JPS6049554A - マイクロ波放電光源装置用電源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置用電源装置Info
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- JPS6049554A JPS6049554A JP15819283A JP15819283A JPS6049554A JP S6049554 A JPS6049554 A JP S6049554A JP 15819283 A JP15819283 A JP 15819283A JP 15819283 A JP15819283 A JP 15819283A JP S6049554 A JPS6049554 A JP S6049554A
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- Japan
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- magnetron
- light source
- source device
- discharge light
- oscillation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/048—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using an excitation coil
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はマイクロ波放電を利用したマイクロ波放電光源
装置のだめの電源装置に関するものである。
装置のだめの電源装置に関するものである。
最近、放電利用の光源装置として高周波放電、特に高周
波としてマイクロ波を用いた光源装置が注目されておシ
、従来の有電極の光源装置ではランプの寿命が電極の消
耗によシ決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装
置ではランプを無電極にできるためにランプ寿命が長く
なるという特徴がある。又、電極による熱損失がなく、
シかも放電のインピーダンスが初期状態と安定状態との
差が小さいだめ安定状態でインピーダンス整合させた場
合でも初期状態での電力注入が容易であシ、さらに放電
々力がランプ管壁に偏っているなどのために最大出力到
達までの時間が短く力るという特徴がある。
波としてマイクロ波を用いた光源装置が注目されておシ
、従来の有電極の光源装置ではランプの寿命が電極の消
耗によシ決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装
置ではランプを無電極にできるためにランプ寿命が長く
なるという特徴がある。又、電極による熱損失がなく、
シかも放電のインピーダンスが初期状態と安定状態との
差が小さいだめ安定状態でインピーダンス整合させた場
合でも初期状態での電力注入が容易であシ、さらに放電
々力がランプ管壁に偏っているなどのために最大出力到
達までの時間が短く力るという特徴がある。
第１図はこれらの特徴を利用したマイクロ波放電光源装
置の構成を示す縦断面図で、１はマグネトロン、２はマ
グネトロアンテナ、３は導波管、４は内壁の形状を回転
対称形に形成されたマイクロ波空胴、５は空胴４と導波
管３の接合部に設けられたマイクロ波給電口、６は球形
に形成された放Ｎ、 灯、７はマグネトロン１および放
電灯６を冷却するためのファン、８は導波管３の一部に
設けられた通気口、９け空胴４の前面を覆うメツシュ板
、１０はマグネトロン１、導波管３および空胴４等を覆
う箱体、１１は放電灯６を支持する支持棒である。
置の構成を示す縦断面図で、１はマグネトロン、２はマ
グネトロアンテナ、３は導波管、４は内壁の形状を回転
対称形に形成されたマイクロ波空胴、５は空胴４と導波
管３の接合部に設けられたマイクロ波給電口、６は球形
に形成された放Ｎ、 灯、７はマグネトロン１および放
電灯６を冷却するためのファン、８は導波管３の一部に
設けられた通気口、９け空胴４の前面を覆うメツシュ板
、１０はマグネトロン１、導波管３および空胴４等を覆
う箱体、１１は放電灯６を支持する支持棒である。
この装置の動作は次のようである。マグネトロンｌによ
って発生したマイクロ波はマグネトロンアンテナ２を通
じて導波管３中に放射される。このマイクロ波は導波管
３を伝帳し、、給電口５を通して空胴４中に放射され、
空胴４中にマイクロ波電磁界を形成する。このマイクロ
波電磁界にょシ放電灯６中のガスが放電し、放電幻６の
内壁が熱せられて内部にある水銀等の金属が蒸梶しガス
化され、放電は金属ガスの放電に移シ、金属ガスの種類
に応じた特定の発光スペクトルを持つ光が放射される。
って発生したマイクロ波はマグネトロンアンテナ２を通
じて導波管３中に放射される。このマイクロ波は導波管
３を伝帳し、、給電口５を通して空胴４中に放射され、
空胴４中にマイクロ波電磁界を形成する。このマイクロ
波電磁界にょシ放電灯６中のガスが放電し、放電幻６の
内壁が熱せられて内部にある水銀等の金属が蒸梶しガス
化され、放電は金属ガスの放電に移シ、金属ガスの種類
に応じた特定の発光スペクトルを持つ光が放射される。
この状態はマイクロ波エネルギーが注入される限多持続
する。
する。
上記のようなマイクロ波放電光源装置において、マグネ
トロン１を作動させるための電源装置としては、従来第
２図に示すような全波倍電圧整流回路を有するものが用
いられていた。即ち、第２図において、昇圧トランスＴ
の１次側巻線Ｐ、は端子ａ、ｂを介して交流電源Ｅに接
続され、２次側の第１の巻線（ヒータ巻線） Ｓ２は端
子ｅ、ｆを介してマグネトロンｌのヒータに接続され、
さらに２次側の第２の巻線Ｓ１はマグネトロン１に電力
を供給するだめの昇圧巻線であって、その端子ｃ、ｄは
コンデンサＣ，、Ｃ２およびダイオードＤ、、Ｄ、、で
構成される全波倍電圧整流回路Ｒの端子ｇ、ｈに接続さ
れる。又、全波倍電圧整流回路凡の整流出力側の端子ｔ
ｔＪはマグネ、トロン１のカン−ドおよびアノードに接
続される。
トロン１を作動させるための電源装置としては、従来第
２図に示すような全波倍電圧整流回路を有するものが用
いられていた。即ち、第２図において、昇圧トランスＴ
の１次側巻線Ｐ、は端子ａ、ｂを介して交流電源Ｅに接
続され、２次側の第１の巻線（ヒータ巻線） Ｓ２は端
子ｅ、ｆを介してマグネトロンｌのヒータに接続され、
さらに２次側の第２の巻線Ｓ１はマグネトロン１に電力
を供給するだめの昇圧巻線であって、その端子ｃ、ｄは
コンデンサＣ，、Ｃ２およびダイオードＤ、、Ｄ、、で
構成される全波倍電圧整流回路Ｒの端子ｇ、ｈに接続さ
れる。又、全波倍電圧整流回路凡の整流出力側の端子ｔ
ｔＪはマグネ、トロン１のカン−ドおよびアノードに接
続される。
上記の電源装置において、まず交流電源Ｅが投入される
と、ヒータ巻＋ｌ１ｌＳｔに電圧が誘起され、マグネト
ロン１のヒ下夕を加熱する。同時に昇圧巻線Ｓ、にも電
圧が誘起されて全波倍電圧整流回路Ｒに電圧が供給され
、コンデンサＣ＋ 、 Ｃｔが充電される。そして、出
力側の端子ｘｏｊ間の電圧がマグネトロン１の動作電圧
を越えるとマグネトロン１が発振を開始し、仁のマイク
ロ波が空胴４内に導かれて放電灯６が点灯する。マグネ
トロン１のアノード電流の大きさは昇圧トランスＴの２
次側の昇圧巻線Ｓ、に誘起される電圧の大きさおよびコ
ンデンサＣ，、Ｃ２の静電容量の大きさによって決まシ
、定常にマグネトロン１のマイクロ波の出方が設定値に
なるよう定められ、マグネトロン１が発振開始後はコン
デンサＣ１，Ｃ，の各ザイクル毎の充放電によってマグ
ネトロン１にｉｔは正弦波を整流したものに近い波形の
脈流の電流が流れ、マイクロ波の出力は仁の電流波形に
比例した出力の発振をする。
と、ヒータ巻＋ｌ１ｌＳｔに電圧が誘起され、マグネト
ロン１のヒ下夕を加熱する。同時に昇圧巻線Ｓ、にも電
圧が誘起されて全波倍電圧整流回路Ｒに電圧が供給され
、コンデンサＣ＋ 、 Ｃｔが充電される。そして、出
力側の端子ｘｏｊ間の電圧がマグネトロン１の動作電圧
を越えるとマグネトロン１が発振を開始し、仁のマイク
ロ波が空胴４内に導かれて放電灯６が点灯する。マグネ
トロン１のアノード電流の大きさは昇圧トランスＴの２
次側の昇圧巻線Ｓ、に誘起される電圧の大きさおよびコ
ンデンサＣ，、Ｃ２の静電容量の大きさによって決まシ
、定常にマグネトロン１のマイクロ波の出方が設定値に
なるよう定められ、マグネトロン１が発振開始後はコン
デンサＣ１，Ｃ，の各ザイクル毎の充放電によってマグ
ネトロン１にｉｔは正弦波を整流したものに近い波形の
脈流の電流が流れ、マイクロ波の出力は仁の電流波形に
比例した出力の発振をする。
しかし、このよう々全波倍電圧整流回路ｌζを用いた電
源装置においては、マグネトロン１のアノード電流は各
半サイクルごとに零にならず、電源が投入されている間
中発振を連続して持続する。
源装置においては、マグネトロン１のアノード電流は各
半サイクルごとに零にならず、電源が投入されている間
中発振を連続して持続する。
このような場合、電源電圧の変動やマイクロ波負荷に辷
では無電極ランプのインピーダンス）の変動等が原因で
マグネトロン１に異常発振を生じることがあシ、この異
常発振が正常発振に復帰するのに時間がかかシ、マグネ
トロン１の寿命を著しく短縮させる結果となる。
では無電極ランプのインピーダンス）の変動等が原因で
マグネトロン１に異常発振を生じることがあシ、この異
常発振が正常発振に復帰するのに時間がかかシ、マグネ
トロン１の寿命を著しく短縮させる結果となる。
本発明は上記のような従来の欠点を除去するために成さ
れたものであ凱間用周波数の各半サイクル毎にマグネト
ロンの発振停止期間を強制的に設ける手段を電源装置の
回路内に付加する仁とによって％ある半サイクルで異常
発振状態に入っても次の半サイクルの間に発振停止期間
があるためこの発振停止期間に異常発振が停止し、次の
半サイクルでは正常発振状態に復帰させ、長い時間異常
発振状態が続かないようにし、マグネトロン１の異常発
振によるマグネトロン１の短寿命化を防止することがで
きるマイクロ波放電光源装置用電源装置を提供すること
を目的とする。
れたものであ凱間用周波数の各半サイクル毎にマグネト
ロンの発振停止期間を強制的に設ける手段を電源装置の
回路内に付加する仁とによって％ある半サイクルで異常
発振状態に入っても次の半サイクルの間に発振停止期間
があるためこの発振停止期間に異常発振が停止し、次の
半サイクルでは正常発振状態に復帰させ、長い時間異常
発振状態が続かないようにし、マグネトロン１の異常発
振によるマグネトロン１の短寿命化を防止することがで
きるマイクロ波放電光源装置用電源装置を提供すること
を目的とする。
本発明はマグネトロンによって発生する無電極ランプを
有するマイクロ波放電光源装置の電源装置において、１
次側が商用周波数電源に接続されるとともに２次側に少
くとも昇圧巻線を有する昇圧トランスを設け、との昇圧
トランスの２次側に、整流出力側をマグネトロンのアノ
ード・カソード間に接続した全波倍電圧整流回路を、商
用周波数の各半サイクル毎に昇圧トランスの２次側の昇
圧巻線からの光電々流を阻止しマグネトロンの発振を瞬
間停止させる両方同性スイッチング部材を介して接続し
たことを特徴とするものである。
有するマイクロ波放電光源装置の電源装置において、１
次側が商用周波数電源に接続されるとともに２次側に少
くとも昇圧巻線を有する昇圧トランスを設け、との昇圧
トランスの２次側に、整流出力側をマグネトロンのアノ
ード・カソード間に接続した全波倍電圧整流回路を、商
用周波数の各半サイクル毎に昇圧トランスの２次側の昇
圧巻線からの光電々流を阻止しマグネトロンの発振を瞬
間停止させる両方同性スイッチング部材を介して接続し
たことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面とともに説明する。
Ｔは２次側にマグネトロン１に電力を供給するだめの昇
圧巻線Ｓｌおよびマグネトロン１のヒータへ電流を供給
するためのヒータ巻線Ｓ、をイｆする昇圧トランスで、
その１次側は商用周波数電源Ｅに接続される。Ｒは全波
倍電圧整流回路で、昇圧トランスＴの昇圧巻線Ｓ、側か
ら供給される反流電圧を全波倍電圧整流してマグネトロ
ン１のアノード・カソード間に供給するためのものであ
り、コンデンサＣ，，Ｃ，およびこれらに夫々逆回きに
接続したダイオードＤ、、Ｄ２との直列体を並列に接続
したものである。
圧巻線Ｓｌおよびマグネトロン１のヒータへ電流を供給
するためのヒータ巻線Ｓ、をイｆする昇圧トランスで、
その１次側は商用周波数電源Ｅに接続される。Ｒは全波
倍電圧整流回路で、昇圧トランスＴの昇圧巻線Ｓ、側か
ら供給される反流電圧を全波倍電圧整流してマグネトロ
ン１のアノード・カソード間に供給するためのものであ
り、コンデンサＣ，，Ｃ，およびこれらに夫々逆回きに
接続したダイオードＤ、、Ｄ２との直列体を並列に接続
したものである。
上記構成において、全波倍電圧整流回路Ｒの整流出力側
においては、端子ｉ側に（−）、端子ｊ側に（＋）の電
圧が生じ、端子ｊがマグネトロン１のアノードに接続さ
れ、端子ｉがカソードに接続される。
においては、端子ｉ側に（−）、端子ｊ側に（＋）の電
圧が生じ、端子ｊがマグネトロン１のアノードに接続さ
れ、端子ｉがカソードに接続される。
又、全波倍電圧整流回路Ｒの変流１１１１の端子ｇ、ｈ
は両方同性スイッチング素子Ｓを介して昇圧巻線Ｓ１の
端子ｃ、ｄに接続される。両方同性半導体スイッチング
素子Ｓ４その両端の電圧が該素子のブレークオーバ電圧
以上になった詩に導通状態になシ、これによシミ流が昇
圧巻線Ｓ１から全波倍電圧整流回路Ｒに流れ込み、この
、素子Ｓを流れる電流が零を通過して逆方向になった時
に素子Ｓは非導通となシ、次に印加電圧が逆方向にブレ
ークオーバ電圧以上になると逆方向に導通状態となシ、
電流が全波倍電圧整流回路Ｒに流れ込む。マグネトロン
ＩＬアノード・カソード間の電圧が規定値以上になると
発振を開始し、規定電圧以下では発振が停止してアノー
ド電流は流れなくなる。即ち、全波倍電圧整流回路Ｒの
出方端子１００間の電圧がマグネトロン１の発振可能電
圧以１；になれは、マグネトロン１の発振は停止する。
は両方同性スイッチング素子Ｓを介して昇圧巻線Ｓ１の
端子ｃ、ｄに接続される。両方同性半導体スイッチング
素子Ｓ４その両端の電圧が該素子のブレークオーバ電圧
以上になった詩に導通状態になシ、これによシミ流が昇
圧巻線Ｓ１から全波倍電圧整流回路Ｒに流れ込み、この
、素子Ｓを流れる電流が零を通過して逆方向になった時
に素子Ｓは非導通となシ、次に印加電圧が逆方向にブレ
ークオーバ電圧以上になると逆方向に導通状態となシ、
電流が全波倍電圧整流回路Ｒに流れ込む。マグネトロン
ＩＬアノード・カソード間の電圧が規定値以上になると
発振を開始し、規定電圧以下では発振が停止してアノー
ド電流は流れなくなる。即ち、全波倍電圧整流回路Ｒの
出方端子１００間の電圧がマグネトロン１の発振可能電
圧以１；になれは、マグネトロン１の発振は停止する。
しかし、従来、昇圧トランスＴから全波倍電圧整流回路
Ｒへ流れ込む電流は昇圧トランスＴのｎ圧巻ＩＩｄ Ｓ
、に誘起する電圧がコンデンサＣ１あるいはＣ２の電圧
よシも少しでも高いと流れるために、実際上は端子ｉ、
ｊ間の電圧がマグネトロン１の発振停止状態になる電圧
まで低下せず、マグネトロン１の発振が持続してしまい
、マグネトロン１の人命を著しく短縮してしまうもので
あった。
Ｒへ流れ込む電流は昇圧トランスＴのｎ圧巻ＩＩｄ Ｓ
、に誘起する電圧がコンデンサＣ１あるいはＣ２の電圧
よシも少しでも高いと流れるために、実際上は端子ｉ、
ｊ間の電圧がマグネトロン１の発振停止状態になる電圧
まで低下せず、マグネトロン１の発振が持続してしまい
、マグネトロン１の人命を著しく短縮してしまうもので
あった。
一方、本実施例においては、ある半サイクルで昇圧トラ
ンスＴからの充電が停止し次の半サイクルに入ると、昇
圧巻ｍｓ、と全波倍電圧整流回路Ｒとの間に直列に接続
された両方同性半導体スイッチング素子Ｓが非導通状態
になり、昇圧巻線ｓｌに誘起される電圧とコンデンサＣ
３あるいはＣ２に充電されている電圧の差がスイッチン
グ素子ｓＩのブレークオーバ電圧以上になるまでスイッ
チング素子Ｓは非導通状態を続ける。スイッチング素子
Ｓが導通状態になる壕で全波倍電圧整流回路Ｒには電源
側から電流が供給されないので、全波倍電圧整流回路Ｒ
の出力端子１１ｊ間の電圧はマグネトロン１の発振が停
止するまで低下し、発振は停止する。発振が停止してい
る期間を所望の時間おいた後に昇圧トランスＴの打圧巻
線Ｓ１に誘起する電圧とコンデンサＣ，、Ｃ２に充電さ
れている電圧との差がスイッチング素子Ｓのブレークオ
ーツク電圧以上になるようにスイッチング素子Ｓのブレ
ークオーバ電圧を予め設定することにより、所定時間後
にスイッチング素子Ｓが導通状態になり、電源側から電
流を供給されて全波倍電圧整流回路ＲのコンデンサＣ，
、Ｃ，が充電され、出力端子ｔｔＪ間電圧電圧上昇して
マグネトロン１の発振可能電圧まで上昇し、マグネトロ
ン１が発振を開始する。そして５次の半サイクルにおい
ても前述同様にスイッチング素子Ｓの働きによりマグネ
トロン１の発振停止期間が設けられてマグネトロン１が
発振をする。こうして、商用周波数の各半サイクルごと
にマグネトロンの発振停止期間を強制的に設けることが
でき、マグネトロン１の異常発振によるマグネトロン１
の早期寿命や故障を防止することができる。又、マグネ
トロン１の発振停止期間はスイッチング素子Ｓのブレー
クオーバ電圧の選定によって変えることができ、実質的
にマグネトロン１の発振停止期間が０−１ ｍ５ｅｃ以
上あると、マグネトロン１の異常発振の防止に対して有
効であシ、好ましくは１２ｍ５ｅｃ程度に選定するのが
良く、０，１ｍ５ｅｃ未満にするとマグネトロン１の発
振が停止しても異常発振を防止し得ないことがあって有
効でないことが判明している。尚、上記実施例では両方
同性スイッチング部材として２端子両方回性半導体スイ
ッチング素子を用いたが、両方同性ザイリスタあるいは
高耐圧のリードリレーのような機械的スイッチを使用し
ても良い。
ンスＴからの充電が停止し次の半サイクルに入ると、昇
圧巻ｍｓ、と全波倍電圧整流回路Ｒとの間に直列に接続
された両方同性半導体スイッチング素子Ｓが非導通状態
になり、昇圧巻線ｓｌに誘起される電圧とコンデンサＣ
３あるいはＣ２に充電されている電圧の差がスイッチン
グ素子ｓＩのブレークオーバ電圧以上になるまでスイッ
チング素子Ｓは非導通状態を続ける。スイッチング素子
Ｓが導通状態になる壕で全波倍電圧整流回路Ｒには電源
側から電流が供給されないので、全波倍電圧整流回路Ｒ
の出力端子１１ｊ間の電圧はマグネトロン１の発振が停
止するまで低下し、発振は停止する。発振が停止してい
る期間を所望の時間おいた後に昇圧トランスＴの打圧巻
線Ｓ１に誘起する電圧とコンデンサＣ，、Ｃ２に充電さ
れている電圧との差がスイッチング素子Ｓのブレークオ
ーツク電圧以上になるようにスイッチング素子Ｓのブレ
ークオーバ電圧を予め設定することにより、所定時間後
にスイッチング素子Ｓが導通状態になり、電源側から電
流を供給されて全波倍電圧整流回路ＲのコンデンサＣ，
、Ｃ，が充電され、出力端子ｔｔＪ間電圧電圧上昇して
マグネトロン１の発振可能電圧まで上昇し、マグネトロ
ン１が発振を開始する。そして５次の半サイクルにおい
ても前述同様にスイッチング素子Ｓの働きによりマグネ
トロン１の発振停止期間が設けられてマグネトロン１が
発振をする。こうして、商用周波数の各半サイクルごと
にマグネトロンの発振停止期間を強制的に設けることが
でき、マグネトロン１の異常発振によるマグネトロン１
の早期寿命や故障を防止することができる。又、マグネ
トロン１の発振停止期間はスイッチング素子Ｓのブレー
クオーバ電圧の選定によって変えることができ、実質的
にマグネトロン１の発振停止期間が０−１ ｍ５ｅｃ以
上あると、マグネトロン１の異常発振の防止に対して有
効であシ、好ましくは１２ｍ５ｅｃ程度に選定するのが
良く、０，１ｍ５ｅｃ未満にするとマグネトロン１の発
振が停止しても異常発振を防止し得ないことがあって有
効でないことが判明している。尚、上記実施例では両方
同性スイッチング部材として２端子両方回性半導体スイ
ッチング素子を用いたが、両方同性ザイリスタあるいは
高耐圧のリードリレーのような機械的スイッチを使用し
ても良い。
以上のように本発明においては、昇圧トランスと全波倍
電圧整流回路との間に、商用周波数の各半サイクルごと
に昇圧トランスから全波倍電圧整流回路への電流を阻止
してマグネトロンの発振を瞬間停止させる両方同性スイ
ッチング部材を設けておシ、ある半サイクルでマダイ、
トロンの異常発振が生じても次の半サイクルにおけるマ
グネトロンの発振停止期間においてこの異常発振を停止
トさせて正常発振に復帰させることができ、異常発振に
よるマグネトロンの短寿茄化を防止することができる。
電圧整流回路との間に、商用周波数の各半サイクルごと
に昇圧トランスから全波倍電圧整流回路への電流を阻止
してマグネトロンの発振を瞬間停止させる両方同性スイ
ッチング部材を設けておシ、ある半サイクルでマダイ、
トロンの異常発振が生じても次の半サイクルにおけるマ
グネトロンの発振停止期間においてこの異常発振を停止
トさせて正常発振に復帰させることができ、異常発振に
よるマグネトロンの短寿茄化を防止することができる。
第１図Ｌマイクロ波放電光源装置６の構成を示す断面図
、第２図は従来のマイクロ波放電光源装置用電源装置の
回路図、第３図は本発明に係るマイクロ波放電光源装置
用電源装置の回路図である。 １・・・マグネトロン、６・・・放電灯、Ｅ・・・商用
周波数電源、Ｔ・・・昇圧トランス、ＳＩ・・・昇圧巻
線、Ｓ２・・・ヒータ巻線、Ｓ・・・両方同性半導体ス
イッチング素子、Ｒ・・・全波倍電圧整流回路。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図
、第２図は従来のマイクロ波放電光源装置用電源装置の
回路図、第３図は本発明に係るマイクロ波放電光源装置
用電源装置の回路図である。 １・・・マグネトロン、６・・・放電灯、Ｅ・・・商用
周波数電源、Ｔ・・・昇圧トランス、ＳＩ・・・昇圧巻
線、Ｓ２・・・ヒータ巻線、Ｓ・・・両方同性半導体ス
イッチング素子、Ｒ・・・全波倍電圧整流回路。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図
Claims (3)
- （１）マグネトロンによって発生するマイクロ波によっ
て点灯する無電極ラングをイアするマイクロ波放電光源
装置において、１次τＩ１１が商用周波数電源に接続さ
れるとともに２次側に少くとも昇圧巻線を持つ昇圧トラ
ンスを備え、との昇圧トランスの２次側に、整流出力側
をマグネトロンのアノード・カソード間に接続した全波
倍電圧整流回路を、商用周波数の各半サイクルごとに昇
圧トランスの２次側の昇圧巻線からの光電々流を阻止し
マグネトロンの発振を瞬間停止させる両方同性スイッチ
ング部材を介して接続したことを特徴とするマイクロ波
放電光源装置用電源装置。 - （２）マグネトロンの発振停止時間を各半サイクルごと
に少くとも０．１ ｍ５ｅｃとしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源装置用電
源装置。 - （３）両方同性スイッチング部材として２端子両方回性
半導体スイッチング素子を用いたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項又は第２項記載のマイクロ波放電光源
装置用電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15819283A JPS6049554A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | マイクロ波放電光源装置用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15819283A JPS6049554A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | マイクロ波放電光源装置用電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049554A true JPS6049554A (ja) | 1985-03-18 |
Family
ID=15666275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15819283A Pending JPS6049554A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | マイクロ波放電光源装置用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049554A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2707052A1 (ja) * | 1993-06-22 | 1994-12-30 | Moulinex Sa | |
| KR20010050569A (ko) * | 1999-09-21 | 2001-06-15 | 구자홍 | 마이크로 웨이브 조명시스템의 보호장치 및 방법 |
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1983
- 1983-08-30 JP JP15819283A patent/JPS6049554A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2707052A1 (ja) * | 1993-06-22 | 1994-12-30 | Moulinex Sa | |
| WO1995001083A1 (fr) * | 1993-06-22 | 1995-01-05 | Moulinex S.A. | Generateur de haute tension |
| KR20010050569A (ko) * | 1999-09-21 | 2001-06-15 | 구자홍 | 마이크로 웨이브 조명시스템의 보호장치 및 방법 |
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