JPS6091225A - 非接触超音波受信装置 - Google Patents
非接触超音波受信装置Info
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- JPS6091225A JPS6091225A JP19908183A JP19908183A JPS6091225A JP S6091225 A JPS6091225 A JP S6091225A JP 19908183 A JP19908183 A JP 19908183A JP 19908183 A JP19908183 A JP 19908183A JP S6091225 A JPS6091225 A JP S6091225A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、物体の表面で反射または散乱された光が、該
表面に生じている超音波振動によシ変調されることを利
用して該振動を光によシ検出する装置に係シ、特に該表
面に入射させる光を予め変調しておくことによシ該振動
を高感度に検出する非接触超音波受信装置に関する。
表面に生じている超音波振動によシ変調されることを利
用して該振動を光によシ検出する装置に係シ、特に該表
面に入射させる光を予め変調しておくことによシ該振動
を高感度に検出する非接触超音波受信装置に関する。
本発明は特開昭５１−８３５４９に関連するもので、ま
ず、この公知技術について図面を用いて説明する。第１
図は従来公知の干渉法を用いた超音波振動の検出法の解
説図である。被検査体４は、超音波振動を受け、または
、伝播して来た超音波によシ、その表面４ａが振動して
いるものとする。該表面４ａはレーザ２からの単色コヒ
ーレントな平行光によって照射される。反射された光ビ
ーム５はビームスプリッタ３１に伝達され、２本のビー
ム５ａ及び５ｂに分割される。主ビーム５ａは鏡３２に
伝達され、反射されて再びビームスプリッタ３１に戻さ
れ、光検出器６に送られる。ビームスプリッタ３１で分
割された他のビーム５ｂは該スプリッタ３１と反射鏡向
３２′との間を折シ返された光経路の形態を有する遅延
経路３３を伝播せしめられて遅延光となシ、栴びビーム
スプリッタ３１を通って光検出器６に到達する。遅延経
路３３はＳの長さを持ち、遅延時間２８／Ｃ（Ｃ：光速
）だけ、ビーム５ｂがビーム５８に対して遅延される。
ず、この公知技術について図面を用いて説明する。第１
図は従来公知の干渉法を用いた超音波振動の検出法の解
説図である。被検査体４は、超音波振動を受け、または
、伝播して来た超音波によシ、その表面４ａが振動して
いるものとする。該表面４ａはレーザ２からの単色コヒ
ーレントな平行光によって照射される。反射された光ビ
ーム５はビームスプリッタ３１に伝達され、２本のビー
ム５ａ及び５ｂに分割される。主ビーム５ａは鏡３２に
伝達され、反射されて再びビームスプリッタ３１に戻さ
れ、光検出器６に送られる。ビームスプリッタ３１で分
割された他のビーム５ｂは該スプリッタ３１と反射鏡向
３２′との間を折シ返された光経路の形態を有する遅延
経路３３を伝播せしめられて遅延光となシ、栴びビーム
スプリッタ３１を通って光検出器６に到達する。遅延経
路３３はＳの長さを持ち、遅延時間２８／Ｃ（Ｃ：光速
）だけ、ビーム５ｂがビーム５８に対して遅延される。
反射光ビーム５は被検体表面４ａの振励によシ変詞また
は位相ずれを受けるが、遅延時間２Ｓ／Ｃを大略該振動
の半周期とし、両ビーム５ａ、５ｂの干渉強度の便化が
該振動に従う位相ずれに対し最大となるよう調整する事
によシ、光検出器６の出力する信号として該振動を検出
することができる。
は位相ずれを受けるが、遅延時間２Ｓ／Ｃを大略該振動
の半周期とし、両ビーム５ａ、５ｂの干渉強度の便化が
該振動に従う位相ずれに対し最大となるよう調整する事
によシ、光検出器６の出力する信号として該振動を検出
することができる。
この従来技術において、超音波周Ｖ数は一般に０．４〜
３０ＭＨｚ程度で、特に良く使用される２ＭＨ２を例に
とると、振動の半周期は２５０ｎＳとなる。光速３ Ｘ
Ｉ Ｑ８ｍ／ｓから計算すると、光遅延経路３３の長
さＳは３７．５ｍにも及び、一般に用いられる探傷益や
診断装置或は振動検出器等、机上に載る装置に較べ桁外
れに大きくなる。この大きさは、鏡等によシ折返し、縮
小することもできるが、路長Ｓは不変でなければならな
いし、光の波長（２１４ｍ）以下の精度で安定でなくて
はならない。即ち、光の経路３３や、ビームスプリッタ
３１と鏡３２の間の経路の屈折率や距離が、３７．５ｍ
に対する１μｍ以下の精度で安定でなくてはならないが
、１０′″７以下の機械的精度を、気温等の種々の環境
状件に対し一定に保つのは容易なことではない。
３０ＭＨｚ程度で、特に良く使用される２ＭＨ２を例に
とると、振動の半周期は２５０ｎＳとなる。光速３ Ｘ
Ｉ Ｑ８ｍ／ｓから計算すると、光遅延経路３３の長
さＳは３７．５ｍにも及び、一般に用いられる探傷益や
診断装置或は振動検出器等、机上に載る装置に較べ桁外
れに大きくなる。この大きさは、鏡等によシ折返し、縮
小することもできるが、路長Ｓは不変でなければならな
いし、光の波長（２１４ｍ）以下の精度で安定でなくて
はならない。即ち、光の経路３３や、ビームスプリッタ
３１と鏡３２の間の経路の屈折率や距離が、３７．５ｍ
に対する１μｍ以下の精度で安定でなくてはならないが
、１０′″７以下の機械的精度を、気温等の種々の環境
状件に対し一定に保つのは容易なことではない。
以上の説明かられかるように、この従来技術の欠点は、
光遅延経路を必要とするので必然的に大形化すること、
及び機械的精度と安定度の要求が厳しく、何らかの補正
機構等を要する点である。
光遅延経路を必要とするので必然的に大形化すること、
及び機械的精度と安定度の要求が厳しく、何らかの補正
機構等を要する点である。
本発明の目的は、前記の欠点を無くシ、小形で遅延路長
の機械的補正手段等の必要の無い、外乱に対し安定な非
接触超音波受信装置を提供することにある。
の機械的補正手段等の必要の無い、外乱に対し安定な非
接触超音波受信装置を提供することにある。
第２図は前記公知例において、物体表面が連続波状に振
動している場合の反射光５及び光検出器６の出力のスペ
クトル強度を、夫々（ａ）及び（ｂ）のグラフとして示
したものである。レーザ光の周波数ωｏｐは振動の周波
数ωυＬの変調を受け、反射光は側帯波を持つ。光検出
器の応答は高々ＩＧＨ２なので側帯波のみを出力するが
、このレベルは干渉強度により影響を受け、Ｓ／Ｎひい
ては検出感度に影響する。
動している場合の反射光５及び光検出器６の出力のスペ
クトル強度を、夫々（ａ）及び（ｂ）のグラフとして示
したものである。レーザ光の周波数ωｏｐは振動の周波
数ωυＬの変調を受け、反射光は側帯波を持つ。光検出
器の応答は高々ＩＧＨ２なので側帯波のみを出力するが
、このレベルは干渉強度により影響を受け、Ｓ／Ｎひい
ては検出感度に影響する。
これに対し本発明では、物体を照明する光（第１図のレ
ーザの出力光に相当）を、光検出器の応答する範囲の周
波数で予め振幅変調もしくはパルス変調しておき、光検
出器でその変調周波数成分を、位相まで含めて検出し、
さらにその中から超音波振動速度に対応する周波数のＦ
ＭまたはＰＭ酸成分抽出することによって、第１図の干
渉系３を省き、小形化すると共にその不安定度による干
渉強度の変動を除去したものである。また、反射光の強
度の変動による影響を受けに〈〈シたものである。
ーザの出力光に相当）を、光検出器の応答する範囲の周
波数で予め振幅変調もしくはパルス変調しておき、光検
出器でその変調周波数成分を、位相まで含めて検出し、
さらにその中から超音波振動速度に対応する周波数のＦ
ＭまたはＰＭ酸成分抽出することによって、第１図の干
渉系３を省き、小形化すると共にその不安定度による干
渉強度の変動を除去したものである。また、反射光の強
度の変動による影響を受けに〈〈シたものである。
以下、本発明の一実施例を第３図によｐ説明する。信号
発生器１は、光検出器６が応答し得る周波数、例えば１
００ＪｔＪＨ２乃至ＩＧＨ２で安定な連続波またはパル
ス波の信号を出力する。変調光発生器２は、その信号に
よって襲幅変調された変調光を発生し、方向フィルタ３
５等から成る光伝播手段３を通して平行光とし、物体４
の振動している表面４ａを照射する。そこで光は、表面
４ａが平滑であれば反射、また、粗面であれば散乱され
、反射光５となるが、それと同時に、該表面４ａの振動
速度により周波数変調または位相変調を受ける。この時
の変調は光の周波数に対すると同時に、前記振幅変調の
周波数にも働く。反射光５は方向フィルタ３５等からな
る光伝播手段３を通って光検出器６に到達するが、この
時点で光の干渉等の現象を起こす要因が無いので、強度
の変動は無く、安定に受光できる。光検出器はフォトダ
イオード、マイクロチャンネルプレート、或はフォトマ
ルチプライヤ等によシ実現できる。それらに対応する光
受信器７を通して、反射光５に対応する′電気信号が、
前記信号発生器１の出力する信号とほぼ同じ周波数帯を
含む信号として出力される。復調器８は、該電気信号を
ＦＭまたはＰＭ検波して、超音波振動を速度に比例する
形で検出・出力し、例えばＣＲＴモニタのような表示器
に出力する。
発生器１は、光検出器６が応答し得る周波数、例えば１
００ＪｔＪＨ２乃至ＩＧＨ２で安定な連続波またはパル
ス波の信号を出力する。変調光発生器２は、その信号に
よって襲幅変調された変調光を発生し、方向フィルタ３
５等から成る光伝播手段３を通して平行光とし、物体４
の振動している表面４ａを照射する。そこで光は、表面
４ａが平滑であれば反射、また、粗面であれば散乱され
、反射光５となるが、それと同時に、該表面４ａの振動
速度により周波数変調または位相変調を受ける。この時
の変調は光の周波数に対すると同時に、前記振幅変調の
周波数にも働く。反射光５は方向フィルタ３５等からな
る光伝播手段３を通って光検出器６に到達するが、この
時点で光の干渉等の現象を起こす要因が無いので、強度
の変動は無く、安定に受光できる。光検出器はフォトダ
イオード、マイクロチャンネルプレート、或はフォトマ
ルチプライヤ等によシ実現できる。それらに対応する光
受信器７を通して、反射光５に対応する′電気信号が、
前記信号発生器１の出力する信号とほぼ同じ周波数帯を
含む信号として出力される。復調器８は、該電気信号を
ＦＭまたはＰＭ検波して、超音波振動を速度に比例する
形で検出・出力し、例えばＣＲＴモニタのような表示器
に出力する。
第４図は、以上説明した動作において、反射光５と復調
器８の出力とのスペクトルを、第２図と比較し得る形で
示したものである。ωｏｐは光の周波数であるが、この
周波数成分は光検出器６で検出できないので、その側帯
波成分は省略しである。
器８の出力とのスペクトルを、第２図と比較し得る形で
示したものである。ωｏｐは光の周波数であるが、この
周波数成分は光検出器６で検出できないので、その側帯
波成分は省略しである。
ωｌは振幅変調の周波数で、ωＩを中心として±ωｔｌ
Ｌの範囲の信号（もしくはＳＳＢのように片側の側帯波
とω１の成分）を同調フィルタにより抽出し、復調器８
で超音波振動に対応する周波数の側帯波成分のみが取り
出される。
Ｌの範囲の信号（もしくはＳＳＢのように片側の側帯波
とω１の成分）を同調フィルタにより抽出し、復調器８
で超音波振動に対応する周波数の側帯波成分のみが取り
出される。
本実施例によれば、入射光の光検出器６への直接の漏れ
込みが少ないので、反射光５か弱い時にも測定可能であ
る。
込みが少ないので、反射光５か弱い時にも測定可能であ
る。
次に本実施例実現の為の細部説明を行う。信号発生器１
は数１０ＭＨ２乃至ＩＧＨ２の高安定度の標準信号発生
器により実現できる。変調光発生器２はレーザダイオー
ドを使ったＥ１０変換器、或は、レーザと光変調器との
組合せによって実現できる。方向フィルタ３５は、レン
ズ等により、また光検出器６はフォトダイオードが使え
るが、反射光強度の微小な時はフォトマルチグライヤや
マイクロチャンネルプレート等の高感度検出器も使用可
能である。光受信器７は、信号発生器１の信号周波数を
中心周波数として、超音波振動の周波数をカバーできる
周波数帯域幅を持つ受信器が、特に無線通信の分野で使
われており、それによって実現できる。
は数１０ＭＨ２乃至ＩＧＨ２の高安定度の標準信号発生
器により実現できる。変調光発生器２はレーザダイオー
ドを使ったＥ１０変換器、或は、レーザと光変調器との
組合せによって実現できる。方向フィルタ３５は、レン
ズ等により、また光検出器６はフォトダイオードが使え
るが、反射光強度の微小な時はフォトマルチグライヤや
マイクロチャンネルプレート等の高感度検出器も使用可
能である。光受信器７は、信号発生器１の信号周波数を
中心周波数として、超音波振動の周波数をカバーできる
周波数帯域幅を持つ受信器が、特に無線通信の分野で使
われており、それによって実現できる。
復調器８は、超音波信号を検出するため、少なく共その
周波数帯域の変調信号を復調する能力が必要である。Ｆ
Ｍ放送受信器等に用いられている回路は、可聴帯域（２
０〜２０，０００ Ｈ２）なので適用できないが、同様
の回路、例えば地検波回路で素子及び回路の構成方法等
の工夫で超音波周波への適用も可能である。また、ＰＬ
Ｌ’（位相固定ループ）回路を用いた第５図の回路も適
用可能でおる。第５図では、数百Ｍｌｌの入力信号に対
し、数十乃至百ＭＨ２位低い周波数の連続波を局部発振
器８２で発生して、ミキサー８１で混合し、差周波数の
中間周波ＩＦにミックスダウンする。
周波数帯域の変調信号を復調する能力が必要である。Ｆ
Ｍ放送受信器等に用いられている回路は、可聴帯域（２
０〜２０，０００ Ｈ２）なので適用できないが、同様
の回路、例えば地検波回路で素子及び回路の構成方法等
の工夫で超音波周波への適用も可能である。また、ＰＬ
Ｌ’（位相固定ループ）回路を用いた第５図の回路も適
用可能でおる。第５図では、数百Ｍｌｌの入力信号に対
し、数十乃至百ＭＨ２位低い周波数の連続波を局部発振
器８２で発生して、ミキサー８１で混合し、差周波数の
中間周波ＩＦにミックスダウンする。
ＩＰフィルタ増幅器８３でその周波数成分のみを抽出し
、位相比較器８４．フィルタ８５．ＶＣ０８６で構成さ
れるＰＬＬによって超音波成分以下の周波数を取シ出す
。ＰＬＬの動作は、電圧制御発振器ＶＣＯ８６の自由発
振周波数を、ＩＦの定常状態の周波数にほぼ一致させて
おき、その出力をＩＦフィルタ８３の出力と、位相比較
器８４で比較し、差周波数に比例した直流信号をフィル
タ８５で取り出す。フィルタ８５の出力は元の入力信号
の周波数の変動分を直流信号のレベルに変換したものに
相当するので、これにより復調が完了する。ＶＣＯ８６
は定常状態でのドリフト等による離調を防ぐため、フィ
ルタ８５の直流出力によって常に修正され、安定なＰＬ
Ｌを形成する。復調器８の出力として、低周波の妨害除
去や、周波数特性の調整等の必要な場合は、さらにフィ
ルタやイコライザを追加することも可能である。
、位相比較器８４．フィルタ８５．ＶＣ０８６で構成さ
れるＰＬＬによって超音波成分以下の周波数を取シ出す
。ＰＬＬの動作は、電圧制御発振器ＶＣＯ８６の自由発
振周波数を、ＩＦの定常状態の周波数にほぼ一致させて
おき、その出力をＩＦフィルタ８３の出力と、位相比較
器８４で比較し、差周波数に比例した直流信号をフィル
タ８５で取り出す。フィルタ８５の出力は元の入力信号
の周波数の変動分を直流信号のレベルに変換したものに
相当するので、これにより復調が完了する。ＶＣＯ８６
は定常状態でのドリフト等による離調を防ぐため、フィ
ルタ８５の直流出力によって常に修正され、安定なＰＬ
Ｌを形成する。復調器８の出力として、低周波の妨害除
去や、周波数特性の調整等の必要な場合は、さらにフィ
ルタやイコライザを追加することも可能である。
ＶＣＯ８６の制御用の信号と、出力の信号の時定数を変
えたい時は、フィルタ８５を、定数の異るもの２種設け
、夫々専用フィルタ回路とすることも可能である。
えたい時は、フィルタ８５を、定数の異るもの２種設け
、夫々専用フィルタ回路とすることも可能である。
なお、方向フィルタとして、レンズ等の代り、または、
レンズ等と併用して光ファイバと光コネクタ等を使うこ
ともでき、その場合は本発明の装置と被検査体の位置関
係の自由度が高まる効果がある。
レンズ等と併用して光ファイバと光コネクタ等を使うこ
ともでき、その場合は本発明の装置と被検査体の位置関
係の自由度が高まる効果がある。
第６図は、本発明の第２の実施例を示すもので、光伝播
手段３として、方向フィルタ３５の代りにビームスプリ
ッタ３１を用いたもので、該スプリッタ３１と物体４の
間のビームが１本になるので、狭い隙間を通しての測定
が可能になる。
手段３として、方向フィルタ３５の代りにビームスプリ
ッタ３１を用いたもので、該スプリッタ３１と物体４の
間のビームが１本になるので、狭い隙間を通しての測定
が可能になる。
第７図は、不発明のその他の実施列を示すもので、光伝
播手段３としてマイクロレンズ３５と光ツァイパ−３６
の組合せを用いた他、光受信器７の出力する受信信号を
超音波信号の半周期分遅延させ、混合器１１で元の信号
と混合、干渉させてから復調することとしたものである
。前記公知例の光遅延経路に相当するものを電気回路に
よって実現したもので、光を予め復調可能な周波数で変
調しておくことによシ、技術的に可能となったものであ
る。本実施例によれば、遅延回路の遅延時間を調整する
ことによ、り干渉強度を制御でき、高感度な非接触超音
波受信装置が得られる。
播手段３としてマイクロレンズ３５と光ツァイパ−３６
の組合せを用いた他、光受信器７の出力する受信信号を
超音波信号の半周期分遅延させ、混合器１１で元の信号
と混合、干渉させてから復調することとしたものである
。前記公知例の光遅延経路に相当するものを電気回路に
よって実現したもので、光を予め復調可能な周波数で変
調しておくことによシ、技術的に可能となったものであ
る。本実施例によれば、遅延回路の遅延時間を調整する
ことによ、り干渉強度を制御でき、高感度な非接触超音
波受信装置が得られる。
本発明によれば光遅延経路（超音波周波数０．４〜３０
ＭＨ２に対する長さ５乃至３７５ｍ）を省くことができ
、かつ、変調光を照射することによって、従来例におけ
る光の波長オーダーの精度の要求が緩くなるので、環境
条件等の外乱に対して非常に安定かつ小形の装置が構成
できる。また、安定度の向上に伴って調整も容易になる
ので、可搬型の装置が構成できる。
ＭＨ２に対する長さ５乃至３７５ｍ）を省くことができ
、かつ、変調光を照射することによって、従来例におけ
る光の波長オーダーの精度の要求が緩くなるので、環境
条件等の外乱に対して非常に安定かつ小形の装置が構成
できる。また、安定度の向上に伴って調整も容易になる
ので、可搬型の装置が構成できる。
本発明の副次的効果は、光の振幅変調の周波数成分にト
ラッキングしながら、或は信号発生器の出力信号に位相
ロックしながら、反射光を受信することが可能なので、
Ｓ／Ｎが大きく、かつ高感度な非接触超音波受信装置が
提供できる点である。
ラッキングしながら、或は信号発生器の出力信号に位相
ロックしながら、反射光を受信することが可能なので、
Ｓ／Ｎが大きく、かつ高感度な非接触超音波受信装置が
提供できる点である。
また反射光強度の変動に対する測定誤差が小さくなるの
で、特に粗面物体に対し有利となる。
で、特に粗面物体に対し有利となる。
第１図は、従来の非接触超音波受信装置の配置を説明す
る構成ブロック図、第２図は第１図の装置の動作時のス
ペクトルの一例を示す説明図、第３図は本発明の一実施
例の構成を示すブロック図、第４図は該実施例の動作時
のスペクトルの一例を示す説明図、第５図は、第３図示
回路の一部変形例を示す図、第６図及び第７図は本発明
のその他の実施例を示す構成ブロック図である。 １・・・信号発生器、２・・・変調光発生器、３・・・
光伝播手段、４・・・物体、６・・・光検出器、７・・
・光受信器、第 １ 図 第 Ｚ 図 （ｉ） （、、＃） 瓦り光で５）の内固或−＆ Ｌ、倹ｒ五ｔｎよりスペク
トル第 ３ 図 第 ／−１−閃 ｚ−，６ 反射先（５）のス欠フトル 棧調呑（３序工力茅５ 国 拓 乙 刀 第 ７ 図 ＩＩ ２５
る構成ブロック図、第２図は第１図の装置の動作時のス
ペクトルの一例を示す説明図、第３図は本発明の一実施
例の構成を示すブロック図、第４図は該実施例の動作時
のスペクトルの一例を示す説明図、第５図は、第３図示
回路の一部変形例を示す図、第６図及び第７図は本発明
のその他の実施例を示す構成ブロック図である。 １・・・信号発生器、２・・・変調光発生器、３・・・
光伝播手段、４・・・物体、６・・・光検出器、７・・
・光受信器、第 １ 図 第 Ｚ 図 （ｉ） （、、＃） 瓦り光で５）の内固或−＆ Ｌ、倹ｒ五ｔｎよりスペク
トル第 ３ 図 第 ／−１−閃 ｚ−，６ 反射先（５）のス欠フトル 棧調呑（３序工力茅５ 国 拓 乙 刀 第 ７ 図 ＩＩ ２５
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、単色の連続レーザ光を発生し、かつ、該レーザ光を
外部信号によシ変調可能な光発生器と、該光発生器を制
御して連続レーザ光を所定に振幅変調する（ｉ号発生器
と、上記光発生器からのレーザ光を物体表面に非接触で
照射し、かつ、該表面からの反射レーザ光を非接触で取
シ出す光伝播手段と、該伝播手段からの反射レーザ光の
特に変調波成分を検出する光検出器および光受信器と、
該変調波成分より、該表面の変位または変位速度によシ
変調された周波数成分を検出する復調器とから成ること
を特徴とする非接触超音波受信装置。 ２、光発生器は半導体レーザとしてなる特許請求の範囲
第１項記載の非接触超音波受信装置。 ３、光発生器はレーザと光変調器とからなる特許請求の
範囲第１項記載の非接触超音波受信装置。 ４、レーザは単一波長で発振する単一モードレーザとし
てなる特許請求の範囲第２項または第３項記載の非接触
超音波受信装置。 ５、光伝播手段は透明な気体としてなる特許請求の範囲
第１項記載の非接触超音波受信装置。 ６、光伝播手段は方向フィルタを備えた特許請求の範囲
第１項記載の非接触超音波受信装置。 ７、光伝播手段は光ファイバとしてなる特許請求の範囲
第１項記載の非接触超音波受信装置。 ８、光伝播手段はビームスプリッタを備えた特許請求の
範囲第１項記載の非接触超音波受信装置つ９゜光検出器
はフォトダイオードとしてなる特許請求の範囲第１項記
載の非接触超音波受信装置。 １０、光検出器はマイクロチャンネルプレートトシてな
る特許請求の範囲第１項記載の非接触超音波受信装置。 １１、復調器はＦＭ復調器としてなる特許請求の範囲第
１項記載の非接鼠超音波受信ｔＸ １２、単色の連続レーザ光を発生し、かつ、該レーザ光
を外部信号により変調可能な光発生器と、該光発生器を
制御して連続レーザ光を所定に振幅変調する信号発生器
と、上記光発生器からのレーザ光を物体表面に非接触で
伝播照射し、かつ、該表面からの反射レーザ光を受け伝
播させる光伝播手段と、該反射レーザ光の特に変調波成
分を検出する光検出器及び光受信器と、該変調波成分を
物体表面の振動の中心周波数に対する半波長に相当する
時間、遅延させる遅延回路と、該変調波成分と該遅延回
路の出力信号とを混合し、干渉信号として出力する混合
器と、該干渉信号から該振動の変位または変位速度によ
り変調された周波数成分を検出する復調器とから成るこ
とを特徴とする非接触超音波受信装置。 １３、光発生器は半導体レーザとしてなる特許請求の範
囲第１２項記載の非接触超音波受信装置。 １４、光伝播手段はレンズ、レンズ群または集合レンズ
として成る特許請求の範囲第１２項記載の非接触超音波
受信装置。 １５、光伝播手段は、レンズ及び光ファイバとその結合
手段とから成る特許請求の範囲第１２項記載の非接触超
音波受信装置。 １６、光検出器はフォトダイオードとして成る特許請求
の範囲第１２項記載の非接触超音波受信装置。 １７、光検出器はマイクロチャンネルプレートトシて成
る特許請求の範囲第１２項記載の非接触超音波受信装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19908183A JPS6091225A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 非接触超音波受信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19908183A JPS6091225A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 非接触超音波受信装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091225A true JPS6091225A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16401785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19908183A Pending JPS6091225A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 非接触超音波受信装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091225A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993017318A1 (en) * | 1992-02-27 | 1993-09-02 | United States Department Of Energy | Apparatus and method for noninvasive characterization of eggs |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP19908183A patent/JPS6091225A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993017318A1 (en) * | 1992-02-27 | 1993-09-02 | United States Department Of Energy | Apparatus and method for noninvasive characterization of eggs |
| US5426977A (en) * | 1992-02-27 | 1995-06-27 | The Regents Of The University Of California | Method for establishing the presence of salmonella bacteria in eggs |
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