JPS6057676B2 - マイクロ波放電光源用電源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源用電源装置Info
- Publication number
- JPS6057676B2 JPS6057676B2 JP55130172A JP13017280A JPS6057676B2 JP S6057676 B2 JPS6057676 B2 JP S6057676B2 JP 55130172 A JP55130172 A JP 55130172A JP 13017280 A JP13017280 A JP 13017280A JP S6057676 B2 JPS6057676 B2 JP S6057676B2
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- Japan
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- microwave
- power supply
- light source
- supply device
- discharge
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B20/00—Energy efficient lighting technologies, e.g. halogen lamps or gas discharge lamps
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、マイクロ波放電を利用したマイクロ波放
電光源装置に関する。
電光源装置に関する。
最近、放電利用の光源装置として、高周波放電、特に
高周波としてマイクロ波を用いた光源装置が注目されて
いる。
高周波としてマイクロ波を用いた光源装置が注目されて
いる。
従来の有電極の光源装置では、ランプの寿命が電極の消
耗により決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装
置では、ランプを無電極にできるため、ランプ寿命が長
くなるという特徴がある。 さらに電極による熱損失が
なく、しかも、放電のインピーダンスが初期状態と安定
状態で差が小さいため、安定状態でインピーダンス整合
させた場合でも、初期状態での電力注入が容易であり、
また、放電々力がランプ管壁に偏つているなどのために
、最大出力到達までの時間が短くなるという特徴もある
。
耗により決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装
置では、ランプを無電極にできるため、ランプ寿命が長
くなるという特徴がある。 さらに電極による熱損失が
なく、しかも、放電のインピーダンスが初期状態と安定
状態で差が小さいため、安定状態でインピーダンス整合
させた場合でも、初期状態での電力注入が容易であり、
また、放電々力がランプ管壁に偏つているなどのために
、最大出力到達までの時間が短くなるという特徴もある
。
第１図は、これらの特徴を利用したマイクロ波放電光
源装置の構成を示す縦断面図で、１はマグネトロン、２
はマグネトロンアンテナ、３は導波管、４は内壁の形状
を回転対称形に構成されたマイクロ波空胴、５は空胴４
と導波管３の接合部に設けられたマイクロ波給電口、６
は球形に形成された放電灯、７はマグネトロン１および
放電灯６を冷却するためのファン、８は導波管３の一部
に設けられた通気口、９は空胴４の前面を覆うメツシユ
板、１０はマグネトロン１、導波管３、空胴４等を覆う
箱体、１１は放電灯６を支持する支持棒である。
源装置の構成を示す縦断面図で、１はマグネトロン、２
はマグネトロンアンテナ、３は導波管、４は内壁の形状
を回転対称形に構成されたマイクロ波空胴、５は空胴４
と導波管３の接合部に設けられたマイクロ波給電口、６
は球形に形成された放電灯、７はマグネトロン１および
放電灯６を冷却するためのファン、８は導波管３の一部
に設けられた通気口、９は空胴４の前面を覆うメツシユ
板、１０はマグネトロン１、導波管３、空胴４等を覆う
箱体、１１は放電灯６を支持する支持棒である。
この装置の動作は次のようである。
マグネトロン１によづて発生したマイクロ波は、マグネ
トロンアンテナ２を通じて導波管３中に放射される。こ
のマイクロ波は導波管３を伝幡し、給電口５を通じて空
胴４中に放射され、空胴４中にマイクロ波電磁界を形成
する。このマイクロ波電磁界により、放電灯６中のガス
が放電し、放電灯内壁が熱せられ、管中にある水銀等の
金属が蒸発しガス化されて、放電は金属ガスの放電に移
り、金属ガスの種類に応じた特定の発光スペクトルを持
つ光が放射される。この状態はマイクロ波エネルギーが
注入される限り持続する。一方、マグネトロン１の電源
には、第２図に示すような、全波倍電圧整流回路が用い
られる。
トロンアンテナ２を通じて導波管３中に放射される。こ
のマイクロ波は導波管３を伝幡し、給電口５を通じて空
胴４中に放射され、空胴４中にマイクロ波電磁界を形成
する。このマイクロ波電磁界により、放電灯６中のガス
が放電し、放電灯内壁が熱せられ、管中にある水銀等の
金属が蒸発しガス化されて、放電は金属ガスの放電に移
り、金属ガスの種類に応じた特定の発光スペクトルを持
つ光が放射される。この状態はマイクロ波エネルギーが
注入される限り持続する。一方、マグネトロン１の電源
には、第２図に示すような、全波倍電圧整流回路が用い
られる。
第２図において、Ｅは交流電源であり、トランスＴの１
次巻線１Ｐに交流電圧が印加されている。トランスＴは
二つの２次巻線１Ｓ，２Ｓを有しており、２次巻線１Ｓ
の両端には第１のコンデンサＣ１と第１のダイオードＤ
１との直列回路および第２のコンデンサＣ２と第２のダ
イオードＤ２との直列回路が逆並列接続されている。こ
のコンデンサＣｌ，Ｃ２，ダイオードＤｌ，Ｄ２とによ
り、全波倍電圧整流回路が構成され、その出力電圧はマ
グネトロン１のアノードに加えられている。また、トラ
ンスＴの２次巻線２Ｓはマグネトロン１のカソード（フ
ィラメント）に接続されている。通常、コンデンサＣ１
とＣ２の容量はほぼ等しい値のものが用いられ、トラン
スＴを漏洩変圧器とした場合、マグネトロン１で発生さ
れるマイクロ波出力は第３図のようになる。第３図にお
いて、Ｔ１はある半周期でのマイクロ波発生期間、Ｔ２
は他の半周期でのマイクロ波発生期間、Ｔ３は両半周期
の間にあるマイクロ波出力が零となる休止期間である。
このマイクロ波を、第１図のマイクロ波放電光源装置に
用いた場合、電源投入後の、あるマイクロ波発生期Ｗ１
て放電灯６中のガス放電が始動し、ガスが電離、励起さ
れる。次の休止期間Ｌではマイクロ波エネルギーが注入
されないため、ガスは電離励起されず、中性ガスに戻る
。中性ガスに戻るまでの時間はガスの種類によるが、一
般にガス密度が大きくなれば時間が短くなると考えられ
ている。休止期間Ｔ３中にガスが完全に中性ガスに戻ら
なければ、次のマイクロ波発生期間Ｔ２で再び放電状態
となる。この例の場合、マイクロ波休止期Ｗ３は１ミリ
秒程度となり、通常使用される放電灯中のガス密度では
、この時間内にガスが完全に中性ガスに戻ることはない
。したがつて、前述のように放電状態を持続でき、金属
ガスの放電に移行する。マイクロ波放電光源装置の動作
原理は以上のようであるが、マイクロ波空胴４のインピ
ーダンスは、放電灯６の点灯前と点灯後で異なるが、光
出力を最大とするため、点灯後の状態でインピーダンス
整合させる必要がある。
次巻線１Ｐに交流電圧が印加されている。トランスＴは
二つの２次巻線１Ｓ，２Ｓを有しており、２次巻線１Ｓ
の両端には第１のコンデンサＣ１と第１のダイオードＤ
１との直列回路および第２のコンデンサＣ２と第２のダ
イオードＤ２との直列回路が逆並列接続されている。こ
のコンデンサＣｌ，Ｃ２，ダイオードＤｌ，Ｄ２とによ
り、全波倍電圧整流回路が構成され、その出力電圧はマ
グネトロン１のアノードに加えられている。また、トラ
ンスＴの２次巻線２Ｓはマグネトロン１のカソード（フ
ィラメント）に接続されている。通常、コンデンサＣ１
とＣ２の容量はほぼ等しい値のものが用いられ、トラン
スＴを漏洩変圧器とした場合、マグネトロン１で発生さ
れるマイクロ波出力は第３図のようになる。第３図にお
いて、Ｔ１はある半周期でのマイクロ波発生期間、Ｔ２
は他の半周期でのマイクロ波発生期間、Ｔ３は両半周期
の間にあるマイクロ波出力が零となる休止期間である。
このマイクロ波を、第１図のマイクロ波放電光源装置に
用いた場合、電源投入後の、あるマイクロ波発生期Ｗ１
て放電灯６中のガス放電が始動し、ガスが電離、励起さ
れる。次の休止期間Ｌではマイクロ波エネルギーが注入
されないため、ガスは電離励起されず、中性ガスに戻る
。中性ガスに戻るまでの時間はガスの種類によるが、一
般にガス密度が大きくなれば時間が短くなると考えられ
ている。休止期間Ｔ３中にガスが完全に中性ガスに戻ら
なければ、次のマイクロ波発生期間Ｔ２で再び放電状態
となる。この例の場合、マイクロ波休止期Ｗ３は１ミリ
秒程度となり、通常使用される放電灯中のガス密度では
、この時間内にガスが完全に中性ガスに戻ることはない
。したがつて、前述のように放電状態を持続でき、金属
ガスの放電に移行する。マイクロ波放電光源装置の動作
原理は以上のようであるが、マイクロ波空胴４のインピ
ーダンスは、放電灯６の点灯前と点灯後で異なるが、光
出力を最大とするため、点灯後の状態でインピーダンス
整合させる必要がある。
従つて、点灯前の状態ではインピーダンス不整合となり
空胴内に点灯に必要な強さの電磁界が発生しないことが
ある。すなわち、生じる電磁界が弱く、放電灯の放電開
始電磁界より弱ければ、放電灯は点灯しない。この発明
は、上記のような時に放電灯が点灯しない不都合を解消
し、さらに放電灯が始動してから、安定状態に達するま
での時間すねなわち安定時間を短縮するためになされた
もので、電源入力を放電灯の点灯前が点灯後より大とな
るように切り換えることで、点灯が容易で、安定時間の
短いマイクロ波放電光源装置を提供することを目的とし
ている。第４図はこの発明の一実施例の回路図で、ＴＭ
はタイマ、ＴＳはタイマＴＭで制御されるスイッチＣ３
はスイッチへを介してＣ２に並列接続された第３のコン
デンサで、Ｃ３の容量はＣｌ，Ｃ２と同じかまたは大き
な容量を有する。
空胴内に点灯に必要な強さの電磁界が発生しないことが
ある。すなわち、生じる電磁界が弱く、放電灯の放電開
始電磁界より弱ければ、放電灯は点灯しない。この発明
は、上記のような時に放電灯が点灯しない不都合を解消
し、さらに放電灯が始動してから、安定状態に達するま
での時間すねなわち安定時間を短縮するためになされた
もので、電源入力を放電灯の点灯前が点灯後より大とな
るように切り換えることで、点灯が容易で、安定時間の
短いマイクロ波放電光源装置を提供することを目的とし
ている。第４図はこの発明の一実施例の回路図で、ＴＭ
はタイマ、ＴＳはタイマＴＭで制御されるスイッチＣ３
はスイッチへを介してＣ２に並列接続された第３のコン
デンサで、Ｃ３の容量はＣｌ，Ｃ２と同じかまたは大き
な容量を有する。
このようにすれば、マグネトロン１で発生されるマイク
ロ波出力は第５図に示すようになる。すなわち、Ｃ２，
Ｃ３が放電する半周期のマイクロ波発生期間Ｔ２でのマ
イクロ波出力は、Ｃ１が放電するマイクロ波発生期間Ｔ
１でのマイクロ波出力よりも大きくなる。又、電源投入
と同時にタイマーＴＭが動作を始め、セットされた時刻
ちにタイマーが０ＦＦとなり、タイイマーの接点ＴＳが
開になる。すなわち電源投入後、設定された時間を経た
時刻ちにコンデンサＣ３が回路より切断され、Ｃ３は充
電されなくなるため、マイクロ波出力は第６図で示すよ
うにＣ２が放電する半周期のマイクロ波発生期間Ｔ２で
のマイクロ波出力はＣ１が放電する半周期のマイクロ波
発生期ト匡，でのマイクロ波出力とほぼ等しくなる。こ
の状態でのマイクロ波出力が定格出力となるよう、Ｃｌ
，Ｃ２の容量を決めれば、時刻ｔ１以前はマイクロ波出
力が定格出力以上となり、特にマイクロ波発生期間Ｔ２
でのマイクロ波出力が大きく、空胴４内に生じる電磁界
が強くなる。一方、放電灯６の放電の始動は放電灯６内
のガスの種類や密度により決まり、与えられる電磁界が
放電開始電磁界以上になれば始動する。したがつて、第
３図に示したマイクロ波出力の場合よりも、第５図に示
したマイクロ波出力の場合のほうが、放電の始動がより
容易となる。又、点灯後は放電灯の内壁が熱せられ、管
内の水銀等の金属が蒸発し、ガス化されて放電は金属ガ
スの放電に移り、漸次安定状態となる。安定状態になる
までに要する時間（安定時間）は金属の蒸発速度により
決まり、金属の蒸発速度は放電灯の内壁の昇温速度によ
り決まる。昇温速度は放電エネルギーすなわちマイクロ
波エネルギーが大きいほど速く、したがつて、マイクロ
波入力が大きいほど安定時間が短くなる。なお、安定時
間は数秒〜十数秒であるから、タイマーＴＭの作動時間
を予想される安定時間に設定しておけば、マグネトロン
１は定格以上て動作する時間が短いため、過加熱される
恐れはない。第７図はコンデンサＣ３の充・放電電流１
３の波形図で、Ｔ２は放電期間、Ｔ４は充電期間、Ｔ３
は休止期間てある。
ロ波出力は第５図に示すようになる。すなわち、Ｃ２，
Ｃ３が放電する半周期のマイクロ波発生期間Ｔ２でのマ
イクロ波出力は、Ｃ１が放電するマイクロ波発生期間Ｔ
１でのマイクロ波出力よりも大きくなる。又、電源投入
と同時にタイマーＴＭが動作を始め、セットされた時刻
ちにタイマーが０ＦＦとなり、タイイマーの接点ＴＳが
開になる。すなわち電源投入後、設定された時間を経た
時刻ちにコンデンサＣ３が回路より切断され、Ｃ３は充
電されなくなるため、マイクロ波出力は第６図で示すよ
うにＣ２が放電する半周期のマイクロ波発生期間Ｔ２で
のマイクロ波出力はＣ１が放電する半周期のマイクロ波
発生期ト匡，でのマイクロ波出力とほぼ等しくなる。こ
の状態でのマイクロ波出力が定格出力となるよう、Ｃｌ
，Ｃ２の容量を決めれば、時刻ｔ１以前はマイクロ波出
力が定格出力以上となり、特にマイクロ波発生期間Ｔ２
でのマイクロ波出力が大きく、空胴４内に生じる電磁界
が強くなる。一方、放電灯６の放電の始動は放電灯６内
のガスの種類や密度により決まり、与えられる電磁界が
放電開始電磁界以上になれば始動する。したがつて、第
３図に示したマイクロ波出力の場合よりも、第５図に示
したマイクロ波出力の場合のほうが、放電の始動がより
容易となる。又、点灯後は放電灯の内壁が熱せられ、管
内の水銀等の金属が蒸発し、ガス化されて放電は金属ガ
スの放電に移り、漸次安定状態となる。安定状態になる
までに要する時間（安定時間）は金属の蒸発速度により
決まり、金属の蒸発速度は放電灯の内壁の昇温速度によ
り決まる。昇温速度は放電エネルギーすなわちマイクロ
波エネルギーが大きいほど速く、したがつて、マイクロ
波入力が大きいほど安定時間が短くなる。なお、安定時
間は数秒〜十数秒であるから、タイマーＴＭの作動時間
を予想される安定時間に設定しておけば、マグネトロン
１は定格以上て動作する時間が短いため、過加熱される
恐れはない。第７図はコンデンサＣ３の充・放電電流１
３の波形図で、Ｔ２は放電期間、Ｔ４は充電期間、Ｔ３
は休止期間てある。
いま充電期間Ｔ４内または放電期間Ｔ２内にスイッチＴ
Ｓが開かれたとすると、この充・放電電流はトランスＴ
の２次巻線１Ｓを流れているため逆起電力が発生し、ダ
イオードＤｌ，．Ｄ２、コンデンサＣｌ，Ｃ２およびマ
グネトロンを破壊する恐れがある。第３図はこの難点を
解消したこの発明の他の実施例の回路図で、Ｒ１はコン
デンサＣ３の充・放電電流を検出するための抵抗、Ｒ２
はコンデンサＣ３、に並列に接続された放電用の高抵抗
、ＳはコンデンサＣ３に直列に接続されたスイッチ、１
４はスイッチＳの制御器で、タイマＴＭの作動信号を受
けたのち、コンデンサＣ３の充・放電電流が零となつた
ときスイッチＳを開放させるように作動す−る。
Ｓが開かれたとすると、この充・放電電流はトランスＴ
の２次巻線１Ｓを流れているため逆起電力が発生し、ダ
イオードＤｌ，．Ｄ２、コンデンサＣｌ，Ｃ２およびマ
グネトロンを破壊する恐れがある。第３図はこの難点を
解消したこの発明の他の実施例の回路図で、Ｒ１はコン
デンサＣ３の充・放電電流を検出するための抵抗、Ｒ２
はコンデンサＣ３、に並列に接続された放電用の高抵抗
、ＳはコンデンサＣ３に直列に接続されたスイッチ、１
４はスイッチＳの制御器で、タイマＴＭの作動信号を受
けたのち、コンデンサＣ３の充・放電電流が零となつた
ときスイッチＳを開放させるように作動す−る。
このような構成にすると、第７図に示すように、放電期
間Ｌ内の時刻ｔ１にタイマＴＭの作動信号を受けてもス
イッチＳは閉であるので放電は継続され、放電電流が零
となつた期間Ｔ４内の時刻Ｔ２にスイッチＳが開かれる
ので、逆起電力は発生せず、上記のような不都合は生じ
ない。
間Ｌ内の時刻ｔ１にタイマＴＭの作動信号を受けてもス
イッチＳは閉であるので放電は継続され、放電電流が零
となつた期間Ｔ４内の時刻Ｔ２にスイッチＳが開かれる
ので、逆起電力は発生せず、上記のような不都合は生じ
ない。
なお、コンデンサＣ３が充電期間Ｔ４終了後にスイッチ
Ｓが開かれた場合は、高抵抗Ｒ２を経て放電される。
Ｓが開かれた場合は、高抵抗Ｒ２を経て放電される。
上記実施例において、タイマーＴＭｌスイッチＢ１制御
器１４およびスイッチＳは何れも可動部を有する機械的
装置、又は可動部を有しない電子装置で構成しうる。
器１４およびスイッチＳは何れも可動部を有する機械的
装置、又は可動部を有しない電子装置で構成しうる。
又、整流回路はトランスの２次側端子にスイッチを介し
て接続された並列コンデンサとダイオードブリッジの直
列回路を接続したものを用い、上記スイッチをタイマー
により開路して電源入力を低下させてもよい。
て接続された並列コンデンサとダイオードブリッジの直
列回路を接続したものを用い、上記スイッチをタイマー
により開路して電源入力を低下させてもよい。
この発明は無電極放電灯を駆動するマイクロ波発生装置
の電源装置において、電源投入後所定のタイミングで電
源入力を低下させる制御手段を備えたことを特徴とする
もので、放電灯が点灯するまで印加される電磁界強度を
大きくするのて確実に点灯され、更に安定時間を短くで
きる効果が得られる。
の電源装置において、電源投入後所定のタイミングで電
源入力を低下させる制御手段を備えたことを特徴とする
もので、放電灯が点灯するまで印加される電磁界強度を
大きくするのて確実に点灯され、更に安定時間を短くで
きる効果が得られる。
第１図はマイクロ波放電光源装置の構成を示す縦断面図
、第２図は従来のマイクロ波放電光源の電源装置の回路
図、第３図は従来の構成の電源を用いて発生されたマイ
クロ波出力の波形図、第４図はこの発明の一実施例の回
路図、第５図はそのマイクロ波出力波形図、第６図はそ
の点灯前後のマイクロ波出力波形図、第７図はこの発明
の他の実施例の回路図、第８図はその第３のコンデンサ
の充・放電電流波形図である。 図において、１はマイクロ波発振器、Ｄｌ，Ｄ２はダイ
オード、Ｃｌ，Ｃ２，Ｃ３はコンデンサ、Ｔはトランス
、ＴＳ，Ｓはスイッチ、ＴＭはタイマー、Ｒｌ，Ｒ２は
抵抗、１４は制御器である。
、第２図は従来のマイクロ波放電光源の電源装置の回路
図、第３図は従来の構成の電源を用いて発生されたマイ
クロ波出力の波形図、第４図はこの発明の一実施例の回
路図、第５図はそのマイクロ波出力波形図、第６図はそ
の点灯前後のマイクロ波出力波形図、第７図はこの発明
の他の実施例の回路図、第８図はその第３のコンデンサ
の充・放電電流波形図である。 図において、１はマイクロ波発振器、Ｄｌ，Ｄ２はダイ
オード、Ｃｌ，Ｃ２，Ｃ３はコンデンサ、Ｔはトランス
、ＴＳ，Ｓはスイッチ、ＴＭはタイマー、Ｒｌ，Ｒ２は
抵抗、１４は制御器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 無電極放電灯を駆動するマイクロ波発生装置の電源
装置において、この電源装置がトランスおよびこのトラ
ンスの２次側に接続されたコンデンサとダイオードより
成る整流回路を備えており、電源投入後所定のタイミン
グで上記コンデンサの容量を低下させる制御手段を備え
たことを特徴とするマイクロ波放電光源用電源装置。 ２ 整流回路はトランスの２次巻線出力端子間に逆並列
接続された第１、第２の整流素子と充電用コンデンサと
の直列体の何れか一方のコンデンサに並列接続された第
３の充電用コンデンサとスイッチとの直列体とから成り
、制御手段は前記スイッチを電源投入後所定のタイミン
グで開路するよう構成されたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源用電源装置。 ３ 電源投入時から作動するタイマと第３のコンデンサ
の充・放電々流を検出する手段と、上記タイマの作動後
、上記充・放電々流が零となつている期間内にスイッチ
を開する手段を備えたことを特徴とする特許請求の範囲
第２項記載のマイクロ波放電光源用電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55130172A JPS6057676B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55130172A JPS6057676B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5755091A JPS5755091A (en) | 1982-04-01 |
| JPS6057676B2 true JPS6057676B2 (ja) | 1985-12-16 |
Family
ID=15027746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55130172A Expired JPS6057676B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057676B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58175298A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-14 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電光源装置の制御方法 |
| JPS58175297A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-14 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電光源装置の制御方法 |
| JPS59114793A (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-02 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電光源装置用電源装置 |
| JPS5996763U (ja) * | 1982-12-21 | 1984-06-30 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
| JPS59114748A (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波放電光源装置 |
| JPS62290098A (ja) * | 1987-04-24 | 1987-12-16 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電光源装置 |
| JPH07111918B2 (ja) * | 1987-07-28 | 1995-11-29 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電光源装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3684978A (en) * | 1969-12-18 | 1972-08-15 | Gen Corp | Capacitor switching arrangement for regulating power output of heating magnetron |
| US4146820A (en) * | 1977-11-11 | 1979-03-27 | Gte Sylvania Incorporated | Fluorescent lamp power reducer |
-
1980
- 1980-09-19 JP JP55130172A patent/JPS6057676B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3684978A (en) * | 1969-12-18 | 1972-08-15 | Gen Corp | Capacitor switching arrangement for regulating power output of heating magnetron |
| US4146820A (en) * | 1977-11-11 | 1979-03-27 | Gte Sylvania Incorporated | Fluorescent lamp power reducer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5755091A (en) | 1982-04-01 |
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