JPS6071082A - クリ−ンブ−ス - Google Patents
クリ−ンブ−スInfo
- Publication number
- JPS6071082A JPS6071082A JP17841783A JP17841783A JPS6071082A JP S6071082 A JPS6071082 A JP S6071082A JP 17841783 A JP17841783 A JP 17841783A JP 17841783 A JP17841783 A JP 17841783A JP S6071082 A JPS6071082 A JP S6071082A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trap
- waste liquid
- clean booth
- bacteria
- accumulated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は廃液流路にトラップを設けたクリーンブースに
関する。
関する。
半導体製造プロセスにおいて、熱処理、拡散処理等をお
こなう前にウェーハ表面を清浄化するため、水洗、酸・
アルカリ洗浄等をおこなう。これらの清浄化処理がおこ
なわれるクリーンブースな第１図に示す。クリーンブー
ス内にはエアフィルタ１から清浄空気が供給され、排気
はダクト２により吸引しておこなわれる。また純水を供
給するために純水蛇口３が設けられている。洗浄後の廃
液流路にはトラップ４が設けられており、外気と遮断さ
れている。トラップ４にはさらに排管５が接続され処理
槽６まで導かれている。
こなう前にウェーハ表面を清浄化するため、水洗、酸・
アルカリ洗浄等をおこなう。これらの清浄化処理がおこ
なわれるクリーンブースな第１図に示す。クリーンブー
ス内にはエアフィルタ１から清浄空気が供給され、排気
はダクト２により吸引しておこなわれる。また純水を供
給するために純水蛇口３が設けられている。洗浄後の廃
液流路にはトラップ４が設けられており、外気と遮断さ
れている。トラップ４にはさらに排管５が接続され処理
槽６まで導かれている。
ところが、トラップ４にたまった廃液８でバクテリアが
発生し、このバクテリアがクリーンブース内に逆拡散し
て汚染するという事実が発見された。クリーンブース内
に逆拡散したバクテリアは純水蛇口３をも汚染し、純水
中でバクテリアが繁殖する。このようなバクテリアがウ
ェーハ表面に付着すると、バクテリア中のＰ（リン）に
よりウェーハ表面に局所的にｎ層が形成されウェーハの
耐圧が劣化するという問題があった。
発生し、このバクテリアがクリーンブース内に逆拡散し
て汚染するという事実が発見された。クリーンブース内
に逆拡散したバクテリアは純水蛇口３をも汚染し、純水
中でバクテリアが繁殖する。このようなバクテリアがウ
ェーハ表面に付着すると、バクテリア中のＰ（リン）に
よりウェーハ表面に局所的にｎ層が形成されウェーハの
耐圧が劣化するという問題があった。
本発明は上記事実を考慮してなされたもので、従来おこ
なわれていた供給空気のみの清浄化だけではなく、廃液
側からの汚染を防止するクリーンブースな提供すること
を目的とする。
なわれていた供給空気のみの清浄化だけではなく、廃液
側からの汚染を防止するクリーンブースな提供すること
を目的とする。
この目的を達成するために本発明によるクリーンブース
は、廃液流路に設けられたトラップに紫外線殺菌灯を設
け、トラップにたまった廃液を殺菌することを特徴とす
る。
は、廃液流路に設けられたトラップに紫外線殺菌灯を設
け、トラップにたまった廃液を殺菌することを特徴とす
る。
本発明の一実施例によるクリーンブースを第２図、第３
図に示す。クリーンブース内にはエアフィルタ１から清
浄突気が供給され、ダクト２より排気される。廃液は排
水口１ｏより廃液流路に排水されるが、途中にＳ字形の
トラップ４が設けられ、そこに一時的に廃液がたまる。
図に示す。クリーンブース内にはエアフィルタ１から清
浄突気が供給され、ダクト２より排気される。廃液は排
水口１ｏより廃液流路に排水されるが、途中にＳ字形の
トラップ４が設けられ、そこに一時的に廃液がたまる。
本実施例ではこのトラップ４を石英管などの透明な管で
形成し、このトラップ４の外側に紫外線殺菌灯９を設け
る。
形成し、このトラップ４の外側に紫外線殺菌灯９を設け
る。
この紫外線殺菌灯９としては低圧水銀灯であって殺菌効
力の最も強い波長（２５３，７ｎｍ ）の紫外線を発す
るものが望ましい。また高出力水銀灯とすればさらに殺
菌効率が高く望ましい。
力の最も強い波長（２５３，７ｎｍ ）の紫外線を発す
るものが望ましい。また高出力水銀灯とすればさらに殺
菌効率が高く望ましい。
このようにトラップ４に紫外線殺菌灯９を設けろことに
より、トラップ４にたまった廃液８を殺菌し、バクテリ
アの発生を防止する。したがって廃液８からバクテリア
が逆拡散しクリーンブース内を汚染することを防止でき
る。
より、トラップ４にたまった廃液８を殺菌し、バクテリ
アの発生を防止する。したがって廃液８からバクテリア
が逆拡散しクリーンブース内を汚染することを防止でき
る。
先の実施例ではトラップ４の屈曲部に殺菌灯を設けたが
第４図に示すように排水口１０近くに設けてもよい。こ
のようにすれば排水口１０近くの廃液が完全に殺菌でき
るので、汚染防止に有効である。
第４図に示すように排水口１０近くに設けてもよい。こ
のようにすれば排水口１０近くの廃液が完全に殺菌でき
るので、汚染防止に有効である。
またトラップ４を石英管などの透明な管で形成しなくと
も、通常用いられる不透明な塩ビ管で形成し、第５図、
第６図に示すように、トラップ４の内部に紫外線殺菌灯
９をはめ込んでもよい。
も、通常用いられる不透明な塩ビ管で形成し、第５図、
第６図に示すように、トラップ４の内部に紫外線殺菌灯
９をはめ込んでもよい。
さらに、第７図、第８図に示すように円柱形の殺菌灯９
を排水口１０側からトラップ４内に入れ、支持具１１に
より支えるようにしてもよい。このように内部に殺菌灯
９を設ければ、紫外線の外部への散乱がなくなり殺菌効
果が増す。
を排水口１０側からトラップ４内に入れ、支持具１１に
より支えるようにしてもよい。このように内部に殺菌灯
９を設ければ、紫外線の外部への散乱がなくなり殺菌効
果が増す。
また先の実施例ではトラップはＳ字形のものであったが
、サイフオン形や輪形のものでも同様であり、廃液のた
まる場所に殺菌灯を設ければよい。
、サイフオン形や輪形のものでも同様であり、廃液のた
まる場所に殺菌灯を設ければよい。
また本発明によるクリーンブースは、半導体製造プロセ
ス以外の医薬工業、食品工業等の無菌処理工程にも使用
できろ。無菌処理工程のバイオノ・ザードクリーンブー
スとしても用いることができる。
ス以外の医薬工業、食品工業等の無菌処理工程にも使用
できろ。無菌処理工程のバイオノ・ザードクリーンブー
スとしても用いることができる。
第９図に、クリーンブース内にウェーハ’＆２４時間放
肯し、このウェーハを熱酸化して形成した薄い酔化膜の
絶縁耐圧の分布を示す。横軸はウェーハへの印加電界を
示し、縦軸はその頻度を示す。
肯し、このウェーハを熱酸化して形成した薄い酔化膜の
絶縁耐圧の分布を示す。横軸はウェーハへの印加電界を
示し、縦軸はその頻度を示す。
第９図（ａ）は従来のクリーンブースを用いた場合で、
第９図（ｂ）は本発明によるクリーンブースな用いた場
合である。本発明のクリーンブースにより絶縁耐圧が向
上していることがわかる。
第９図（ｂ）は本発明によるクリーンブースな用いた場
合である。本発明のクリーンブースにより絶縁耐圧が向
上していることがわかる。
以上の通り本発明によれば、廃液でのバクテリアの発生
を防ぎ、廃液側からのクリーンブースの汚染を防止する
ことができる。特に本発明によるクリーンブースを半導
体製造プロセスに使用すれば、半導体素子の特性を向上
させ、製品の歩留り、信頼性を向上させることができる
。
を防ぎ、廃液側からのクリーンブースの汚染を防止する
ことができる。特に本発明によるクリーンブースを半導
体製造プロセスに使用すれば、半導体素子の特性を向上
させ、製品の歩留り、信頼性を向上させることができる
。
第１図は従来のクリーンブースの構成図、第２図は本発
明の一実施例によるクリーンブースの構成図、第３図は
同クリーンブースの要部断面図、第４図、第５図、第６
図、第７図、第８図はそれぞれ本発明の他の実施例によ
るクリーンブースの要部を示す図、第９図１ａ） 、
ｆｂｌは同クリーンブースな半導体製造プロセスに用い
た場合の絶縁耐圧特性を示すグラフである。 １・・・エアフィルタ、２・・・ダクト、３・・・純水
蛇口、４・・・トラップ、５・・・排管、６・・・処理
槽、８・・・廃液、９・・・紫外線殺菌灯、１０・・・
排水口。 出願人代理人 猪 股 清 −尽属ｊ
明の一実施例によるクリーンブースの構成図、第３図は
同クリーンブースの要部断面図、第４図、第５図、第６
図、第７図、第８図はそれぞれ本発明の他の実施例によ
るクリーンブースの要部を示す図、第９図１ａ） 、
ｆｂｌは同クリーンブースな半導体製造プロセスに用い
た場合の絶縁耐圧特性を示すグラフである。 １・・・エアフィルタ、２・・・ダクト、３・・・純水
蛇口、４・・・トラップ、５・・・排管、６・・・処理
槽、８・・・廃液、９・・・紫外線殺菌灯、１０・・・
排水口。 出願人代理人 猪 股 清 −尽属ｊ
Claims (1)
- 廃液を排水する廃液流路にトラップを設けたクリーンブ
ースにおいて、前記トラップに殺菌灯を設け、前記トラ
ップにたまった廃液を殺菌することを特徴とするクリー
ンブース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17841783A JPS6071082A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | クリ−ンブ−ス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17841783A JPS6071082A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | クリ−ンブ−ス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071082A true JPS6071082A (ja) | 1985-04-22 |
Family
ID=16048129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17841783A Pending JPS6071082A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | クリ−ンブ−ス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071082A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252248A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | Omron Tateisi Electronics Co | 細胞分析装置 |
| US5562494A (en) * | 1994-07-19 | 1996-10-08 | The Whitaker Corporation | Watertight plug and watertight connector in which it is used |
| US7285013B1 (en) | 2006-02-17 | 2007-10-23 | Sumitomo Wiring Systems, Ltd. | Terminal fitting, a method of crimping it and a positioning jig |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP17841783A patent/JPS6071082A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252248A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | Omron Tateisi Electronics Co | 細胞分析装置 |
| US5562494A (en) * | 1994-07-19 | 1996-10-08 | The Whitaker Corporation | Watertight plug and watertight connector in which it is used |
| US7285013B1 (en) | 2006-02-17 | 2007-10-23 | Sumitomo Wiring Systems, Ltd. | Terminal fitting, a method of crimping it and a positioning jig |
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