JPS607594B2 - レ−ザ加工装置 - Google Patents

レ−ザ加工装置

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Publication number
JPS607594B2
JPS607594B2 JP52062216A JP6221677A JPS607594B2 JP S607594 B2 JPS607594 B2 JP S607594B2 JP 52062216 A JP52062216 A JP 52062216A JP 6221677 A JP6221677 A JP 6221677A JP S607594 B2 JPS607594 B2 JP S607594B2
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JP
Japan
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workpiece
laser beam
laser processing
laser
removal
Prior art date
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Expired
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JP52062216A
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English (en)
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JPS53148096A (en
Inventor
憲 石川
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication of JPS53148096A publication Critical patent/JPS53148096A/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はしーザ加工装置に関する。
レーザビームを集光して金属などに穴をあげ、溝切りそ
の他切断等を行うレーザ加工における蒸発物の除去処理
は従釆第1図に示す装置で行われていた。
すなわち、レーザビームーを放射するレーザ発振装置2
と、上託しーザビーム1を集光する集光レンズ3とこの
集光レンズを保護する保護ガラス4が上記しーザビーム
ーの直下に位置する加工物5に向かって直列に配置され
ている。上記加工物5は加工物固定臭6に固定されてい
る。更に上記保護ガラス4と加工物5との間において、
加工物5からの蒸発物7を加工物5の表面に対して水平
に吹き付けて除去する高圧ガス体8を噴出する除去用ガ
ス噴出臭9が設置されている。この場合、上記高圧ガス
体7の吹き付け方向は加工物5の表面と水平だけでなく
、加工物5表面に向かって斜め上方からも噴出される。
上記の噴出装置において、除去用ガス噴出臭9の高圧ガ
ス8の噴出は一方向に限られているため、上記蒸発物7
は一方に偏り、加工部101こ蒸発物7の吹き留りが生
じ加工精度を低下させていた。
また、水平でなく、上記斜め上方からの高圧ガス体8の
噴出では蒸発物7の蒸発を妨げていた。このように従来
の装置特に除去用ガス噴出具9の設置方法ではしーザ加
工の精度、能率を向上することはできなかった。本発明
は上記の欠点を解消するために、除去用ガス噴出臭を加
工物または加工物固定具の表面より下方にし、かつレー
ザビームの光路と交叉してガス噴出する位置に設置する
ことにより、レーザ加工における加工物からの蒸発物の
除去を効率よ‐く行うものである。
以下、本発明を実施例を示す図面に基づいて説明する。
実施例 1レーザ加工装置を示す第2図において3は集
光レンズ4は保護ガラスであって一方向に放射するレー
ザ発振装置(図示せず)からのレーザビーム1が集光レ
ンズ3および保護ガラス4を通過し集光される位置に加
工物5が加工物固定具6に固定されて設置されている。
上記加工物5の表面すなわち加工面1 1は上記しーザ
ビーム1の中心光路に対し直角の水平面でこの加工面1
1より下方に位置し、かつ好ましくは加工物5の角また
は表面稜線部に接して通過すべ〈加工面11に対し角度
8で高圧ガス体12a,12bを連続噴射する一対の対
向する除去用ガス噴出具13a,13bが設置されてい
る。上記角度8‘ま高圧ガス体12a,12bが保護ガ
ラス4に当らない範囲の角度になっている。また、高圧
ガス体12a,12bは互いに交差しない進路に向けて
噴射されるようになっている。従って、高圧ガス体12
a,12bは加工物5の斜め下方よりレーザビーム1に
向かいそれぞれずれてレーザビーム1の光路と交叉して
いる。本発明は以上のようになっているので、集光レン
ズ3で集光されたレーザビームーにより加工される加工
物5から連続に発生する蒸発物14a,14bは高圧ガ
ス体12a,12bと共に加工物5の加工面11の斜め
上方にそれぞれ除去される。
このとき、高圧ガス体12a,12bは平行なずれた進
路であるから、ぶつかることなく、それぞれの方向に向
って除去作用を行う。このため、従来のように、加工物
5の加工部10の一方に吹き蟹りとなって蒸発物14a
,14bが帯蟹することもなく、また、蒸発物14a,
14bの蒸発が妨げられることなく、効率よく蒸発物1
4a,14bを除去することができた。実施例 2 前記実施例1では加工物固定臭6と除去用ガス噴出臭1
3a,13bがそれぞれ分離して所定位置にされていた
が、上記それらを一体に、すなわち第3図に示すように
加工物固定具16に高圧ガス体12a,12bをそれぞ
れ前記実施例と同方向の角度に噴出する噴出孔15a,
15bを設ける。
このような高圧ガス体12a,12bを噴出できる機能
を有する加工物固定臭16を用いても、前記実施と同様
、蒸発物14a,14bを妨げず、効率良く除去するこ
とができた。以上詳述したように、集光されたレーザビ
ームによるレーザ加工中の加工物から発生する蒸発物を
除去する除去用ガス噴出具を加工物の表面より下方に位
置させかつ高圧ガス体をレーザビームの光路交叉するよ
うに噴出する位置に設置したため、上言己蒸発物の蒸発
をたすけ効率良く連続的に除去し、加工能率を促進し、
また同時に蒸発物残留による加工精度の低下を防止でき
た効果を奏することができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のレーザ加工における蒸発物の除去装置の
概略構成図、第2図は本発明の一実施例の概略構成図、
第3図は他の実施例における除去用ガス噴出孔付の加工
物固定臭の断面図である。 1・・・・・・レーザビーム、3・・・・・・集光レン
ズ、4・・・・・・保護ガラス、5・・・・・・加工物
、6・・・・・・加工物固定臭、13a,13b・・・
・・・除去用ガス噴出具。 矛’図才2図 才3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 レーザ発振器とこのレーザ発振器から放射されるレ
    ーザビームを集光する集光光学系とこの集光光学系で集
    光されたレーザビームが照射される加工物を固定する加
    工物固定具と上記加工物から放射される蒸発物を除去す
    る除去用ガス噴出具とを備えるレーザ加工装置において
    、上記除去用ガス噴出具を上記加工物または加工物固定
    具の表面より下方に位置させかつ除去用ガスの噴出方向
    を上記レーザビームの光路と交叉する角度にして設置し
    たことを特徴とするレーザ加工装置。 2 上記除去用ガス噴出具を上記加工物固定具に一体に
    形成したことを特徴とする特許請求の範囲の第1項記載
    のレーザ加工装置。
JP52062216A 1977-05-30 1977-05-30 レ−ザ加工装置 Expired JPS607594B2 (ja)

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JP52062216A JPS607594B2 (ja) 1977-05-30 1977-05-30 レ−ザ加工装置

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JP52062216A JPS607594B2 (ja) 1977-05-30 1977-05-30 レ−ザ加工装置

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JPS53148096A JPS53148096A (en) 1978-12-23
JPS607594B2 true JPS607594B2 (ja) 1985-02-26

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JPS62146560U (ja) * 1986-03-06 1987-09-16

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