JPS609119B2 - 塗装ラインの熱回収装置 - Google Patents
塗装ラインの熱回収装置Info
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- JPS609119B2 JPS609119B2 JP56080814A JP8081481A JPS609119B2 JP S609119 B2 JPS609119 B2 JP S609119B2 JP 56080814 A JP56080814 A JP 56080814A JP 8081481 A JP8081481 A JP 8081481A JP S609119 B2 JPS609119 B2 JP S609119B2
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- JP
- Japan
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- air
- cooling
- heat
- heat exchanger
- tank
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は塗装ラインの熱回収装置、詳しくは、軍着塗料
格において電着塗装の進行に伴い発生する熱量を回収し
て塗装用の空気調和装置に活用するようにした熱回収装
置に関する。
格において電着塗装の進行に伴い発生する熱量を回収し
て塗装用の空気調和装置に活用するようにした熱回収装
置に関する。
従来、自動車車体等の塗装ラインで多用されている塗装
用の空気調和装置は、新鮮な外気を乾式フィル夕を介し
て吸入したのちに、日頃次湿式フィル夕、ェリミネータ
および間接加熱器を通過させて、炉過すなわち除塵）、
調湿および調温を行なったのち、塗装ブース内に導く形
式のものであったが、かかる形式の空気調和装置にあっ
ては、前記調湿および調温に際し、特に冬期にあっては
大量の蒸気エネルギーを要する点が問題とされていた。
例えば、冬期に５℃の温度で５０％の相対湿度の外気を
空気調和して２０００の温度で８０％の相対湿度にしよ
うとすると、１時間当り３０００００で（１分間当り５
０００で）の流量仕様の空気調和装置が必要とする蒸気
エネルギーは約３００００００ｋｃａｌ／ｈｒとなる。
一方、従来、電着塗装装置は、被塗物の搬送手段、亀着
槽、函着塗料浴循環系、給電装置等を備え、被塗物を前
記搬送手段により竜着槽内に蓬浴された亀着塗料格の循
環流中に浸潰させて前記給電装置による給電条件下に亀
着塗装する。しかしてこのような亀着塗装を行う場合、
露着塗装に伴い発生するジュール熱と前記裕循環系によ
り循環される電着塗料格の運動ェネルギに基づく流体摩
擦熱とにより露着塗料格の温度が上昇する。しかしなが
ら、電着塗料俗は塗膜・性能および仕上り品質を維持す
るため、通常２５〜３０ｏｏの間で設定した温度に対し
±１〜２００に保つ必要がある。このため、電着槽内の
雷着塗料格は該電着槽から導管により取出し、熱交換器
で冷却されたのち前記電着槽へ循環され、また該熱交換
器の伝熱媒体としての冷却水は適宜の冷却手段例えば冷
凍機により冷却されている。しかして亀着塗料格で発生
する前記の熱量は、自生自動車車体１８０００台／月〜
２００００台／月の雷着塗装装置において６０００００
ｋｃａｌ／ｈｒ程度になり、該熱量は前記のようにして
熱交換器を介して冷却手段の放熱部から系外に放出され
るものであるが、放出熱量が大であるとは云え放熱温度
が比較的低いため、通常の熱交換器により回収すること
が困難であり、従って何等有効に利用されることなく前
記放出により実際上は廃棄されていた。本発明は、叙上
の点に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこ
ろは上記難点ないし欠点を解決して従来無駄に放出して
廃棄されていた熱量を回収活用するにあり、その特徴と
するところは、電着塗料浴を収納した露着槽と、該雷着
塗料俗を冷却するための熱交換器と、該竜着塗料格を該
電着槽から該熱交換器を経て再び該露着槽へ循環するた
めの配管系と、該熱交換器で昇温した伝熱媒体を空気に
より冷却するための冷却手段と、該伝熱媒体を該冷却手
段から該熱交換器を経て再び該冷却手段に循環するため
の配管系と、該空冷手段で加溢された空気を空気調和装
置へ送るダクト系と、該ダクト系から送られた空気およ
び外気を炉遇するとともに調温・調湿する空気調和装置
とを備えてなる塗装ラインの熱回収システムにある。以
下、本発明を図面に基づいて説明する。
用の空気調和装置は、新鮮な外気を乾式フィル夕を介し
て吸入したのちに、日頃次湿式フィル夕、ェリミネータ
および間接加熱器を通過させて、炉過すなわち除塵）、
調湿および調温を行なったのち、塗装ブース内に導く形
式のものであったが、かかる形式の空気調和装置にあっ
ては、前記調湿および調温に際し、特に冬期にあっては
大量の蒸気エネルギーを要する点が問題とされていた。
例えば、冬期に５℃の温度で５０％の相対湿度の外気を
空気調和して２０００の温度で８０％の相対湿度にしよ
うとすると、１時間当り３０００００で（１分間当り５
０００で）の流量仕様の空気調和装置が必要とする蒸気
エネルギーは約３００００００ｋｃａｌ／ｈｒとなる。
一方、従来、電着塗装装置は、被塗物の搬送手段、亀着
槽、函着塗料浴循環系、給電装置等を備え、被塗物を前
記搬送手段により竜着槽内に蓬浴された亀着塗料格の循
環流中に浸潰させて前記給電装置による給電条件下に亀
着塗装する。しかしてこのような亀着塗装を行う場合、
露着塗装に伴い発生するジュール熱と前記裕循環系によ
り循環される電着塗料格の運動ェネルギに基づく流体摩
擦熱とにより露着塗料格の温度が上昇する。しかしなが
ら、電着塗料俗は塗膜・性能および仕上り品質を維持す
るため、通常２５〜３０ｏｏの間で設定した温度に対し
±１〜２００に保つ必要がある。このため、電着槽内の
雷着塗料格は該電着槽から導管により取出し、熱交換器
で冷却されたのち前記電着槽へ循環され、また該熱交換
器の伝熱媒体としての冷却水は適宜の冷却手段例えば冷
凍機により冷却されている。しかして亀着塗料格で発生
する前記の熱量は、自生自動車車体１８０００台／月〜
２００００台／月の雷着塗装装置において６０００００
ｋｃａｌ／ｈｒ程度になり、該熱量は前記のようにして
熱交換器を介して冷却手段の放熱部から系外に放出され
るものであるが、放出熱量が大であるとは云え放熱温度
が比較的低いため、通常の熱交換器により回収すること
が困難であり、従って何等有効に利用されることなく前
記放出により実際上は廃棄されていた。本発明は、叙上
の点に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこ
ろは上記難点ないし欠点を解決して従来無駄に放出して
廃棄されていた熱量を回収活用するにあり、その特徴と
するところは、電着塗料浴を収納した露着槽と、該雷着
塗料俗を冷却するための熱交換器と、該竜着塗料格を該
電着槽から該熱交換器を経て再び該露着槽へ循環するた
めの配管系と、該熱交換器で昇温した伝熱媒体を空気に
より冷却するための冷却手段と、該伝熱媒体を該冷却手
段から該熱交換器を経て再び該冷却手段に循環するため
の配管系と、該空冷手段で加溢された空気を空気調和装
置へ送るダクト系と、該ダクト系から送られた空気およ
び外気を炉遇するとともに調温・調湿する空気調和装置
とを備えてなる塗装ラインの熱回収システムにある。以
下、本発明を図面に基づいて説明する。
図面は本発明の一実施例を示すものであり、本発明によ
る塗装ラインの熱回収装置は竜着塗装装置１０の放熱部
をなす空冷手段と空気調和装置４５とを後述するように
してダクト３３で連絡してなるものであり、前記電着塗
装装置１川ま電着主槽２とオーバーフロー槽３とからな
る亀着槽４および給電装置（図外）等を備える公知のも
のであり、該竜着塗装装置１川こはオーバーフロー槽３
内の竜着塗料浴１が、霞着槽２に循環するように導管５
およびポンプ６が蓮設してある。また露着主槽２内の霞
着塗料浴１が熱交換器７を経て亀着槽２に循環するよう
に配管系としてポンプ９を介装した導管８が設けられて
いる。尚、流量制御弁等については図示を省略した。こ
の熱交換器７は、ポンプ１１および弁１２を備えた導管
１３および弁１４を備えた導管１５からなる配管系によ
り軍着塗装装置１０の放熱部をなす冷却手段例えばクー
リングタワー１６に運通している。このクーリングタワ
ー１６は、底部に伝熱媒体貯留部１７が設けられて導管
１３に蓮通し、上部には導管１５に蓮適するノズル１８
が設けられ、また側壁下部には空気導入孔１９が設けら
れている。また、頂部に設けられた空気排出口２０１こ
は送風機２１から取付けられている。なお、クーリング
タワー１６のみによって熱交換器７に供給する伝熱媒体
の冷却能力が不充分である場合には、熱交換器７からの
伝熱媒体の出口側の導管１５に、弁２２を備えた導管２
３を連結して冷凍機２４に接続し、冷凍機２４からは導
管２５により伝熱媒体貯槽２６に接続し、さらにポンプ
２７および弁２８を備えた導管２９を熱交換器１７への
伝熱媒体の入口側の導管１３に連結してもよい。前記ク
ーリングタワー１６の空気排出口２０‘こはダクト３０
が蓮設され、該ダクト３０には、送風機３２とフィル夕
３１、および必要によりェリミネータが設置され、さら
にダクト３３を空気調和装置４５の空気取入口としての
ギャラリー３４の図において下部に連結して全体として
ダクト系を構成し、さらにギャラリー３４の上部は直接
大気に開放させる。
る塗装ラインの熱回収装置は竜着塗装装置１０の放熱部
をなす空冷手段と空気調和装置４５とを後述するように
してダクト３３で連絡してなるものであり、前記電着塗
装装置１川ま電着主槽２とオーバーフロー槽３とからな
る亀着槽４および給電装置（図外）等を備える公知のも
のであり、該竜着塗装装置１川こはオーバーフロー槽３
内の竜着塗料浴１が、霞着槽２に循環するように導管５
およびポンプ６が蓮設してある。また露着主槽２内の霞
着塗料浴１が熱交換器７を経て亀着槽２に循環するよう
に配管系としてポンプ９を介装した導管８が設けられて
いる。尚、流量制御弁等については図示を省略した。こ
の熱交換器７は、ポンプ１１および弁１２を備えた導管
１３および弁１４を備えた導管１５からなる配管系によ
り軍着塗装装置１０の放熱部をなす冷却手段例えばクー
リングタワー１６に運通している。このクーリングタワ
ー１６は、底部に伝熱媒体貯留部１７が設けられて導管
１３に蓮通し、上部には導管１５に蓮適するノズル１８
が設けられ、また側壁下部には空気導入孔１９が設けら
れている。また、頂部に設けられた空気排出口２０１こ
は送風機２１から取付けられている。なお、クーリング
タワー１６のみによって熱交換器７に供給する伝熱媒体
の冷却能力が不充分である場合には、熱交換器７からの
伝熱媒体の出口側の導管１５に、弁２２を備えた導管２
３を連結して冷凍機２４に接続し、冷凍機２４からは導
管２５により伝熱媒体貯槽２６に接続し、さらにポンプ
２７および弁２８を備えた導管２９を熱交換器１７への
伝熱媒体の入口側の導管１３に連結してもよい。前記ク
ーリングタワー１６の空気排出口２０‘こはダクト３０
が蓮設され、該ダクト３０には、送風機３２とフィル夕
３１、および必要によりェリミネータが設置され、さら
にダクト３３を空気調和装置４５の空気取入口としての
ギャラリー３４の図において下部に連結して全体として
ダクト系を構成し、さらにギャラリー３４の上部は直接
大気に開放させる。
なお、このダクト３３にはダンパ３５が設置されている
。空気調和装置４５の空調室３６にはロール・オ８マテ
ィック等の乾式フィル夕３７、プレヒータ３８、湿式フ
ィル夕３９、ェリミネータ４０およびェロフィンヒータ
４１がこの順で設けられ、かつ後段には送風機４２が設
けられ、該送風機４２には塗装ブース（図示せず）に蓮
適する送風ダクト４３が蓮設されている。
。空気調和装置４５の空調室３６にはロール・オ８マテ
ィック等の乾式フィル夕３７、プレヒータ３８、湿式フ
ィル夕３９、ェリミネータ４０およびェロフィンヒータ
４１がこの順で設けられ、かつ後段には送風機４２が設
けられ、該送風機４２には塗装ブース（図示せず）に蓮
適する送風ダクト４３が蓮設されている。
湿式フィル夕３９は例えばガラス繊維、金属繊維等をあ
る程度圧縮して形成した裾材４４と、該炉材４４にシャ
ワ−して炉材の隙間に水膜を形成させるシャワー装置４
５と、シャワー排水をシャワー装置４５へ循環するため
に該シャワー排水を貯留する主槽と、該主槽５６に貯留
された水をシャワー装置４５に庄送するポンプ４７を備
えた導管４８とを備えてなるものである。
る程度圧縮して形成した裾材４４と、該炉材４４にシャ
ワ−して炉材の隙間に水膜を形成させるシャワー装置４
５と、シャワー排水をシャワー装置４５へ循環するため
に該シャワー排水を貯留する主槽と、該主槽５６に貯留
された水をシャワー装置４５に庄送するポンプ４７を備
えた導管４８とを備えてなるものである。
プレヒータ３８およびェロフィンヒータ４１は、それぞ
れ自動弁４６，４７を備えた蒸気分岐管５４，４９に連
結し「 さらに弁５０を備えた蒸気配管５１に連結され
ている。また「 この蒸気配管５１には、自動弁５２を
備えた蒸気分岐配管５３が連結され、主槽６６に接続し
ている。なお、照中、５４は補給水配管である。つぎに
、作用を説明する。
れ自動弁４６，４７を備えた蒸気分岐管５４，４９に連
結し「 さらに弁５０を備えた蒸気配管５１に連結され
ている。また「 この蒸気配管５１には、自動弁５２を
備えた蒸気分岐配管５３が連結され、主槽６６に接続し
ている。なお、照中、５４は補給水配管である。つぎに
、作用を説明する。
すなわち、図面に示すように、例えば自動車車体の塗装
ラインにおいて、図示しない被塗物は図示しない搬送装
置により電着主檀２に搬送されて所定の温度で蚤着塗装
されたのち、オーバーフロー槽３上で塗料切りして、水
洗工程へ搬送される。オーバーフロー槽中の電着塗料格
１は導管５を経てポンプ６により雷着槽２へ循環される
。しかして、竜着塗装により発生するジュール熱等によ
る電着槽２内の電着塗料浴１の液温上昇を防止して所定
の温度（約２５〜３０００）に保つために、ポンプ９に
より循環用の導管８を介して露着塗料格を抜出して熱交
換器７で冷却し、ついで電着槽２に循環する。雷着塗料
格１は、熱交換器７において、クーリングタワー１６よ
り弁１２により流量を制御しながらポンプ１１により導
管１３を経て送られてくる伝熱媒体、例えば水により冷
却され、熱交換により昇温した温水は導管１５より弁１
４を経てクーリングタワー１６に循環され、ノズル１８
よりスプレーされ、空気導入口１９より吸入される空気
と接触して冷却される。
ラインにおいて、図示しない被塗物は図示しない搬送装
置により電着主檀２に搬送されて所定の温度で蚤着塗装
されたのち、オーバーフロー槽３上で塗料切りして、水
洗工程へ搬送される。オーバーフロー槽中の電着塗料格
１は導管５を経てポンプ６により雷着槽２へ循環される
。しかして、竜着塗装により発生するジュール熱等によ
る電着槽２内の電着塗料浴１の液温上昇を防止して所定
の温度（約２５〜３０００）に保つために、ポンプ９に
より循環用の導管８を介して露着塗料格を抜出して熱交
換器７で冷却し、ついで電着槽２に循環する。雷着塗料
格１は、熱交換器７において、クーリングタワー１６よ
り弁１２により流量を制御しながらポンプ１１により導
管１３を経て送られてくる伝熱媒体、例えば水により冷
却され、熱交換により昇温した温水は導管１５より弁１
４を経てクーリングタワー１６に循環され、ノズル１８
よりスプレーされ、空気導入口１９より吸入される空気
と接触して冷却される。
クーリングタワー１６で温水と同流接触して加温された
空気は、送風機２により空気排出口２０よりダクト３０
、フィル夕３１、ヱリミネータ、および送風機３２を順
次経てダンパ３５により風量を調節されてダクト３３よ
り空気調和装置４５の空気入口すなわちギャラリー３４
に供給される。なお、クーリングタワー１６だけでは、
熱交換器７における冷却能力が不足する場合には、冷却
水の一部を導管２３より冷凍機２４に送って冷却したの
ち、導管１３に循環する。前記のダクト３３から供給さ
れた昇温した空気とギャラリー３４の図面において上部
から直接吸入された外気とは乾式フィルター３７の前段
において混合され、同フィル夕３７を通過して比較的大
きな塵挨が除去される。また弁５０１こより流量を調節
して蒸気配管５１に供給された蒸気を更に自動弁４６に
より流量調節して蒸気分岐管５４よりプレヒータ３８に
供給して該ブレヒータにおし、前記フィル夕３７を通過
した空気を加溢する。ついで、湿式フィル夕３９におい
て、主槽５６からポンプ４７により導管４８を経てシャ
ワー装置４５より散布される温水および炉材４４により
洗浄および炉適されて空気中の微細な塵挨が除去され、
かつ所定の温度および湿度に加湿、加溢される。主槽５
６内の温水は自動弁５２により調節された蒸気分岐管５
３より供給される蒸気により適温に加溢される。また新
鮮水は補給水配管５４より補給される。さらに、ェリミ
ネータ４０で水滴を除去されたのち、間接式加熱器であ
る例えばェロフィンヒータ４１を通過する。このヒータ
４１においては、自動弁４７で流量を調節されて蒸気分
岐管４９により供給される蒸気により空気がさらに加溢
される。加溢された空気は送風機４２を通過したのち、
送風ダクト４３より塗装ブース（図示せず）に送られる
。なお、敷においてはダンパ３５を閉じてクーリングタ
ワー１６の排気は排出口４４より系外に直接排出する。
以上詳述したように本発明による塗装ラインの熱回収装
置は電着塗装装置の放熱部である空冷式の冷却手段と空
気調和装置とをダクト系で連絡してなり、前記冷却手段
において加温された空気を熱交換器を介装させることな
く直接的に前記のダクト系を経由して空気調和装置に導
くようにしたので蚤着塗装装置の放熱部から放出される
熱量を空気調和装置において効率よく活用することが可
能となり、これにより空気調和装置で消費される蒸気量
と同装置に導入される外気の量とを冬期において大幅に
低減し得たものであり、総じて塗装ラインにもたらす省
エネルギー、省資源上の効果は極めて大である。
空気は、送風機２により空気排出口２０よりダクト３０
、フィル夕３１、ヱリミネータ、および送風機３２を順
次経てダンパ３５により風量を調節されてダクト３３よ
り空気調和装置４５の空気入口すなわちギャラリー３４
に供給される。なお、クーリングタワー１６だけでは、
熱交換器７における冷却能力が不足する場合には、冷却
水の一部を導管２３より冷凍機２４に送って冷却したの
ち、導管１３に循環する。前記のダクト３３から供給さ
れた昇温した空気とギャラリー３４の図面において上部
から直接吸入された外気とは乾式フィルター３７の前段
において混合され、同フィル夕３７を通過して比較的大
きな塵挨が除去される。また弁５０１こより流量を調節
して蒸気配管５１に供給された蒸気を更に自動弁４６に
より流量調節して蒸気分岐管５４よりプレヒータ３８に
供給して該ブレヒータにおし、前記フィル夕３７を通過
した空気を加溢する。ついで、湿式フィル夕３９におい
て、主槽５６からポンプ４７により導管４８を経てシャ
ワー装置４５より散布される温水および炉材４４により
洗浄および炉適されて空気中の微細な塵挨が除去され、
かつ所定の温度および湿度に加湿、加溢される。主槽５
６内の温水は自動弁５２により調節された蒸気分岐管５
３より供給される蒸気により適温に加溢される。また新
鮮水は補給水配管５４より補給される。さらに、ェリミ
ネータ４０で水滴を除去されたのち、間接式加熱器であ
る例えばェロフィンヒータ４１を通過する。このヒータ
４１においては、自動弁４７で流量を調節されて蒸気分
岐管４９により供給される蒸気により空気がさらに加溢
される。加溢された空気は送風機４２を通過したのち、
送風ダクト４３より塗装ブース（図示せず）に送られる
。なお、敷においてはダンパ３５を閉じてクーリングタ
ワー１６の排気は排出口４４より系外に直接排出する。
以上詳述したように本発明による塗装ラインの熱回収装
置は電着塗装装置の放熱部である空冷式の冷却手段と空
気調和装置とをダクト系で連絡してなり、前記冷却手段
において加温された空気を熱交換器を介装させることな
く直接的に前記のダクト系を経由して空気調和装置に導
くようにしたので蚤着塗装装置の放熱部から放出される
熱量を空気調和装置において効率よく活用することが可
能となり、これにより空気調和装置で消費される蒸気量
と同装置に導入される外気の量とを冬期において大幅に
低減し得たものであり、総じて塗装ラインにもたらす省
エネルギー、省資源上の効果は極めて大である。
図面は、本発明による塗装用空気調和装置の一実施例を
示す概略説明図である。 １・・・電着塗料浴、４・・・電着槽、１０・・・電着
塗装装置、８・・・導管、７・・・熱交換器、１６・・
・クーリングタワー、３０，３３・・・ダクト、３７…
乾式フィル夕、３８…プレヒー夕、４１…エロフインヒ
ータ、３９・・・緑式フィル夕、４０…ェリミネータ、
４２・・・送風機、４３・・・送風ダクト、４４・・・
炉材、４５・・・空気調和装置。
示す概略説明図である。 １・・・電着塗料浴、４・・・電着槽、１０・・・電着
塗装装置、８・・・導管、７・・・熱交換器、１６・・
・クーリングタワー、３０，３３・・・ダクト、３７…
乾式フィル夕、３８…プレヒー夕、４１…エロフインヒ
ータ、３９・・・緑式フィル夕、４０…ェリミネータ、
４２・・・送風機、４３・・・送風ダクト、４４・・・
炉材、４５・・・空気調和装置。
Claims (1)
- １ 電着塗料浴を収納した電着槽と、該電着塗料浴を冷
却するための熱交換器と、該電着塗料浴を該電着槽から
該熱交換器を経て再び該電着槽へ循環するための配管系
と、該熱交換器で昇温した伝熱媒体を空気により冷却す
るための冷却手段と、該伝熱媒体を該冷却手段から該熱
交換器を経て再び冷却手段に循環するための配管系と、
該冷却手段で加温された空気を空気調和装置へ送るダク
ト系と、該ダクト系から送られた空気および外気を濾過
するとともに調温・調湿する空気調和装置とを備えるこ
とを特徴とする塗装ラインの熱回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56080814A JPS609119B2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | 塗装ラインの熱回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56080814A JPS609119B2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | 塗装ラインの熱回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57198296A JPS57198296A (en) | 1982-12-04 |
| JPS609119B2 true JPS609119B2 (ja) | 1985-03-07 |
Family
ID=13728924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56080814A Expired JPS609119B2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 | 塗装ラインの熱回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS609119B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10216786C5 (de) * | 2002-04-15 | 2009-10-15 | Ers Electronic Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden |
| US7980000B2 (en) | 2006-12-29 | 2011-07-19 | Applied Materials, Inc. | Vapor dryer having hydrophilic end effector |
-
1981
- 1981-05-29 JP JP56080814A patent/JPS609119B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57198296A (en) | 1982-12-04 |
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