JPS6066127A - ヘリウム漏洩試験装置 - Google Patents
ヘリウム漏洩試験装置Info
- Publication number
- JPS6066127A JPS6066127A JP17388283A JP17388283A JPS6066127A JP S6066127 A JPS6066127 A JP S6066127A JP 17388283 A JP17388283 A JP 17388283A JP 17388283 A JP17388283 A JP 17388283A JP S6066127 A JPS6066127 A JP S6066127A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- helium
- pump
- helium leak
- tester
- pumps
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はヘリウム漏洩試験装置に係り、特に検出感度を
高め、試験時間を短縮することを可能としたヘリウム漏
洩試験装置に関する。
高め、試験時間を短縮することを可能としたヘリウム漏
洩試験装置に関する。
従来、ヘリウム漏洩試験装置は、被試験体にポンプが内
蔵されたヘリウム漏洩試験器を接続して構成されており
、上記ヘリウム漏洩試験器で排気を行なうとともに、上
記試験器内を通過するヘリウムガスの流れをイオン化し
、このイオン化したヘリウムガスがイオンコレクタに作
用し、このイオン電流を増幅させることにより検知され
るものである。
蔵されたヘリウム漏洩試験器を接続して構成されており
、上記ヘリウム漏洩試験器で排気を行なうとともに、上
記試験器内を通過するヘリウムガスの流れをイオン化し
、このイオン化したヘリウムガスがイオンコレクタに作
用し、このイオン電流を増幅させることにより検知され
るものである。
この場合の漏洩検知メータの振れは次式によりめられる
。
。
ΔＭ＝ＫＳ＋Ｑ）１８
ここに、ΔＭ；ヘリウム漏洩検知メータの振れＳｌ；ヘ
リウム漏洩試験器の排気速度 ＱＨｅ ’＋ 漏洩箇所から侵入したヘリウムガス量で
ある。
リウム漏洩試験器の排気速度 ＱＨｅ ’＋ 漏洩箇所から侵入したヘリウムガス量で
ある。
したがって、上記装置では検知感度は比較的高いが、ポ
ンプの排気速度力を遅いため試験時間が極めて長くなり
、しかも、被試験体内部からの放出ガスにより１作動圧
力に達する程度まで排気することかで鎗ない場合カーあ
るという欠点を有している。
ンプの排気速度力を遅いため試験時間が極めて長くなり
、しかも、被試験体内部からの放出ガスにより１作動圧
力に達する程度まで排気することかで鎗ない場合カーあ
るという欠点を有している。
そこで排気速度を高めるため第１図に示すように、被試
１倹体１とヘリウム漏洩試験器２との接続管路から分岐
した管路に補助ポンプ３を接続して構成されるヘリウム
漏洩試験装置がある。この装＠は、ヘリウム漏洩試験器
２のポンプおよび補助ポンプ３により同時に排気が行な
われる。
１倹体１とヘリウム漏洩試験器２との接続管路から分岐
した管路に補助ポンプ３を接続して構成されるヘリウム
漏洩試験装置がある。この装＠は、ヘリウム漏洩試験器
２のポンプおよび補助ポンプ３により同時に排気が行な
われる。
この場合における漏洩検知メータの振れシブ次式により
められる。
められる。
Ｌ
ここに、Ｓｌ；補助ポンプの排気速度である。
したがって、上式によれば漏洩検知メータの振れΔＭと
、補助ポンプの排気速度Ｓ２とは反比例の関係にあり、
補助ポンプを使用すること・により排気速度を大きくす
ることがで鎗る反面、検出感度が低下してしまうという
欠点を有している。
、補助ポンプの排気速度Ｓ２とは反比例の関係にあり、
補助ポンプを使用すること・により排気速度を大きくす
ることがで鎗る反面、検出感度が低下してしまうという
欠点を有している。
本発明は上記欠点に鑑みてなされたもので、検出感度を
高めることができ、かつ試験時間を短縮することのでき
るヘリウム漏洩試晰装；４を提供することを目的とする
ものである。
高めることができ、かつ試験時間を短縮することのでき
るヘリウム漏洩試晰装；４を提供することを目的とする
ものである。
上記目的達成のため本発明のヘリウム漏洩試験装置は、
被試験体とヘリウム漏洩試験器との接続管路に、異種の
ガスを排気する２種類の溜込み式ポンプをそれぞれ直列
に挿入接続し１ここと、および上記接続管路に、異種の
ガスを排気する２種類の溜込み式ポンプと少なくとも１
つの圧縮式ポンプをそれぞれ直列に挿入接続したことを
その特徴とするものである、 〔発明の実施例〕 以下、本発明の実施例を第２図および算３図を参照し、
第１図と同一部分には同一符号を付して説明する。
被試験体とヘリウム漏洩試験器との接続管路に、異種の
ガスを排気する２種類の溜込み式ポンプをそれぞれ直列
に挿入接続し１ここと、および上記接続管路に、異種の
ガスを排気する２種類の溜込み式ポンプと少なくとも１
つの圧縮式ポンプをそれぞれ直列に挿入接続したことを
その特徴とするものである、 〔発明の実施例〕 以下、本発明の実施例を第２図および算３図を参照し、
第１図と同一部分には同一符号を付して説明する。
第２図は本発明に係るヘリウム漏洩試験装置の一実施例
を示したもので、被試験体１とヘリウム漏洩試・検器２
との接続管路に、溜込み式ポンプとしてのクライオポン
プ４および吸収式ポツプ５がそれぞれ直列に挿入接続さ
れ℃いる。
を示したもので、被試験体１とヘリウム漏洩試・検器２
との接続管路に、溜込み式ポンプとしてのクライオポン
プ４および吸収式ポツプ５がそれぞれ直列に挿入接続さ
れ℃いる。
本実施例においては、上記クライオポンプ４により、へ
１１ウム、ネオンおよび水素以外のガスを排気するとと
もに、上記吸収式ポンプ５にエリ。
１１ウム、ネオンおよび水素以外のガスを排気するとと
もに、上記吸収式ポンプ５にエリ。
ネオンおよび水素ガスを排気するものであるため、ヘリ
ウム漏洩試験器２に吸引されるガスは、ヘリウムの一度
が晶＜、ヘリウム以外のガス圧力な低下させることがで
きる。そのため、へ１１ウム漏洩試験器２の内部のヘリ
ウム分析管内Ｖｒおげろへ１ＪウムｍｔｌＬを高めるこ
とができるため、検出感度を大幅に高めることかで六５
しかも、上記クライオポンプ４および吸収式ポンプ５に
工り排気速度を大きくすることができるので、漏洩試験
時間を短縮することが可能となる。
ウム漏洩試験器２に吸引されるガスは、ヘリウムの一度
が晶＜、ヘリウム以外のガス圧力な低下させることがで
きる。そのため、へ１１ウム漏洩試験器２の内部のヘリ
ウム分析管内Ｖｒおげろへ１ＪウムｍｔｌＬを高めるこ
とができるため、検出感度を大幅に高めることかで六５
しかも、上記クライオポンプ４および吸収式ポンプ５に
工り排気速度を大きくすることができるので、漏洩試験
時間を短縮することが可能となる。
また、第３図は本発明の他の実施例を示したもの慣、被
試験体１とヘリウム漏洩試験峠２とび）接続管路に、拡
散ポンプやターボ分子ポンプ等の圧縮式ポンプ６、ｒａ
込み式ポンプとしてのクラづオボソブ４および吸収式ボ
ン・プ５がそれぞれ上記被試験体１１１１１１から順次
直列に挿入接続されて（・ろ。
試験体１とヘリウム漏洩試験峠２とび）接続管路に、拡
散ポンプやターボ分子ポンプ等の圧縮式ポンプ６、ｒａ
込み式ポンプとしてのクラづオボソブ４および吸収式ボ
ン・プ５がそれぞれ上記被試験体１１１１１１から順次
直列に挿入接続されて（・ろ。
本実施例においても、上記実ｊｌ！ｉ例と同、係にクラ
イオンブ４と吸収式ポンプ５により、へＩＪウム以外の
ガスを排気するもｆ）であり、さらに、へ１】ラムガス
に対する排気速度の太き（１圧縮式ポンプ６にエリ、ヘ
リウムガスを圧縮して濃度を高めるようになされろため
、よりヘリウム分析管内のへＩＪウム濃度を高めること
が可能となる。したカ１つてヘリウム漏洩試験器２の検
出感度欠品め′ることカーでき、漏洩試験時間の短縮を
図ることができる。
イオンブ４と吸収式ポンプ５により、へＩＪウム以外の
ガスを排気するもｆ）であり、さらに、へ１】ラムガス
に対する排気速度の太き（１圧縮式ポンプ６にエリ、ヘ
リウムガスを圧縮して濃度を高めるようになされろため
、よりヘリウム分析管内のへＩＪウム濃度を高めること
が可能となる。したカ１つてヘリウム漏洩試験器２の検
出感度欠品め′ることカーでき、漏洩試験時間の短縮を
図ることができる。
に工っては、核数詞の圧縮式ポツプを直列に挿入接続す
るようにしてもよい。
るようにしてもよい。
なお、圧縮式ポンプの接続位置は本実施例に示したもの
に限定されるものではなく、例えばクライオポンプと１
ｊ文収式ポンプとの間に接続するようにしても、同様の
効果を得ることができる。
に限定されるものではなく、例えばクライオポンプと１
ｊ文収式ポンプとの間に接続するようにしても、同様の
効果を得ることができる。
（発明の効果〕
以上述べ定ように本発明に係るヘリウム漏洩試験時間は
、被試験体とヘリウム漏洩試験器との接続管路に、異種
のガスを排気する２種類の溜込み式ポンプをそれぞれ直
列に挿入接続して構成されており、上記溜込み式ポンプ
によりヘリウム以外のガスの排気を行なうようにしたの
で、上記ヘリウム漏洩試験時間、験器におけるヘリウム
ガスの濃１支を高めろことかでと、その結呆、ヘリウム
の漏洩検出感度を大幅に高めることができる。−１：た
上記溜込み式ポンプにより排気速度が大きくなるので、
試ｊ検時１田の大幅な短縮を図ることかで六る。
、被試験体とヘリウム漏洩試験器との接続管路に、異種
のガスを排気する２種類の溜込み式ポンプをそれぞれ直
列に挿入接続して構成されており、上記溜込み式ポンプ
によりヘリウム以外のガスの排気を行なうようにしたの
で、上記ヘリウム漏洩試験時間、験器におけるヘリウム
ガスの濃１支を高めろことかでと、その結呆、ヘリウム
の漏洩検出感度を大幅に高めることができる。−１：た
上記溜込み式ポンプにより排気速度が大きくなるので、
試ｊ検時１田の大幅な短縮を図ることかで六る。
さらに上記接続管路に溜込み式ポンプとともに圧縮式ポ
ンプを挿入接続して構成することにより、ヘリウムカス
の濃度をより旨めることができ、上記被試ｊ倹体が比較
的太きい場合にも、検出感度の向上および試験時間の短
縮を図ることかできる寺の効果を挺する。
ンプを挿入接続して構成することにより、ヘリウムカス
の濃度をより旨めることができ、上記被試ｊ倹体が比較
的太きい場合にも、検出感度の向上および試験時間の短
縮を図ることかできる寺の効果を挺する。
第１図は従来のヘリウム漏洩試験装置を示す系統図％鷹
２図および算３図はそれぞれ本発明の一実施例を示す系
統図である。 １・・・被試験体、２・・・ヘリウム高洩試験器、３・
・・補助ポンプ、４・・・クライオポンプ、５・・・吸
収式ポンプ、６・・・圧縮式ポンプ、 出願人代理人 猪 股 清
２図および算３図はそれぞれ本発明の一実施例を示す系
統図である。 １・・・被試験体、２・・・ヘリウム高洩試験器、３・
・・補助ポンプ、４・・・クライオポンプ、５・・・吸
収式ポンプ、６・・・圧縮式ポンプ、 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被試験体とヘリウム漏洩試験器との接続管路に、異
種のガスを排気する２種類の闇込み式ポンプをそれぞれ
直列に挿入接続したことを特徴とするヘリウム漏洩試験
装置。 ２、上記２ 種類ノ溜込み式ポンプを、クライオポンプ
および吸収式ポンプとしたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のヘリウム漏洩試験装置。 ３、被試験体とヘリウム漏洩試、１訣器との接続管路に
、異種のガスを排気する２種類の溜込み式ポンプおよび
少なくとも１つの圧縮式ポンプをそれぞれ直列に挿入接
続したことを特徴とするヘリウム漏洩試験装置。 ４、上記２棟類の溜込み式ポンプを、クライオポンプお
よび吸収式ポンプとしたことを特徴とする特許請求の範
囲第３項記載のヘリウム漏洩試験装置。 ５、上記圧縮式ポンプを、拡散ポンプまたはターボ分子
ポンプとしたことを特徴とする特許請求の範囲第３項ま
たは第４項記載のヘリウム漏洩試験装置ゴ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17388283A JPS6066127A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | ヘリウム漏洩試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17388283A JPS6066127A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | ヘリウム漏洩試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6066127A true JPS6066127A (ja) | 1985-04-16 |
Family
ID=15968858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17388283A Pending JPS6066127A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | ヘリウム漏洩試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6066127A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0194836A2 (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Martin Marietta Corporation | Small component helium leak detector |
| US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
| US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58105032A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | ヘリウム質量分析型漏洩試験装置 |
-
1983
- 1983-09-20 JP JP17388283A patent/JPS6066127A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58105032A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | ヘリウム質量分析型漏洩試験装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0194836A2 (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Martin Marietta Corporation | Small component helium leak detector |
| US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
| US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0218458B1 (en) | Method and apparatus for gross leak detection | |
| US5317900A (en) | Ultrasensitive helium leak detector for large systems | |
| CA1218169A (en) | Counterflow leak detector with cold trap | |
| US20100313634A1 (en) | Method and device for tightness testing | |
| GB1330685A (en) | Leak detector | |
| US4294106A (en) | Leak detector | |
| US10578513B2 (en) | Method for controlling the leaktightness of sealed products and installation for the detection of leaks | |
| JPH05223681A (ja) | ヘリウム漏れ検出器 | |
| JPH0467141B2 (ja) | ||
| JPS63255637A (ja) | 漏洩検査器及びこれの運転法 | |
| JP2000298073A (ja) | デュアルモード・リークディテクタ | |
| US6014892A (en) | Tracer gas leak detector | |
| US4195224A (en) | Gas leakage detection apparatus | |
| US5107697A (en) | Tracer gas leak detection system | |
| JP3737132B2 (ja) | 多数の類似の被検体の漏洩を検査する方法 | |
| JPS6066127A (ja) | ヘリウム漏洩試験装置 | |
| CN101470045A (zh) | 一种Ni-H2蓄电池氢工质泄漏检测系统 | |
| US5226314A (en) | Tracer-gas leak detector | |
| JPS58105032A (ja) | ヘリウム質量分析型漏洩試験装置 | |
| US6282946B1 (en) | Leak detector | |
| JPH08500672A (ja) | 軽質のガスを用いたテストガス漏れ検査のための真空・漏れ検査装置 | |
| JPS6093936A (ja) | リ−クデテクタ | |
| JP3675983B2 (ja) | ヘリウムリークディテクター | |
| JPS5948630A (ja) | リ−クデテクタ | |
| JPH11241971A (ja) | リークテスト装置 |