JPS6110292A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6110292A JPS6110292A JP13169084A JP13169084A JPS6110292A JP S6110292 A JPS6110292 A JP S6110292A JP 13169084 A JP13169084 A JP 13169084A JP 13169084 A JP13169084 A JP 13169084A JP S6110292 A JPS6110292 A JP S6110292A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amount
- laser
- excitation
- excitation light
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/1312—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation by controlling the optical pumping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、光励起方式のレーザ装置の改良に関する。
従来、光励起方式のレーザ装置では、励起光源の磁流（
又は電圧）を一定とすることにより、光励起量を一定と
して、安定したレーザ出力を得る装置、又はレーザ出力
を検出して一定となるように励起量を制御する装置が一
般的であった。
又は電圧）を一定とすることにより、光励起量を一定と
して、安定したレーザ出力を得る装置、又はレーザ出力
を検出して一定となるように励起量を制御する装置が一
般的であった。
Ｍｉｊ者のレーザ装置を第２図に、後者のレーザ装置を
第３図に示すが、各図中１はエンドミラー、２は出力ミ
ラーで共振器を構成しており。
第３図に示すが、各図中１はエンドミラー、２は出力ミ
ラーで共振器を構成しており。
レーザ物質３が充填されている。又、４は励起光、５は
励起光源、６は励起電源、７は励起電流、８は出力レー
ザ光、９はレーザ光検出器。
励起光源、６は励起電源、７は励起電流、８は出力レー
ザ光、９はレーザ光検出器。
１０は信号増幅器、１ノはフィード・ぐツク端子である
。
。
第２図に示した励起光源５の電流（又は電圧）を一定と
するレーザ装置では、励起光源５の汚れ、劣化等のため
に、電流が一定でも励起光量が必ずしも一定とならない
欠点があった。
するレーザ装置では、励起光源５の汚れ、劣化等のため
に、電流が一定でも励起光量が必ずしも一定とならない
欠点があった。
又、第３図に示したレーザ出力を検出し制御するレーザ
装置では、レーザ出力を決定する要因が励起光量のみに
限らず、構造的な歪や共振器を構成するミラー１，２等
にもよる所から。
装置では、レーザ出力を決定する要因が励起光量のみに
限らず、構造的な歪や共振器を構成するミラー１，２等
にもよる所から。
これら励起光量変化以外の要因をも、励起光量の変化に
てカッ々−しようとするものであった。
てカッ々−しようとするものであった。
励起光量を変化させると、レーザ物質の熱的変化（二よ
り、レーザ出力ビームの拡がり角や１発振モードが変化
する。更に、励起光量を増すと。
り、レーザ出力ビームの拡がり角や１発振モードが変化
する。更に、励起光量を増すと。
ノーザ光が絞られて焦点を結び、レーザ物質３そのもの
あるいは光学素子を破損するという不具合が生ずること
があった。
あるいは光学素子を破損するという不具合が生ずること
があった。
この発明の目的は、上記問題点を解消するために、励起
光量を一定とし、レーザ出力の安定。
光量を一定とし、レーザ出力の安定。
光学素子の破損を防止したレーザ装置を提供することで
ある。
ある。
この発明は、励起光量を一定とするために、励起光の一
部分を光検出器ｇ二で検出し、光検出量が一定となるよ
うに励起電源を制御することにより、励起光量の安定化
を計ったレーザ装置である。
部分を光検出器ｇ二で検出し、光検出量が一定となるよ
うに励起電源を制御することにより、励起光量の安定化
を計ったレーザ装置である。
〔発明の実施例〕
この発明のレーザ装置は第１図に示すようｆ二構成され
、従来例（第２図、第３図）と同一箇所は同一符号を付
すことにする。
、従来例（第２図、第３図）と同一箇所は同一符号を付
すことにする。
即ち、・クルスＹＡＧレーザ装置を例Ｃ二とれば、共振
器はエンドミラー１と出力ミラー２からなり１両者間に
はレーザ物質３が充填されている。
器はエンドミラー１と出力ミラー２からなり１両者間に
はレーザ物質３が充填されている。
このレーザ物質３に対向して例えば光励起用Ｘｅフラッ
シュランプのような励起光源５が配設され、この励起光
源５と上記レーザ物質３は楕円筒１２内に収納されてい
る。上記励起光源５は、ｆＷ円筒１２の外にある励起電
源６に接続され、駆動される。更ｆ二励起光源５に対向
し光フイルタ−１３を介して半導体光検出器１４が配設
されている。この光検出器１４は信号増幅器１５．積分
器１６を直列に介して上記励起電源６に接続されている
。尚１図中４は励起光。
シュランプのような励起光源５が配設され、この励起光
源５と上記レーザ物質３は楕円筒１２内に収納されてい
る。上記励起光源５は、ｆＷ円筒１２の外にある励起電
源６に接続され、駆動される。更ｆ二励起光源５に対向
し光フイルタ−１３を介して半導体光検出器１４が配設
されている。この光検出器１４は信号増幅器１５．積分
器１６を直列に介して上記励起電源６に接続されている
。尚１図中４は励起光。
１ノはフィードバック端子である。
さて、動作時には、楕円筒１２からの漏れ光量を適当な
光フイルタ−１３を通して光検出器１４に入力する。こ
の光検出器１４の出力は。
光フイルタ−１３を通して光検出器１４に入力する。こ
の光検出器１４の出力は。
信号増幅器１５．積分器１６を通して平均励起光量に比
例する信号に変換し、励起電源６の電圧制御にフィード
ツクツクすることにより、励起光量を一定としている。
例する信号に変換し、励起電源６の電圧制御にフィード
ツクツクすることにより、励起光量を一定としている。
ト記実施例では、ノクルスＹＡＧレーザの場合を示した
が、連続発振形のＹＡＧレーザでは電気回路ｆ二おいて
積分回路は不要であり、より容易に実現できる。
が、連続発振形のＹＡＧレーザでは電気回路ｆ二おいて
積分回路は不要であり、より容易に実現できる。
又、この発明は、ＹＡＧレーザに限らず、他の固体レー
ザ、液体レーザ等、光励起形し−デ装置全てに適用でき
ることは、明白である。
ザ、液体レーザ等、光励起形し−デ装置全てに適用でき
ることは、明白である。
この発明によれば、励起光量を検出し、その光量が一定
となるように、励起電源６を制御しているので、レーザ
物質３の励起光量が一定となり、その結果、長期間にわ
たって安定したレーザ出力エネルギ、ビームの拡がり角
、モードパターンが得られた。又、この発明では、励起
光源６は寿命ぎりぎりまで使用することが可能となり、
レーザ運転コストの低減にも大いに有効である。
となるように、励起電源６を制御しているので、レーザ
物質３の励起光量が一定となり、その結果、長期間にわ
たって安定したレーザ出力エネルギ、ビームの拡がり角
、モードパターンが得られた。又、この発明では、励起
光源６は寿命ぎりぎりまで使用することが可能となり、
レーザ運転コストの低減にも大いに有効である。
第１図はこの発明の一実施例Ｃ二係るレーザ装置乞示す
概略構成図、第２図及び第３図は従来のレーザ装置の２
例を示す概略構成図である。 １・・・エンドミラー％２・・・出力ミラー、３・・・
レーザ物質、４・・・励起光、５・・・励起光源、６・
・・励起４源、１２・・・楕円筒、１３・・・光フイル
タ−，１４・・・光検出器、１５・・・信号増幅器、１
６・・・積分器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図
概略構成図、第２図及び第３図は従来のレーザ装置の２
例を示す概略構成図である。 １・・・エンドミラー％２・・・出力ミラー、３・・・
レーザ物質、４・・・励起光、５・・・励起光源、６・
・・励起４源、１２・・・楕円筒、１３・・・光フイル
タ−，１４・・・光検出器、１５・・・信号増幅器、１
６・・・積分器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- レーザ物質を励起電源により駆動される励起光源からの
光で励起するレーザ装置において、上記励起光源からの
励起光量を検出し、その光量が一定となるように、上記
励起電源を制御することを特徴としたレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13169084A JPS6110292A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13169084A JPS6110292A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110292A true JPS6110292A (ja) | 1986-01-17 |
Family
ID=15063930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13169084A Pending JPS6110292A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110292A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0997224A1 (en) * | 1998-10-29 | 2000-05-03 | Miyachi Technos Corporation | Laser processing apparatus |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP13169084A patent/JPS6110292A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0997224A1 (en) * | 1998-10-29 | 2000-05-03 | Miyachi Technos Corporation | Laser processing apparatus |
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