JPS61103592A - 純水製造装置 - Google Patents

純水製造装置

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JPS61103592A
JPS61103592A JP59226153A JP22615384A JPS61103592A JP S61103592 A JPS61103592 A JP S61103592A JP 59226153 A JP59226153 A JP 59226153A JP 22615384 A JP22615384 A JP 22615384A JP S61103592 A JPS61103592 A JP S61103592A
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pure water
demineralized water
heat exchanger
filter
sterilization
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佐藤　幹郎
Kenji Murakami
賢二 村上
Yoshitaka Konomatsu
此松　良隆
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    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24D—DOMESTIC- OR SPACE-HEATING SYSTEMS, e.g. CENTRAL HEATING SYSTEMS; DOMESTIC HOT-WATER SUPPLY SYSTEMS; ELEMENTS OR COMPONENTS THEREFOR
    • F24D17/00—Domestic hot-water supply systems
    • F24D17/0078—Recirculation systems
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は純水製造装置に関し、特に超純水を必要とする
電子工業や医薬品工業等における純水の製造に使用され
るものである。
（発明の技術的背景〕 従来の純水製造装置と、純水を使用する末端装置とから
なるシステムを第３図に示す。なお、第３図には３つの
末端装置（例えば半導体製造ライン）を接続した例を示
す。第３図において、タンク１内の純水はポンプ２によ
り熱交換器３及びフィルター４を経てタンク１へ戻る循
環系を循環している。通常の純水使用時には熱交換器３
で熱交換は行なわず、フィルター４を通過した純水はバ
ルブ５ａ、５ｂ、５Ｃを介して末端装置６ａ、６ｂ、６
Ｃへ送られ、使用後の排水が排水ライン７へ流される。
そして、未使用の純水はタンク１へ戻される。また、タ
ンク１には一段前の純水製造装置からバルブ８を介装し
た供給管９を経て、末端装置６ａ、６ｂ、６ｃで使用さ
れた純水量に相当する原水が供給される。一方、前記循
環系を流れる純水中の生菌の数が一定限度を超えると、
バルブ５ａ、５ｂ、５ｃを閉じるとともに、バルブ８も
閉じて原水の供給を止め、ポンプ２により純水を循環し
ながら熱交換器３により純水を６０〜９０’Ｃに昇温し
て高温殺菌を行なう。
〔背景技術の問題点〕
純水製造装置の純水の循環系における生国数は外部条件
、例えば夏場と冬場で異なるが、いずれにしても殺菌を
行なった後、指数関数的に増加していく。このため、純
水中の生菌数をチェックし、一定限度（通常５〜２０個
／ｄ）を超えると、迅速に殺菌作業を行なう必要がある
。
従来の純水製造装置では、熱交換器３の能力、系全体の
水量、殺菌温度等システム設計及び運用によっても異な
るが、バルブの開閉、水温上昇及　　。
び高温水の循環のために殺菌作業に要する時間は３〜７
時間となる。この殺菌作業の間末端装置で純水を使用す
るとすれば、高温の純水しか使用できない。そして、高
温の純水を使用して不都合が生じる場合には末端装置を
稼働することができず、半導体製造ラインのように連続
した工程となっており、しかもほとんどの工程で純水を
必要とする製造ラインでは全ラインをストップさせなけ
ればならない。
上述したように生菌数が一定限度を超える日数は外部条
件により異なるが、２．３日から１か月である。今、平
均して１日／１０日の頻度でラインをストップして殺菌
作業を行なう必要があるとすると、生産能力は最大生産
能力の９０％となってしまう。このため、例えば年間生
産高が１００億円の生産ラインであれば、実際の年間生
産高は９ｃ億円となってしまい、殺菌作業でラインをス
トップさせることに伴う生産高のロスは１ｃ億円にも及
ぶ。
〔発明の目的〕
本発明は上記欠点を解消するためになされたちのであり
、殺菌作業のたびに末端の製造ラインをストップする必
要がなく、末端製造ラインの生産能力を最大限発揮し得
る純水製造装置を提供しようとするものである。
〔発明の概要〕
本発明の純水製造装置は、高温殺菌を行なう熱交換器及
びフィルターを備え、ポンプにより純水を循環させる循
環系を形成して末端装置へ純水を供給する純水製造装置
において、前記フィルターを通過した純水が末端装置へ
至るまでの経路に純水を冷却する熱交換器を設けたこと
を特徴とする　　　　　１ものである。
このような純水製造装置によれば、高温殺菌作業を行な
っている場合でもフィルターの下流に設けられた熱交換
器により純水を冷却して通常使用されている温度に調整
することができるので、末端装置をストップさせる必要
がない。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の実施例を第１図を参照して説明する。な
お、第１図には３つの末端装置（例えば半導体製造ライ
ン）を接続した例を示す。
第１図において、タンク１１内の純水はポンプ１２によ
り高温殺菌用熱交換器１３、フィルター１４及び冷却用
熱交換器１５を経てタンク１１へ戻る循環系を循環して
いる。通常の純水使用時には高温殺菌用熱交換器１３及
び冷却用熱交換器１５で熱交換は行なわず、フィルター
１４及び冷却用熱交換器１５を通過した純水はバルブ１
６ａ１１６ｂ、１６ｃを介して末端装置１７ａ、１７ｂ
、１７ｃへ送られ、使用後の排水が排水ライン１８へ流
される。そして、未使用の純水はタンク１１へ戻される
。また、タンク１１には一段前の純水製造装置からバル
ブ１９を介装した供給管２０を経て、末端装置１７ａ、
１７ｂ、１７ｃで使用された純水量に相当する原水が供
給される。一方、前記循環系を流れる純水中の生国の数
が一定限度を超えた場合には、通常の運転状態と同様に
ポンプ１２により純水を循環しながら、高温殺菌用熱交
換器１３により純水を６０〜９０℃に昇温して殺菌を行
ない、フィルター１４を通過した純水を冷却用熱交換器
１５により冷却して通常使用されている純水の温度に調
整した後、バルブ１６ａ。
１６ｂ、１６Ｃを介して純水を末端装置１７ａ１１７ｂ
、１７ｃに供給する。
したがって、このような純水製造装置によれば、高温殺
菌作業を行なっている場合でも末端装置１７ａ、１７ｂ
、１７ｃをストップさせる必要がなく、末端の製造ライ
ンの生産能力を１００％発運することができる。
なお、上記実施例では冷却用熱交換器１５を純水の循環
系の一部を構成するようにフィルター１４の下流に設け
たが、これに限らず第２図に示すような構成としてもよ
い。すなわち、第２図の純水製造装置は、純水の循環系
は従来と同様にタンク１１、ポンプ１２、高温殺菌用熱
交換器１３及びフィルター１４で形成し、フィルター１
４下流の配管と、末端の製造ラインとの間にバルブ２１
及び冷却用熱交換器２２を設けたものである。このよう
な純水製造装置でも上記実施例の純水製造装置と同様の
効果を得ることができる。
〔発明の効果〕
以上詳述した如く本発明の純水製造装置によれば、純水
の高温殺菌作業中でも末端の製造ラインをストップする
ことなく通常の温度の純水を供給することができ、末端
の製造ラインの生産能力を最大限に発揮できるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例における純水製造装置の系統図
、第２図は本発明の他の実施例における純水製造装置の
系統図、第３図は従来の純水製造装置の系統図である。 １１・・・タンク、１２・・・ポンプ、１３・・・高温
殺菌用熱交換器、１４・・・フィルター、１５．２２・
・・冷却用熱交換器、１６ａ、１６ｂ、１６Ｇ、１９．
２１　・・・バルブ、１７ａ、１７ｂ、１７　ｃ　・・
・末端装置、１８・・・排水ライン、２０・・・供給管
。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 高温殺菌を行なう熱交換器及びフィルターを備え、ポン
    プにより純水を循環させる循環系を形成して末端装置へ
    純水を供給する純水製造装置において、前記フィルター
    を通過した純水が末端装置へ至るまでの経路に純水を冷
    却する熱交換器を設けたことを特徴とする純水製造装置
    。
JP59226153A 1984-10-27 1984-10-27 半導体製造ライン用純水製造装置 Expired - Lifetime JPH0714511B2 (ja)

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DE8585113537T DE3581377D1 (de) 1984-10-27 1985-10-24 Vorrichtung zum erzeugen von reinem wasser.
EP85113537A EP0183968B1 (en) 1984-10-27 1985-10-24 Pure water manufacturing apparatus
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