JPS6087200U - マイクロ波プラズマ発生装置 - Google Patents

マイクロ波プラズマ発生装置

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JPS6087200U
JPS6087200U JP17633983U JP17633983U JPS6087200U JP S6087200 U JPS6087200 U JP S6087200U JP 17633983 U JP17633983 U JP 17633983U JP 17633983 U JP17633983 U JP 17633983U JP S6087200 U JPS6087200 U JP S6087200U
Authority
JP
Japan
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microwave
plasma generation
waveguide
microwave plasma
plasma generator
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Application number
JP17633983U
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English (en)
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JPH0236238Y2 (ja
Inventor
木佐貫　郁朗
長谷部　金吾
Original Assignee
新日本無線株式会社
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Publication date
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  • Plasma Technology (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図はこの考案に係るマイクロ波プラズマ
発生装置の実施例を示す図であって、第１図は斜視図、
第２図は断面図、第３乃至第５図は熱ピンチ用気体流入
口の取付は位置の変形例をそれぞれ示す断面図、第６図
及び第７図はこの考案に係る他の実施例を示す図であっ
て、第６図は斜視図ζ第７図は断面図である。 １・・・導波管、２・・・アイリス、３・・・金網、４
・・・共振器、５・・・マイクロ波プラズマ、６・・・
電極、７・・・熱ピンチ用気体流入口、８・・・終端板
、９・・・外筒、１０・・・誘電体窓、１１・・・共振
窓、１２・・・気体排出口、５０・・・プラズマ発生部
。 １１°　− １６２ｆ■７４」−し、」 ｎ〜°２−− ・・／、／　７，４Ｊｌ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マイクロ波を導波管に導き、その導波管内にて当該マイ
    クロ波エネルギーを電子とイオンのエネルギーに変換し
    て高温プラズマを得るマイクロ波プラズマ発生装置にお
    いて、前記マイクロ波導波管中に共振器を形成させ、か
    つ当該共振器の電界最大部分をプラズマ発生部となし、
    当該プラズマ発生部は、その電界強度が周辺気体の耐電
    圧以上となるように構成されたことを特徴とするマイク
    ロ波プラズマ発生装置。
JP17633983U 1983-11-15 1983-11-15 マイクロ波プラズマ発生装置 Granted JPS6087200U (ja)

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JPS6087200U true JPS6087200U (ja) 1985-06-15
JPH0236238Y2 JPH0236238Y2 (ja) 1990-10-02

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