレーム１２４に設けた押えピン１３６（第３０図参照
）がスプリング１３６ａの弾撥力でセンタマスク８の頭
部を押える。

ハンドフレーム１２４によりセンタマスク８、外周マス
ク９が上昇すると、スライド機構１２５のシリンダ１３
７によりハンドフレーム１２４がディスク１が載置され
ている一方の載置部４ａ上にスライドされる。この後、
シリンダ１２・９によりハンドフレーム１２４が下降し
て、外周マスク９が外周マスクスタンド４８に収まり、
外周マスク９のガイドピン５５がディスクベース７の位
置決め孔５３に嵌入し、マグネット５７により外周マス
ク９がディスク１０周縁部を押え付けてディスクベース
７上に固定される。また、センタマスク８は、ディスク
１の中心部を押え付けて保護部６０に取付けられる。こ
のとき、スプリング１３１ｂの弾１ｎ力でセンタマスク
８はディスク１に押え付けられる。

このようにしてセンタマスク８、外周マスク９がディス
クベース７に装着されると、シリンダ１３２によりチャ
ック部１３３がセンタマスク８のチャックを解除し、ま
たシリンダ１３４，１３４によりチャック１３５，１３
５が外周マスク９のクランプを解除する０次いで、シリ
ンダ１２９によりハンドフレーム１２４が上昇し、この
後、シリンダ１３７によりハンドフレーム１２４が元の
位置に復帰する。

ハンドフレーム１２４が復帰すると、パレット位置決め
機構３２のロックが解除され、パレット４が静電ブロ一
部りに移送される。

第３１図、第３２図は静電ブロ一部りに装備される静電
ブロー装置１７を示している。静電ブロー装置１７は、
イオン化されたエアーをディスク１等に吹き付ける複数
本（図面では４本）の静電フ゛ローノズル１３８と１亥
静電プローノズル１３８から吹き付けられたエアー等を
吸引除去する排気ダクト１３９とを組合わせた静電ブロ
ーユニー／　ト１４０　、！：、該１％ｔフローユニッ
ト１４０をパレット４の長さ方向で往復移動させる直線
駆動機構１４１と５、マスクユニット６がｉＳ！置され
た他方の載置部４ｂ及び静電ブローユニー／　）　ｌ　
４０を覆うシャッタ１４２とから構成されている。

なお、排気ダクト１３９の下端中央部には、センタマス
ク用にげとなる切欠１３９ａが形成されている。

パレット４が静電ブロ一部りに移送されて（ると、直線
駆動機構１４１のロフトレスシリンダ１４３により静電
ブローユニット１４０が蒸着前のディスク１を装着した
マスクユニット６上を走行する。

静電ブローノズル１３８からマスクユニット６に吹き付
けられたエアー及び該エアーにより吹き上各ｔられたゴ
ミは、静電ブローノズル１３８とともに走行する排気ダ
クト１３９により直ちに吸引除去される。このように、
排気ダクト１３９を静電ブローノズル１３８とともに移
動させるようにすると、大型の排気ダクトを使用しなく
てもすむ。

静電ブロー中は、シャッタ１４２により外部からのゴミ
、ホコリ等の侵入が阻止される。

静電ブローが終了すると、パレット４はマスクユニット
移載部已に移送される。

第３３図、第３４図はマスクユニット移載部已に装備さ
れる移載装置１８を示している。移載装置１８は、ハン
ドフレーム１４４と、該ハンドフレーム１４４に装備さ
れてマスクユニット６をクランプするクランプ機構１４
５と、ハンドフレーム１４４を昇降する昇降機構１４６
と、ハンドフレーム１４４をパレット４の一方の載置部
４ａと他方の載置部４ｂとの間で往復させるスライド機
構１４７とから構成されている。

パレット４がマスクユニット移載部已に移送されてパレ
ット位置決め機構３２により位置決めロックされると、
昇降機構１４６のシリンダ１４８によりハンドフレーム
１４４が下降して、：亥ハンドフレーム１４４に設けた
押えピン１４９がスプリング１４９ａの弾ｔΩ力で外周
マスク９を押え、また押えピン１５０がスプリング１５
０ａの弾撥力でセンタマスク８の頭部を押える０次いで
、クランプ機構１４５のシリンダ１５１，１５１により
チャック１５２，１５２がマスクユニット６をクランプ
する。このとき、チャック１５２の受台１５２ａがディ
スクベース７の下部に入り込むと共に、側部１５２ｂが
外周マスク９の両端部に形成した溝に入り、マスクユニ
ット６がずれない−ようにしている。

マスクユニット６がクランプされると、シリンダ１４８
によりハンドフレーム１４４が上昇し、マスクユニット
６はパレット４の一方の載置部４ａから離れる０次いで
、スライド機構１４７のシリンダ１５３によりハンドフ
レーム１４４がスライドされて、マスクユニット６は他
方の載置部４ｂ上に移動される。この後、シリンダ１４
８によりハンドフレーム１４４が下降して、マスクユニ
ット６は他方の１上置部４ｂにｆｊｌ！される。

マスクユニット６が移載されると、シリンダ１５１．１
５１によりチャック１５２，１５２のクランプが解除さ
れる。次いで、シリンダ１４８によりハンドフレーム１
４４が上昇し、この後シリンダ１５３により元の位置に
復帰する。このようにしてマスクユニット６の移載が終
了すると、パレット位置決め機構３２のロックが解除さ
れる。

第３５図はＣＤスタンド供給取出装置２３の全体を示し
ている。ＣＤスタンド供給取出装置２３は、架台１５４
の長さ方向一端部（図面左側）に設けられた供給スト７
力部２４と、長さ方向他端部（図面右側）に設けられた
取出ストッカ部２５と、これら供給ストフカ部２４と取
出スト７力部２５との間であってディスク供給部Ａ１デ
ィスク取出部にと対向する位置に設けられた供給スタン
ド位置決め部１５５、取出スタンド位置決め部１５６と
、長さ方向一端部から他端部にかけて設けられたスタン
ド移送部１５７とから構成されている。

供給スト７力部２４には、蒸着前のディスク１を複数枚
積層したスタンド１４をスタンド移送部１５７に送るス
タンド受はプレート１５８が設けられている。このスタ
ンド受はプレート１５８にはスタンド移送部１５７側で
開口する複数個（図面では３個）のＵ字溝１５９が形成
されていて、該Ｕ字溝１５９の開口部側と奥側の２ケ所
（図面では合計６ケ所）でスタンド１４を受け、る、各
Ｕ字溝１５９の開口部側の下方位置には、スタンド１４
を一時的に支えるスタンド支持プレート１６０がそれぞ
れ配設されている。

第３６図、第３７図は上述の供給スト−／力部２４を詳
細に示している。スタンド受はプレート１５８にはロッ
ドレスシリンダ１６１が連結されていて、該ロフトレス
シリンダ１６１により移動されてスタンド１４をスタン
ド移送部１５７に移送する。

スタンド支持プレート１６０は、シリンダ１６２により
ガイド軸１６３，１６３に案内されて昇降するもので、
スタンド受はプレート１５８が前進してＵ字溝１５９の
開口部側のスタンド１４をスタンド移送部１５７に移送
するとき、Ｕ字ｉ１！１５９の奥側のスタンド１４（こ
のスタンド１４はこのときスタンド支持プレート１６０
上に運ばれている）を一時的に支持し、スタンド受はプ
レート１５８が後退して元の位置に復帰したとき、支持
していた該スタンド１４をスタンド受はプレート１５８
上にもどす、もどされたスタンド１４はＵ字溝１５９の
開口部側に位置し、次にスタンド受はプレート１５８が
前進するときスタンド移送部１５７に移送される。

取出ストン力部２５は、スタンド受はプレート１６４、
スタンド支持プレート１６５を具備して供給ストフカ部
２４と同一に構成されている。

スタンド移送部１５７により蒸着済みのディスク１を積
載したスタンド１４が移送されてくると、スタンド受は
プレート１６４のＵ字溝１６６の開口部側にストック“
されていたスタンド１４がスタンド支持プレート１６５
により一時的に支持され、次いでスタンド受はプレート
１６４が前進してスタンド移送部１５７からスタンド１
４を受ける一方、スタンド支持プレート１６５が下降し
て該スタンド支持プレート１６５から一時的に支持され
ていたスタンド１４を受け、この後スタンド受はプレー
ト１６４が後退して元の位置に復帰する。

これにより、Ｕ字溝１６６の開口部側にストックされて
いたスタンド１４は奥側に移し換えられて蒸着工程の次
工程である保護膜塗布工程に送られるのを待機する。

供給スタンド位置決め部１５５には、第３５図に示すよ
うに、互いに対向するようにして１対の位置決め板１６
７．１６７が設けられている。これら位置決め仮１６７
．１６７はシリンダ１６８．１６８により互いに接近す
るもので、その内面側にスタンド１４の基台１４ｂを挟
持固定する凹形状の挟持部１６７ａが複数個（図面では
３個ずつ）配置されている。

なお、図示しないが、供給スタンド位置決め部１５５に
は、スタンド１４から蒸着前のディスク１がディスク供
給部Ａに移載される毎にディスク１の積載体を持ち上げ
て、積載体の一番上にあるディスク１を常に同じ高さに
位置させるディスクセ、トアンプ機構が設けられている
。

取出スタンド位置決め部１５６にも同様にシリンダ１６
９，１６９により互いに接近する１対の位置決め板１７
０，１７０が設けられていて、該位置決め仮１７０，１
７０の内面に凹形状の挟持部１７０ａが複数個配置され
ている。

スタンド移送部１５７には、第３５図に示すように、ス
タンド１４の載置部１７２ａ−１７２ｃが配設された移
送バー１７３が架台１５４の長さ方向に移動可能に装備
されている。この移送バー１７３は、供給スト７力部２
４から移送されたスタンド１４を供給スタンド位置決め
部１５５に移送し、該供給スタンド位置決め部１５５で
空になったスタンド１４を取出スタンド位置決め部１５
６に移送し、該取出スタンド位置決め部１５６で蒸着済
みのディスク１が所定枚数積載されたスタンド１４を取
出ストッカ部２５に対向する位置に移送する動作を繰り
返す。

第３８図は移送バー１７３を往復動させるシリンダ１７
４を示している。このシリンダ１７４は、ローラ１７５
，１７５を介して移送バー１７３を移動可能に支持した
台１７６に同定されている。

第３９図、第４０図は移送バー１７３を昇降する昇降機
構１７７を示している。この昇降機構１７７は、リンク
機構１７８とこれを動作するシリンダ１７９とからなり
、該リンク機構１７８にビン１８０を介して台１７６が
連結されている。シリンダ１７９のピストンロッド１７
９ａが前進するとリンク機構１７８により台１７６が下
げられて移送バー１７３が下降し、またピストンロッド
１．７９ａが後退すると台１７６が上げられて移送バー
１７３が上昇する。

次にＣＤスタンド供給取出装置２３全体の動作を説明す
る。まず、第１工程では、供給側のスタンド受はプレー
ト１５８が前進し、また位置決めｖｉ１６９，１７０の
挟持固定が解除される０次いで、第２工程では、移送バ
ー１７３が上昇し、また供給側のスタンド支持プレート
１６ｏが上昇する０次いで、第３工程では、供給側のス
タンド受はプレート１５８が後退する０次いで、第４工
程では、移送バー１７３が第３５図の右側に移動し、ま
た供給側のスタンド支持プレート１６０が下降し、取出
側のスタンド支持プレート１６５が上昇する０次いで、
第５工程では、取出側のスタンド受はプレート１６４が
前進する０次いで、第６エ程では、移送バー１７３が下
降し、また取出側のスタンド支持プレート１６５が下降
する。この後、第７エ程では、移送バー１７３が第３５
図の左側に移動し、また取出側のスタンド受はプレート
１６４が後退し、位置決め板１６７．１７０の挟持固定
が行われる。

この第７エ程後、供給スタンド位置決め部１５５にロッ
クされたスタンド１４から蒸着前のディスク１がなくな
り、また取出スタンド位置決め部１５６にロックされた
スタンド１４に蒸着済みのディスク１が所定枚数積載さ
れたら、再び第１工程から繰り返される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の情報記録媒体の製造システ
ムによれば、蒸着カートの蒸着ホルダから外したマスク
ユニットを、循環ベースマシンによりディスク供給部、
マスクユニット脱着作業部、ディスク取８部を循環する
バレットに戴置し、またパレットからマスクユニットを
取出してこれを蒸着ホルダに取付けるだけですみ、ディ
スク、外周マスク、センタマスクの脱着は全て自動化さ
れているので、蒸着工程の処理能力を向上させることが
できると共に、省力化を図ることができる。

また、ディスク、外周マスク、センタマスクの脱着を手
作業でしなくてもすむから、ゴミが付着したり傷付けた
りすることがなく、蒸着歩留の向上を図ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造システムの一例を示す説明図、第
２図は同システムを実施する装置を示す斜視図、第３図
はスタンドの側面図、第４図は蒸着済みのディスクの平
面図、第５回はＶａ環ベースマシンの斜視図、第６図は
同循環ベースマシンのコーナ部を一部切欠して示した斜
視図、第７図はパレットの平面図、第８図、第９図は同
パレ７トの側面図、第１０図はパレットにマスクユニ７
トを載置した状態の一部切欠側面図、第１１図はセンタ
マスクをパレットのセンタマスクスタンドにセットした
状態の一部切欠側面図、第１２図はマスクユニットの分
解斜視図、第１３図は蒸着ホルダの斜視図、第１４図は
蒸着ホルダにセットされた状態のマスクユニットの部分
拡大断面図、第１５図は蒸着ホルダの側面図、第１６図
は同断面図、第１７図は同上面図、第１８図は外周マス
ク取外装置の正面図、第１９図は同平面図、第２０図は
静電ブロー装置の正面図、第２１図は同側面図、第２２
図はセンタマスク取外装置の正面図、第２３図は同側面
図、第２４図は同平面図、第２５図はディスク取出ハン
ド、ディスク供給ハンドの平面図、第２６図はディスク
取出ハンドの側面図、第２７図はディスク供給ハンドの
側面図、第２８はマスク取付装置の正面図、第２９図は
同平面図、第３０図は同装置のチャック機構の部分側面
図、第３１図は静電ブロー装置の側面図、第３２図は同
正面図、第３３図は移載装置の正丁図、第３４図は同平
面図、第３５図はＣＤスタンド供給取出装置の平面図、
第３６図は供給ス）−／カドの側面図、第３７図は同正
面図、第３８図は同装置の移送バーを移動させるシリン
ダの正面図、第３９図は同移送バーの昇降機構の正面図
、第４０図は同側面図である。 ■・・・ローディング工程、■・・・蒸着工程、■・・
・供給移送工程、■・・・取出移送工程、１・・・ディ
スク、３・・・ベースマシン、４・・・パレフ）、４ａ
ｔ４ｂ・・・載１部、５・・・蒸着ホルダ、６・・・マ
スクユニット、７・・・ディスクベース、８・・・セン
タマスク、９・・・外周マスク、１０・・・外周マスク
取外装置、１２・・・センタマスク取外装置、１３・・
・取出ハンド、１４・・・スタンド、１５・・・供給ハ
ンド、１６・・・マスク取付装置、２０・・・蒸着チャ
ツバ、２１・・・カート、２２・・・蒸着装置、２３・
・・ＣＤスタンド供給取出装置、Ａ・・・ディスク供給
部、Ｆ、、Ｆ！・・・マスクユニット脱着作業部、Ｋ・
・・ディスク取出部。第３図第４図第７図第８図４ソ　　　　　　　　　　　　　り第９図４　　　　　　　　゛第１０図第１１図第１８図第２０図第２５図第２６図第２７図第２８図第３０図第３３図１日第３４図旧

Claims

【特許請求の範囲】スクウェア循環ベースマシンによりディスク供給部、マ
スクユニット脱着作業部、ディスク取出部を循環するパ
レットを備え、マスクユニット脱着作業部で蒸着カート
の蒸着ホルダから外されてパレット上に移載されたマス
クユニット（蒸着済みのディスクをセンタマスクと外周
マスクによりディスクベース上に固定したもの）が該パ
レットによりディスク取出部にまで移送される間に、マ
スク取外装置によりディスクベースから外周マスク、セ
ンタマスクを取外してこれらマスクをパレット上に載置
し、ディスク取出部で蒸着済みのディスクをディスク取
出ハンドにより取出スタンドに移載する一方、ディスク
供給部でパレット上のディスクベースにディスク供給ハ
ンドにより供給スタンドから蒸着前の情報記録済みディ
スクを移載し、該パレットによりマスクユニット脱着作
業部にまで移送される間に、マスク取付装置によりパレ
ット上に載置されたセンタマスクと外周マスクをディス
クベースに装着して蒸着前のディスクを固定したマスク
ユニットを組立てるローディング工程と、前記蒸着カートを二台備え、蒸着チャンバより引出され
た一方の蒸着カートの蒸着ホルダからマスクユニットを
外して前記マスクユニット脱着作業部のパレットに移載
する一方、該パレットによって移送されたマスクユニッ
トを取出して蒸着ホルダにセットし、この作業の終了後
、蒸着チャンバ内の他方の蒸着カートと入れ換える蒸着
工程と、蒸着前の情報記録済みディスクを積載した供給
スタンドを前記ディスク供給部と対向する位置に移送す
る供給移送工程と、蒸着済みのディスクが所定枚数積載された取出スタンド
をストック部に移送する取出移送工程とからなることを
特徴とする情報記録媒体の製造システム。