JPS6082459U - マグネトロンスパツタリング装置のタ−ゲツト - Google Patents

マグネトロンスパツタリング装置のタ−ゲツト

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Publication number
JPS6082459U
JPS6082459U JP17548783U JP17548783U JPS6082459U JP S6082459 U JPS6082459 U JP S6082459U JP 17548783 U JP17548783 U JP 17548783U JP 17548783 U JP17548783 U JP 17548783U JP S6082459 U JPS6082459 U JP S6082459U
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JP
Japan
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target
permanent magnet
annular
target plate
center
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Pending
Application number
JP17548783U
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English (en)
Inventor
角田　良二
村松　文雄
金沢　元一
誠 小沢
Original Assignee
株式会社日立国際電気
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立国際電気 filed Critical 株式会社日立国際電気
Priority to JP17548783U priority Critical patent/JPS6082459U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａはマグネトロンスパッタリング装置の代表的な
構成図、第１図Ｂはそのターゲット部分の従来の構造側
断面図、第１図Ｃは第１図Ｂのターゲットの消耗状況図
、第２図は本考案によるターゲット部に関するもので、
Ａはターゲット部の平面図、Ｂはターゲットの消耗状況
図、Ｃはターゲット部のＡ−Ａ断面構造側図、Ｄは磁石
部の構成側平面図である。 １・・・真空容器、２・・・排気系、３・・・ガス導入
系、４・・・ターゲット、４ａ、４ｂ・・・汐−ゲット
の表面と背面、４ｃ・・・ターゲットの消耗部分、５・
・・基板ホルダ、６・・・電源、７・・・基板（ウェハ
）、８・・・ターゲット、８ａ、８ｂ・・・ターゲット
の表面と背面、８ｃ、８ｃ’・・・ターゲットの最大消
耗部分、８ｄ・・・ターゲット表面の中心部、９・・・
環状永久磁石部、１０・・・磁石保持板、１１・・・回
転軸、１１ｃ・・・磁石部９の中心点、９ａ・・・磁石
部の周辺、９ｃ。 ９ｄ・・・磁石、ｌｌａ・・・１１の回転中心、ｌｌｂ
・・・１１ｃの回転軌跡、４１・・・絶縁板、４２，４
２ａ、４２ｂ、４２ｃ・・・磁石、４４−・・磁力線、
４５・・・磁石ケース、Ｌ・・・磁石部９の偏心距離。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 減圧ガス雰囲気中で電界と磁界が直交する領域にプラズ
    マ放電させるスパッタリング装置のターゲットとして、
    ターゲツト材の平板ターゲットと、該ターゲツト板の背
    面に近接してその中心点が上記ターゲツト板の中心と一
    定距離したけ偏心して配設された外周と内周とが反極性
    となるように相接する小永久磁石片の極性を合わせて環
    状楕円形状または円環状に配設した合成環状（リング状
    ）永久磁石部と、上記ターゲツト板の中心とその中心点
    が偏心せる上記環状永久磁石部を、該ターゲツト板の中
    心に合せた回転軸によりターゲツト板の背面を一定速度
    にて回転させる永久磁石部回転機構とを具備したことを
    特徴とするマグネトロンスパッタリング装置のターゲッ
    ト。
JP17548783U 1983-11-15 1983-11-15 マグネトロンスパツタリング装置のタ−ゲツト Pending JPS6082459U (ja)

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JPS6082459U true JPS6082459U (ja) 1985-06-07

Family

ID=30381786

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0688220A (ja) * 1992-08-18 1994-03-29 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 粒度が大きい金属膜及びその被着方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0688220A (ja) * 1992-08-18 1994-03-29 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 粒度が大きい金属膜及びその被着方法

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