JPS6057016B2 - 圧力・差圧伝送器 - Google Patents
圧力・差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS6057016B2 JPS6057016B2 JP51056079A JP5607976A JPS6057016B2 JP S6057016 B2 JPS6057016 B2 JP S6057016B2 JP 51056079 A JP51056079 A JP 51056079A JP 5607976 A JP5607976 A JP 5607976A JP S6057016 B2 JPS6057016 B2 JP S6057016B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- output
- pressure
- bridge circuit
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- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体基板面に集積回路技術て形成した複数
個のひすみ抵抗素子を有する半導前式流体圧力センサを
内蔵する圧力・差圧伝送器に係り、特に入出力特性補償
回路系の改良を行つた圧力・差圧伝送器に関する。
個のひすみ抵抗素子を有する半導前式流体圧力センサを
内蔵する圧力・差圧伝送器に係り、特に入出力特性補償
回路系の改良を行つた圧力・差圧伝送器に関する。
半導体プレーナ技術の応用により、シリコンあるいは
ゲルマニウム等の単一結晶基板の一部（中央部）を流体
圧力に感応する起歪面として利用し、これに複数個のひ
すみ抵抗素子を拡散形成させた半導体圧力センサの開発
が盛んになつて来た。
ゲルマニウム等の単一結晶基板の一部（中央部）を流体
圧力に感応する起歪面として利用し、これに複数個のひ
すみ抵抗素子を拡散形成させた半導体圧力センサの開発
が盛んになつて来た。
この種のセンサは半導体バイポーラ集積回路の技術をそ
のまま応用できるので、従来の金属レバーにひずみゲー
ジを貼りつける方式や、金属機構と電磁コイルを組合わ
せた力平衡式のものに比べて、小形化高性能化が達成で
きる。 この種の半導体圧力センサは従来のセンサに比
較して、高域度であり、可動部が無いので摩耗しなく、
重力や加速度の影響を受けなく、繰り返しの精度が非常
に良い等の数々の利点を有している。
のまま応用できるので、従来の金属レバーにひずみゲー
ジを貼りつける方式や、金属機構と電磁コイルを組合わ
せた力平衡式のものに比べて、小形化高性能化が達成で
きる。 この種の半導体圧力センサは従来のセンサに比
較して、高域度であり、可動部が無いので摩耗しなく、
重力や加速度の影響を受けなく、繰り返しの精度が非常
に良い等の数々の利点を有している。
したがつて、圧力伝送器としての補償を施せば、極めて
精度の高い信頼性の良い伝送器とすることができる。半
導体センサに限らず、他のセンサでも工業用伝送器に応
用するためには、種々の補償が必要で、主なものとして
、直線性、温度ドリフトおよび零点遷移機能等の補償で
ある。これらの補償には種々のの手法が考えられている
が、半導体センサ特有の利点と生かした手法を用いる方
が望ましい。 半導体圧力センサは直線性補償を行う場
合に一つの大きな利点を持つている。
精度の高い信頼性の良い伝送器とすることができる。半
導体センサに限らず、他のセンサでも工業用伝送器に応
用するためには、種々の補償が必要で、主なものとして
、直線性、温度ドリフトおよび零点遷移機能等の補償で
ある。これらの補償には種々のの手法が考えられている
が、半導体センサ特有の利点と生かした手法を用いる方
が望ましい。 半導体圧力センサは直線性補償を行う場
合に一つの大きな利点を持つている。
それはセンサの繰り返し圧力特性が極めて優れているこ
とと、非直線性があるとしても決つた方向性を持つてい
ることである。ピエゾ抵抗変化を利用する半導体ダイヤ
フラム式圧力センサの場合、入出力特性の非直線性は、
ダイヤフラム変形時の非線型成分によるものと考えられ
る。第１図に示したような半導体ダイヤフラム形圧力セ
ンサにおいいて、ダイヤフラムの径をａ１厚さをｈ１流
体圧力をＰとすると、ダイヤフラム上に形成された抵抗
ゲージ１，２の圧力による抵抗変化ΔＲは、次のように
与えられる。但し、Ｋ１、Ｋ２は定数である。
とと、非直線性があるとしても決つた方向性を持つてい
ることである。ピエゾ抵抗変化を利用する半導体ダイヤ
フラム式圧力センサの場合、入出力特性の非直線性は、
ダイヤフラム変形時の非線型成分によるものと考えられ
る。第１図に示したような半導体ダイヤフラム形圧力セ
ンサにおいいて、ダイヤフラムの径をａ１厚さをｈ１流
体圧力をＰとすると、ダイヤフラム上に形成された抵抗
ゲージ１，２の圧力による抵抗変化ΔＲは、次のように
与えられる。但し、Ｋ１、Ｋ２は定数である。
ここで圧力Ｐに対する変化ΔＲを非直線化しているのは
（１）式のＫ２Ｐｌ′３の項であり、ダイヤフラム変形
の非線型成分である。
（１）式のＫ２Ｐｌ′３の項であり、ダイヤフラム変形
の非線型成分である。
従つて第２図の破線で示すように直線性からのすれはＰ
ｌｌ３の曲線の寄与で決つている。
ｌｌ３の曲線の寄与で決つている。
このように一定の曲線てあれば直線性補償は電気的に容
易にできる。例えばこの補償を行うための電気回路系の
一例を示したものが第３図である。センサのゲージ抵抗
Ｒｐ，Ｒｎはダミー抵抗である２個のＲによつてブリッ
ジ回路３を構成する。ここでＲｐ，Ｒｎは圧力によつて
変化する方向が逆になつているものとする。そしてブリ
ッジ回路の供給電圧４は定電圧回路５によつて安定化さ
れるが、この供給電圧４にはブリッジの出力６をいつた
ん増幅器７を介した電圧が重畳される。このようにする
ことによつてブリッジ回路３には破線の帰還回路が構成
され、最終的にブリッジ回路３の出力（ＶＯｕｔ）は増
幅器８から取り出される。このような回路構成において
は、圧力Ｐによるブリッジ回路３の出力をｖ（ｐ）、帰
還をかけられた最終出力をＶＯｕｔ（ｐ）とすると、た
だしＡ及びＢは定数という形を取ることがわかる。
易にできる。例えばこの補償を行うための電気回路系の
一例を示したものが第３図である。センサのゲージ抵抗
Ｒｐ，Ｒｎはダミー抵抗である２個のＲによつてブリッ
ジ回路３を構成する。ここでＲｐ，Ｒｎは圧力によつて
変化する方向が逆になつているものとする。そしてブリ
ッジ回路の供給電圧４は定電圧回路５によつて安定化さ
れるが、この供給電圧４にはブリッジの出力６をいつた
ん増幅器７を介した電圧が重畳される。このようにする
ことによつてブリッジ回路３には破線の帰還回路が構成
され、最終的にブリッジ回路３の出力（ＶＯｕｔ）は増
幅器８から取り出される。このような回路構成において
は、圧力Ｐによるブリッジ回路３の出力をｖ（ｐ）、帰
還をかけられた最終出力をＶＯｕｔ（ｐ）とすると、た
だしＡ及びＢは定数という形を取ることがわかる。
この場合ブリッジ回路３の出力ｖ（ｐ）が帰還．されな
にい場合の最終出力ＶＯｕｔ（ｐ）は、ゲージ抵拍只ｐ
をＲ＋ΔＲ，．ＲｎをＲ−ΔＲとし、電圧をＥとすると
、となる。
にい場合の最終出力ＶＯｕｔ（ｐ）は、ゲージ抵拍只ｐ
をＲ＋ΔＲ，．ＲｎをＲ−ΔＲとし、電圧をＥとすると
、となる。
ＶＯｕｔ（ｐ）は、ΔＲに比例するのであるが、このΔ
Ｒは、第２図に示すように圧力Ｐの増大とともに歪んで
しまう。そこで、このΔＲの２５，コ′，１？ トスｖ
八１１會 ′Ｄ）ｎ）自９自配ｔ−ｔ−１′―トートプ
Ｊ−ＴＪ、に、ΔＲの増大に比例してＥをＥ＋ΔＥに増
大させるのである。すなわち、となるように、ブリッジ
回路３の出力を帰還している。
Ｒは、第２図に示すように圧力Ｐの増大とともに歪んで
しまう。そこで、このΔＲの２５，コ′，１？ トスｖ
八１１會 ′Ｄ）ｎ）自９自配ｔ−ｔ−１′―トートプ
Ｊ−ＴＪ、に、ΔＲの増大に比例してＥをＥ＋ΔＥに増
大させるのである。すなわち、となるように、ブリッジ
回路３の出力を帰還している。
このような帰還構成を用いると、（１）式で与えられる
ような非直線は極めて良く直線化できることがわかる。
ダイヤフラム式半導体圧力センサに関Ｊする限り、セン
サ単体の直線性の大小には無関係に補償が行い得る。工
業用圧力伝送器に応用する場合には、上述の直線性補償
の他に電気的出力の基準レベルを設定するための零点遷
移機能を持たせることと、温度・補償を行うことである
。
ような非直線は極めて良く直線化できることがわかる。
ダイヤフラム式半導体圧力センサに関Ｊする限り、セン
サ単体の直線性の大小には無関係に補償が行い得る。工
業用圧力伝送器に応用する場合には、上述の直線性補償
の他に電気的出力の基準レベルを設定するための零点遷
移機能を持たせることと、温度・補償を行うことである
。
工業用圧力伝送器は、石油、化学プラントあるいは原子
力プラント等のプロセス制御を目的とするため、供給電
圧２４〔ｖ〕Ｄ−Ｃで電流出力４〜２０〔ＷＬ，Ａ〕あ
るいは電圧出力１〜５〔ｖ〕の規格に統一された２線式
であ・る。従つて伝送器側て施すセンサ補償用付属電子
回路には、容量的にも動作的にも極めて厳しい条件が求
められる。特にリニアリティ補償と零点遷移機能とを両
立させるためには多くの問題が派生するのがさけられな
かつた。第４図は半導体圧力センサを用いた圧力伝送器
の従来の電気回路の系統図を示したものである。圧力セ
ンサのうち、流体圧力を受けて抵抗増加を示すゲージＲ
ｐと抵抗減少を示すゲージＲｎは２個のダミー抵抗Ｒと
結合されてブリッジ回路９を構成する。ブリッジ回路９
出力はブリッジ零点遷移用シリーズ抵抗１０を介して、
回路系温度補償部１１、増巾器１２、を経て伝送器の入
出力端に２４〔ｖ〕電源とシリーズに結合された２５０
〔Ω〕の外部抵抗１８に４〜２０〔７ｎＡ〕が流れ、１
〜５〔Ｖ〕の出力１９となる。一方ブリッジ回路９には
、４〜２０〔Ｍ，Ａ〕の出力を帰還させ、帰還用増巾系
１３を介して制御された供給電圧が印加される。そして
出力→帰還回路→ブリッジ供給電圧の制御によつてセン
サ自体の非直線性を補償する。この場合、非直線性の補
償は、第３図のときと同様にゲージ抵抗Ｒｐ，Ｒｎの変
化に応じて変化するブリッジ回路９の出力変化を供給電
圧に帰還することによつて達成している。また、零点遷
移は、実際には流体圧力を受けゲージ抵植只Ｐ，Ｒｎが
増加或いは減少している場合、すなわち、上述のブリッ
ジ回路９の出力が存在する場合でもブリッジ零点遷移用
シリーズ抵抗１０を強制的に調整し、ブリッジ回路９の
出力が見かけ上存在しないようにしているのである。
力プラント等のプロセス制御を目的とするため、供給電
圧２４〔ｖ〕Ｄ−Ｃで電流出力４〜２０〔ＷＬ，Ａ〕あ
るいは電圧出力１〜５〔ｖ〕の規格に統一された２線式
であ・る。従つて伝送器側て施すセンサ補償用付属電子
回路には、容量的にも動作的にも極めて厳しい条件が求
められる。特にリニアリティ補償と零点遷移機能とを両
立させるためには多くの問題が派生するのがさけられな
かつた。第４図は半導体圧力センサを用いた圧力伝送器
の従来の電気回路の系統図を示したものである。圧力セ
ンサのうち、流体圧力を受けて抵抗増加を示すゲージＲ
ｐと抵抗減少を示すゲージＲｎは２個のダミー抵抗Ｒと
結合されてブリッジ回路９を構成する。ブリッジ回路９
出力はブリッジ零点遷移用シリーズ抵抗１０を介して、
回路系温度補償部１１、増巾器１２、を経て伝送器の入
出力端に２４〔ｖ〕電源とシリーズに結合された２５０
〔Ω〕の外部抵抗１８に４〜２０〔７ｎＡ〕が流れ、１
〜５〔Ｖ〕の出力１９となる。一方ブリッジ回路９には
、４〜２０〔Ｍ，Ａ〕の出力を帰還させ、帰還用増巾系
１３を介して制御された供給電圧が印加される。そして
出力→帰還回路→ブリッジ供給電圧の制御によつてセン
サ自体の非直線性を補償する。この場合、非直線性の補
償は、第３図のときと同様にゲージ抵抗Ｒｐ，Ｒｎの変
化に応じて変化するブリッジ回路９の出力変化を供給電
圧に帰還することによつて達成している。また、零点遷
移は、実際には流体圧力を受けゲージ抵植只Ｐ，Ｒｎが
増加或いは減少している場合、すなわち、上述のブリッ
ジ回路９の出力が存在する場合でもブリッジ零点遷移用
シリーズ抵抗１０を強制的に調整し、ブリッジ回路９の
出力が見かけ上存在しないようにしているのである。
尚、回路系自体の温度変動は、前述の回路系温度補償部
１１で補償されるが、センサ自体の温度変動はブリッジ
回路９内に設けたポジスタ、１５およびブリッジ温度補
償回路１４で補償される。ここで示した従来方式の欠点
は、零点遷移機能を用いた場合に生ずる出力の精度低下
現象である。通常の測定器と異り、圧力伝送器は大形プ
ラント等の例えば石油タンクの油圧又は流量を測定する
に際して、石油タンク内残留油量レベルを規準にしなけ
ればならない場合がある。従つて零点出力がいつも大気
圧レベルであるとは限らず、フル出力の±８０％まで移
動できる必要がある。第４図の回路て＋および一側に８
０％（Ｆ−Ｓ）零点遷移を行つた場合のブリッジ回路及
び直線性補償の動作状態と出力特性の一例を示したもの
が第５図である。すなわち、例えば＋８０％の零点遷移
を行つた場合、供給電圧の増加量、いわゆる帰還量はゲ
ージ抵抗の変化に応じて動作するのであるが、基本とな
る供給電圧は零点遷移を行なわない場合のままであり、
このため所定の電圧が正しく帰還されても圧力入力８０
％に対応する電圧印加を行なうことができないのである
。また、−８０％の零点遷点に対しても逆のことが同様
に言える。
１１で補償されるが、センサ自体の温度変動はブリッジ
回路９内に設けたポジスタ、１５およびブリッジ温度補
償回路１４で補償される。ここで示した従来方式の欠点
は、零点遷移機能を用いた場合に生ずる出力の精度低下
現象である。通常の測定器と異り、圧力伝送器は大形プ
ラント等の例えば石油タンクの油圧又は流量を測定する
に際して、石油タンク内残留油量レベルを規準にしなけ
ればならない場合がある。従つて零点出力がいつも大気
圧レベルであるとは限らず、フル出力の±８０％まで移
動できる必要がある。第４図の回路て＋および一側に８
０％（Ｆ−Ｓ）零点遷移を行つた場合のブリッジ回路及
び直線性補償の動作状態と出力特性の一例を示したもの
が第５図である。すなわち、例えば＋８０％の零点遷移
を行つた場合、供給電圧の増加量、いわゆる帰還量はゲ
ージ抵抗の変化に応じて動作するのであるが、基本とな
る供給電圧は零点遷移を行なわない場合のままであり、
このため所定の電圧が正しく帰還されても圧力入力８０
％に対応する電圧印加を行なうことができないのである
。また、−８０％の零点遷点に対しても逆のことが同様
に言える。
これかられかるように、零点遷移を行わない状態での最
大出力を１００％とすると、＋８Ｃ％遷移では最大出力
が約８０％×Ｌだけ減少し、−８０％遷移では約８０％
×Ｌだけ増加してしまう。なおここでＬは直線性補償を
行わない場合のセンサ自体の非直線性である。このよう
に零点遷移を行うと、補償しない場合のセンサの非直線
性の大小によつて測定精度が変わつてしまう。従来方式
で零点遷移時に生ずるこの欠点は、ブリッジ回路内で零
点遷移を行い、その出力を帰還させてブリッジ供給電圧
を制御し、直線性補償を行うために帰因するものである
。本発明は従来方式のかかる欠点に鑑みてなされたもの
で、極めて高精度で、充分な零点遷移機能を有する半導
体式圧力伝送器を提供するものてある。
大出力を１００％とすると、＋８Ｃ％遷移では最大出力
が約８０％×Ｌだけ減少し、−８０％遷移では約８０％
×Ｌだけ増加してしまう。なおここでＬは直線性補償を
行わない場合のセンサ自体の非直線性である。このよう
に零点遷移を行うと、補償しない場合のセンサの非直線
性の大小によつて測定精度が変わつてしまう。従来方式
で零点遷移時に生ずるこの欠点は、ブリッジ回路内で零
点遷移を行い、その出力を帰還させてブリッジ供給電圧
を制御し、直線性補償を行うために帰因するものである
。本発明は従来方式のかかる欠点に鑑みてなされたもの
で、極めて高精度で、充分な零点遷移機能を有する半導
体式圧力伝送器を提供するものてある。
そして第６図は本発明に係る半導体式圧力伝送器回路図
の一実施例を示したものである。第５図の従来方式と根
本的に異るのは、センサが構成するブリッジ回路を零点
遷移回路と独立させたところにある。すなわち本発明は
、零点遷移の影響により直線性補償の精度が劣化しない
ように、直線性補償と零点遷移とをそれぞれ独立の回路
を設ける点に特徴を有する。これはブリッジ回路からは
電気的に未処理のまま出力を取り出し、２つの系統に分
けることにより実現している。すなわち、ブリッジ回路
の一方の出力端子の出力を直線性補償回路を介して安定
化電源回路に帰還するとともに、参照レベルと比較し感
圧素子の入力に対する電気的出力の基準レベルを設定す
る零点遷移回路に入力するのである。この方式を採用す
ることによつて、センサの直線性補償と零点遷移機能と
を互いに電気的に独立して動作させ得る。
の一実施例を示したものである。第５図の従来方式と根
本的に異るのは、センサが構成するブリッジ回路を零点
遷移回路と独立させたところにある。すなわち本発明は
、零点遷移の影響により直線性補償の精度が劣化しない
ように、直線性補償と零点遷移とをそれぞれ独立の回路
を設ける点に特徴を有する。これはブリッジ回路からは
電気的に未処理のまま出力を取り出し、２つの系統に分
けることにより実現している。すなわち、ブリッジ回路
の一方の出力端子の出力を直線性補償回路を介して安定
化電源回路に帰還するとともに、参照レベルと比較し感
圧素子の入力に対する電気的出力の基準レベルを設定す
る零点遷移回路に入力するのである。この方式を採用す
ることによつて、センサの直線性補償と零点遷移機能と
を互いに電気的に独立して動作させ得る。
従来方式のようにセンサの直線性によつて零点遷移時の
特性が変わることなく、所望の零点設定を行うことがで
きる。次に第６図に基づいて、本発明に係る一方式を説
明する。センサで構成されるプリリツジ回路９の出力は
分岐点１において実線の矢印で示す出力と破線の矢印で
示す帰還へ分けられる。すなわち、直線性補償と零点遷
移とを独立した電気系統により行なうのである。
特性が変わることなく、所望の零点設定を行うことがで
きる。次に第６図に基づいて、本発明に係る一方式を説
明する。センサで構成されるプリリツジ回路９の出力は
分岐点１において実線の矢印で示す出力と破線の矢印で
示す帰還へ分けられる。すなわち、直線性補償と零点遷
移とを独立した電気系統により行なうのである。
この破線で示す帰還側は電源安定化回路１３，１３″に
よつて安定化された、例えば２４〔Ｖ〕電源の供給電圧
と、分岐点１からのブリッジ回路出力とが帰還回路によ
り重畳されて、ブリッジ回路９の供給電圧となる。この
ように直線性を補償するための回路（ブリッジ回路を含
む）には、補償特性の劣化原因となる零点遷移回路は存
在せず、従つて従来のように直線性補償は劣化すること
なく、精度良く動作する。一方、実線の矢印で示す出力
側は、零点遷移回路のシリーズ抵抗により可変できるよ
うにした参照レベルと比較出力されて所望の一定電位が
重畳される。
よつて安定化された、例えば２４〔Ｖ〕電源の供給電圧
と、分岐点１からのブリッジ回路出力とが帰還回路によ
り重畳されて、ブリッジ回路９の供給電圧となる。この
ように直線性を補償するための回路（ブリッジ回路を含
む）には、補償特性の劣化原因となる零点遷移回路は存
在せず、従つて従来のように直線性補償は劣化すること
なく、精度良く動作する。一方、実線の矢印で示す出力
側は、零点遷移回路のシリーズ抵抗により可変できるよ
うにした参照レベルと比較出力されて所望の一定電位が
重畳される。
さらにこの零点遷移回路の出力は、ブリッジ回路の他方
の出力端子の出力が入力された電・気回路系の温度補償
部１１の出力とともに比較出力回路１２に加わり、外部
出力端１９で４〜２０（Ｒｎ，Ａ）の出力電流又は１〜
５（Ｖ）の出力電圧となつて現われる。すなわち、零点
遷移回路２０による零点遷移の影響は、上述の直線性補
償のための帰還回路には及ばない。
の出力端子の出力が入力された電・気回路系の温度補償
部１１の出力とともに比較出力回路１２に加わり、外部
出力端１９で４〜２０（Ｒｎ，Ａ）の出力電流又は１〜
５（Ｖ）の出力電圧となつて現われる。すなわち、零点
遷移回路２０による零点遷移の影響は、上述の直線性補
償のための帰還回路には及ばない。
尚、電気回路系の温度補償１１およびブリッジ回路系の
温度補償１４，１５は従来方式と同じである。以上詳述
した如く、本発明に係る回路方式を用いれば、センサの
直線性の良否に拘ることなく、又いかなる補償方式と採
用しようとも零点遷移によつて直線性の補償特性を劣化
せしめる欠点が除去される。しかも、零点遷移か、フル
出力±８０％に止らず±１００％以上が可能である。本
発明では半導体圧力センサを別個の付属電気回路で特性
補償する場合についてのみ述べたが、本発明の思想は、
半導体圧力センサと付属回路系とが同一半導体基板内に
形成された場合、いわゆる集積型センサにおいても共通
に当てはまることは言うまでも無い。又単なる半導体圧
力センサに止まらず、他のセンサ、例えば温度センサ、
磁気センサ、放射線センサ、光センサ等各種センサにも
適用可能であることは当業者にとつて容易に認められる
ことである。
温度補償１４，１５は従来方式と同じである。以上詳述
した如く、本発明に係る回路方式を用いれば、センサの
直線性の良否に拘ることなく、又いかなる補償方式と採
用しようとも零点遷移によつて直線性の補償特性を劣化
せしめる欠点が除去される。しかも、零点遷移か、フル
出力±８０％に止らず±１００％以上が可能である。本
発明では半導体圧力センサを別個の付属電気回路で特性
補償する場合についてのみ述べたが、本発明の思想は、
半導体圧力センサと付属回路系とが同一半導体基板内に
形成された場合、いわゆる集積型センサにおいても共通
に当てはまることは言うまでも無い。又単なる半導体圧
力センサに止まらず、他のセンサ、例えば温度センサ、
磁気センサ、放射線センサ、光センサ等各種センサにも
適用可能であることは当業者にとつて容易に認められる
ことである。
第１図は半導体ダイヤフラム型圧力センサの一例の構成
の断面を示す図、第２図は圧力に対する抵抗変化の非直
線性の一例を示す曲線図、第３図は従来の半導体ダイヤ
フラム型センサの非直線性を補正するための帰還回路を
示す構成回路図、第４図は従来方式の圧力伝送器の電気
回路系を示す系統図、第５図は従来式回路で零点遷移を
行つた場合の出力の誤差を示す特性図、第６図は本発明
一実施例の圧力伝送器を示す電気回路系統図である。 第６図において、９はブリッジ回路、１１は回路系温度
補償部、１２は増幅器、１３は安定化電源回路、１４は
ブリッジ温度補償回路、１５はポジユタ、１８は外部抵
抗、１９は出力端、２０は零点遷移回路である。
の断面を示す図、第２図は圧力に対する抵抗変化の非直
線性の一例を示す曲線図、第３図は従来の半導体ダイヤ
フラム型センサの非直線性を補正するための帰還回路を
示す構成回路図、第４図は従来方式の圧力伝送器の電気
回路系を示す系統図、第５図は従来式回路で零点遷移を
行つた場合の出力の誤差を示す特性図、第６図は本発明
一実施例の圧力伝送器を示す電気回路系統図である。 第６図において、９はブリッジ回路、１１は回路系温度
補償部、１２は増幅器、１３は安定化電源回路、１４は
ブリッジ温度補償回路、１５はポジユタ、１８は外部抵
抗、１９は出力端、２０は零点遷移回路である。
Claims (1)
- １ ピエゾ抵抗素子からなり流体の圧力に感応する感圧
素子と複数の抵抗素子からなり前記感圧素子の温度補償
を行なう温度補償部とを有するブリッジ回路と、該ブリ
ッジ回路の入力端子に供給する電圧を安定化させる安定
化電源回路と、前記ブリッジ回路の一方の出力端子の出
力を前記安定化電源回路に帰還して前記ブリッジ回路の
入力端子に供給する電圧を制御し前記感圧素子の直線性
補償を行なう直線性補償回路と、前記ブリッジ回路の前
記一方の出力端子の出力と参照レベルを比較し前記感圧
素子の入力に対する電気的出力の基準レベルを設定する
零点遷移回路と、該零点遷移回路の出力と前記ブリッジ
回路の他方の出力端子の出力に応じた信号とを比較出力
する回路とを具備することを特徴とする圧力・差圧伝送
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51056079A JPS6057016B2 (ja) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | 圧力・差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51056079A JPS6057016B2 (ja) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | 圧力・差圧伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52139456A JPS52139456A (en) | 1977-11-21 |
| JPS6057016B2 true JPS6057016B2 (ja) | 1985-12-12 |
Family
ID=13017067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51056079A Expired JPS6057016B2 (ja) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | 圧力・差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057016B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832646B2 (ja) * | 1978-09-08 | 1983-07-14 | 株式会社東芝 | 圧力伝送器 |
| JPS5769497A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-28 | Copal Co Ltd | Method of compensating temperature or like in displacement detector |
| JPS5790107A (en) * | 1980-11-26 | 1982-06-04 | Toyoda Mach Works Ltd | Method for compensating temperature in semiconductor converter |
-
1976
- 1976-05-18 JP JP51056079A patent/JPS6057016B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52139456A (en) | 1977-11-21 |
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