JPS61111180A - Manufacture of polyimide-foil composite film - Google Patents

Manufacture of polyimide-foil composite film

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JPS61111180A
JPS61111180A JP23432084A JP23432084A JPS61111180A JP S61111180 A JPS61111180 A JP S61111180A JP 23432084 A JP23432084 A JP 23432084A JP 23432084 A JP23432084 A JP 23432084A JP S61111180 A JPS61111180 A JP S61111180A
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composite film
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foil
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Masanori Imai
正則 今井
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Abstract

PURPOSE:To manufacture the titled film without generating any curls by using an diamino compd. consisting essentially of DDBP and an aromatic tetracarboxylic acid compd. consisting essentially of 3,3',4,4'- biphenyltetracarboxylic acid dianhydride. CONSTITUTION:A polyimide precursor is obtained by allowing a diamino compd. contg. 80-99.9mol% (A) component, as in the following, and 0.1-10mol% (B) component to react with a tetracarboxylic acid compd. consisting essentially of (C) component. A soln. of said polyimide precursor in an org. polar solvent is coated on foil, and heated to form a polyimide thin film. (A) is 3,3'- dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, (B) is silicon diamine expressed by the formula (R1 is a methylene group, a phenylene group, etc., R2 is a methylene group, a phenylene group, etc., X is O, a phenylene group, etc., (n) is 1 when R1 is a phenylene group or a substituted phenylene group and 3 or 4 when R1 is a methylene group), and (C) is one of 3,3',4,4'-diphenyltetracarboxylic acid dianhydride and its derivative.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明はポリイミド−金属箔複合フィルムの製法に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] This invention relates to a method for producing a polyimide-metal foil composite film.

C背景技術〕 ポリイミドと金属箔とが積層されてなる複合フィルムは
電気回路板として有用である。この複合フィルムの製法
としては、■ポリイミドフィルムを接着剤を介して金属
箔と接着する方法、■ポリ〆        イミドフ
ィルムを金属箔上に熱融着する方法、■金属箔上にポリ
イミド前駆体の有機極性溶媒溶液を塗布し、乾燥したの
ちイミド化してポリイミド膜を形成する方法がある。
BACKGROUND ART A composite film formed by laminating polyimide and metal foil is useful as an electric circuit board. Methods for producing this composite film include: ■ bonding a polyimide film to metal foil via an adhesive; ■ heat-sealing a polyimide film onto metal foil; ■ applying organic There is a method in which a polar solvent solution is applied, dried, and then imidized to form a polyimide film.

これらの製法のうち、■および■の方法は、予めポリイ
ミド前駆体をフィルム化しなければならないため、工程
が複雑になるという欠点を有しており、特に■の方法で
は、それに加えて接着剤使用によるトラブルが生じると
いう問題を有している。これに対して、■の製法は、■
および■の方法のように予めフィルム化を行う必要がな
いため、工程が簡略化できるとともに薄い複合フィルム
を形成でき、また■の方法のように接着剤によるトラブ
ルがない等の利点を有する。しかしながら、この■の方
法では、金属箔上に直接ポリイミド膜を形成し接着剤を
用いないため、ポリイミド前駆体の組成によっては、生
成ポリイミド膜と金属箔との接着力が不充分となり、ポ
リイミド、−金属箔複合フィルムに対する回路パターン
形成時やハンダ処理時に、導体の浮き、剥離現象を生じ
不良の原因となるということが予想される。また、この
■の方法では、乾燥時やイミド化時において加熱したの
ち冷却する際に塗膜が収縮するため、この収縮に追随さ
せにくい金属箔との関係で、得られる複合フィルムにカ
ールが生じ回路加工に適用できなかったり加工時の取扱
い性が悪いという欠点がある。
Among these manufacturing methods, methods ① and ③ have the disadvantage that the process becomes complicated because the polyimide precursor must be formed into a film in advance, and method ③ in particular requires the use of an adhesive in addition to this. This has the problem of causing troubles due to On the other hand, the manufacturing method of ■ is
Since there is no need to form a film in advance as in method (1), the process can be simplified and a thin composite film can be formed, and there are no problems caused by adhesives as in method (2). However, in this method (2), the polyimide film is directly formed on the metal foil and no adhesive is used, so depending on the composition of the polyimide precursor, the adhesive force between the produced polyimide film and the metal foil may be insufficient, and the polyimide, - It is expected that during circuit pattern formation or soldering on a metal foil composite film, floating and peeling phenomena of the conductor may occur, causing defects. In addition, in method (2), the coating film shrinks when it is cooled after heating during drying or imidization, so the resulting composite film may curl due to the metal foil, which is difficult to follow this shrinkage. It has the disadvantage that it cannot be applied to circuit processing and is difficult to handle during processing.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明は、実質的にカールを生じることなく、かつポ
リイミド膜と金属箔とが強固に接合しているポリイミド
−金属箔複合フィルムを、予めポリイミドのフィルム化
を行わずに製造する方法の提供を目的とする。
The present invention provides a method for producing a polyimide-metal foil composite film in which a polyimide film and a metal foil are firmly bonded without substantially curling, without forming the polyimide into a film in advance. purpose.

〔発明の開示〕[Disclosure of the invention]

上記の目的を達成するため、この発明のポリイミド−金
属箔複合フィルムの製法は、下記の(A)成分80〜9
9.9モル%および(B)成分0.1〜10モル%を含
むジアミノ化合物と下記の(C)成分を主成分とするテ
トラカルボン酸化合物とを反応させて得られたポリイミ
ド前駆体の有機極性溶媒溶液を準備する工程と、上記ポ
リイミド前駆体の有機極性溶媒溶液を金属箔上に塗布す
る工程と、このポリイミド前駆体の有機極性溶媒溶液が
塗布された金属箔を固定状態で加熱処理してその金属箔
の箔面にポリイミド薄膜を形成する工程を備えている。
In order to achieve the above object, the method for producing the polyimide-metal foil composite film of the present invention includes the following component (A): 80 to 9
An organic polyimide precursor obtained by reacting a diamino compound containing 9.9 mol% and 0.1 to 10 mol% of component (B) with a tetracarboxylic acid compound whose main component is the following component (C). A step of preparing a polar solvent solution, a step of applying an organic polar solvent solution of the polyimide precursor onto a metal foil, and a heating treatment of the metal foil coated with the organic polar solvent solution of the polyimide precursor in a fixed state. The method includes a step of forming a polyimide thin film on the foil surface of the metal foil.

(A)3.3’−ジメチル−4,4” −ジアミノビフ
ェニル (B)一般式 %式% で表されるシリコン系のジアミン。
(A) 3,3'-dimethyl-4,4''-diaminobiphenyl (B) A silicone-based diamine represented by the general formula %.

(C)3.3’ 、4.4’  −ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物およびその誘導体の少なくとも一方。
(C) At least one of 3.3', 4.4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and its derivatives.

すなわち、この発明の方法は、ポリイミド膜形成用のジ
アミノ化合物として、上記のシリコン系ジアミンを0.
1〜10モル%含有しているものを用い、生成ポリイミ
ド膜中に上記シリコン系ジアミンから誘導される珪素原
子を導入するため、生成ポリイミド膜が金属箔に強固に
接合するようになる。そのうえ、ポリイミド膜形成用の
ジアミノ化合物およびテトラカルボン酸化合物として、
上記のような特定のジアミノ化合物とテトラカルボン酸
化合物とを用いるため、得られるポリイミド膜が、銅や
アルミニウム等からなる金属箔にほぼ近い線膨張係数を
有するようになる。しかも、この金属箔上に上記のポリ
イミド膜を形成するに際して、金属箔を固定した状態で
ポリイミド化用の加熱処理をするため、ポリイミド膜に
生じる応力が緩和されるようになり、この効果と、上記
線膨張係数近似効果とが相俟って、ポリイミド−金属箔
複合フィルムの長さ方向および幅方向の双方にI   
    カールが生じなくなる。
That is, in the method of the present invention, the above-mentioned silicon-based diamine is used as a diamino compound for forming a polyimide film at a concentration of 0.
Since silicon atoms derived from the silicon-based diamine are introduced into the polyimide film containing 1 to 10 mol%, the polyimide film is firmly bonded to the metal foil. Moreover, as diamino compounds and tetracarboxylic acid compounds for polyimide film formation,
Since the above-mentioned specific diamino compound and tetracarboxylic acid compound are used, the resulting polyimide film has a coefficient of linear expansion almost close to that of a metal foil made of copper, aluminum, or the like. Moreover, when forming the above-mentioned polyimide film on this metal foil, the heat treatment for polyimidization is performed with the metal foil fixed, so that the stress generated in the polyimide film is relaxed, and this effect and Coupled with the linear expansion coefficient approximation effect described above, the I
Curls will no longer form.

この発明の方法におけるポリイミド前駆体(ポリイミド
i*>形成用のジアミノ化合物は、3.3′−ジメチル
−4,4° −ジアミノビフェニル(以下rDDBPJ
と略す)を80〜99.9モル%および前記一般式で表
されるシリコン系ジアミンヲ0.1〜10モル%含み、
残余にその他の7ジアミンを含有するものである。
The diamino compound for forming the polyimide precursor (polyimide i*) in the method of this invention is 3,3'-dimethyl-4,4°-diaminobiphenyl (rDDBPJ).
) containing 80 to 99.9 mol% and 0.1 to 10 mol% of silicone diamine represented by the above general formula,
The remainder contains other 7 diamines.

DDBPの割合が少なすぎると、銅やアルミニウム等か
らなる金属箔とポリイミド膜との線膨張係数の差が大き
くなるため好ましくない。
If the proportion of DDBP is too small, the difference in linear expansion coefficient between the metal foil made of copper, aluminum, etc. and the polyimide film becomes large, which is not preferable.

また、上記シリコン系ジアミンの割合は上記のように0
.1〜10モル%の範囲内に設定する必要があり、好ま
しい範囲は2〜7モル%である。すなわち、シリコン系
ジアミンが0.1モル%未満になると、金属箔に対する
接合性ないし密着性改善効果が得られなくなり、逆に1
0モル%を超えると、ポリイミド膜の吸湿率や耐熱性等
の特性の低下を招いたり、線膨張係数の増大を招いたり
するからである。
In addition, the proportion of the silicone diamine is 0 as described above.
.. It needs to be set within the range of 1 to 10 mol%, and the preferred range is 2 to 7 mol%. In other words, if the silicon-based diamine is less than 0.1 mol%, the effect of improving bonding or adhesion to metal foil cannot be obtained;
This is because if it exceeds 0 mol %, the moisture absorption rate, heat resistance, and other properties of the polyimide film will be lowered, or the coefficient of linear expansion will be increased.

このようなシリコン系ジアミンを具体的に例示すると、
つぎのとおりである。
Specific examples of such silicon-based diamines include:
It is as follows.

CI、   Cl5 C,H,C,I(。CI, Cl5 C, H, C, I (.

C,Hj−C,)lJ− CH,CH。C,Hj-C,)lJ- CH, CH.

上記のその他のジアミンとしては、4.4’  −ジア
ミノジフェニルエーテル、4,4° −ジアミ蒐 ノジフエ、ニルメタン、4.4’  −ジアミノジフェ
ニルスルホン、3.3” −ジアミノジフェニルスルホ
ン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン
、4,4゛ −ジアミノジフェニルプロパン、1.5−
ジアミノナフタリン、2.6−ジアミノナフタリン、4
.4’  −ジアミノジフェニルスルフィド、4,4゛
 −ジ(m−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン、
3.3″−ジ(m −アミノフェノキシ)ジフェニルス
ルホン、4.4゛−ジ(m−アミノフェノキシ)ジフェ
ニルプロパン等があげられ、これらのうちの1種または
2種以上が適宜使用される。また、ジアミノシロキサン
を数モル%程度用いてもよい。
Other diamines mentioned above include 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, nilmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3.3"-diaminodiphenylsulfone, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4゛-diaminodiphenylpropane, 1.5-
Diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 4
.. 4'-diaminodiphenylsulfide, 4,4'-di(m-aminophenoxy)diphenylsulfone,
Examples include 3.3''-di(m-aminophenoxy)diphenylsulfone, 4.4''-di(m-aminophenoxy)diphenylpropane, and one or more of these may be used as appropriate. Moreover, about several mol% of diaminosiloxane may be used.

この発明におけるポリイミド前駆体形成用のテトラカル
ボン酸化合物は、3.3’、4.4° −ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物ないしはその酸ハロゲン化物、
ジエステル、モノエステル等の誘導体を主成分とするも
のである。ここで主成分とするとは、全体が主成分のみ
からなる場合も含まれるものである。しかし、通常はこ
の二無水物ないしはその誘導体を70モル%以上、その
他の芳香族テトラカルボン酸二無水物ないしはその酸ハ
ロゲン化物、ジエステル、モノエステル等の誘導体を3
0モル%以下の割合で含むものが用いられる。3,3°
 、4.4’  −ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物ないしはその誘導体の割合が少なすぎると、銅やアル
ミニウム等からなる金属箔とポリイミド膜との線膨張係
数の差が大きくなるかあるいは膜強度が極端に低下する
等の不都合を生じるため好ましくない。
The tetracarboxylic acid compound for forming the polyimide precursor in this invention is 3.3',4.4°-biphenyltetracarboxylic dianhydride or its acid halide;
The main component is a derivative such as diester or monoester. Here, the term "main component" includes the case where the whole consists of only the main component. However, usually 70 mol% or more of this dianhydride or its derivatives and 3% or more of other aromatic tetracarboxylic dianhydrides or their derivatives such as acid halides, diesters, and monoesters are used.
Those containing 0 mol% or less are used. 3,3°
If the proportion of 4.4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride or its derivatives is too small, the difference in linear expansion coefficient between the metal foil made of copper, aluminum, etc. and the polyimide film will become large, or the film strength will become extremely high. This is not preferable because it causes inconveniences such as a decrease in the temperature.

上記のその他の芳香族テトラカルボン酸二無水物ないし
はその誘導体としては、ピロメリット酸二無水物、3.
3’ 、4.4’ −ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物、2,3,6.7−すl        フタ
リンテトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物ないしは
その誘導体があげられ、これらのうちの1種または2種
以上が適宜使用される。なお、これらの中でも特にピロ
メリット酸二無水物ないしはその誘導体、3.3′、 
 4. 4’  −ベンゾフェノンテトラカルボン酸二
無水物ないしはその誘導体が実用される。その理由は、
これらあテトラカルボン酸化合物は、これ単独で前記特
定のジアミノ化合物と反応させても膜強度に優れるポリ
イミド膜を生成しにくいが、線膨張係数の低下には好ま
しい結果を与え、カール防止というこの発明の目的達成
に寄与するようになるからである。
Examples of the above-mentioned other aromatic tetracarboxylic dianhydrides or derivatives thereof include pyromellitic dianhydride, 3.
Acid dianhydrides such as 3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6.7-sl phthaline tetracarboxylic dianhydride or derivatives thereof are mentioned; One or more of these may be used as appropriate. Among these, pyromellitic dianhydride or its derivatives, 3.3',
4. 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride or its derivatives are used in practical use. The reason is,
These tetracarboxylic acid compounds are difficult to produce a polyimide film with excellent film strength even if they are reacted alone with the specific diamino compound, but they give favorable results in reducing the coefficient of linear expansion, and this invention aims to prevent curling. This is because it will contribute to achieving the objectives of

上記のジアミノ化合物とテトラカルボン酸化合物を反応
させてポリイミド前駆体を得るためには、これら再化合
物を略等モル、有機極性溶媒中において通常O〜90℃
で1〜24時間反応させポリアミド酸等のポリイミド前
駆体とすることが行われる。
In order to obtain a polyimide precursor by reacting the above-mentioned diamino compound and tetracarboxylic acid compound, these re-compounds are mixed in approximately equimolar amounts in an organic polar solvent at usually 0 to 90°C.
The mixture is reacted for 1 to 24 hours to form a polyimide precursor such as polyamic acid.

上記の有機極性溶媒としては、N−メチル−2−ピロリ
ドン、N、N−ジメチルアセトアマイド、N、N−ジメ
チルホルムアマイド、ジメチルスルホキシド、ジメチル
ホスホアマイド、m−クレゾール、p−クレゾール、p
−クロルフェノール等があげられる。また、これにキシ
レン、トルエン、ヘキサン、ナフサ等を一部混合しても
よい。
The above organic polar solvents include N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, dimethylphosphoamide, m-cresol, p-cresol, p-cresol, and p-cresol.
- Examples include chlorophenol. Further, a portion of xylene, toluene, hexane, naphtha, etc. may be mixed therein.

このようにして得られるポリイミド前駆体の有機極性溶
媒溶液は、その対数粘度(N−メチル−2−ピロリドン
中0.5g/100mnの濃度で30°C下で測定)が
0.4〜7.0の範囲にあるのが好・ましい。より好ま
しいのは1.5〜3.0の範囲内である。この値が小さ
すぎると、得られるポリイミド膜の機械的強度が低くな
り好ましくない。また、この値が大きすぎると金属箔に
対する塗布作業性が低くなり好ましくない。
The organic polar solvent solution of the polyimide precursor thus obtained has a logarithmic viscosity (measured at 30°C at a concentration of 0.5 g/100 mn in N-methyl-2-pyrrolidone) of 0.4 to 7. It is preferable that it is in the range of 0. More preferably, it is within the range of 1.5 to 3.0. If this value is too small, the resulting polyimide film will have a low mechanical strength, which is not preferable. Moreover, if this value is too large, the coating workability on metal foil will be lowered, which is not preferable.

この発明は、上記のようにして得られたポリイミド前駆
体の有機極性溶媒溶液を用い、例えばつぎのようにして
ポリイミド−金属箔複合フィルムを製造する。すなわち
、まず、上記のポリイミド前駆体の有機極性溶媒/8液
を80℃以下の温度に加温して粘度を低下させ、その状
態で厚みが1〜′500μm、好ましくは10〜100
μm、特に好ましくは20〜50μmの金属箔上にアプ
リケータ等の適宜の手段で流延塗布する。この場合、上
記金属箔の厚みが1μm未満であると、カール発生の防
止効果が小さくなり、また用途上の問題等が生じる恐れ
があり、逆に500μmを超えると複合フィルムが柔軟
性に欠は電気回路板等の用途に、あまりふされしくなく
なる。したがって、使用する金属箔は、厚みが1〜50
0μmの範囲内のものが好ましい。
In the present invention, a polyimide-metal foil composite film is produced, for example, in the following manner using the organic polar solvent solution of the polyimide precursor obtained as described above. That is, first, the organic polar solvent/8 solution of the polyimide precursor is heated to a temperature of 80°C or less to lower the viscosity, and in that state, the thickness is 1 to 500 μm, preferably 10 to 100 μm.
It is cast onto a metal foil having a thickness of .mu.m, preferably 20 to 50 .mu.m, using an appropriate means such as an applicator. In this case, if the thickness of the metal foil is less than 1 μm, the effect of preventing curling will be reduced and problems may arise in the application, while if it exceeds 500 μm, the composite film will lack flexibility. It becomes less suitable for applications such as electrical circuit boards. Therefore, the metal foil used has a thickness of 1 to 50 mm.
Preferably, the thickness is within the range of 0 μm.

金属箔の種類としては銅箔、アルミニウム箔またはステ
ンレス箔が好ましく、その他、前記厚みををする銀、鉄
2ニッケルとクロムとの合金等、各種材質からなるもの
を用いることができる。前記ポリイミド前駆体溶液を塗
布する際のこれら金属箔の長さは特に規制されない。し
かし、幅は実用上20〜200cm程度である。もらろ
ん、上記範囲を逸脱しても差し支えない。また上記広幅
の金属箔を用いて得られた複合フィルムを最終工程にお
いて所定幅に裁断して使用に供してもよいことはいうま
でもない。
As for the type of metal foil, copper foil, aluminum foil or stainless steel foil is preferable, and in addition, those made of various materials such as silver having the thickness mentioned above, alloy of iron 2 nickel and chromium can be used. The length of these metal foils when applying the polyimide precursor solution is not particularly limited. However, the width is practically about 20 to 200 cm. Of course, you may deviate from the above range. It goes without saying that the composite film obtained using the wide metal foil described above may be cut into a predetermined width in the final step and used.

なお、前記のようにして得られたポリイミド前駆体の有
機極性溶媒溶液を必要に応じて有機極性溶媒でさらに希
釈してもよい。この場合の希釈用有機極性溶媒としては
、それぞれのポリイミド前駆体の重合反応時に使用した
ものを使用できる。
Note that the organic polar solvent solution of the polyimide precursor obtained as described above may be further diluted with an organic polar solvent as necessary. As the organic polar solvent for dilution in this case, those used during the polymerization reaction of each polyimide precursor can be used.

また、上記溶液中のポリイミド前駆体の濃度は10〜2
0重量%程度に設定することが好ましい。
In addition, the concentration of the polyimide precursor in the above solution is 10 to 2
It is preferable to set it to about 0% by weight.

この濃度が低すぎるとポリイミド膜の表面が荒れやすく
、逆に高くなりすぎると粘度が高くなって塗布作業性が
損なわれるようになる。この溶液の粘度は、塗布作業性
の面から一般的には加温塗布時の粘度で、5000ボイ
ズ以下とすることが好ましい。
If this concentration is too low, the surface of the polyimide film is likely to become rough, while if it is too high, the viscosity will increase and the coating workability will be impaired. From the viewpoint of coating workability, the viscosity of this solution is generally preferably 5000 voids or less, which is the viscosity at the time of hot coating.

つぎに、溶液塗布後、上記の金属箔を固定した状態で加
熱処理する。この加熱処理は、通常、100〜230℃
で30分〜2時間程度加熱乾燥して溶媒を除去したのち
、さらに昇温し最終的に230〜600℃の温度で1分
〜6時間、好ましくは形成されるポリイミドのガラス転
移温度付近のt       温度、すなわち250〜
350℃の温度で、10分〜6時間加熱処理してイミド
化反応を完全に行わせるとともに、上記の溶媒除去およ
びイミド化時に塗膜に生じる応力を緩和する。
Next, after applying the solution, the metal foil is heat-treated in a fixed state. This heat treatment is usually performed at 100 to 230°C.
After drying by heating for about 30 minutes to 2 hours to remove the solvent, the temperature is further raised and finally at a temperature of 230 to 600°C for 1 minute to 6 hours, preferably at t near the glass transition temperature of the polyimide to be formed. temperature, i.e. 250~
Heat treatment is carried out at a temperature of 350° C. for 10 minutes to 6 hours to completely carry out the imidization reaction and to relieve stress generated in the coating film during the above-mentioned solvent removal and imidization.

なお、上記加熱処理を230℃未満の温度で行うと応力
緩和が不充分となり、得られる複合フイ〜 ルムにカールが生じやすくなる。逆に600℃を超える
温度で行うとポリイミドが分解するため好ましくない。
Note that if the above heat treatment is performed at a temperature below 230°C, stress relaxation will be insufficient and the resulting composite film will tend to curl. On the other hand, if it is carried out at a temperature exceeding 600°C, the polyimide will decompose, which is not preferable.

このようなポリイミドの分解を防ぐ意味から、600℃
以下の加熱温度であっても、350℃を超える温度では
、加熱時間を10分未満とすることが好ましい。
To prevent such decomposition of polyimide, the temperature is 600℃.
Even if the heating temperature is below, if the temperature exceeds 350°C, the heating time is preferably less than 10 minutes.

このような加熱処理は、前記のようにポリイミド前駆体
溶液が塗布された金属箔を固定した状態で行われる。こ
の固定方法としては、上記金属箔をガラス板上等にポリ
イミドテープ等を用い、て平板状に固定したり、金属箔
の長さ方向両端部をロールに巻き付けて固定する等のよ
うに、金属箔の長さ、大きさに応じてその幅方向および
長さ方向ともに実質的に固定しうる種々の方法をとるこ
とができる。
Such heat treatment is performed while the metal foil coated with the polyimide precursor solution is fixed as described above. This fixing method includes fixing the above-mentioned metal foil on a glass plate etc. using polyimide tape etc. in a flat plate shape, or wrapping both lengthwise ends of the metal foil around a roll. Depending on the length and size of the foil, various methods can be used to substantially fix the foil in both the width and length directions.

このようにして加熱処理したのち室温まで冷却する。上
記固定は、高温加熱処理後であればいつ解除してもよい
が、室温まで冷却したのち解除することが望ましい。
After the heat treatment in this manner, it is cooled to room temperature. The above-mentioned fixation may be released at any time after the high-temperature heat treatment, but it is preferable to release the fixation after cooling to room temperature.

このような一連の工程を経て金属箔上に、応力緩和がな
されたポリイミド膜が形成される。この場合、ポリイミ
ド膜の厚みを5〜200μmに設定することが好ましい
。より好ましくは10〜100μmであり、最も好まし
いのは10〜50μmである。この厚みが5μm未満に
なるとフィルム特性が悪(なり、逆に200μmを超え
るとカール防止効果が小さくなるとともに可撓性に欠け
るようになり電気回路板等の用途にあまりふされしくな
くなる。したがって、ポリイミド膜の厚みは5〜200
μmに設定することが好ましい。
Through this series of steps, a stress-relaxed polyimide film is formed on the metal foil. In this case, it is preferable to set the thickness of the polyimide film to 5 to 200 μm. More preferably, it is 10 to 100 μm, and most preferably 10 to 50 μm. If the thickness is less than 5 μm, the film properties will be poor (on the contrary, if it exceeds 200 μm, the anti-curl effect will be reduced and the flexibility will be lacking, making it less suitable for applications such as electrical circuit boards. The thickness of the polyimide film is 5 to 200 mm.
It is preferable to set it to μm.

上記ポリイミド膜は一般に、50〜250℃における平
均線膨張係数が1.2 X 10 ’〜2.9 X 1
o−’ycの範囲にあるが、場合によっては上記値より
もさらに小さい平均線膨張係数にすることも可能である
。これに対して上記と同じ温度範囲にある金属箔、例え
ば1〜500μm厚の金属箔の平均線膨張係数は、銅箔
では1.5X10−’〜1.7×10=、!Hの範囲に
あり、またアルミニウム箔では2.4 X 10’ 〜
2.6 X 109iの範囲にある。
The polyimide film generally has an average linear expansion coefficient of 1.2 x 10' to 2.9 x 1 at 50 to 250°C.
The average linear expansion coefficient is within the range of o-'yc, but depending on the case, it is possible to set the average linear expansion coefficient to be even smaller than the above value. On the other hand, the average linear expansion coefficient of a metal foil in the same temperature range as above, for example, a metal foil with a thickness of 1 to 500 μm, is 1.5×10−′ to 1.7×10=,! H, and for aluminum foil it is 2.4 x 10'~
It is in the range of 2.6 x 109i.

このように、この発明においては上記ポリイミド膜のポ
リマー組成を前記特定範囲内で適宜設定し、かつポリイ
ミド膜および金属箔の厚みを上記範囲に設定することに
より、ポリイミド膜と金属箔との平均線膨張係数の差を
0.3X10’M以内に抑えることができるという特徴
を有している。
As described above, in this invention, by appropriately setting the polymer composition of the polyimide film within the above-mentioned specific range and setting the thickness of the polyimide film and the metal foil within the above-mentioned range, the average line between the polyimide film and the metal foil can be adjusted. It has the characteristic that the difference in expansion coefficient can be suppressed to within 0.3×10'M.

なお、この明細書において、線膨張係数とは、温度Tに
おいて長さlの材料が、温度が1°C変化したとき長さ
がΔlだけ変化したとすると、Δ2/lで示されるもの
であり、また平均線膨張係数とは一定温度範囲における
上記線膨張係数の平均値として示されるものである。そ
して、この線膨張係数の測定は、複合フィルムを長さ2
5關9幅3鶴に切断した試験片につき、長さ方向の一端
を上方にして固定し、チャック間距離10關において下
端に15g/m■2の荷重を加えた状態で窒素ガス雰囲
気中10’C/分の昇温速度で温度変化を与え、このと
きの上記Δ1/Itを求めることにより行われる。
In this specification, the coefficient of linear expansion is expressed as Δ2/l, assuming that a material of length l at temperature T changes in length by Δl when the temperature changes by 1°C. , and the average linear expansion coefficient is expressed as the average value of the above-mentioned linear expansion coefficients within a certain temperature range. To measure this coefficient of linear expansion, the composite film is measured with a length of 2
A test piece cut into 5 squares, 9 widths, and 3 squares was fixed with one lengthwise end facing upward, and a load of 15 g/m2 was applied to the lower end at a chuck distance of 10 squares in a nitrogen gas atmosphere for 10 minutes. This is done by changing the temperature at a heating rate of 'C/min and determining the above Δ1/It at this time.

上記のようにして得られるポリイミド−金属箔複合フィ
ルムは、幅方向および長さ方向ともに曲率半径が25c
ffi以上で実質的にカールのない優れたものである。
The polyimide-metal foil composite film obtained as described above has a radius of curvature of 25 cm in both the width and length directions.
It is an excellent product with a ffi or higher and virtually no curl.

すなわち、上記複合フィルムは、通常曲率半径が50c
m以上、好適には■であるような実質的にカールのない
優れたものである。しかも上記複合フィルムは、耐熱性
、耐薬品性、耐久性、可撓性に優れるとともに、ポリイ
ミド膜と金属箔との接合状態も優れているため、プリン
ト配線基板、フレキシブルプリント配線基板、多層配線
基板、振動板等の用途に好適である。
That is, the composite film usually has a radius of curvature of 50c.
M or more, preferably ■, which is excellent and has substantially no curl. In addition, the above composite film has excellent heat resistance, chemical resistance, durability, and flexibility, and also has excellent bonding conditions between the polyimide film and metal foil, so it can be used in printed wiring boards, flexible printed wiring boards, multilayer wiring boards, etc. , suitable for use as diaphragms, etc.

なお、上記曲率半径とは、図面に示すように、金属箔1
とポリイミド膜2とからなる複合フィルム3を長さ10
cm、幅10cIIIのlQcm角に切断した試験片に
つき、この試験片が幅方向(ないし長さ方向)にカール
したときの曲率の程度を中心Pl        から
の半径rで表したものである。そして、この曲率半径r
は、カール状態での幅方向(ないし長さ方向)の長さを
31幅方向(ないし長さ方向)両端を結ぶ水平線Mに中
心Pから垂線Nを下ろしたときの交点Rより上記垂線N
の延長線上にあるフィルム中央部までの長さをhとした
とき、h≧rのときはこのrを実測することにより、ま
たhくrのときは便宜的に上記a値とh値とを実測して
下記の式より算出することができる。
Note that the radius of curvature mentioned above refers to the metal foil 1 as shown in the drawing.
A composite film 3 consisting of a polyimide film 2 and a length 10
The degree of curvature when this test piece is curled in the width direction (or length direction) is expressed by the radius r from the center Pl for a test piece cut into a square lQcm square with a width of 10cm and a width of 10cIII. And this radius of curvature r
The length in the width direction (or length direction) in the curled state is 31. When the perpendicular line N is drawn from the center P to the horizontal line M connecting both ends in the width direction (or length direction), the above perpendicular line N is calculated from the intersection R.
When h is the length to the center of the film on the extension line of It can be calculated by actual measurement using the following formula.

r” = (r−h)” + (ia) 2r2=r’
 −2rh+h” 十1a22r h=h2+ia” r=士り十士・r 上記のようにして得られるポリイミド−金属箔複合フィ
ルムは、herの関係にあって、特にhが小さいことに
より、r=25cn+以上であって好適には閃であるよ
うな実質的にカールを有しないものである。また、この
複合フィルムは、これを50〜270℃の熱が加わる加
工処理に供しても、その冷却後に実質的なカールがおこ
らないという利点を有しており、この点で上記各種用途
へ通用する際の取扱性2寸法安定性に優れるという特徴
をも備えている。
r" = (r-h)" + (ia) 2r2=r'
-2rh+h" 11a22r h=h2+ia" r=Shirijushi・r The polyimide-metal foil composite film obtained as described above has a relationship of her, and in particular, because h is small, r=25cn+ or more and preferably has substantially no curls such as frizz. Additionally, this composite film has the advantage that it does not substantially curl after cooling even if it is subjected to a processing treatment that applies heat at 50 to 270°C, and in this respect it is suitable for the various uses listed above. It is also characterized by excellent handling properties and two-dimensional stability.

なお、上記の説明では、金属箔を、ポリイミド前駆体溶
液を塗布したのち固定して加熱処理しているが、予め金
属箔を固定しておき、これにポリイミド前駆体溶液を塗
布し加熱処理してもよいことはいうまでもない。
In the above explanation, the metal foil is coated with a polyimide precursor solution and then fixed and heat-treated. Needless to say, it is okay.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明のポリイミド−金属箔複合フィ
ルムの製法は、ポリイミド膜形成用のジアミノ化合物お
よびテトラカルボン酸化合物として、DDBPを主成分
とするジアミノ化合物と3.3’、4.4’  −ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物またはその誘導体を主
成分とする芳香族テトラカルボン酸化合物とを用いるこ
とにより、金属箔上に、その金属箔とほぼ近似した線膨
張係数を有するポリイミド膜を形成しうる。しがも、そ
のポリイミド膜加熱形成時に、金属箔を固定した状態に
しておくため、ポリイミド膜に生じる応力が緩和される
。これらの相乗効果により得られるポリイミド−金属箔
複合フィルムに、長さ方向および幅方向の双方にカール
が生じなくなる。そのうえ、この発明は、上記ジアミノ
化合物に、前記一般式で表されるシリコン系ジアミンを
0.1〜10モル%含有させるため、生成ポリイミド膜
中に上記シリコン系ジアミンから誘導される珪素原子が
導入されるようになり、それによって生成ポリイミド膜
が金属箔に強固に接合するようになる。その結果、ポリ
イミド−金属箔複合フィルムに対する回路パターン形成
時に、導体の浮き、剥離現象が生じなくなり、それらに
起因する不良の発生が著しく低減するようになるのであ
る。
As described above, the method for producing a polyimide-metal foil composite film of the present invention uses a diamino compound containing DDBP as a main component and 3.3', 4.4' as the diamino compound and tetracarboxylic acid compound for forming a polyimide film. - By using an aromatic tetracarboxylic acid compound whose main component is biphenyltetracarboxylic dianhydride or its derivative, a polyimide film having a coefficient of linear expansion almost similar to that of the metal foil is formed on the metal foil. sell. However, since the metal foil is kept in a fixed state when the polyimide film is heated and formed, stress generated in the polyimide film is alleviated. Due to these synergistic effects, the resulting polyimide-metal foil composite film does not curl in both the length and width directions. Moreover, in order to make the diamino compound contain 0.1 to 10 mol% of silicon diamine represented by the general formula, silicon atoms derived from the silicon diamine are introduced into the resulting polyimide film. As a result, the produced polyimide film is firmly bonded to the metal foil. As a result, during the formation of a circuit pattern on a polyimide-metal foil composite film, floating and peeling phenomena of the conductor do not occur, and the occurrence of defects caused by these is significantly reduced.

この発明の方法によって得られる複合フィルムは、上記
のようにポリイミド膜と金属箔とが強固に接合しており
、かつ実質的にカールを生じないため、これを電気回路
板作製のための基板として支障な(適用でき、また回路
加工時の取扱性に優れるという利点を有している。しか
も得られる電気回路板は温度変化によってカールを生じ
にくいという特徴をも有しており、この点で寸法安定性
の優れたものとなる。この複合フィルムの応用の具体例
として、苛酷な温度変化条件下で使用される太陽電池用
基板、ハイブリツl−IC用基板、太陽熱温水器集熱板
等への応用があげら゛れる。
The composite film obtained by the method of this invention has the polyimide film and the metal foil firmly bonded together as described above, and substantially does not curl, so it can be used as a substrate for producing electric circuit boards. It also has the advantage of being easy to handle during circuit processing.Furthermore, the resulting electrical circuit board has the characteristic that it is less prone to curling due to temperature changes, and in this respect, it has the advantage of being easy to handle during circuit processing. It has excellent stability. Specific examples of applications of this composite film include substrates for solar cells used under severe temperature change conditions, substrates for hybrid l-ICs, and heat collector plates for solar water heaters. There are many applications.

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。Next, examples will be described together with comparative examples.

なお、以下における曲率半径および平均線膨張係数は各
実施例および比較例において作製した複合フィルムを前
記各試験片の大きさに切断し、これを用いて前記方法に
て測定ないし算出したものである。ただし、上記曲率半
径は10cm角の長さ方向および幅方向(縦横)の双方
についての測定値であり、両値は実質的に同じであるこ
とを意味する。
The radius of curvature and average coefficient of linear expansion in the following are measured or calculated using the method described above by cutting the composite film produced in each example and comparative example to the size of each test piece. . However, the radius of curvature is a value measured in both the length direction and the width direction (length and width) of a 10 cm square, and means that both values are substantially the same.

〔実施例1〕 500mlのフラスコにDDEP20.2g (0゜0
95モル)および前記構造式(イ)で示されるビス(3
−アミノプロピル)テトラメチルジシロI      
 キサン1.24 g (0,005モル)ならびにN
−メチル−2−ピロリドン(以下rNMPJと略す)2
10gを入れて混合しジアミンを熔解させた。
[Example 1] 20.2 g of DDEP (0°0
95 mol) and bis(3
-aminopropyl)tetramethyldisilo I
1.24 g (0,005 mol) of xane and N
-Methyl-2-pyrrolidone (hereinafter abbreviated as rNMPJ) 2
10 g was added and mixed to dissolve the diamine.

つぎに、この系を攪拌しながら3.3°、4,4゛ −
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物29.4g(0,
1モル)を徐々に加えた。この間、反応系の温度が30
℃以上にならないように氷水で冷却した。その後2時間
攪拌して19.5重量%(以下「%」と略す)濃度のポ
リアミド酸のNMP熔液を得た。このポリアミド酸の対
数粘度(NMP中0.5g/100mj!の遜度で30
℃下で測定)は1.83であった。また、このNMP熔
液の粘度は3510ポイズ(30℃)であった。
Next, while stirring this system, 3.3°, 4,4゛ −
Biphenyltetracarboxylic dianhydride 29.4g (0,
1 mol) was added gradually. During this time, the temperature of the reaction system was 30
It was cooled with ice water so that the temperature did not exceed ℃. Thereafter, the mixture was stirred for 2 hours to obtain an NMP melt of polyamic acid having a concentration of 19.5% by weight (hereinafter abbreviated as "%"). The logarithmic viscosity of this polyamic acid (30 with a degree of 0.5 g/100 mj in NMP)
℃) was 1.83. Further, the viscosity of this NMP melt was 3510 poise (30°C).

このポリアミド酸のNMP溶液を予め加温して粘度を1
000ポイズ以下に下げ、これを、縦30cffi×横
20cmのガラス板上にその全周がポリイミドフィルム
で固定された35μm厚の銅箔(寸法は上記ガラス板と
同じ)上にアプリケータにより流延し、150℃で30
分、200℃で60分加熱し、さらに280℃で2時間
加熱した。その後室温まで冷却し、銅箔の固定を解除し
ポリイミド−金属箔複合フィルムを得た。得られたポリ
イミド−銅箔複合フィルムは、ポリイミド塗膜の厚みが
25μmで、曲率半径が75cmであり実質的にカール
のないものであった。
This NMP solution of polyamic acid was heated in advance to reduce the viscosity to 1.
000 poise or less, and cast this using an applicator onto a 35 μm thick copper foil (dimensions are the same as the above glass plate) whose entire circumference was fixed with a polyimide film on a glass plate measuring 30 cffi length x 20 cm width. 30 at 150℃
The mixture was heated at 200°C for 60 minutes, and further heated at 280°C for 2 hours. Thereafter, it was cooled to room temperature, and the fixation of the copper foil was released to obtain a polyimide-metal foil composite film. The resulting polyimide-copper foil composite film had a polyimide coating thickness of 25 μm, a radius of curvature of 75 cm, and was substantially curl-free.

また、この複合フィルムにおけるポリイミド膜と銅箔と
の90”剥離強度は常態で2.20kg/10flであ
り、260℃のハンダ浴に30秒間浸漬後の90°剥離
強度は2.161qr/Lowであった。
In addition, the 90" peel strength between the polyimide film and the copper foil in this composite film is 2.20 kg/10 fl under normal conditions, and the 90 degree peel strength after immersing it in a 260°C solder bath for 30 seconds is 2.161 qr/Low. there were.

この複合フィルムにおけるポリイミド膜の線膨張係数を
熱機械的分析装置(以下rTMAjと略す)で測定した
ところ50〜250℃の平均線膨張係数が1.68x1
0−’、l’iであり、同じ温度範囲における銅箔の平
均線膨張係数(1,60X10−’h)とほぼ等しかっ
た。
The linear expansion coefficient of the polyimide membrane in this composite film was measured using a thermomechanical analyzer (hereinafter referred to as rTMAj), and the average linear expansion coefficient between 50 and 250°C was 1.68x1.
0-', l'i, which was almost equal to the average linear expansion coefficient (1,60×10-'h) of copper foil in the same temperature range.

〔比較例1〕 実施例1におけるDDBPに代えて、4.4゛−ジアミ
ノジフェニルエーテル20.0g(0,1モル)を用い
た。それ以外は実施例1と同様にして19.0%濃度の
ポリアミド酸のNMP溶液を得た。このポリアミド酸の
対数粘度(NMP中0.5g/ 100 m 12の濃
度で30℃下で測定)は2.12であり、このNMP熔
液の粘度は2.040ボイズ(30℃)であった。
[Comparative Example 1] In place of DDBP in Example 1, 20.0 g (0.1 mol) of 4.4'-diaminodiphenyl ether was used. Other than that, the procedure was the same as in Example 1 to obtain an NMP solution of polyamic acid having a concentration of 19.0%. The logarithmic viscosity of this polyamic acid (measured at 30 °C at a concentration of 0.5 g/100 m in NMP) was 2.12, and the viscosity of this NMP solution was 2.040 voids (at 30 °C). .

このポリアミド酸のN M P /8液を、実施例1と
同じ大きさのガラス板上に実施例1と同様にして固定さ
れた35μm厚の銅箔(寸法はガラス板と・同じ)上に
、実施例1と同様の手段で流延し、さらに実施例1と同
様の条件で加熱したのち室温まで冷却し、銅箔の固定を
解除した。得られたポリイミド−金属箔複合フィルムに
おけるポリイミド膜の厚みは28μmで、この複合フィ
ルムの曲率半径は0.8 cmでありカールが大きかっ
た。
This N M P /8 solution of polyamic acid was placed on a 35 μm thick copper foil (the dimensions are the same as the glass plate) fixed in the same manner as in Example 1 on a glass plate of the same size as in Example 1. The copper foil was cast by the same means as in Example 1, heated under the same conditions as in Example 1, and then cooled to room temperature to release the copper foil. The thickness of the polyimide film in the obtained polyimide-metal foil composite film was 28 μm, the radius of curvature of this composite film was 0.8 cm, and the curl was large.

この複合フィルムにおけるポリイミド膜のTMAにより
測定した50〜250℃における平均線膨張係数は3.
4X10−’)’Cであり、同じ温度範囲における銅箔
の平均線膨張係数に比べて大きかった。さらにポリイミ
ド膜と銅箔との90°剥離強度を測定したところ1.0
5kg/ 10x■で、電気回路板としてはやや不充分
な値であった。
The average linear expansion coefficient of the polyimide membrane in this composite film at 50 to 250°C measured by TMA is 3.
4X10-')'C, which was larger than the average linear expansion coefficient of copper foil in the same temperature range. Furthermore, the 90° peel strength between the polyimide film and copper foil was measured and was 1.0.
The weight was 5 kg/10x■, which was a somewhat insufficient value for an electric circuit board.

〔実施例2〜5〕 500mj+のフラスコにNMPと後記の第1表に示す
ジアミノ化合物とを入れてジアミノ化合物を溶解した。
[Examples 2 to 5] NMP and the diamino compounds shown in Table 1 below were placed in a 500mj+ flask to dissolve the diamino compounds.

この場合NMPの使用量は、ジアミノ化合物および後記
の芳香族テトラカルボン酸化合物の七ツマー仕込み濃度
が15%となるように設定した。
In this case, the amount of NMP used was set so that the concentration of the diamino compound and the aromatic tetracarboxylic acid compound to be described later was 15%.

つぎに、上記の系を攪拌しながら第1表に示す芳香族テ
トラカルボン酸化合物を徐々に加えた。
Next, the aromatic tetracarboxylic acid compounds shown in Table 1 were gradually added to the above system while stirring.

この間、反応系の温度が30℃以上にならないように氷
水で冷却した。この後、所定時間攪拌して第1表に示す
対数粘度(NMP中0.5g/100m1の濃度で30
℃下で測定)のポリイミド酸のNMP溶液を得た。
During this time, the reaction system was cooled with ice water so that the temperature did not exceed 30°C. After that, the logarithmic viscosity shown in Table 1 (at a concentration of 0.5 g/100 ml in NMP is 30
An NMP solution of polyimide acid was obtained.

このポリアミド酸のNMP溶液を、実施例1と同じ大き
さのガラス板上に実施例1と同様にして固定されたfJ
箔(寸法はガラス板と同じ、厚みは第1表のとおり)上
に、実施例1と同様の手段で流延し、150℃で30分
、200℃で60分、さらに300℃で2時間加熱した
。その後、室温まで冷却し、銅箔の固定を解除した。得
られたポI        リイミドー金属箔複合フィ
ルムにおけるポリイミド膜の厚みと複合フィルムの曲率
半径は第1表に示すとおりであった。また、この複合フ
ィルムにおけるポリイミド膜のTMAにより測定した5
0〜250℃における平均線膨張係数の差およびポリイ
ミド膜と銅箔との常態における90’剥離強度を第1表
に併せて示した。
This NMP solution of polyamic acid was fixed on a glass plate of the same size as in Example 1 in the same manner as in Example 1.
It was cast onto a foil (same dimensions as the glass plate, thickness as shown in Table 1) using the same method as in Example 1, heated at 150°C for 30 minutes, at 200°C for 60 minutes, and then at 300°C for 2 hours. Heated. Thereafter, it was cooled to room temperature and the copper foil was released. The thickness of the polyimide film and the radius of curvature of the composite film in the obtained polyimide metal foil composite film were as shown in Table 1. In addition, 5% of the polyimide film in this composite film was measured by TMA.
Table 1 also shows the difference in average coefficient of linear expansion at 0 to 250°C and the 90' peel strength in normal conditions between the polyimide film and the copper foil.

〔比較例2〜5〕 第1表に示すジアミン化合物および芳香族テトラカルボ
ン酸化合物を用い、上記実施例2〜5と同様にして第1
表に示す対数粘度(NMP中0.5g/100mj+の
濃度で30℃下で測定)のポリイミド酸のNMP溶液を
得た。
[Comparative Examples 2 to 5] Using the diamine compounds and aromatic tetracarboxylic acid compounds shown in Table 1, the first
An NMP solution of polyimide acid having the logarithmic viscosity shown in the table (measured at 30° C. at a concentration of 0.5 g/100 mj+ in NMP) was obtained.

このポリアミド酸のNMP溶液を用い、上記の実施例2
〜5と同様にしてポリイミド−金属箔複合フィルムをつ
くった。この複合フィルムの曲率半径、銅箔およびポリ
イミド膜の膜厚ならびにTMAにより測定した50〜2
50℃におけるポリイミド膜の平均線膨張係数と銅箔の
平均線膨張係数との差を第1表に示すとともに、常態に
おけるポリイミド膜と銅箔との90°剥離強度を第1表
に併せて示した。
Using this NMP solution of polyamic acid, the above Example 2
A polyimide-metal foil composite film was produced in the same manner as in 5. The radius of curvature of this composite film, the thickness of the copper foil and polyimide film, and the 50-2
Table 1 shows the difference between the average linear expansion coefficient of the polyimide film and the average linear expansion coefficient of the copper foil at 50°C, and also shows the 90° peel strength between the polyimide film and the copper foil in normal conditions. Ta.

(以下余白) なお、第1表においてDADEは4,4゛ −ジアミノ
ジフェニルエーテル、DADMは4,4゛−ジアミノジ
フェニルメタン、(イ)、(へ)は前記構造式のシリコ
ン系ジアミン、5−BPDAは3,3”、  4. 4
’  −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、PMD
Aはピロメリット酸二無水物、BTDAは3. 3’ 
、  4. 4’ −ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物を示す。
(Left below) In Table 1, DADE is 4,4'-diaminodiphenyl ether, DADM is 4,4'-diaminodiphenylmethane, (a) and (f) are silicon-based diamines with the above structural formula, and 5-BPDA is 4,4'-diaminodiphenyl ether. 3,3”, 4.4
'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, PMD
A is pyromellitic dianhydride, BTDA is 3. 3'
, 4. It shows 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride.

以上の実施例および比較例から明らかなように、この発
明のポリイミド−金属箔複合フィルムの製法によれば、
ポリイミド膜と銅箔とが強固に接合しており、かつ実質
的にカールを生じることのない複合フィルムが得られる
のである。
As is clear from the above examples and comparative examples, according to the method for producing a polyimide-metal foil composite film of the present invention,
A composite film can be obtained in which the polyimide film and the copper foil are firmly bonded and virtually curl-free.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面はポリイミド−金属箔複合フィルムの曲率半径を説
明する説明図である。
The drawing is an explanatory diagram illustrating the radius of curvature of a polyimide-metal foil composite film.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)下記の(A)成分80〜99.9モル%および(
B)成分0.1〜10モル%を含むジアミノ化合物と下
記の(C)成分を主成分とするテトラカルボン酸化合物
とを反応させて得られたポリイミド前駆体の有機極性溶
媒溶液を準備する工程と、上記ポリイミド前駆体の有機
極性溶媒溶液を金属箔上に塗布する工程と、このポリイ
ミド前駆体の有機極性溶媒溶液が塗布された金属箔を固
定状態で加熱処理してその金属箔の箔面にポリイミド薄
膜を形成する工程を備えていることを特徴とするポリイ
ミド−金属箔複合フィルムの製法。 (A)3、3′−ジメチル−4、4′−ジアミノビフェ
ニル (B)一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔式中、R_1はメチレン基、フェニレン基または置換
フェニレン基、R_2はメチレン基、フェニル基または
置換フェニル基、X は酸素原子、フェニレン基または置換フェ ニレン基、nはR_1がフェニレン基または置換フェニ
レン基の場合は1、メチレン基 の場合は3または4の整数である。〕 で表されるシリコン系のジアミン。 (C)3、3′、4、4′−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物およびその誘導体の少な くとも一方。
(1) 80 to 99.9 mol% of component (A) below and (
B) A step of preparing an organic polar solvent solution of a polyimide precursor obtained by reacting a diamino compound containing 0.1 to 10 mol% of component with a tetracarboxylic acid compound whose main component is component (C) below. and a step of applying an organic polar solvent solution of the polyimide precursor onto a metal foil, and heating the metal foil coated with the organic polar solvent solution of the polyimide precursor in a fixed state to heat the foil surface of the metal foil. 1. A method for producing a polyimide-metal foil composite film, comprising the step of forming a polyimide thin film. (A) 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (B) General formula ▲ Numerical formulas, chemical formulas, tables, etc. are available ▼ [In the formula, R_1 is a methylene group, phenylene group or substituted phenylene group, R_2 is methylene group, phenyl group or substituted phenyl group; ] Silicon-based diamine represented by. (C) At least one of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and its derivatives.
(2)金属箔の厚みが1〜500μmであり、ポリイミ
ド薄膜の厚みが5〜200μmである特許請求の範囲第
1項記載のポリイミド−金属箔複合フィルムの製法。
(2) The method for producing a polyimide-metal foil composite film according to claim 1, wherein the metal foil has a thickness of 1 to 500 μm and the polyimide thin film has a thickness of 5 to 200 μm.
(3)ポリイミド前駆体の対数粘度(N−メチル−2−
ピロリドン中0.5g/100mlの濃度で30℃下で
測定)が0.4〜7.0である特許請求の範囲第1項記
載のポリイミド−金属箔複合フィルムの製法。
(3) Logarithmic viscosity of polyimide precursor (N-methyl-2-
2. The method for producing a polyimide-metal foil composite film according to claim 1, wherein the polyimide-metal foil composite film has a polyimide-metal foil composite film of 0.4 to 7.0 (measured at 30° C. at a concentration of 0.5 g/100 ml in pyrrolidone).
(4)金属箔が銅箔、アルミニウム箔またはステンレス
箔からなる特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれ
かに記載のポリイミド−金属箔複合フィルムの製法。
(4) The method for producing a polyimide-metal foil composite film according to any one of claims 1 to 3, wherein the metal foil is copper foil, aluminum foil, or stainless steel foil.
(5)金属箔とポリイミド膜との50〜250℃におけ
る平均線膨張係数の差が0.3×10^−^5l/℃以
内である特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれか
に記載のポリイミド−金属箔複合フィルムの製法。
(5) Any one of claims 1 to 4, wherein the difference in average linear expansion coefficient between the metal foil and the polyimide film at 50 to 250°C is within 0.3 x 10^-^5l/°C. A method for producing a polyimide-metal foil composite film as described in .
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CN114656635A (en) * 2022-05-25 2022-06-24 南京理工大学 Preparation method of polyimide printed circuit board with high peel strength and low dielectric constant
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