JPS609882A - 基板上の金属を除去するエッチング溶液 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、一般に金属のエツチングに関し、特にプリン
ト回路板の製造における銅または池の金属の除去方法に
関する。

７９ｇ２年７．２月７７日イｑ出願の米国制・許出願第
ｔｉｔ−ｓｏ　、　６ｇｓ　号は、二敲化窒素ガ゛ス酸
化剤と有機触謀／溶媒とを用いる檀Ｊψ銅箔中の・ぐク
ーンのエツチング方法を記載している。この方法は、現
在用いら扛でいる湿式エツチング方法に比べてプリント
回路板製造に於ける化学エツチング工程を劇的に章純化
する。この方法は、ゾロセフ多数が少ない、より単純な
化学を用いかつ腐食性が少なく、かくして処理装置用に
標準材料の使用が可能であり、かつ汚染が少なく、かつ
処分が容易な単一の純粋な酸化された鋼種を与える。

しかし、これらの冥質的な利益にも拘らず、上記方法に
は、その大規模な開発および商業化を制限する可能性の
ある幾つかの限界および欠点があることがわかった。反
応される銅１モルにつき２／３モルのＮｏガスが生成し
、このため触媒／溶媒層中にかなりのバブリングおよび
起泡が生じ、反応層を欄から隔離することによって反応
を妨害する。このことはまた、侵露銅が多し１領域はよ
り激しくガスが発生１７、かくしてこれらの領域では銅
の除去が少なく々るので、不均一な死領域反応速度（５
ｐｅｃｉｆｉｃ　ａｒｅａ　ｒｅａｃｔｉｏｎ　ｒａｔ
ｅｓ　）　に導く。

この系は、有機溶媒中の金属とＮ０２との反応は災難な
く広範囲に研究されているが、ＮＯ２と有機溶媒混合物
上の間の急速々かつ調節されなし１反応がエネルギー的
に容易であるので幾らかの熱力学的爆発ボテンシャタを
も有する。

加えて、金属銅とＮＯ２との反応は高度に発熱性であり
、反応する銅１モル当たりＩ　ＯＫｃａｌ　以上を生じ
る。反応はある程度断熱的であり、すなわち反応熱は主
として糸に吸収される。それ故、反応中、回路板の温度
は急上昇し、このため除去できる銅箔の厚さが制限され
る。今日までに追究された条件下では、断熱的ガス反応
によって除去できる最も厚い箔は約／／ノオンス／ｆｔ
２すなわち約１１ミクロン（０，００７’）　の厚さの
ようである。より厚い箔をエツチングしようという企画
は、反応膜が乾いてきて不完全なエツチングになるかあ
るいは基板が過熱してレジス）　（ｙｅｓｉｓｔ　）を
損い・パターンを破壊する。

今回、本発明者らは、ノリント回路板の製造に於ける二
酸化窒素による銅および他の金属のエツチングに水を触
媒／溶媒として用いることによって、これらの問題を解
決することができかつより改良された結果を得ることさ
え可能であるという驚くべき発見をした。ＮＯ２は水と
反応して硝酸を生成し、この硝酸はフォトレジストと基
板材料の両方を侵食するという回路板製造に於ける２つ
の致命的問題を生じる傾向があるので、この発見は驚く
べきことである。しかし、プロセス条件を適当に調節す
ることにより、ＮＯ２またはＨＮＯ３の水溶液を酸什剤
として用いて、フォトレジストまたは基板を損傷せずに
銅および他の金属を回路板から容易に除去できることを
発見したのである。

本発明の１つの目的は、一般に、プリント回路板製造お
よび池の用途に於ける銅および池の金属の新規かつ改良
されたエツチング方法を提供することである。

本発明のもう１つの目的は、従来用いられている銅エツ
チング方法の限界および欠点を克服する上記性格の方法
を提供することである。

本発明のもう７つの目的は〜安価でかつ実施の容易彦上
記性格の方法を提供することである。

これらの目的および他の目的は、本発明により、二酸化
窒素による銅および池の金属のエツチングに於ける触媒
／溶媒として水を利用することによって達成される。本
発明の１つの実施の態様に於ては、水の膜を金属の表面
に形成させ、この水被覆金属をＮＯ２ガスに暴露して金
属を溶解させる。

もう１つの実施の態様に於ては、浸漬または吹付けによ
って、金属をＮ０２またはＨＮＯ３と水との水溶液に暴
露して、金属を除去する。いずれの実施の態様に於ても
、アンダーカッティングすなわち金属表面に平行な方向
の金属のエツチングを防ぐためにポリマー添加剤を用い
ることができる。

本残明のエツチング方法では、下記の反応に従つて銅の
酸化が起こる。

２０ ３Ｃｕ十ｇＨＮＯ３→３Ｃｕ（ＮＯ３）２＋２ＮＯ＋≠
Ｈ２０（１）この反応は適当な触媒が無いと進行しなし
）。

ＮＯ２と水との反応は、所望の銅エツチングの化学に比
較的複雑々硝酸生成の化学が重なるので、硝酸の化学の
ある面を考えることは本発明の理解に役立つかも知れな
い。硝酸が生成される全プロセスは次の方程式で与えら
れる０ ３ＮＯ２＋Ｈ２０二、２ＨＮＯ３＋Ｎｏ　（２）この方
程式は、下記の方程式で示される少なくとも３つの独立
工程の和である。

Ｎ２Ｏ４＜−Ｎｏ　十Ｎｏ３（３） Ｎｏ＋十、Ｎ２０二　Ｈ”　＋　）−１ＯＮＯ（４）１
−１ＯＮＯ＋ＮＯ２二Ｎｏ　＋）（Ｎｏ３（５）反応（
２）を含むこれら５のプロセスのすべてが容易に可逆反
応を行なうということを理解することが大切である。硝
酸の生成はＮｏ２圧が高し１と有利であるが、ＮＯガス
によって遅らされ、破壊されることすらある。

ＮＯ２ガスと銅箔回路板（レジスト・リーンを有する）
との場合、本発明は、ＮＯ２への暴露前に板／ を水の薄膜〔例えば／ｓ、２．ｓ７９／ｌｒｉ　（イオ
ンス／ｆｔ２）積層物の場合には０．　ｂ　３　ｊ　ｍ
ｍ　Ｃ０，０２！；’）以下〕で被覆することによって
実施される。回路板を室温でＮＯ２に暴露すると、エツ
チングプロセスがほとんど直ちに始まり１．２−３分以
内に実質的に完了することがわかった。反応の終了時に
は、板は濃硝酸銅薄膜で被覆されている。この薄膜は、
数多くの方法で容易に除去することができる。銅生成物
は唯一の陰イオンとしての硝酸塩と共に水溶液中にある
ので、板は、簡単な水洗によってあらゆる残留物を除去
することができる。何故ならばＣＩ（１）種が存在しな
いからである。純水で均一な薄膜を形成させることはむ
ずかしいので、界面活性剤共促進剤と共にポリマー添加
剤を用いて表面張力を下げかつ媒質の粘度を上げて均一
な薄膜が得られうるようにする。添加剤は、銅箔の異方
性エツチングを促進して、銅のアンダーカッティングが
ほとんどまたは全くなく、所望のパターンが得られうる
ように選ばれる。適当な月？リマには、陽イオン性のダ
ウケミカルセパランＣＰ−７Ｈ３（Ｄｏｗ　Ｃｈｅｍｉ
ｃａｌ　５ｅｐａｒ、ｘｎ　ＣＰ−７ＨＳ　）およびノ
・−キュレス　レチン、２　／　０　（Ｈｅｒｃｕｌｅ
ｓ　Ｒｅｔｅｎ　２／　０）　ｒ中性のバーキュレス　
レチン３．２０　（ＨｅｒｃｕｌｅｓＲｅｔｅｎ　３；
２０　）　を陰イオン性のダウケミカルＭＧ７００　（
Ｄｏｗ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　ＭＧ　７０θ）のような水
溶性ポリアクリルアミドが含まれる。アルドリッチケミ
カル＋／　ｆｆ　、　／２７−７　（ＡｌｄｒｉｃｈＣ
ｈｅｍｉｃａｌ　＋　／　ｆ　、　／　、２７−７　）
およびロームアンドハースアクリゾルＡ　３　（Ｒｏｈ
ｍ　ａｎｄ　ＨａａｓＡｃｒｙｓｏｌ　Ａ　Ｊ　）のよ
うな水溶性ポリ（アクリル酸）ならびにバーキュレス／
　、！Ｍ　３　／　（Ｈｅｒｃｕｌｅｓ／２Ｍ３／　）
のようなカルボキシメチルセルロースも含まれる。適当
な界面活性剤には、デュポン（Ｄｕｐｏｎｔ　）界面活
性剤ゾニルＦＳＣ（Ｚｏｎｙｌ　ＦＳＣ）。

ゾニルＦＳＮ　（Ｚｏｎｙｌ　ＦＳＮ　）　ｅゾニルＦ
ＳＰ　（ＺｏｎｙｌＦＳＰ　）、ゾニルＦＳＫ　（Ｚｏ
ｎｙｌ　ＦＳＫ　）　、　３　Ｍフルオラド（３Ｍ　Ｆ
ｌｕｏｒａｄ　）界面活性剤ＦＣ−／３３；。

シエレツクスアドグ７　’ｌ　７７　（５ｈｅｒｅｘ　
Ａｄｏｇｅｎ≠７７）および臭化ヘキサデシルトリメチ
ルアンモニウムが含まれる。

次の実施例は、Ｎ０２ガスによる銅のエツチングを触ｔ
Ｍするための水腹の使用を示し、かつ反応ＺＨ度および
反応渦程に及ぼす７１？リマー添加剤の影響をも示す。

実施例　／ 像形成されたダイナケムラミナーＭ　Ｌ（Ｄｙｎａｃｈ
ｅｍ　Ｌａｍ１ｎａｒ　−Ｍ　Ｌ　）ドライフィルムフ
ォトレジストの試験パター／を有する０刀？、２９ｎ？
（／　ｆｔ”　）当たり１ｌＡｉ’ｙｔｔｇｇの（Ｆｚ
）ＪＪＩの積層’ｘモツ７．ｌｙ）、−’×７０．／６
−（３’×ｌＩ−’）板を０、７％ダウケ≧カル七ノｅ
ラン　ＣＰ　−７ＨＳ（Ｄｏｗ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　５
ｅｐａｒａｎ　ＣＰ　−７ＨＳ　）ポリマー水溶＃　３
．９　＆で被８した。次に、この複合物を、！３℃で一
分間、ＮＯ２ガスに暴露した。さらに７分間の後、簡単
な水洗で板から反応混合物を洗い流した。試験・？ター
ン領域のＭ出Ｃｕのほぼ全量であるｏ、ｇｇ以上のＣｕ
　が除去され、フォトレゾストで構成されたパターンの
アンダーカッティングはほとんどなかった。

実施例　ノ コダック７３．２ミクロレジスト（Ｋｏｄａｋ　７／２
Ｍｉｃｒｏｒｅｓｉｓｔ　）の厚さ≠μの層で構成され
たエツチングパターンを有する試験試料を用いて実施例
／の方法を繰返した。同じ反応条件下で、試験パターン
で構成された領域内でｏ、ｇｇ以上のＣｕ　が除去され
た。このエツチング作用は、はぼ垂直な側面を有する線
が得られたが、本試料は実施例／の試料に比べて僅かに
アンダーカットされているようなものであった。

実施例　３ 実施例／の方法を、同様な試験パネルを用いて繰返した
。この試験試料を、０．３！；Ｔｏセパラ／ＣＰ　−７
８Ｓ　（５ｅｐａｒａｎ　ＣＰ　−７ＨＳ　）水溶液／ １ＡＯ９で被覆し、／／２分間ＮＯ２に暴露し、さらに
３０秒後水洗によって反応層を除去した。再び、試験パ
ターン領域内の露出銅のほぼ全量であるＯｌにｇのＣｕ
　が除去され、試験パターンで構成された描線のアンダ
ーカッティングはほとんど見られなかった。

実施例　≠ 同様な試験パネルを用いて実施例／の方法を繰返した。

試料を、１％・・−キュレス／２Ｍ３１（Ｈｅｒｃｕｌ
ｅｓ　／　、２　Ｍ　３　／　）カル？キシメチルセル
ロース水溶液ｌＡ／ｇの層で被覆し、この試料を２分間
ＮＯ２に暴露し、さらに／分径水洗によって反応層を除
去した。露出銅の約≠０チに当たる０．３ｙのＣｕ　が
試験領域から除去された。パターンのエツチングは不完
全だったが、フォトレジストで保護された線のアンダー
カッティングはほとんどなかった。

水溶液中に二酸化窒素がある場合、本発明の方法は硝酸
エツチング方法にさらにずっと似ているように見え、Ｈ
２Ｏ，ＮＯ２，ＨＮＯ３に関する容易な平衡すなわち方
程式（２）　−（５）を与える。硝酸は良好な酸化剤で
かつ強酸であり、フォトレジストおよびガラスエポキシ
回路板のような有機物に対して破壊性である。良好な酸
化力と域別された酸性度すなわち低ＨＮＯ３濃度とを有
する系は有機成分を破壊することなく銅を酸化するはず
である〇純ＨＮＯ３自体は銅に対して不反応性であるの
で、銅と反応させるためにはかなり濃厚な硝酸が所要で
ある。方程式（１）の反応が起きるためには、硝酸は溶
存窒素酸化物を幾らか含まなければならない。

それ故、反応は方程式（３）　、　（４）　、　（５）
から生じるＮｏ”（あるいは極度に濃厚なＨＮＯ３中の
ＮＯ２＋）によっておそらく進行する。これらの方程式
から、高い酸（Ｈ＋）濃度は高いＮｏ＋濃度を促進し、
方程式（４）を逆方向へ進めることがわかる。このこと
は、Ｈ２Ｏ、ＮＯ２，ＨＮＯ３糸が銅に対して合理的に
反応性であるだめには高度に酸性でなければならないこ
とを示す。残念ながら、かかる糸は有機物に対しても反
応性である。

Ｎｏ”　濃度は、高酸性度にすることなく、水の濃度と
化学ポテンシャルとを減少することによって最高にする
ことができることを発見しノこ。このことは、銅反応生
成物Ｃｕ（ＮＯ３）２　のような銅塩を用いることによ
って達成される、硝酸鋼（ＩＩ）は極度に水溶性であり
、≠θ℃に於て１００ｔｎｌの水中に約３１０１！のＣ
ｕ（ＮＯ３）２６３Ｈ２０が溶解する。

ＨＮＯ３中に可溶ならば、他のどんな銅塩でも同様に使
用することができる。適当な塩には、Ｃｕ５Ｏ，ｔテト
ラフルオロホウ酸銅（ＩＩ）　−ＣａＣｌ２およびそれ
らの組み合わせが含まれる。これらの塩のいずし−ＨＮ
Ｏ３によるエツチングを可能にする。

濃Ｃｕ（ＮＯ３）２　水溶液を反応溶媒として使用する
ことにより、吹付けおよび浸漬の両方法による酸化剤と
してＮｏ２または）−ＨＮＯ３のいずれかを用いて、レ
ジストまたは基板を損傷することなく、銅積層答中でパ
ターンを迅速にエツチングすることができる。本方式で
は、添加されるＮｏ２（Ｎ２０．　）またはＨＮＯ３が
唯一の酸化力源である。それ故、エツチングノ！ラメー
ターのなめらかな制御が容易に得られる。他の商業的湿
式エツチング方法とは対照的に、銅基板は、添加酸化剤
の不在下に於て反応媒質［濃Ｃｕ　（Ｎｏ　３）　２　
水溶液〕にとって問題とならない。

システム化学に於けるＮＯ２と１−ＨＮＯ３との間の迅
速な相互変換のために、銅酸化に１−ＨＮＯ３溶液を使
用することができる。ＨＮＯ３は純ＮＯ２よりも安価で
あり、すでに水溶液であるので、ＮＯ２と水との反応熱
を除去する費用が節約される。この水は、反応する銅に
よって吸収され、水和塩中に保持される。

回路板箔内の銅パターンのこのエツチング方法の操作を
以下の実施例で示す。

実施例　ｊ コダック７５ノミクロレジスト（Ｋｏｄａｋ　７　Ｊ’
　、２Ｍ１ｃｒｏｒｅｓｌｓｔ　）で形成されたレジス
トパターンを／ もつ／　！；、２．！；７１／　／　ｔｒｊ　（／ｉｏ
ｚ／　ｆｔ　）銅檀層物を有ｔルア、４．２ｃｎＬＸｌ
Ｏ，／　ｇｃＩｆｔ（３’Ｘ４４’）板Ｋ、りθチＨＮ
Ｏ３１０ＣＣと約０．７チセノぐランＣＰ−７ＨＳ　（
５ｅｐａｒａｎ　ＣＰ　−７ＨＳ　）水溶液３０ｃｃと
の混合物を１ｌＬＯ重量％　Ｃｕ　（Ｎｏ　３　）　２
溶液約、２．２５ｃｃで希釈したものを３０−３！；℃
で吹付けた。この溶液を７回再循環させた。この時間の
終わりに、パターン領域からほぼ全量の銅が除去され、
レジストパターンのアンダーカッティングは無くかつレ
ジストまたは基板の損傷はなかった。

実施例　乙 ダイナケムラミナーＭ　Ｌ　（Ｄｙｎａｃｈｅｍ　Ｌａ
ｍ１ｎａｒ　−ＭＬ）フィルムで形成されたレジスト・
母ターンをモー）７．１２ｃＩｒＬＸ１０．　／ｌ”（
３’Ｘ≠’）板ニ、２１／Ｌ時間エージングしかつ９０
　％　ＨＮＯ３≠ＯｃｃをＭ。

充した後、実施例／の溶液を吹付けた。板のこの溶液で
の吹付けを迅速に行い、／！Ｏｃｔ　の溶液を用いた後
、・臂ターン領域の全部のＣｕがほとんど除去された。

今回もまた、レジストまたは基板の損傷は認められなか
った。パターン線はごく僅かにアンダーカットされてい
た。

実施例　７ 実施例乙の方法を同じ試料で繰返した。ただし、同じ反
応溶液をＡ≠チセパランＣＰ−７８Ｓ（５ｅｐａｒａｎ
　ＣＰ　−７ＨＳ　）水溶液２６ｃｃ　で希釈した。今
回も、／　ｊ　Ｏｃｃの溶液を用いた後、パターン領域
から銅は実質的に除去された。レジストまたは基板の損
傷は見られず、レジストノ９ターンのアンダーカッティ
ングは認められなかった。

実施例　ｇ 実施例７の溶液を−２を時間エージングさせた後、９０
％ＨＮＯ３！ｒ　ｃｃとハＩセパランＣＰ−７Ｈ３（５
ｅｐａｒａｎ　ＣＰ　−７ＨＳ　）　、２０　ｃｃを補
充した。

グイナケムラミナーＭ　Ｌ　（Ｄｙｎａｃｈｅｍ　Ｌａ
ｍ１ｎａｒ　−ＭＬ）フィルムで形成されたレジス）　
ｙ４ターンを有する７：１２”Ｘ／　０．／　＆ｃＩＩ
Ｌ（３’Ｘ！’）板を、攪拌されているこの溶液中に浸
漬した。１／シストパターンで保護されていない銅は１
．２５℃に於て２分未満で完全に除去された。明らかな
レジストまたは基板の損傷は無く、レジストノやターン
のアンダーカッティングも認められなかった。

Ｃｕ　（Ｎｏ　３　）　２　溶液中のＨＮＯ３の代わり
にＮ０２を用いた場合にも同様な結果が得られた。

この方法は、極めて少ない化学成分が所要であり、かく
して比軸的簡単にプロセス制御ができる点で有利であり
、より厚い銅箔、すなわち／！；２Ｊ７９　／　ｍ”　
（Ｊ　ｏｚ／　ｆｔ　）　より厚い箔に使用するのに特
に好適である。腐食問題は最少でありかつ処理装置のた
めにチタンのような特殊材料は所要でない。化学はクリ
ーンであり、反応生成物は極めて安定で、不溶性スラッ
ジを生成するＣｕ（１）化合物は無い。銅は、それ自体
がある程度市場価値がある純ＣＵ（ＮＯ３）２・３Ｈ２
０として除去される。ｃｕ（ＮＯ３）２　とｃｕｓｏ４
　との混合物を緩衝剤として用いる場合には、ｃｕｓｏ
、・ｊＨ２ｏが初めに沈殿する。本方法は閉ｍ系で操作
することができ、従って汚染問題は少ない。本方法は、
人手の容易な主要常用薬品である低価格の硝酸だけを消
費し、温和な条件下すなわち低温で操業できる。

エツチング溶液のＣｕ（ＮＯ３）２　が濃厚になりすぎ
たときには、溶液を約１０℃に冷却するか、あるいは約
ｊＯ℃に加熱することによってＣＩＪ（ＮＯ３）２を溶
液から沈殿させることができる。

本方法でエツチングすることができる池の金属ニハ、バ
ナジウム、マンガン、鉄、コ／４　Ａ／　）　、ニッケ
ル、ノやラジウムおよびコンスタンタン、モネルのよう
なこれら金属の合金が含まれる。これら金属のおのおの
について、銅のエツチングと同様にＣｕ　（ＮＯ３）２
を用いて反応の制御を保持することができる。別法では
、Ｃｕ（ＮＯ３）２の代わりに、エツチングされる金属
の硝酸塩を用いることができる。かくして、例えばニッ
ケルおよびマンガンのエツチングには、それぞれＮ１（
Ｎｏ３）２　およびＭｎ　（ＮＯ３）　２　を用いるこ
とができ、Ｎ　ｉ　（ＮＯ３）　２はニッケル合金のエ
ツチングにも用いることができる。

実施例ターニッケル ｌ１１．ｊ℃に加熱した、ｊＯ％硝酸ニッケル（Ｎ　ｉ
　（ＮＯ３）２　）　５００　ｃｃと７０％硝酸（ＨＮ
Ｏ３）／、２ｊｃｃと７チセパラ／ＣＰ−７Ｈ３（５ｅ
ｐａｒａｎ　ＣＰ　−７ＨＳ　）　Ｃダウケミカｎ、　
（ＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌ　）ポリアクリルアミド〕ノ
θＣＣとの溶液Ｑ用いて、２．５　！”Ｘ　／　、、５
：　２１ｌ−ｃｒｆＬ（／’Ｘ　Ａ’　）　ニッケル箔
片ヲエッチングした。７０分間で約０．３７１のＮｉが
除去され、５０℃に於ては５分間でθ、、２１＃のＮｉ
が除去された。

実施例１０−ニッケル ５０％Ｃｕ（ＮＯ３）２水溶液４Ｌ１と７０１　ＨＮＯ
３／、２ｔと０．９％セノクラｙ　Ｍ　Ｇ　７００　（
ＳｅｐａｒａｒｉＭＧ７００　）［夕゛クケミカ＃　（
Ｄｏｗ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　）ポリアクリルアミド］　
、２００　ｃｃとの溶液を≠ｊ℃に加熱し、これを用い
て２．ｊ＆”Ｘ／よノ弘閉（／′〉＜６′）ニッケル箔
片をエツチングした。７分間で約０．３　Ａ　ＩＩのＮ
ｉが除去された。

実施例／／−コンスタンタン 実施例１０の溶液を用いて、長さ／／、ｌ／Ｌ３ｃａ（
≠イ′）の２０ダージコンスタンタン（Ｎｉ／Ｃｕ合金
）４１！をエツチングした。７分間でｏ、ｏｔｇｐの材
料がエツチングされ、さらに２分間の反応でさらに０．
　／　３７　ｇの材料が除去された。

鉛−錫ソルダーレジストで保護された銅回路板のエツチ
ングに於て、レゾストの感知できる化学反応は、本明細
書中に開示したエツチング溶液、例えばポリマーおよび
界面活性剤を含む硝酸および硝ｍｌＲ溶液に少量の燐酸
または他の燐酸塩を添加することによって防止できる。

これらの添加剤を加えると、ソルダーエツチングマスク
のアンダーカッティングはほとんど無く、このことはメ
ッキ鋼回路板の製造に用いられている現行エツチング法
より顕著な改良を与える。さらに、燐酸にゾニルＦ　Ｓ
　Ｐ　（Ｚｏｎｙｌ　ＦＳＰ　）洗剤のようなフルオロ
カーゴンｆＪＪ４酸塩を添加するとソルダーをさらに低
反応性にすることが発見された。これは、レジストの表
面が燐酸鉛で被覆されるようになるためと思われる。

実施例　７．２ ２０℃に於ける比重式ｊ　Ｏ（Ｄ　Ｃｕ（ＮＯ３）２水
溶液３ｔと７θ％ＨＮＯ３／ｌとｆ３％Ｈ３Ｐ０゜ｊ　
００　ｃｃと３ＭフルオラドＦＣ−／３ｊＣ３ＭＦｌｕ
ｏｒａｄ　ＦＣ−／３６＋’＃ｔイＡ−７性フルオロカ
ーダン界面活性剤）　／　Ｊ　ｃｃとデュポンゾニルＦ
　Ｓ　Ｐ　（ＤｕＰｏｎｔ　Ｚｏｎｙｌ　Ｆ　Ｓ　Ｐ　
、フルオロカーぎン燐酸塩）　／　Ｏｃｃと／ｑｂレテ
ｙｊ；２０　（Ｒｅｔｅｎｊ、２０）〔バーキュＬ／　
ｘ　（Ｈｅｒｃｕｌｅｓ　）のポリアクリルアミド〕溶
液／！Ｏｃｔとの溶液を≠θ℃に加熱し、これを用いて
ソルダーエラテンブレジストノやターンを有する１０．
／乙（７）×／よ２グａ（＋’ｘ６’）銅積層物パネル
をエツチングした。

ンルターノ母ターンで被覆されていないθｆ０３ｊ６Ａ
ｍｍ（／、４ｔｊルフの鋼層が３分間で除法された。

この）やターンの断面を検査したところ、ソルダーンジ
ストハターンの認知できるアンダーカッティング無しに
、銅が除去されていた。

以上のことから、新規かつ改良された鋼エツチング方法
が提供されたことは明らかである。現在のところ好まし
い幾つかの実施の態様だけを詳細に説明したが、当栗者
には明らかなように、特許請求の範囲によって定義され
る本発明の範囲がら逸脱することなしに幾つかの変化や
変更を行うことが可能である。

特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示　昭和５９年特許願第１’　０９３１１
号２、発明の名称　銅および他の金属の水性エツチング
方法３、補正をする者 事件との関係　出願人 氏名（名称）　ピーニスアイ　ス９− ４、代理人 ５、補正命令の日付　自　発 ６、補正の対象　明細書の特許請求の範囲の欄７、補正
の内容　別紙の通り 特許請求の範囲 （１）銅の表面上に水の膜を形成する工程と水被覆銅を
ＮＯ２ガスに銅を溶解するのに十分な時間暴露する工程
とを特徴とする銅のエツチング方法。

（２）水と界面活性剤および銅表面に平行な方向のエツ
チングの抑制剤の両方として働く添加剤との混合物を塗
布することによって鋼上に水膜を形成する特許請求の範
囲第（１）項記載の方法。

（３）　添加剤がポリマーからなる特許請求の範囲第（
２）項記載の方法。

（４）　ポリマーが水溶性のポリアクリルアミド、カル
がキシメチルセルロース及びポリ（アクリル酸）からな
る群から選ばれる特許請求の範囲第（３）項記載の方法
。

（５）　ポリマーが陽イオン性、水溶性ポリアクリルア
ミドからなる特許請求の範囲第（３）項記載の方法。

（６）添加剤が陽イオン界面活性剤である特許請求の範
囲第（２）項記載の方法。

（７）　銅の一部分の上に鉛−錫ソルダーマスクを形成
しかつ塗布混合物中に燐酸塩が含１れる特許請求の範囲
筒（２）項記載の方法。

（８）混合物が燐酸およびもう１つの燐酸塩の両方を含
む特許請求の範囲第（７）項記載の方法。

（９）基板と保持されるべき銅の一部分を被覆するエツ
チングレジスト物質とを有するプリント回路板を、基板
またはエツチングレジスト物質の侵食を防ぐために十分
な量の溶存銅塩を含む水中のＮＯ□またはＨＮＯ５の水
溶液に、暴露銅を溶解するのに十分な時間暴露する工程
を特徴とする、該プリント回路板からの銅の除去方法。

００）水溶液が、銅がエツチングされるとき銅のアンダ
ーカッティングを防ぐポリマー添加剤を含む特許請求の
範囲第（９）項記載の方法。

０Ｄ　ポリマーが水溶性のポリアクリルアミド、カルが
キシメチルセルロース、ポリ（アクリル酸）からなる群
から選ばれる特許請求の範囲第０１項記載の方法。

（１２１ポリマーが陽イオン性、水溶性ポリアクリルア
ミドからなる特許請求の範囲第（９）項記載の方法。

Ｏ３１水溶液が１０−１００％ＨＮＯ３水溶液Ｏ，ター
コ、Ｏ重量単位と０．／　−／、０　’Ａ水水溶性陽イ
オン性アクリルアミドポリマー水溶ココ＆　−／　０重
量率位と／　ＯＡ　（７’Ｉｙ　Ｃｕ（ＮＯ３）　２　
水溶液／／−１Ｉ４Ｉ重量単位とを含む特許請求の範囲
第（９）項記載の方法。

（１４）　銅塩がＣｕ（ＮＯ３）２．　ＣｕＳＯ４、テ
トラフルオロホウ酸銅（ｎ）　、ＣｕＣｌ２およびそれ
らの組み合わせからなる群から選ばれる特許請求の範囲
第（９）項記載の方法。

Ｏ９鉛−錫ソル〆−マスクが銅の一部分に適用されかつ
水溶液が燐酸塩を含む特許請求の範囲第（９）項記載の
方法。

（ＩＩＥＩ　水溶液が燐酸ともう７つの燐酸塩とを含む
特許請求の範囲第（１５１項記載の方法。

ａｎ　界面活性剤としておよび銅の表面に平行な方向の
エツチングの抑制剤として働く添加剤と水との混合物を
含む、ＮＯ２がスによる銅のエツチングに使用するため
の触媒／溶媒。

帥　添加剤がポリマーからなる特許請求の範囲第０９項
記載の触媒／溶媒。

Ｏ９ポリマーが水溶性のポリアクリルアミド、カル？キ
シメチルセルロース、ポリアクリル酸からなる群から選
ばれる特許請求の範囲第（１秒項記載の触媒／溶媒。

（イ）　ポリマーが陽イオン性、水溶性ポリアクリルア
ミドからなる特許請求の範囲第（１１３＋項記載の触媒
／溶媒。

Ｑυ　添加剤が燐酸塩を含む特許請求の範囲第０９項記
載の触媒／溶媒。

（２り　添加剤が燐酸ともう１つの燐酸塩とを含む特許
請求の範囲第０７）項記載の触媒／溶媒。

（ハ）金属を、金属硝酸塩を含むＮＯ２またはＨＮＯ３
水溶液へ、金属を溶解するのに十分な時間暴露すること
を特徴とする金属のエツチング方法。

（２（イ）金属が銅、バナジウム、マンガン、鉄、コバ
ルト、ニッケル、ノ（ラジウムおよびそれらの合金から
なる群から選ばれる特許請求の範囲第（ハ）項記載の方
法。

（２勺　溶液中に含まれる硝酸塩がｃｕ（ＮＯ３）２で
ある特許請求の範囲第（ハ）項記載の方法。

（２句　溶液中に含まれる硝酸塩がエツチングされる金
属の硝酸塩である特許請求の範囲第（２国項記載の方法
。

（５）鉛−錫ンルダーマスクを金属上に形成させ、かつ
水溶液が燐酸塩を含む特許請求の範囲第（ハ）項記載の
方法。

弼　水溶液が燐酸ともう１つの燐酸塩とを含む特許請求
の範囲第■項記載の方法。

４７７−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）銅の表面上に水の膜を形成する工程と水被覆銅を
   Ｎ０２ガスに銅を溶解するのに十分な時間暴露する工程
   とを特徴とする銅のエツチング方法。 （２）水と界面活性剤および銅表面に平行な方向のエツ
   チングの抑制剤の両方として働く添加剤との混合物を塗
   布することによって鋼上に水膜を形成する特許請求の範
   囲第（１）項記載の方法。 （３）添加剤がポリマーからなる特許請求の範囲第（２
   ）項記載の方法。 （４）　ポリマーが水溶性のポリアクリルアミド、カル
   がキシメチルセルロース及びポリ（アクリル＃Ｉ／）か
   らなる群から選ばれる特許請求の範囲第（３）項記載の
   方法。 （５）　ポリマーが陽イオン性、水溶性プリアクリルア
   ミドからなる特許請求の範囲第（３）項記載の方法。 （６）添加剤が陽イオン界面活性剤である特許請求の範
   囲第（２）項記載の方法。 （７）銅の一部分の上に鉛−錫ソルダーマスクを形成し
   かつ塗布混合物中に燐酸塩が含まれる特許請求の範囲第
   （２）項記載の方法。 （８）混合物が燐酸およびもう７つの燐酸塩の両方を含
   む特許請求の範囲第（７）項記載の方法。 （９）基板と保持されるべき銅の一部分を被覆するエツ
   チングレジスト物質とを有するプリント回路板を、基板
   またはエツチングレジスト物質の侵食を防ぐために十分
   な童のｍ存銅塩を含６水中のＮ０２またはＨＮＯ３の水
   溶液に、暴Ｍ銅を溶解するのに十分な時間暴露する工程
   を特徴とする、該プリント回路板からの銅の除去方法。 ｃＬｌ　水溶液が、銅がエツチングされるとき銅のアン
   ダーカッティングを防ぐポリマー添加剤を含む特許請求
   の範囲第（９）項記載の方法。 ｏ１１１テリマーが水溶性のポリアクリルアミド、カル
   ざキシメチルセルロース、ポリ（アクリル酸）からなる
   群から選ばれる特許請求の範囲第αＱ項記載の方法。 （６）　ポリマーが陽イオン性、水溶性ポリアクリルア
   ミドからなる特許請求の範囲第（９）項記載の方法０ （至）水溶液が１０−１００チＨＮＯ３水溶液０．５−
   ．２．０重量単位と０．　／　−／、　０チ水溶性陽イ
   オン性アクリルアミドポリマー水溶液λ、ｊ−／θ重量
   単位と１０−６０　％　ＣＬＩ（ＮＯ３）２水溶液／／
   −４ｔ≠重量％単位とを含む特許請求の範囲第（９）項
   記載の方法。 α◆　銅塩がＣｕ（ＮＯ３）２、ＣｕＳＯ４、テトラフ
   ルオロホウ酸塩、Ｃｕ　Ｃ１２およびそれらの組み合わ
   せからなる群から選ばれる特許請求の範囲第（９）項記
   載の方法。 （ト）鉛−錫ソルダーマスクが銅の一部分に適用されか
   つ水溶液が燐酸塩を含む特許請求の範囲第（９）項記載
   の方法。 クリ　水溶液が燐酸ともう７つの燐酸塩とを含む特許請
   求の範囲第α９項記載の方法。 αη　界面活性剤としておよび銅の表面に平行な方向の
   エツチングの抑制剤として働く添加剤と水との混合物を
   含む、ＮＯ，ガスによる銅のエツチングに使用するため
   の触媒／溶媒。 ａ樽　添加剤がポリマーからなる特許請求の範囲第９４
   項記載の触媒／溶媒。 α燵　ポリマーが水溶性のポリアクリルアミド、カルが
   キシメチルセルロース、ポリアクリル酸からなる群から
   選ばれる特許請求の範囲第（ハ）項記載の触媒／射媒。 （イ）　？リマーが陽イオン性、水溶性ポリアクリルア
   ミドから々る特許請求の範囲第０呻項記載の触媒／溶媒
   。 （ハ）　添加剤が燐酸塩を含む特許請求の範囲第αり項
   記載の触媒／溶媒。 に）　添加剤が燐酸ともう７つの燐酸塩とを含む特許請
   求の範囲第０の項記載の触媒／溶媒。 （ホ）金属を、金属硝酸塩を含むＮＯ２またはＨＮＯ３
   水溶液へ、金属を溶解するのに十分な時間暴露すること
   を特徴とする金属のエツチング方法。 （ハ）金属が銅、バナジウム、マンガン、鉄、コバルト
   、ニッケル、ノ母うソクムおよびそれらの合金からなる
   群から選ばれる特許請求の範囲第（ハ）項記載の方法。 （ハ）　溶液中に含まれる硝酸塩がＣｕ　（ＮＯ３）２
   である特許請求の範囲第（ホ）項記載の方法。 に）　溶液中に含まれる硝酸塩がエツチングされる金属
   の硝酸塩である特許請求の範囲第（ハ）項記載の方法。 ■　鉛−錫ソルダーマスクを金属上に形成させ、かつ水
   溶液が燐酸塩を含む％許請求の範囲第（ホ）項記載の方
   法。 （ハ）　水溶液が燐酸ともう７つの燐酸塩とを含む特許
   請求の範囲節（ハ）項記載の方法。