JPS6093346A - 周波数掃引型超音波干渉顕微鏡 - Google Patents
周波数掃引型超音波干渉顕微鏡Info
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- JPS6093346A JPS6093346A JP58202457A JP20245783A JPS6093346A JP S6093346 A JPS6093346 A JP S6093346A JP 58202457 A JP58202457 A JP 58202457A JP 20245783 A JP20245783 A JP 20245783A JP S6093346 A JPS6093346 A JP S6093346A
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- frequency
- sample
- signal
- ray tube
- cathode ray
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、周波数掃引によって陰極線管上側こ干渉縞を
得ることができる周波数掃引型超音波干渉顕微鏡に関す
るものである。
得ることができる周波数掃引型超音波干渉顕微鏡に関す
るものである。
徽来皮翫
超音波干渉顕微鏡は高分子材料や生体組織などの微小薄
膜試料の二次元的音速分布を定量的に観測する装置とし
て有用である。この目的の装置としては、これまでレー
ザー走査型超音波顕微鏡や平面−集束トランスジューサ
組合わせ方式の機械走査型超音波顕微鏡などが開発され
ており、種々の薄膜試料の音速測定が試みられてし)る
。こオj、lもはいずれも平面超音波を試料面に対して
斜め[こjlQ封し、透過波の場所的位相変化を検出す
ること番;よって干渉縞を形成させ、参照液体と試料の
音速(屈折率)の違いによる干渉縞の位置の変化から試
料の音速を測定するもので、音速の分布が直観的に観察
できるという利点がある。しかしながら、平面波を用い
るため、回折の影響を受け易く、また超音波パワーの利
用効率が悪く、均一な平面波音場の発生が必ずしも容易
でないなどの問題がある。
膜試料の二次元的音速分布を定量的に観測する装置とし
て有用である。この目的の装置としては、これまでレー
ザー走査型超音波顕微鏡や平面−集束トランスジューサ
組合わせ方式の機械走査型超音波顕微鏡などが開発され
ており、種々の薄膜試料の音速測定が試みられてし)る
。こオj、lもはいずれも平面超音波を試料面に対して
斜め[こjlQ封し、透過波の場所的位相変化を検出す
ること番;よって干渉縞を形成させ、参照液体と試料の
音速(屈折率)の違いによる干渉縞の位置の変化から試
料の音速を測定するもので、音速の分布が直観的に観察
できるという利点がある。しかしながら、平面波を用い
るため、回折の影響を受け易く、また超音波パワーの利
用効率が悪く、均一な平面波音場の発生が必ずしも容易
でないなどの問題がある。
これに対して、本発明者等口、最近共焦点構成にした一
対の推束超音波トランスジューサの間の距離を周期的に
変化させる方式のビーム軸上トランスジューサ振動型超
音波干渉顕微鏡を開発した。
対の推束超音波トランスジューサの間の距離を周期的に
変化させる方式のビーム軸上トランスジューサ振動型超
音波干渉顕微鏡を開発した。
この方式は、共焦点構成を用いているため、平面照射に
よる」二連の問題が殆どないので、この装置による生体
薄膜試料などの二次元的音速分布の測定が容易になると
いう利点がある。
よる」二連の問題が殆どないので、この装置による生体
薄膜試料などの二次元的音速分布の測定が容易になると
いう利点がある。
しかしながら、この方式では、機械的に懐束超音波トラ
ンスジューサ間の乳層を変えなければならず、そのため
に振動が発生し、その部分のビーム幅が変化し、分解能
が犠牲になるという欠点があった。
ンスジューサ間の乳層を変えなければならず、そのため
に振動が発生し、その部分のビーム幅が変化し、分解能
が犠牲になるという欠点があった。
lLeγ一
本発明は、上記の点を考慮してなされたもので、共焦点
構成の透過型機械走査超音波顕微鏡において、集束超音
波トランスジューサ間の距離を変化することなしに干渉
縞を得るために、周波数掃引法を用いた新規な周波数掃
引型超音波干渉顕微鏡を提供するものである。以下、図
面により本発明の実施例の構成を説明する。
構成の透過型機械走査超音波顕微鏡において、集束超音
波トランスジューサ間の距離を変化することなしに干渉
縞を得るために、周波数掃引法を用いた新規な周波数掃
引型超音波干渉顕微鏡を提供するものである。以下、図
面により本発明の実施例の構成を説明する。
構成
第1図は、本発明の原理図を示したもので、1.2は対
向して設けらJした送波用及び受波用集束超音波トラン
スジューサ、3は送波用及び受波用集束超音波トランス
ジューサ1.2の間に設けらJした液体カップラ、4は
液体カップラ3の中に設けられた試料、5は試料4を保
持する試料保持体であり、送波用及び受波用集束超音波
トランスジューサ1.2は液体カップラ3を介して共焦
点に配置されている。
向して設けらJした送波用及び受波用集束超音波トラン
スジューサ、3は送波用及び受波用集束超音波トランス
ジューサ1.2の間に設けらJした液体カップラ、4は
液体カップラ3の中に設けられた試料、5は試料4を保
持する試料保持体であり、送波用及び受波用集束超音波
トランスジューサ1.2は液体カップラ3を介して共焦
点に配置されている。
この構成において、受波用集束超音波トランスジューサ
2で受信した受波信号と電気的参照信号とを干渉させ、
試料4を挿入しない場合と、挿入した場合の位相変化を
干渉縞の位置の変化として観測すれば、液体カップラ3
の音速を参照して試料の音速がめられる。この干渉縞を
形成させるためには、陰極線管(図示せず)の掃引に同
期して送波(或いは受波)信腫と参照信号の位相を相対
的に変化させればよい。
2で受信した受波信号と電気的参照信号とを干渉させ、
試料4を挿入しない場合と、挿入した場合の位相変化を
干渉縞の位置の変化として観測すれば、液体カップラ3
の音速を参照して試料の音速がめられる。この干渉縞を
形成させるためには、陰極線管(図示せず)の掃引に同
期して送波(或いは受波)信腫と参照信号の位相を相対
的に変化させればよい。
今、第1図の構成において、陰極線管の水平掃引信号に
同期して送波信号と参照信号の周波数を共に周期的に変
化させJしば、送波用及び受波用集束超音波トランスジ
ューサ1.2の間の信号の伝m遅延のため、受波信号と
参照信号の間の位相は周期的に変化する。試料4の二次
元的音速分布を同時に観測するため、陰極線管の水平掃
引に同期して試料をX方向に走査し、更にY方向に低速
で走査する。このとき、受波出力信号の位相変化を輝度
信号とし、等位相線を陰極線管面上に二次元的に表示す
れば、いわゆる干渉パターンが得られる。送波用及び受
波用集束超音波トランスジューサ1.2の間に均質な液
体カップラ3のみが存在する場合には、等間隔で直線状
の干渉縞が得られる。また、液体カップラ中に音速の異
なる試料を挿入した場合には、その音速の大小に応じて
干渉縞の位置が右方向または左方向にシフトする。
同期して送波信号と参照信号の周波数を共に周期的に変
化させJしば、送波用及び受波用集束超音波トランスジ
ューサ1.2の間の信号の伝m遅延のため、受波信号と
参照信号の間の位相は周期的に変化する。試料4の二次
元的音速分布を同時に観測するため、陰極線管の水平掃
引に同期して試料をX方向に走査し、更にY方向に低速
で走査する。このとき、受波出力信号の位相変化を輝度
信号とし、等位相線を陰極線管面上に二次元的に表示す
れば、いわゆる干渉パターンが得られる。送波用及び受
波用集束超音波トランスジューサ1.2の間に均質な液
体カップラ3のみが存在する場合には、等間隔で直線状
の干渉縞が得られる。また、液体カップラ中に音速の異
なる試料を挿入した場合には、その音速の大小に応じて
干渉縞の位置が右方向または左方向にシフトする。
第2図は、試料4のX方向走査位置と送波信号の周波数
偏移との関係、及び陰極線管面上に得られる干渉パター
ンを示したもので、陰極線管の水平掃引、試料のX方向
走査、及び受波信号と参照信号の周波数変化が全て同期
しているので、これらは1対lに対応している。なお、
実際には、送波用及び受波用集束超音波1〜ランスジユ
一サ間でtlだけ遅延があるため、受波信号と参照信号
の周波数が僅かに異なるが、その変化量は使用周波数に
比べて小さいので、はぼ同一周波数と見做すことができ
る。
偏移との関係、及び陰極線管面上に得られる干渉パター
ンを示したもので、陰極線管の水平掃引、試料のX方向
走査、及び受波信号と参照信号の周波数変化が全て同期
しているので、これらは1対lに対応している。なお、
実際には、送波用及び受波用集束超音波1〜ランスジユ
一サ間でtlだけ遅延があるため、受波信号と参照信号
の周波数が僅かに異なるが、その変化量は使用周波数に
比べて小さいので、はぼ同一周波数と見做すことができ
る。
第2図に示したように、周波数が増加する方向を図の右
方向にとれば、試料4の音速が速い場合に、干渉縞は右
方向ヘシフトする。試料4がない場合には、干渉縞の生
じる周波数を中心周波数fc(陰極線管の中心)とし、
この中心周波数fcから右方向及び左方向にそれぞれf
。、f+、f2、・・・・・fTl及びf−+、f−2
、・・・f−0とし、干渉縞の間隔をD、これに対応す
る周波数偏移(干渉縞の周波数間隔)をΔFとする。今
、送波信号の周波数をf1位相をφ。、送受器遅延時間
を1.とすれば、受波信号の位相φは、φ=φ、−2π
fシ、である。
方向にとれば、試料4の音速が速い場合に、干渉縞は右
方向ヘシフトする。試料4がない場合には、干渉縞の生
じる周波数を中心周波数fc(陰極線管の中心)とし、
この中心周波数fcから右方向及び左方向にそれぞれf
。、f+、f2、・・・・・fTl及びf−+、f−2
、・・・f−0とし、干渉縞の間隔をD、これに対応す
る周波数偏移(干渉縞の周波数間隔)をΔFとする。今
、送波信号の周波数をf1位相をφ。、送受器遅延時間
を1.とすれば、受波信号の位相φは、φ=φ、−2π
fシ、である。
送波信号の周波数を変化させた場合、受波信号の位相φ
が2π変化するごとに干渉縞を生ずるがら、周波数fゎ
における位相をφT+ 、fTl−1における位相をφ
、−1とし、 Δφ=φ、−1−φ、。
が2π変化するごとに干渉縞を生ずるがら、周波数fゎ
における位相をφT+ 、fTl−1における位相をφ
、−1とし、 Δφ=φ、−1−φ、。
=2π(f、1〜L−+)t1=2π
とおけば、周波数偏移△Fは、ΔF =f、 −f、−
z=1/l、である。周波数掃引幅をF、試料のX方向
走査幅をX、像倍率をMとすれば、干渉縞の間jliD
は、 D=M−X/F・ΔF=M−X/F・ 1 /しl ・
・・(1)で与えられる。
z=1/l、である。周波数掃引幅をF、試料のX方向
走査幅をX、像倍率をMとすれば、干渉縞の間jliD
は、 D=M−X/F・ΔF=M−X/F・ 1 /しl ・
・・(1)で与えられる。
次に、液体中に試料を挿入した場合の送受間の遅延時間
をL2とし、また試料4の固有インピーダンスが液体カ
ップラ3の固有のインピーダンスとあまり大きく違わず
、試料4の多重反射による位相変化が無視できるものと
すれば、周波数fにおける受波信号の位相φ は、φ
=φ−2πfly。
をL2とし、また試料4の固有インピーダンスが液体カ
ップラ3の固有のインピーダンスとあまり大きく違わず
、試料4の多重反射による位相変化が無視できるものと
すれば、周波数fにおける受波信号の位相φ は、φ
=φ−2πfly。
となり、試料がない場合の位相φに対して、2πf(t
、t t、2)だけ変化する。この変化分を送波信号の
周波数を変えて補償した場合、その周波数変化量をΔf
とすれば、 2πft、=2π(f+Δf)し。
、t t、2)だけ変化する。この変化分を送波信号の
周波数を変えて補償した場合、その周波数変化量をΔf
とすれば、 2πft、=2π(f+Δf)し。
=2π(f+△fH七] −△L)・・・(2)の関係
がなり立つ。ここで、△し”t、+ −シ2は試料の有
無による伝搬時間差であり、試料の厚さをh、音速をV
s、液体カップラ3中の音速をVとすれば、Δt=h(
1/V−1/Vs)テある。(2)式よりΔfは、 Δf=Δ七・f/(t、−Δし)・・・・・・(3)で
与えられる。(3)式かられかるように1周波数fが変
われば、Δfが変わるから、試料挿入による干渉縞のシ
フト量は各干渉縞ごとに異なる。各干渉縞に対するシフ
1−景及びこれらに対応する周波数偏移を、それぞれ第
2図に示したように、do、d、、 、 d、2、”’
djT+及び△fo、Δf+) 、Δf22 。
がなり立つ。ここで、△し”t、+ −シ2は試料の有
無による伝搬時間差であり、試料の厚さをh、音速をV
s、液体カップラ3中の音速をVとすれば、Δt=h(
1/V−1/Vs)テある。(2)式よりΔfは、 Δf=Δ七・f/(t、−Δし)・・・・・・(3)で
与えられる。(3)式かられかるように1周波数fが変
われば、Δfが変わるから、試料挿入による干渉縞のシ
フト量は各干渉縞ごとに異なる。各干渉縞に対するシフ
1−景及びこれらに対応する周波数偏移を、それぞれ第
2図に示したように、do、d、、 、 d、2、”’
djT+及び△fo、Δf+) 、Δf22 。
・・・・・八f11.とし、±n番目の干渉縞の生じる
周波数fオ、1におけるシフ]−量をdi、1、対応す
る周波数偏移を△fよ7.とすれば、シフト量dthT
、は、と表わせる。また、中心周波数1’e J: J
、’。との周波数差をδf、これに対応するX方向位置
変化を八XとすILば、±n番目の周波’f(r 、、
は、Gff+ =fc +(+/I:+ )(Δx/D
+nl・(5)である。(1)、(4)、(5)式を
用いて、d、、、 / I) = N tl、 、Δx
/D=Rとおけば、試料の音速Vsは、 υ で与えられる。従って、試料4の厚さ及び液体カップラ
3の音速が既知であれば、干渉パターンからN1o及び
Rを測定することにより試料の音速がめられる。ここで
、し□は液体カップラ3の音速と送信用及び受信用集束
超音波1−ランスジューサ1.2のアラインメン1〜に
よって決まり、予め測定しておくことができる。なお、
このLl の測定誤差が音速の測定結果に及ばず影響は
非常に小さいので、それほど厳密に測定する必要はない
。
周波数fオ、1におけるシフ]−量をdi、1、対応す
る周波数偏移を△fよ7.とすれば、シフト量dthT
、は、と表わせる。また、中心周波数1’e J: J
、’。との周波数差をδf、これに対応するX方向位置
変化を八XとすILば、±n番目の周波’f(r 、、
は、Gff+ =fc +(+/I:+ )(Δx/D
+nl・(5)である。(1)、(4)、(5)式を
用いて、d、、、 / I) = N tl、 、Δx
/D=Rとおけば、試料の音速Vsは、 υ で与えられる。従って、試料4の厚さ及び液体カップラ
3の音速が既知であれば、干渉パターンからN1o及び
Rを測定することにより試料の音速がめられる。ここで
、し□は液体カップラ3の音速と送信用及び受信用集束
超音波1−ランスジューサ1.2のアラインメン1〜に
よって決まり、予め測定しておくことができる。なお、
このLl の測定誤差が音速の測定結果に及ばず影響は
非常に小さいので、それほど厳密に測定する必要はない
。
また1周波数掃引幅が小さく、
(N1i+ +R+n)/f t、の値が1に比べて無
視できる場合には、(6)式は、 ■6 と近似てき、送波用及び受波用北東超音波1−ランスジ
ューサ間の距mを変化させる方式と全く同じ形の式とな
る。
視できる場合には、(6)式は、 ■6 と近似てき、送波用及び受波用北東超音波1−ランスジ
ューサ間の距mを変化させる方式と全く同じ形の式とな
る。
第3図は、以上の原理に基づいて構成した本発明の1実
施例の周波数掃引型超音波干渉顕微鏡のブロック図を示
したもので、■、2は送波用及び受波用集束超音波トラ
ンスジューサ、3は液体カップラ、4は試料、5は試料
保持体であり、これらは前述の原理図で示したものと同
じであるので説明は省略する。6は低周波発振器、7は
X方向走査装置、8はY方向走査装置、9は陰極線管、
10は可変移相器、11は可変減衰器、12は高周波発
振器、13は高周波パルス変調器、14は高周波増幅器
、15は位相検波器、16はサンプルホールド回路、1
7はビデオ増幅器、18は微分回路、19はパルスジェ
ネレータ、20は遅延パルスジェネレータ、21は可変
減衰器である。
施例の周波数掃引型超音波干渉顕微鏡のブロック図を示
したもので、■、2は送波用及び受波用集束超音波トラ
ンスジューサ、3は液体カップラ、4は試料、5は試料
保持体であり、これらは前述の原理図で示したものと同
じであるので説明は省略する。6は低周波発振器、7は
X方向走査装置、8はY方向走査装置、9は陰極線管、
10は可変移相器、11は可変減衰器、12は高周波発
振器、13は高周波パルス変調器、14は高周波増幅器
、15は位相検波器、16はサンプルホールド回路、1
7はビデオ増幅器、18は微分回路、19はパルスジェ
ネレータ、20は遅延パルスジェネレータ、21は可変
減衰器である。
次に、本実施例の動作を説明する。まず、低周波発振器
6からの正弦波1n狡(例えば50Hz)によって高周
波発振器12の出力を周波数変調し、またこの周波数の
変化に同期して、X方向走査装置7を駆動し、X方向走
査を行ない、また陰極線管9の水平掃引を行なう。次に
、高周波発振器12からの周波数変調波を高周波パルス
変調器13によって高周波パルスに変換した後、送波用
集束超音波トランスジューサ1に加え、試料4に集束超
音波を照射する。試料4を透過した超音波は共焦点に配
置された受波用集束超音波トランスジューサ2によって
電気信号に変換される。この信号は高周波増幅器14で
増幅され、リミッタを通した後、位相検波器15で高周
波Jl!振器12からの高周波信号を可変減衰器21で
適当な振幅にして得られた参照信号との間で位相検波さ
れる。この検波出力からサンプルホールド回路16によ
って所望の信号のみを抽出保持した後、ビデオ増幅器1
7で増幅して陰極線管9の輝度信号とする。更に、Y方
向走査装置8を駆動してY方向掃引を行ない。
6からの正弦波1n狡(例えば50Hz)によって高周
波発振器12の出力を周波数変調し、またこの周波数の
変化に同期して、X方向走査装置7を駆動し、X方向走
査を行ない、また陰極線管9の水平掃引を行なう。次に
、高周波発振器12からの周波数変調波を高周波パルス
変調器13によって高周波パルスに変換した後、送波用
集束超音波トランスジューサ1に加え、試料4に集束超
音波を照射する。試料4を透過した超音波は共焦点に配
置された受波用集束超音波トランスジューサ2によって
電気信号に変換される。この信号は高周波増幅器14で
増幅され、リミッタを通した後、位相検波器15で高周
波Jl!振器12からの高周波信号を可変減衰器21で
適当な振幅にして得られた参照信号との間で位相検波さ
れる。この検波出力からサンプルホールド回路16によ
って所望の信号のみを抽出保持した後、ビデオ増幅器1
7で増幅して陰極線管9の輝度信号とする。更に、Y方
向走査装置8を駆動してY方向掃引を行ない。
二次元的に表示すれば、陰極線管9の面上に干渉縞が得
られる。
られる。
なお、可変位相器lOは高周波発振器12からの送波信
号の周波数変化と陰極線管9の水平掃引(試料4のX方
向走査)を完全に同期させるために、変調信号の位相を
調整する。また可変減衰器11によって、周波数掃引幅
(従って干#縞数)を適当に選ぶことができる。なお、
陰極線管9で線画表示にするため、微分回路18はビデ
オ増幅器17の後に挿入しである。
号の周波数変化と陰極線管9の水平掃引(試料4のX方
向走査)を完全に同期させるために、変調信号の位相を
調整する。また可変減衰器11によって、周波数掃引幅
(従って干#縞数)を適当に選ぶことができる。なお、
陰極線管9で線画表示にするため、微分回路18はビデ
オ増幅器17の後に挿入しである。
このように構成することにより、従来の共焦点構成の透
過型機械走査超音波顕vfi鏡の機械系に何ら手を加え
ることなく構成でき、第1図に示した原理をより忠実に
実施することができる。
過型機械走査超音波顕vfi鏡の機械系に何ら手を加え
ることなく構成でき、第1図に示した原理をより忠実に
実施することができる。
なお、高周波発振器12から位相検波器15までの信号
回路系の途中に遅延線を挿入することによって、千1m
の本数(即ちX方向のサンプリング数)を多くとること
ができる。また、原理から明らかなように、この周波数
掃引方式は反射型超音波顕微鏡に対してもそのまま適用
できる。
回路系の途中に遅延線を挿入することによって、千1m
の本数(即ちX方向のサンプリング数)を多くとること
ができる。また、原理から明らかなように、この周波数
掃引方式は反射型超音波顕微鏡に対してもそのまま適用
できる。
−1久−
以上の説明から明らかなように、本発明は、従来の共焦
点構成の透過型L1械走査超音波顕微鏡の機械系に何ら
手を加えることなく構成でき、超音波ビームを細く絞れ
るので、これまでの平面波照射やトランスジユーザ振f
fl!+型、I11音波干渉顕微鏡に比べて、より高分
解能の音速分布の測定が可能であり、生体組織の微細な
音速分布の定量的測定など、組織の特性評価用装置とし
て有用である。
点構成の透過型L1械走査超音波顕微鏡の機械系に何ら
手を加えることなく構成でき、超音波ビームを細く絞れ
るので、これまでの平面波照射やトランスジユーザ振f
fl!+型、I11音波干渉顕微鏡に比べて、より高分
解能の音速分布の測定が可能であり、生体組織の微細な
音速分布の定量的測定など、組織の特性評価用装置とし
て有用である。
第1図は本発明のノH〔理を説明するための図、第2図
は試71のX方向走査位置と送波信号の周波数偏移との
関係及び陰極線管の面上で得られる干渉パターン、第3
図は本発明の1実施例の周波数掃引型超音波干渉顕微鏡
のブロック図である。 ■、2・・・送波用及び受波用焦束超音波トランスジュ
ーサ、3・・・液体カップラ、4・・・試料、5・・・
試料保持体、6・・・低周波発振器、7・・・X方向走
査装置、8・・・Y方向走査装置、9・・・陰極線管、
10・・・可変移相器、11・・・可変減衰器、12・
・・高周波発振器、13・・・1r6周波パルス変調器
、14・・・高周波増幅器、15・・・位相検波器、1
6・・・サンプルホールド回路、17・・・ビデオ増幅
器、18・・・微分回路、19・・・パルスジェネレー
タ、20・・・遅延パルスジェネレータ、21・・・可
変減衰器。
は試71のX方向走査位置と送波信号の周波数偏移との
関係及び陰極線管の面上で得られる干渉パターン、第3
図は本発明の1実施例の周波数掃引型超音波干渉顕微鏡
のブロック図である。 ■、2・・・送波用及び受波用焦束超音波トランスジュ
ーサ、3・・・液体カップラ、4・・・試料、5・・・
試料保持体、6・・・低周波発振器、7・・・X方向走
査装置、8・・・Y方向走査装置、9・・・陰極線管、
10・・・可変移相器、11・・・可変減衰器、12・
・・高周波発振器、13・・・1r6周波パルス変調器
、14・・・高周波増幅器、15・・・位相検波器、1
6・・・サンプルホールド回路、17・・・ビデオ増幅
器、18・・・微分回路、19・・・パルスジェネレー
タ、20・・・遅延パルスジェネレータ、21・・・可
変減衰器。
Claims (2)
- (1)液体カップラ内に装着された試料を挟んで、送波
用及び受波用の集束超音波トランスジューサを共焦点近
傍に配置し、低周波発振器からの正弦波信号によって高
周波発振器の出力を周波数変調し、該周波数変調と同期
して前記試料の一方向走査及び陰極線管の水平掃引を行
ない、前記高周波発振器の周波数変調波を高周波パルス
変調器によって高周波パルスに変換後、前記送波用集束
超音波トランスジューサに印加して前記試料に集束超音
波を照射し、前記試料を透過した集束超音波を前記受波
用槃束超音波トランスジューサで受波し。 該受波信号を前記高周波発4g器からの参照信号により
位相検波を行ない、該信号を微分回路で微分して前記陰
極線管に印加し、I″fil記陰極線管に干渉縞を表示
するようにしたことを特徴とする周波数掃引型超音波干
渉顕微鏡。 - (2)前記高周波発振器の周波数変調と前記陰極線管の
水平掃引を同期させるために、前記低周波発振器の出力
の位相を調整する可変移相器を接続することを特徴とす
る特許請求範囲第1項記載の周波数掃引型超音波干渉顕
微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58202457A JPS6093346A (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 周波数掃引型超音波干渉顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58202457A JPS6093346A (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 周波数掃引型超音波干渉顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6093346A true JPS6093346A (ja) | 1985-05-25 |
JPH0462023B2 JPH0462023B2 (ja) | 1992-10-02 |
Family
ID=16457840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58202457A Granted JPS6093346A (ja) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | 周波数掃引型超音波干渉顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6093346A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104132998A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-11-05 | 北京科技大学 | 一种基于超声扫描显微镜的内部微观缺陷检测方法 |
-
1983
- 1983-10-27 JP JP58202457A patent/JPS6093346A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104132998A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-11-05 | 北京科技大学 | 一种基于超声扫描显微镜的内部微观缺陷检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0462023B2 (ja) | 1992-10-02 |
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