JPS6067830A - 壁によつて仕切られた媒体の圧力を検出するセンサ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、壁１１によって仕切られた媒体の圧力を、抵
抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結合して
いる抵抗素子１０の使用下で検出し、その際抵抗素子１
０を壁１１に固定するため及び抵抗素子１ｏに導かれる
２つの供給線１２．１３を取付けるために壁１１を密封
して貫通する構成部材１４が設けられており、この場合
抵抗素子１０が膜抵抗体として形成され、少なくとも供
給線１２．１３の２つの圧力空間側端部の間に拡がり、
この場合さらに構成部材］−４が金属基体１４ａ及びこ
の金属基体によって取り囲まれた、２つの供給線１２．
１３を収容するために使用される絶縁材料からの塊から
なり、この塊が基体１４ａの圧力空間側端部にまで達す
るセンサー；壁１１によって仕切られた媒体の圧力を、
抵抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結合し
ている抵抗素子１０の使用下で検出し、その際抵抗素子
ｌ○を壁１１に固定するため及び抵抗素子１０に導かれ
る供給線１２として形成されている２つの金属導線を取
付けるために壁１１を密封して貫通する構成部材１４が
設けられており、この場合抵抗素子１０が膜抵抗体とし
て形成され、少なくとも金属導線の２つの圧力空間側端
部の間に拡がり、この場合さらに構成部材１４が金属基
体１４ａ及びこの金属基体によって取り囲まれた、供給
線１２を収容するために使用される絶縁材料からの塊１
４ｂからなり、この塊が基体１４ａの圧力空間側端部に
まで達するセンサー；壁１１によって仕切られた媒体の
圧力を、抵抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作
用結合している抵抗素子１０及び抵抗素子ｌ○に導かれ
る２つの供給線１２．１３の使用下で検出し、その際抵
抗素子１０を壁１１に固定するため及び供給線１２．１
３を取付けるために壁１１を密封して貫通する構成部Ｉ
Ｊ’　ｌ　４が設けられており、この場合抵抗素子１０
が膜抵抗として形成され、少なくとも供給線１２．１３
の２つの圧力空間側端部の間に拡がるセンサー；壁１１
によって仕切られた媒体の圧力を、抵抗値を圧力効果の
もとで変化する媒体と作用結合している抵抗素子１０及
び抵抗素子１０に導かれる２つの供給線１２．１３の使
用下で検出するセンサー；金属壁１１によって仕切られ
た媒体の圧力を、抵抗値を圧力効果のもとで変えろ、媒
体と作用結合している抵抗素子１０及び抵抗素子１０に
導かれる２つの金属導線の使用下で検出するセンサー；
ならびに絶縁材料からなる壁１１によって仕切られた媒
体の圧力を、抵抗値を圧力効果のもとで変える、媒体と
作用結合している抵抗素子１０及び抵抗素子１０に導か
れろ２つの供給線１２．１３の使用下で検出するセンサ
ーに関する。

従来技術 壁によって仕切られた媒体の圧力を検出するセンサーは
、既に数多く公知であり、この場合このセンサーは、抵
抗素子を使用し、この抵抗素子は、媒体と作用結合し、
その抵抗値は、圧力効果のもとで変わる。更に、この抵
抗素子が膜抵抗体として形成されかつ特殊な支持体上に
設けられているようなこの種のセンサーは、公知である
。従って、例えば西ドイツ国特許公開公報第３１２５６
４０号の記載から、膜抵抗体を設けた支持体が構成部材
の圧力空間側端部で配置されており、この端部が絶縁材
料からなる弾性注型物を収容し、この注型物を供給線が
膜抵抗体にまで貫通しているような特許請求の範囲第１
項記載の前記概念によるセンサーは、公知である。しか
し、この注型物は、それ自体膜抵抗体に対する支持体と
して使用することができるのに必要とされろ機械的強度
を有しない。

作　用 それとは異なり、塊がガラス、セラミック又は他の電気
絶縁性密封材料からの溶封部１４ｂとして形成されてお
り、同時に抵抗素子１０に対する支持体として使用され
、この場合２つの供給線１２．１３及び溶封部１４ｂが
それらの圧力空間側端部で一線で互いに終っている（第
］−図、第２図）ことの特徴；他の金属導線が構成部材
１４の金属基体］、４ａによって形成され、塊１４ｂが
ガラス、セラミツーり又は他の電気絶縁性密封材料から
の溶封部として形成されており、同時に抵抗素子１０に
対する支持体として使用され、この場合供給管１２、溶
封部１４ｂ及び構成部材］４の金属基体１４ａの抵抗素
子ｌＯによって被覆された部分がそれらの圧力空間側端
部で一線で互いに終っている（第３図。

第４図）ことの特徴；構成部材１４が非伝導性材料から
なり、抵抗素子１ｏに対する支持体として使用され、こ
の場合２つの供給１１２．１３及び構成部材１４がそれ
らの圧力空間側端部で一線で互いに終っている（第５図
、第６図）ことの特徴；抵抗素子１ｏが膜抵抗体として
形成され、絶縁材料からの環１７上に設けられており、
との塊が壁１１中て挿入され、２つの供給線１２　、１
３を収容するために使用され、膜抵抗体上０が少なくと
も１つの供給線１２の圧力空間側端部がら他の供給線１
３の圧力空間側端部へ拡がる（第７図）ことの特徴；２
つの金属導線の１つが供給線１２として形成されており
、他の金属導線が壁１１によって形成されており、抵抗
素子１０が膜抵抗体として形成され、絶縁材料からの環
１７上に設けられており、この塊が壁１１中に挿入され
、供給線１２を収容するために使用され、膜抵抗体１０
が供給線１２の圧力空間側端部から壁１１及び若干それ
を越えてまで拡がっている（第８図）ことの特徴；供給
線１２．１３が密封されて壁１１を貫通しており、抵抗
素子ｌ○が膜抵抗体として形成され、壁１１の圧力空間
側表面上に直接に設けられ、少なくとも１つの供給線１
２の圧力空間側端部から他の供給線１３の圧力空間側端
部へ拡がっている（第９図）ことの特徴；又は膜抵抗体
ｌＯ上に保護層１８が設けられていることの特徴をそれ
ぞれ有する本発明によるセンサーは、抵抗素子を形成す
る膜抵抗体に対して特殊な支持体を全く必要としないと
いう利点を有する。それというのも、この支持体は、媒
体を仕切る壁それ自体によって形成され及び／又は導線
を壁に貫通させるのにとにかく必要とされろ部拐によっ
て形成されるからである。他の利点は、特許請求の範囲
第２項から第６項まで、第８項から第１２項まで、第１
４項から第１８項まで、第２０項、第２２項、第２４項
又は第２６項のいずれか１項の記載から明らかである。

実施例 本発明の実施例は、図面に図示され、次の記載で詳説さ
れる。

本発明によるセンサーは、媒体中の圧力を抵抗値を圧力
効果のもとに変化する抵抗素子ｌ○の使用下で検出する
ために提案され、この場合この媒体は、抵抗素子と作用
結合し、少なくとも１つの壁１１によって仕切られてい
る。この壁は、閉鎖された容器もしくは開いた容器、管
路又は構の成分であることができ、媒体は、流れるか又
は停止することができる。

このセンサーは、殊に例えば内燃機関の油圧系又は噴射
ポンプの場合に発生するような高い圧力を測定するのｔ
／Ｃ適当である。この噴射ポンプの場合、制御系のセン
サー部分シま、種々の使用パラメータで内燃機関を制御
することに関係し、とくに噴射量は、噴射ポンプ中の圧
力により直接に測定される。

本発明によるセンサーの第り図で図示された第１の実施
例の場合、抵抗素子１０を壁ｌｌに固定するため及び抵
抗素子１０に導かれかつ供給線として形成されている２
つの導線１２及びＪ３を取付けるために、構成部材］４
は設けられており、この構成部材は、ねしとして形成−
され、”ｒ％　ｌ　ｌ中にねじ締めされ、こうして密封
して壁１１を貫通して℃・る。

ねじ１４の代りに、押込部材を使用することもできる。

この場合、ねじ１４は、金属基体１４ａ及びこの金属基
体によって取り囲まれたガラス溶封部１４ｂからなり、
このガラス溶封部は、２つの供給線］、２及び工３を収
容しがっ基体１４ａの圧力空間側の端部にまで達する。

　ガラス溶封部１４−　ｂの代りに、セラミック又は他
の電気絶縁性の密封材料からの溶封部を使用することも
できろ。ガラス溶封部１４ｂば、抵抗素＋１○に対する
支持体として使用され、この抵抗素子は、厚膜抵抗体と
し２て形成され、供給線上２及び１３の２つの圧力空間
側の端部間でそのつとなお若干さらに拡がる。厚膜抵抗
体重○の代りに、抵抗素子として薄膜抵抗体を使用する
こともできる。２つの供給線１２及び１３どガラス溶封
部１４　ｂは、圧力空間側端部で一線で互いに閉鎖され
、したがって２つの供給線１２及び１３は、膜抵抗体］
Ｏによ−って簡単にブリソノさせることができるが、こ
の場合には、普通の厚膜−又は薄膜技術を凌駕する特殊
な手段を必要としないであろう。従って、こうして形成
されたセンサーは、特に簡単に安価に得ることができる
。

第２図は、本発明によるセンサーの第２の実施例を示す
。この実施例の場合、膜抵抗体１゜ば、ねじ１４の１つ
の側面１５上に設けられており、この側面は、ねじ１４
をその軸線と平行にフライス削りすることによって製造
されている。膜抵抗体重０は、こうしてそれが圧力空間
の方に向くのではなく、ねじ１４を壁１１中に収容する
ために設けられたねじ山の孔の方に向くように配置され
ている。この場合、ねじ１４をフライス削りすることに
よって形成された側面１５は、ねじ山の孔に対して、そ
れによって住じるスリン）・状空所１６が膜抵抗体ｌ○
を収容するためにのみ十分なのではなく、媒体を収容す
るために十分な空間を圧力を測定する際に提供するよう
に遥かに引っ込んでいる。この実施例は、膜抵抗体１０
が損傷に対して特に良好に保護されておりかつ測定の際
に圧力空間の容積が減少しないという利点を有し、この
ことは、殊に自動車の分配形噴射ポンプの圧力測定のた
めにセンサーを使用する場合に好ましい。空所１６の膜
抵抗体１０によって応力を受けない部分が損なわれる場
合には、この空隙は、耐久弾性ではあるが耐圧縮性の材
料を流し込むことによって充填することができる。

第３図には、本発明によるセンサーの第３の実施例が図
示されている。この実施例は、第１図による実施例と専
ら、抵抗素子１０に導かれる２つの金属導線の１つのみ
が供給線１２として形成されておりかつガラス溶封部１
４ｂによって取り囲まれていることによって区別される
。

他の導線は、ねじ１４それ自体の金属基体１４ａによっ
て形成されろ。ガラス溶封部１４ｂによって取り囲まれ
た供給線上２は、ねじ１４の軸線中にあるのが好まし℃
・０ 第４図による実施例の場合には、第３図による実施例の
場合と同様に１つの導線が供給線１２として形成されて
おり、他の導線は、金属基体１４ａによって形成される
。しかし、幾何学的配置において、第４図による実施例
は、第２図による実施例に相当する。

第５図及び第６図による実施例は、再び２つの供給線１
２及び１３が抵抗素子１０に導かれている場合において
第１図及び第２図による実施例に相当する。しかし、供
給線１２及び１３を収容するために使用づれろ、ねじと
して形成された構成部材１４は、第１図及び第２図と相
違して単一の絶縁材料から゛なろ。従って、この場合に
は、ガラス溶封部は省略される。第５図の膜抵抗体１０
の幾何学的配置は、第１図のその幾何学的配置に相当し
、第６図の膜抵抗体］−〇の幾何学的配置は、第２図の
その幾何学的配置に相当する。

第７図及び第８図には、２つの他の実施例が図示されて
おり、この場合絶縁は、溶封部１７により行なわれ、こ
の溶封部は、佑接に壁１１中に導入される。

第７図による実施例の場合、２つの供給線１２及び１３
は、溶封部１７により壁１１を絶縁して貫通し、第１図
と同様に圧力空間側で抵抗素子１０によってブリッジさ
れている。

これに対して、第８図による実施例の場合には、１つの
供給線１２のみが溶封部１７により壁１１を絶縁して貫
通し、導電性材料からなる壁１１は、第２の導体を形成
する。

抵抗素子１０は、圧力空間側で供給線１２の端部から壁
Ｔ１にまで導かれ、溶封部１７を取り囲む壁の縁部範囲
を僅かに一被覆し、したがって壁との電気接触は保証さ
れている。

第９図には、壁が絶縁材料からなる場合に使用が可能で
ある配置が図示されている。この場合、２つの供給線１
２及び１３は、直接に壁］■を密封して貫通し、圧力空
間側で厚膜抵抗体１０によってブリッジされている。

第１０図は、第８図による実施例の１つの変法を示し、
この場合厚膜抵抗体１０上には、保護層コ、８が設けら
れており、保護層１８は、圧縮弾性注型物工９によって
取り囲まれている。

第１図、第１０図はそれぞれ、本発明によるセンサーの
それぞれ異なる１実施例を示す断面図である。

ｌ○・抵抗素子、１１　壁、１２．１３・供給線、１４
−・・・構成部材、１４ａ・基体、１４ｂ・・溶封部、
１５・・側面、１６・空所、１７・・塊、１８・保護層
、１９・・・注型物

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、壁（１１）によって仕切られた媒体の圧力を、抵抗
   値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結合してい
   る抵抗素子（１ｏ）の使用下で検出し、その際抵抗素子
   （１ｏ）を壁（］１）に固定するため及び抵抗素子（１
   ０）に導かれる２つの供給線（１２，１３）を取付ける
   ために壁（１１）を密封して貫通する構成部材（１４）
   が設けられており、この場合抵抗素子（１０）が膜抵抗
   体として形成され、少なくとも供給線（１２，１３）の
   ２つの圧力空間側端部の間に拡がり、この場合さらに構
   成部材（１４）が金属基体（１４ａ）及びこの金属基体
   によって取り囲まれた、２つの供給線（１２，１３）を
   収容するために使用式れろ絶縁材料からの塊からなり、
   この塊が基体（１４ａ）の圧力空間側端部にまで達する
   センサーにおいて、この塊がガラス、セラミック又は他
   の電気絶縁性密封材料からの溶封部（］、　４　ｂ　）
   として形成されており、同時に抵抗素子（ｌ○）に対す
   る支持体として使用され、この場合２つの供給線（１２
   ゜１３）及び溶封部（１４−ｂ　）がそれらの圧力空間
   側端部で一線で互いに終っている（第１図、第２図）こ
   とを特命とする、壁によって仕切られた媒体の圧力を検
   出するセンサー。 ２　膜抵抗体（１０）が置かれている構成部材（１４）
   の圧力空間側端部の部分が圧力空間に対向している（第
   １図）、特許請求の範囲第１項記載のセンサー。 ３　膜抵抗体（１０）が置かれている構成部材（１４）
   の圧力空間側端部の部分がこの構成部材（１４）の側面
   （１５）によって定められＣおり、この側面が壁（１１
   ）中の構成部１（１４）に対して設けられた開口の側堰
   面の方に向き、この側脣面に比して、構成部材（１４）
   の側面上に設けられた膜抵抗体（１０）と壁（１１）の
   側聯面との間で媒体を収容するためのスリット状空所（
   ］６）が形成されるように引っ込んでいる（第２図）、
   特許請求の範囲第１項記載のセンサー。 仮　構成部材（１４）がねじである（第１図、第２図）
   、特許請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項
   に記載のセンサー。 ５　自動車の分配形噴射ポンプのポンプケーシング中の
   圧力を測定するために、ねじ（工４）が分配形噴射ポン
   プの排気ねじである、特許請求の範囲第４項記載のセン
   サー。 ６　膜抵抗体（１０）が厚膜抵抗体として形成されてい
   る、特許請求の範囲第１項から第５項までのいずれか１
   項に記載のセンサー。 ７　壁（１１）によって仕切られた媒体の圧力を、抵抗
   値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結合してい
   る抵抗素子（１０）の使用下て検出し、その際抵抗素子
   （１ｏ）を壁（１１）に固定するため及び抵抗素子（１
   ０）に導かれる供給線（１２）として形成されている２
   つの金属導線を取付けるために壁（１１）を密封して貫
   通する構成部材（１４）が設けられており、この場合抵
   抗素子（１０）が膜抵抗体として形成され、少なくとも
   金属導線の２つの圧力空間側端部の間に拡がり、この場
   合さらに構成部材（１４）が金属基体（１４ａ）及びこ
   の金属基体によって取り囲まれた、供給線（１２）を収
   容するために使用される絶縁拐料からの塊（１４ｂ）か
   らなり、この塊が基体（１４ａ　）の圧力空間側端部に
   まで達するセンサーにおいて、他の金属導線が構成部材
   （１４）の金属基体（１４−３）によって形成され、塊
   （１４ｂ）がガラス、セラミック又は他の電気絶縁性密
   封材料からの溶封部として形成されており、同時に抵抗
   素子（１０）に対する支持体として使用され、この場合
   供給管（１２）、溶封部（１４ｂ）及び構成部材（１４
   ）の金属基体（１４ａ）の抵抗素子（］、　Ｏ）によっ
   て被覆された部分がそれらの圧力空間側端部で一線で互
   ℃・に終っている（第３図、第４図）ことを特徴とする
   、壁によって仕切られた媒体の圧力なキ１Δするセンサ
   ー。 ８　膜抵抗体（１０）が置かれて℃・る構成音１１ｉ１
   （］、　４　）の圧力空間側端部の部分が圧力空間に対
   向している（第３図）、特許請求の範囲第７項記載のセ
   ンサー。 ９　膜抵抗体（１０）が置かれて（・る構成音１（１４
   ）の圧力空間側端部の部分７５１この構成部材（１４）
   の側面（１５）によって定められており、この側面が壁
   （］１）中の構成音ｉ材（１４）に対して設けられた開
   口の側墳面の方に向き、この側堺面に比して、構成部１
   −（１４）の側面上に設けられた膜抵抗体（ｌＯ）と壁
   （１１）の側聯面との間で媒体を収容するためのスリッ
   ト状空所（１６）力な形成さＪｚろように引っ込んでい
   る（第４図）、特許請求の範囲第７項記載のセンサー。 −曹晶ハ山−ｌ／＋　１Ｘ１１）ｌ　１”−ｆ＋キ　７
   を竺ｔＭ第４図）、特許請求の範囲第７項力・ら第９項
   までのいずれか１項に記載のセンサー。 １］　自動車の分配形噴射ポンプのポンプケーシング中
   の圧力を測定するために、ねじ（１４）が分配形噴射２
   ンプの排気ねじである、特許請求の範囲第１０項記載の
   センづ−。 〕−２膜抵抗体（］Ｏ）が厚膜抵抗体として形成されて
   いる、特許請求の範囲第７ｍから第１］−項までのいず
   れか１項に記載のセンサー。 ］−３壁（１１）によって仕切られた媒伺：の圧力を、
   抵抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結合し
   ている抵抗素子（１０）及び抵抗素子（１０）に導かれ
   ろ２つの供給線（１２、１３）の使用下で検出し、その
   際抵抗素子（１０）を壁（１１）に同定するため及び供
   給線（１２，１，Ｓ）を取付けるために壁（１］、　）
   を密封して貫通する構成部材（１４）が設けられており
   、この場合抵抗素子（ｌＯ）が膜抵抗体として形成され
   、少なくとも供給線（１２，１３）の２つの圧力空間側
   端部の間に拡がるセンサーにおいて、構成部材（１４）
   が非伝導性材料からなり、抵抗素子（１０）に対する支
   持体として使用され、この場合２つの供給線（’１２．
   １３）及び構成部材（１４）がそれらの圧力空間側端部
   で一線で互いに終っている（第５図、第６図）ことを特
   徴とする、壁によって仕切られた媒体の圧力を検出する
   センサー。 １４、膜抵抗体（１０）が置かれている構成部材（１４
   ）の圧力空間側端部の部分が圧力空間に対向している（
   第５図）、特許請求の範囲第１３項記載のセンサー。 工５　膜抵抗体（］、　Ｏ）が置かれている構成部材（
   １４）の圧力空間側端部の部分がこの構成部材（１４）
   の側面（１５）によって定められており、この側面が壁
   （１１）中の構成部材（：１．４　）に対して設けられ
   た開口の側聯面の方に向き、この側墳面に比して、構成
   部材（１４）の側面上に設けられた膜抵抗体（１゜０）
   と壁（１１）の側墳面との間で媒体を収容するだめのス
   リット状空所（１６）が形成をれるよ５に引っ込んでい
   る（第６図）、特許請求の範囲第１３項記載のセンサー
   。 １６　構成部材（１４）がねじである（第５図、第６図
   ）、特許請求の範囲第１３項から第１５項まてのいずれ
   が１項に記載のセンサー。 １７　自動車の分配形噴射ポンプのボ／プケーシング中
   の圧力を測定するため如、ねじ（１４）が分配形噴射ポ
   ンプの排気ねじである、特許請求の範囲第１６項記載の
   センサー。 １８　膜抵抗体（１０）が厚膜抵抗体として形成されて
   いる、特許請求の範囲第１３項から第１７項までのいず
   れか１項に記載のセンサー。 １９　壁（１１）によって仕切られた媒体の圧力を、抵
   抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結合して
   いる抵抗素子（■○）及び抵抗素子（１０）に導かれる
   ２つの供給＃ｉ！（］、　２　、１３　）の使用下で検
   出するセンサーにおいて、抵抗素子（１０）が膜抵抗体
   として形成され、絶縁材料からの塊（１７）上に設けら
   れており、この塊が壁（１１）中に挿入され、２つの供
   給線（１２，１３）を収容するために使用され、膜抵抗
   体（１０）が少なくとも１つの供給線（１，２）の圧力
   空間側端部から他の供給線（１３）の圧力空間側端部へ
   拡がる（第７図）ことを特徴とする、壁によって仕切ら
   れた媒体の圧力を検出するセンサー。 ２０　膜抵抗体（ｌ○）が厚膜抵抗体として形成されて
   いる、特許請求の範囲第１９項記載のセンサー。 ２１、金属壁（１］、　）によって仕切られた媒体の圧
   力を、抵抗値を圧力効果のもとで変える、媒体と作用結
   合している抵抗素子（１０）及び抵抗素子（１０）に導
   かれろ２つの金属導線の使用下で検出するセンサーにお
   いて、２つの金属導線の１つが供給線（１２）として形
   成されており、他の金属導線が壁（１１）によって形成
   されており、抵抗素子（１０）が膜抵抗体として形成さ
   れ、絶縁材料からの塊（１７）上に設けられており、こ
   の塊力１壁（１１）中に挿入され、供給線（１２）を収
   容するために使用され、膜抵抗体（１０）が供給線（１
   ２）の圧力空間側端部から壁（１１）及び若干それを越
   えてまで拡がっている（第８図）ことを特徴とする、壁
   によって仕切られた媒体の圧力を検出するセンサー。 ２２　膜抵抗体（］−〇）が厚膜抵抗体として形成され
   ている、特許請求の範囲第２１項記載のセンサー。 ２３　絶縁材料からなる壁（１１）によって仕切られた
   媒体の圧力を、抵抗値を圧力効果のもとで変えろ、ｐ一
   体と作用結合している抵抗素子（１０）及び抵抗素子（
   １０）に導かれる２つの供給線（１２，１３）の使用下
   で検出するセンサーにおいて、供給線（１２，１３）が
   密封されて壁（１］）を貫通しており、抵抗素子（１０
   ）が膜抵抗体として形成てれ、壁（１１）の圧力空間側
   表面上に直接に設けられ、少なくとも１つの供給線（１
   ２）の圧力空間側端部から他の供給線（１３）の圧力空
   間側端部へ拡がっている（第９図）ことを特徴とする、
   壁によって仕切られた媒体の圧力を検出するセンサー。 ２４、膜抵抗体（１０）が厚膜抵抗体として形成されて
   いる、特許請求の範囲第２３項記載のセンサー。 ２５　金属壁（１１）によって仕切られた媒体の圧力を
   、抵抗値を圧力効果のもとで変えろ、媒体と作用結合し
   ている抵抗素子（１ｏ）及び抵抗素子（１０）に導がね
   る２つの金属導線の使用下で検出するセンサーにおいて
   、膜抵抗体（ｌ○）上に保護層（１８）が設けしれて℃
   ・る（第１０図）ことを特徴とする、壁によって仕切ら
   れた媒体の圧力を検出するセンサー。 ２６　膜抵抗体（１０）又は保護層（１８）が圧縮弾性
   注型材料（１９）によって取り囲まれている（第１０図
   ）、特許請求の範囲第２５項記載のセンサー。