JPS61110765A - 真空処理装置用の覗窓 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空蒸着装置のような真空処理装置における観
察、撮影等用の覗窓に関するものである。

従来の技術 従来例えば真空蒸着に用いられる蒸着源は相当な高温と
なることが知られている。そのため強い発光によりプロ
セス状態を肉眼で観察することは困難である。そこで一
般的には覗窓には減光板が用いられており、この減光板
を通して適切な光の強度で観察できるようＫしている。

発明が解決しようとする問題点 しかし減光板を利用した従来の覗窓においては、減光板
は一般に光の透過率が一定であるためプロセス状態によ
って明る過ぎ次シ暗過ぎ之シして目的とする部位を良く
観察できない場合がしばしば生じる。また例えば真空蒸
着装置（おける覗窓においては蒸着中に覗窓に蒸着物が
付着して次第に内部の様子が見にくく或いは見えなくな
ることもある。そのためこの種の装置においては頻繁に
覗窓を清掃する必要がある。

そこで、本発明の目的は、真空処理装置内の発光強度に
応じて光の透過率を調整できるようにした真空処理装置
用の覗窓を提供することにある。

問題点を解決するための手段 上記の目的を達成するために、不発Ｆ！ＡＫよる真空処
理装置用の覗窓は、装置本体の覗窓取付部における光の
透過路に二枚の偏光板を配置し、一方の偏光板を固定し
、他方の偏光板を回動可能に取付け、二枚の偏光板の相
対変位によシ所望の光の透過率に設定できるように構成
したことを特徴としている。

作　　　　用 このように構成したことによって、本発明にょる覗窓は
二枚の偏光板を相対変位させることによシ覗窓を通して
の尤の透過率を変化させて、装置内の発光強度が変化し
て最も観察しやすい状態に設定することができる。従っ
て蒸着装置に適用した場合でも比較的長い期間清掃せず
に使用することができる。

実施例 以下、添附図面を参照して本発明の一実施例について説
明する。

第１図には本発明の一実施例くよる覗窓の構成を示し、
１は真空処理装置の本体の覗窓取付部で、その端部に枠
体２が密封固着されて＾る。この枠体２に対してＱ　Ｉ
Ｊソングを介してガラス板４、ガスケット５、固定偏光
板６、ガスケット７および可動偏光板８がキャップ９に
よって密封固定されている。ｏＴ動偏光板８は図示して
ない手段によって例えば９０″の角度にわたって容易に
回動できるようにされている。図示実施例では外側の偏
光板８が回動できるようにされているが、必壺ならば内
側の偏光板６を回動としてもよい。

第２図には二枚の偏光板６，８の相対角度による透過率
の変化を示し、この図かられかるように二枚の偏光板６
，８の相対角度を変えることによって光の透過率を大幅
に変えることができる。

効　　　　果 以上説明してきたように本発明によれば、二枚の偏光板
を用いてその相対角ｋを変えることによって光の透過率
を変化させるように構成しているので、透過光量を最も
観察しやす贋状態に設定することができ、従って真空処
理装置内の発光強度が変化しても観察や撮影が容易とな
り、細かい部分まで観察や撮影等ができるようになり、
また強い光による眩惑も防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の覗窓の一実施例を示す概略部分断面図
、第２図は二枚の偏向板の相対角度による透過率の変化
を示すグラフである。 図中、１：覗窓取付部、　２：枠体、３：０リング、　
４ニガラス板、　　５．７：ガスケット。 ６．８：偏光板、　　９：キ′ヤツプ。 角度（ｄ■少

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空処理装置本体の覗窓取付部における光の透過路に二
   枚の偏光板を配置し、一方の偏光板を固定し、他方を回
   動可能に取付け、それを回動させることにより所望の光
   の透過率に設定できるように構成したことを特徴とする
   真空処理装置用の覗窓。