JPS6085310A - 段差測定器 - Google Patents
段差測定器Info
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- JPS6085310A JPS6085310A JP19295883A JP19295883A JPS6085310A JP S6085310 A JPS6085310 A JP S6085310A JP 19295883 A JP19295883 A JP 19295883A JP 19295883 A JP19295883 A JP 19295883A JP S6085310 A JPS6085310 A JP S6085310A
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- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims 22
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、移動スケールおよび固定スケールを用いたリ
ニアスケールあるいはダイヤルゲージ等を利用した段差
測定器の改良に関するものである。
ニアスケールあるいはダイヤルゲージ等を利用した段差
測定器の改良に関するものである。
従来、段差測定においては、第１図に示すような段差測
定器が用いられている。第１図において、１および２は
検出器であり、検出器１および２はそれぞれ移動スケー
ルと固定スケールを備え、スピンドル１ａ、 ２ａの動
きに対応して電気信号を出力している。６および４は加
減算弁別器であり、検出器１および２からの電気信号に
よゆスピンドル１ａ、２ａの移動方向を判別し、加減算
信号を出力している。５および６は計数器であり、加減
算弁別器３および４からの加減算信号を計数する。７は
演算器であり、２つの計数器５および乙の差を演算する
。８は表示器であり、演算された値、つまり検出器１お
よび２の段差を表示する。しかしながら、このような従
来の段差測定器では、検出器を２個、加減算弁別器を２
個、計数器を２個それに演算器を必要とするために部品
点数が多く大型どなり非常に高価であり、その上、検出
器を２個使用するために測定場所を離さなければならず
７ｃのために小さい被測定物には使用できない等の欠点
を有していた。
定器が用いられている。第１図において、１および２は
検出器であり、検出器１および２はそれぞれ移動スケー
ルと固定スケールを備え、スピンドル１ａ、 ２ａの動
きに対応して電気信号を出力している。６および４は加
減算弁別器であり、検出器１および２からの電気信号に
よゆスピンドル１ａ、２ａの移動方向を判別し、加減算
信号を出力している。５および６は計数器であり、加減
算弁別器３および４からの加減算信号を計数する。７は
演算器であり、２つの計数器５および乙の差を演算する
。８は表示器であり、演算された値、つまり検出器１お
よび２の段差を表示する。しかしながら、このような従
来の段差測定器では、検出器を２個、加減算弁別器を２
個、計数器を２個それに演算器を必要とするために部品
点数が多く大型どなり非常に高価であり、その上、検出
器を２個使用するために測定場所を離さなければならず
７ｃのために小さい被測定物には使用できない等の欠点
を有していた。
本発明は係る上記の欠点に鑑みなされたもので、スピン
ドルを２個有し、一方のスピンドルに等間隔のパター／
が施こされた第１スケールを取付け、もう片方のスピン
ドルに加減算パルスを得るための信号を得ることができ
る第２スケールを取付けて、この一対のスケールの相対
的な移動によって生じる周期的な変化を電気信、号に変
換し、加減算弁別器で電気信号により一対のスケールの
相対的な移動方向を判別し、計数器で一対のスケールの
相対的な移動量を計数するようにしたことにより、スケ
ールが一対つまり検出器が１個、加減算弁別器が１個、
計数器が１個それに演算器が不要となるために、従来の
測定器に比らべて部品点数が極端に少くなり、その結果
として、小型および安価となり、その上、二個のスピン
ドルを一つの検出器に入１１であるので測定場所を離す
必要がないために小さい被測定物に使用できる等の進歩
した段差測定器の提供を目的としたものである。
ドルを２個有し、一方のスピンドルに等間隔のパター／
が施こされた第１スケールを取付け、もう片方のスピン
ドルに加減算パルスを得るための信号を得ることができ
る第２スケールを取付けて、この一対のスケールの相対
的な移動によって生じる周期的な変化を電気信、号に変
換し、加減算弁別器で電気信号により一対のスケールの
相対的な移動方向を判別し、計数器で一対のスケールの
相対的な移動量を計数するようにしたことにより、スケ
ールが一対つまり検出器が１個、加減算弁別器が１個、
計数器が１個それに演算器が不要となるために、従来の
測定器に比らべて部品点数が極端に少くなり、その結果
として、小型および安価となり、その上、二個のスピン
ドルを一つの検出器に入１１であるので測定場所を離す
必要がないために小さい被測定物に使用できる等の進歩
した段差測定器の提供を目的としたものである。
上記の目的を達成するための本発明の要旨とするところ
は、前掲の特許請求の範囲に記載した通りである。
は、前掲の特許請求の範囲に記載した通りである。
以下、本発明の好適な実施例を図面にもとづき詳細に説
明する。
明する。
第２図は本発明の一実施例を示す要部概１略説明図であ
り、スケールの相対移動の検出方法として光電変換を例
にとり説明する。なお、第１図と同一部分には同一の符
号を付して説明する。
り、スケールの相対移動の検出方法として光電変換を例
にとり説明する。なお、第１図と同一部分には同一の符
号を付して説明する。
第２図において、１１は検出器であり、１２は検出器１
１に対して相対的に移動する移動体である第１スピンド
ルであり、１６は検出器１１に対し一〇相対的に移動す
る移動体である第２スピンドルであり、結果として、第
１スピンドル１２と第２スピンドル１３とは相対的に移
動する。１４は第１スピンドル１２に取イ」けられた等
間隔の連続した明暗パターンが施こされた第１スケール
であり、１５は第２スピンドル１６に取付けられた加減
算パルスを得るための二相信号を得ることができる第２
スケールで））る。
１に対して相対的に移動する移動体である第１スピンド
ルであり、１６は検出器１１に対し一〇相対的に移動す
る移動体である第２スピンドルであり、結果として、第
１スピンドル１２と第２スピンドル１３とは相対的に移
動する。１４は第１スピンドル１２に取イ」けられた等
間隔の連続した明暗パターンが施こされた第１スケール
であり、１５は第２スピンドル１６に取付けられた加減
算パルスを得るための二相信号を得ることができる第２
スケールで））る。
第２スケールは等間隔の明暗のパターン八とそのパター
ンＡに対して１／４ピツチずルた等間隔の明暗のパター
ンＢとを有している。１６は発光素子であり、その光は
第１スケール１４と第２スケール１５とを通りぬけて℃
・る。第２スケール１５のパターンＡを通りぬけた光は
受光素子１７により電気信号ａに変換され、第２スケー
ル１５のパターンＢを通りぬけた光は受光素子１８によ
り電気信号すに変換される。ろは加減算弁別器であり、
〜電気信号ａおよび電気信号すを入力し、第１スケール
１４と第２スケール１５との相対的な移動方向と移動量
とを出力する。５は加減算弁別器ろの出力である移動方
向と移動量とを入力し、第１スケール１４と第２スケー
ル１５との相対移動距離を計数する計数器である。
ンＡに対して１／４ピツチずルた等間隔の明暗のパター
ンＢとを有している。１６は発光素子であり、その光は
第１スケール１４と第２スケール１５とを通りぬけて℃
・る。第２スケール１５のパターンＡを通りぬけた光は
受光素子１７により電気信号ａに変換され、第２スケー
ル１５のパターンＢを通りぬけた光は受光素子１８によ
り電気信号すに変換される。ろは加減算弁別器であり、
〜電気信号ａおよび電気信号すを入力し、第１スケール
１４と第２スケール１５との相対的な移動方向と移動量
とを出力する。５は加減算弁別器ろの出力である移動方
向と移動量とを入力し、第１スケール１４と第２スケー
ル１５との相対移動距離を計数する計数器である。
８は表示器であり、泪数器５の計数値を可視化表示−す
る。表示器８は出力部として表示せずに他の装置への出
力を行なっても良いし、又、表示器と出力部とを同時に
行なっても良いことはもちろんである。
る。表示器８は出力部として表示せずに他の装置への出
力を行なっても良いし、又、表示器と出力部とを同時に
行なっても良いことはもちろんである。
以」二詳細に説明した如く、本発明は検出用のスケール
が１対つまり検出器が１個、加減算弁別器が１個、計数
器が１個それに演算器が不要であることから、安価でし
かも小型であり、その上、検出器が１個つまり検出器の
固定が１筒所であることから、取り付けによる不安定や
精度で問題がなくなる等の実用的効果は極めて甚大なも
のがある。
が１対つまり検出器が１個、加減算弁別器が１個、計数
器が１個それに演算器が不要であることから、安価でし
かも小型であり、その上、検出器が１個つまり検出器の
固定が１筒所であることから、取り付けによる不安定や
精度で問題がなくなる等の実用的効果は極めて甚大なも
のがある。
尚、上記実施例では、検出方法として光電変換を例にし
て説明して来たが、静電変換あるいは磁電変換を使用し
ても同様に実施出来る。又、第２スケールのパターンを
ＡとＢの二個で説明したが、二個以上の複数個のパター
ンでも良い。たとえば第６図、第４図および第５図のご
とく、第２スケールは等間隔の明暗のパターンＡとその
パターンＡＩＣ対して１／４ピツチずれた等間隔の明暗
のパターンＢとパターンＡに対して２／４ピツチずれた
等間隔の明暗のパターンＣとパターンＡＩＣ対して６／
４ピツチずれた等間隔の明暗パターンＪ〕とを合計で４
列有していてももちろんよい。又、これら以外の変形例
についても要部に想到することができるであろう。又、
もちろんながらパターンＡ、パターンＢ１パターンＣお
よびパターンＤの順序ハ自由に換えても良い。その上、
スピンドルの検出端子の方向を、一方は下方、他方を上
方と別々にしても良いことはもちろんである。又１、電
気信号の１週期を多分割する方法を使用して、微少段差
の測定を行なうことができることはもちろんである。
て説明して来たが、静電変換あるいは磁電変換を使用し
ても同様に実施出来る。又、第２スケールのパターンを
ＡとＢの二個で説明したが、二個以上の複数個のパター
ンでも良い。たとえば第６図、第４図および第５図のご
とく、第２スケールは等間隔の明暗のパターンＡとその
パターンＡＩＣ対して１／４ピツチずれた等間隔の明暗
のパターンＢとパターンＡに対して２／４ピツチずれた
等間隔の明暗のパターンＣとパターンＡＩＣ対して６／
４ピツチずれた等間隔の明暗パターンＪ〕とを合計で４
列有していてももちろんよい。又、これら以外の変形例
についても要部に想到することができるであろう。又、
もちろんながらパターンＡ、パターンＢ１パターンＣお
よびパターンＤの順序ハ自由に換えても良い。その上、
スピンドルの検出端子の方向を、一方は下方、他方を上
方と別々にしても良いことはもちろんである。又１、電
気信号の１週期を多分割する方法を使用して、微少段差
の測定を行なうことができることはもちろんである。
第１図は従来例の説明に使用する説明図であり、第２図
は本発明の一実施例を示す要部概略説明図であり、第６
図、第４図およ、び第５図は第２スケールの説明に使用
する説明図である。 １．２・・・検出器、６．４・・・加減算弁別器、５．
６・計数器、７・・演算器、８・表示器、９・・被測定
物、１１・・・検出器、１２・・・第１スピンドル、１
ろ・・第２スピンドル、１４・第１スケール、１５・・
・第２スケール、１６・発光素子、１７．１８・・・受
光素子。 手 続 補 正 書 （自発） 昭和５８年特許願第 １９２９５８ 号２発明の名称 段差測定器 ：３補正をする者 事件との関係 特許出願人 電話０５５５−３−１２３１ ５）補正により増加する発明の数 な し６補正の対象
は本発明の一実施例を示す要部概略説明図であり、第６
図、第４図およ、び第５図は第２スケールの説明に使用
する説明図である。 １．２・・・検出器、６．４・・・加減算弁別器、５．
６・計数器、７・・演算器、８・表示器、９・・被測定
物、１１・・・検出器、１２・・・第１スピンドル、１
ろ・・第２スピンドル、１４・第１スケール、１５・・
・第２スケール、１６・発光素子、１７．１８・・・受
光素子。 手 続 補 正 書 （自発） 昭和５８年特許願第 １９２９５８ 号２発明の名称 段差測定器 ：３補正をする者 事件との関係 特許出願人 電話０５５５−３−１２３１ ５）補正により増加する発明の数 な し６補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）スピンドルを２個有し、一方のスピンドルに等間
隔ツバターンが施こされた第１スケールを取付け、もう
片方のスピンドルに加減算パルスを得るだめの信号を得
ることができる第２スケールを取り付けたことを特徴と
する段差測定器。 （２、特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して１／４ピツチずれた等間隔のパターンとが金側で
２列施こされたスケールであることを特徴とする段差測
定器。 （３）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して１／４ピツチ、２／４ピツチおよびろ／４ピッチ
ずれた等間隔のパターンとが合計で４列施こされたスケ
ールであることを特徴とする段差測定器。 （４）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して１Ａピツチずれた等間隔のパターンとが合計で２
列施こされたスケールであることを特徴とする段差測定
器。 （５）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して２Ａピツチ、６Ａピツチおよび５Ａピツチずれた
等間隔のパターンとが合計で４列施こされたスケールで
あることを特徴とする段差測定器。 （６）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して１Ａピツチおよび２／／３ピツチずれた等間隔の
パターンとが合計で６列施こされたスケールであること
を特徴とする段差測定器。 （力特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前記
第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに対
して１Ａピツチ、２／６ピンチ、錦ヒツチ、４Ａピツチ
および５／６ピツチスｊ。 た等間隔のパターンとが合計で６列施こされたスケール
であることを特徴とする段差測定器。 （８）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して１７４ピツチ、２７４ピツチおよび３Ａピツチず
れた等間隔のパターンとが合計で４列施こされたスケー
ルであることを特徴とする段差測定器。 （９）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記第２スケールは、等間隔のパターンとそのパターンに
対して１／８ピツチ、２／／Ｂピツチ、ろＡピッチ、４
／Ｂピツチ、５／Ｂピツチ、６７４ピツチおよび７／／
８ピツチずれた等間隔のパターンとが合計で８列施こさ
れたスケールであることを特徴とする段差測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19295883A JPS6085310A (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | 段差測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19295883A JPS6085310A (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | 段差測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6085310A true JPS6085310A (ja) | 1985-05-14 |
Family
ID=16299857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19295883A Pending JPS6085310A (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | 段差測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6085310A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011158441A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Nec Engineering Ltd | 薄膜の傾き測定装置及び傾き測定方法 |
| CN110307818A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-10-08 | 江苏理工学院 | 一种阶梯平面距离及孔深度测量装置 |
| CN110514162A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-29 | 江苏理工学院 | 一种台阶深度测量工具 |
-
1983
- 1983-10-15 JP JP19295883A patent/JPS6085310A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011158441A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Nec Engineering Ltd | 薄膜の傾き測定装置及び傾き測定方法 |
| CN110307818A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-10-08 | 江苏理工学院 | 一种阶梯平面距离及孔深度测量装置 |
| CN110514162A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-29 | 江苏理工学院 | 一种台阶深度测量工具 |
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