JPS6055315A - Optical deflector - Google Patents

Optical deflector

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JPS6055315A
JPS6055315A JP16332283A JP16332283A JPS6055315A JP S6055315 A JPS6055315 A JP S6055315A JP 16332283 A JP16332283 A JP 16332283A JP 16332283 A JP16332283 A JP 16332283A JP S6055315 A JPS6055315 A JP S6055315A
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JP
Japan
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spindle
rotor
rotors
housing
optical deflector
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JP16332283A
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Mitsuo Sumiya
住谷 充夫
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/121Mechanical drive devices for polygonal mirrors

Abstract

PURPOSE:To constitute an optical deflector which is reducible in size and allows a spindle to rotate with high precision by bearing the thrust-directional load of the spindle by a rotor and a stator. CONSTITUTION:The spindle 6 is provided in a housing 1 while inserted into dynamic pressure air journal bearings 3 and 4. Further, a polygon mirror 10 in a plane regular polygonal shape is provided in the housing 1 coaxially with the spindle 6. The spindle 6 and polygon mirror 10 are made of aluminum in one body. Rotors 31 made of plane annular permanent magnets are provided to both end surfaces of the polygon mirror 10, and stators 32 made of permanent magnets in the same shape with the rotors 31 are provided on the surfaces facing the rotors so that the stators repulse the rotors 31. Consequently, the rotors 31 and stators 32 bear the thrust-directional load of the spindle 6, and the interaxis distance between the dynamic pressure air journal bearing 3 and 4 is reduced greatly. Consequently, the rotating performance of the spindle 6 is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、機械的に多面体鏡が回転して光偏向を行なう
光偏向器に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an optical deflector in which a polyhedral mirror mechanically rotates to deflect light.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

近時、半導体レーザを応用したレーザプリンタが開発さ
れている。このレーザプリンタにおいては、原稿などの
情報を電気信号に変換するために多面体鏡を用いた光偏
向器が用いられている。この多面体鏡は一般的に薄板正
多角形状をしており、その側面にそれぞれ鏡面加工を施
された反射面を有している。多面体鏡は回転可能なスピ
ンドルに同軸に設けられており、このスピンドルにより
回転し入射する光を異方向に反射する。この時、上記の
電気信号の変換において、高い分解能を得るためには、
スピンドルの回転数を高速(10’rpm以上)にし、
光の偏向速度を高める必要がある。さらに、変換手段と
して光学系を用いるので、多面体鏡の位置精度を非常に
高精度に保つ必要があり、このためにはスピンドルの回
転精度を歯精度にしなければならない。すなわち、スピ
ンドルは高速で回転させ、しかも高精度な回転精度が要
求されるのである。このため、スピンドルの軸受にはへ
リングボーン型又はティルティングバッド型の動圧気体
ジャーナル軸受と反発型の磁気スラスト軸受が用いられ
る。この2つの軸受を併用することによって上記の条件
が満足される他、摩擦トルク損失が小さい、潤滑油が不
要などの利点が得られる。
Recently, laser printers using semiconductor lasers have been developed. In this laser printer, an optical deflector using a polyhedral mirror is used to convert information such as a document into an electrical signal. This polyhedral mirror generally has the shape of a thin regular polygon, and has mirror-finished reflective surfaces on its side surfaces. The polyhedral mirror is installed coaxially with a rotatable spindle, and is rotated by the spindle to reflect incident light in different directions. At this time, in order to obtain high resolution in the above electrical signal conversion,
Set the spindle rotation speed to high speed (10'rpm or more),
It is necessary to increase the speed of light deflection. Furthermore, since an optical system is used as the conversion means, it is necessary to maintain the positional accuracy of the polygonal mirror at a very high level of accuracy, and for this purpose, the rotational accuracy of the spindle must be made tooth-accurate. In other words, the spindle is required to rotate at high speed and with high rotation accuracy. For this reason, a herringbone type or tilting pad type dynamic pressure gas journal bearing and a repulsion type magnetic thrust bearing are used as spindle bearings. By using these two bearings together, the above conditions are satisfied, and other advantages such as low frictional torque loss and no need for lubricating oil can be obtained.

従来では、上述の動圧気体ジャーナル軸受と磁気スラス
ト軸受とを用いる場合に、スピンドルの両端部に動圧気
体ジャーナル軸受を設け、この軸受の間にスピンドルを
回転させるためのモータ。
Conventionally, when using the above-mentioned hydrodynamic gas journal bearing and magnetic thrust bearing, a motor for rotating the spindle between the hydrodynamic gas journal bearings provided at both ends of the spindle.

多面体鏡が設けられたものが多い。壕だ、スピンドルの
一端に多面体鋭を備えたものもある。なお、スピンドル
のスラスト方向の力を支える磁気スラスト軸受は一般的
にいずれか一方の動圧気体ジャーナル軸受と並んでスピ
ンドルの端部に設けられる。このように、従来ではスピ
ンドルに対し動圧気体ジャーナル軸受、磁気スラスト軸
受、多面体鏡、モータなどが直列に配列されている。こ
のため、スピンドル自体の長さが長くなってしまい、光
偏向器全体が大型化してし1う欠点がある。捷た、スピ
ンドルが高精度で回転するためには動圧気体ジャーナル
軸受間のスパンが小さい方が有利である。しかしながら
、上述のようにスピンドルが長くなると当然軸受間のス
パンもそれなりに長くなってしまい回転精度の面でも不
都合であった。
Many are equipped with polyhedral mirrors. It's a moat, some have a polyhedral sharp point at one end of the spindle. Note that the magnetic thrust bearing that supports the force in the thrust direction of the spindle is generally provided at the end of the spindle along with one of the hydrodynamic gas journal bearings. As described above, conventionally, a hydrodynamic gas journal bearing, a magnetic thrust bearing, a polyhedral mirror, a motor, etc. are arranged in series with the spindle. For this reason, the length of the spindle itself becomes long, resulting in a disadvantage that the entire optical deflector becomes large. In order for the spindle to rotate with high precision, it is advantageous for the span between the hydrodynamic gas journal bearings to be small. However, as mentioned above, when the spindle becomes longer, the span between the bearings also becomes longer, which is disadvantageous in terms of rotational accuracy.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は小形化を可能とし、しかも高精度にスピ
ンドルが回転することのできる光偏向器を提供するにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical deflector that can be miniaturized and whose spindle can be rotated with high precision.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明は回転可能なスピンドルに設けられた多面体鋭に
よって入射する光を反射させ、スピンドルにより多面体
鋭を回転させて反射した光を異方向に編向さぜる光偏向
器であって、多面体鏡の両端面に設けた永久磁石よりな
る回転子と、この回転子と対向した位置に設けられ回転
子と同極同志で対面させた永久磁石よりなる固定子とを
具備したことを特徴とする光偏向器であって、スピンド
ルのスラスト方向の荷重を上記の回転子と固足子によっ
て支えるものである。
The present invention is an optical deflector that reflects incident light by a polyhedral sharp provided on a rotatable spindle, and that rotates the polyhedral sharp by the spindle to orient the reflected light in different directions. A light comprising a rotor made of permanent magnets provided on both end faces of the rotor, and a stator made of permanent magnets provided at a position facing the rotor and facing the rotor with the same polarity. This is a deflector, and the load in the thrust direction of the spindle is supported by the above-mentioned rotor and solid foot.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

不発明の一実施例を図面を用いて説明する。第1図は本
実施例を示す断面正面図である。円筒状のハウジング(
1)の上部に円板状の蓋体をなす軸受取付台(2)が装
着されている。このハウジング(1)ノ底部と軸受取付
台(2)のそれぞれの中心部には円筒状の動圧気体ジャ
ーナル軸受(3)、(4)が設けられている。また、ハ
ウジング(1)の側部には光源からの光が入射する光源
入射光(5)が開口している。さらに、ハウジング(1
)の内部にはスピンドル(6)が動圧気体ジャーナル軸
受(3)、(4)に挿入して設けられている。また、ハ
ウジング(1)の内部において、スピンドル(6)に平
板正多角形状の多面体鏡(10)が同軸に設けられてい
る。本実施例ではスピンドル(6)と多面体鏡0@とは
アルミ服であり一体に構成されている。多面体鏡(10
)の側面は鏡面加工を施された反射面(Lυ、・・・と
なっている。この反射面(11)はスピンドル(6)の
回転軸に対し平行になるように加工されている。また、
多面体鏡α0)の両端中心部には動圧気体ジャーナル軸
受f3)、(4)の外径と同一寸法の径大部(12が設
けられている。さらに、スピンドル(6)が動圧気体ジ
ャーナル軸受(3)、(4)と対面する箇所で回転軸方
向に刻設された半円断面形の溝α9を等間隔に有するす
べり軸部(16) 、 (ty)となっている。このす
べり軸部CL(9,(17+と動圧気体ジャーナル軸受
(1,51,(1との軸受クリアランスは数μm〜数1
0μmになるように形成されている。また、ハウジング
(1)の底部には、スピンドル(6)を回転駆動するモ
ータ翰が設けられている。このモータ(湯の内部、すな
わち、すべり軸部05)の下端ではスピンドル(6)は
径が小さい径小部(21)となっている。この径小部(
2υにはスピンドル(6)を回転させるモータ(2()
のモータ回転−1(2zがねじ暢)によって取り付けら
れている。さらにこのモータ回転子(2渇の周囲には円
筒状のモータ固定子C24)がハウジング(1)の底部
に取り付けられた支持部材C74)によって支持され固
着している。
An embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional front view showing this embodiment. Cylindrical housing (
A bearing mounting base (2) forming a disk-shaped lid is attached to the upper part of the bearing 1). Cylindrical dynamic pressure gas journal bearings (3) and (4) are provided at the bottom of the housing (1) and at the center of each of the bearing mounts (2). Further, a light source incident light (5) through which light from a light source enters is opened at the side of the housing (1). Furthermore, the housing (1
) is provided with a spindle (6) inserted into hydrodynamic gas journal bearings (3) and (4). Further, inside the housing (1), a flat regular polygonal polyhedral mirror (10) is provided coaxially with the spindle (6). In this embodiment, the spindle (6) and the polyhedral mirror 0@ are made of aluminum and are integrally constructed. Polyhedral mirror (10
) is a mirror-finished reflective surface (Lυ,...). This reflective surface (11) is processed to be parallel to the rotation axis of the spindle (6). ,
At the center of both ends of the polyhedral mirror α0), large diameter portions (12) having the same outer diameter as the hydrodynamic gas journal bearings f3) and (4) are provided. The sliding shaft portions (16) and (ty) have semicircular cross-sectional grooves α9 carved in the direction of the rotation axis at equal intervals at locations facing the bearings (3) and (4). The bearing clearance between the shaft part CL (9, (17+) and the dynamic pressure gas journal bearing (1, 51, (1) is several μm to several 1
It is formed to have a thickness of 0 μm. Furthermore, a motor holder is provided at the bottom of the housing (1) to rotate the spindle (6). At the lower end of this motor (inside the hot water, that is, the sliding shaft portion 05), the spindle (6) has a small diameter portion (21) with a small diameter. This small diameter part (
2υ is a motor (2()) that rotates the spindle (6).
It is attached by motor rotation -1 (2z is screw smooth). Further, this motor rotor (with a cylindrical motor stator C24 around the rotor) is supported and fixed by a support member C74 attached to the bottom of the housing (1).

一方、多面体鏡00)の両端部には平板ドーナツ状の永
久磁石からなる回転子(31)が設けられている。
On the other hand, rotors (31) made of flat donut-shaped permanent magnets are provided at both ends of the polyhedral mirror 00).

この回転子61)の内径は径大部(12)の径よりわず
かに大きく、回転子01)は径大部(12)に挿入され
る。さらに、多面体鋭00)の両端部には回転子61)
と同形状の構が設けられ、回転子(3+iはこの清には
め込寸れ。
The inner diameter of this rotor 61) is slightly larger than the diameter of the large diameter portion (12), and the rotor 01) is inserted into the large diameter portion (12). Furthermore, a rotor 61) is attached to both ends of the polyhedron sharp 00).
A structure with the same shape as the rotor is provided, and the rotor (3+i is fitted into this clearing).

径大部(12)と回転子01)とが面一になるように装
着されている。また、この回転子01)と対向する位置
、すなわち、ハウジング(1)の底部と軸受取付台(2
)には回転子Gl)と同一形状の永久磁石からなる同定
子I3りが設けられている。この固定子0りは回転子0
1)と同極同志で対面するように取り付けられている。
The large diameter portion (12) and the rotor 01) are mounted so as to be flush with each other. In addition, the position facing this rotor 01), that is, the bottom of the housing (1) and the bearing mounting base (2
) is provided with an identifier I3 made of a permanent magnet having the same shape as the rotor Gl). This stator is 0, the rotor is 0.
It is installed so that it faces the same polarity as 1).

このため、回転子01)と固定子G2とは相互に反発し
あっている。なお、固定子0擾は回転子(31)と同様
、動圧気体ジャーナル軸受(3) 、 (4)にそれぞ
れ挿入され、ハウジング(1)の底部、軸受取付台(2
)に刻設された溝にはめ込まれる。よって固定子(32
もまた、動圧気体ジャーナル軸受(3)、(4)と表面
が而−になるように装着されている。
Therefore, the rotor 01) and the stator G2 repel each other. In addition, like the rotor (31), the stator 0 is inserted into the hydrodynamic gas journal bearings (3) and (4), respectively, and is attached to the bottom of the housing (1) and the bearing mounting base (2).
) into the groove carved in the Therefore, the stator (32
The bearings are also mounted so that their surfaces are flush with the hydrodynamic gas journal bearings (3) and (4).

次に、上述の構成からなる本実施例の動作について説明
する。スピンドル(6)は回転子(31)と固定子02
とが反発しあっているため軸方向に浮上している。この
とき、スピンドル(6)、多面体鏡QQ)などの重量を
考慮してハウジング(1)の底部と多面体11 +to
)の端面下部側に設けられた回転子(31)と固定子(
喝との方に反発力が大きくなるように他方の回転子の1
)。
Next, the operation of this embodiment having the above-described configuration will be explained. The spindle (6) has a rotor (31) and a stator 02
Because they repel each other, they float in the axial direction. At this time, the bottom of the housing (1) and the polyhedron 11 + to
) The rotor (31) and stator (
1 of the other rotor so that the repulsion force is greater towards the
).

固定子c3つよりも磁束密度の大きいものを用いている
。このように、スピンドル(6)が浮上しているため、
スピンドル(6)をモータ1層によって回転させると、
このときの初期起動トルクは非常に小さくなる。さらに
、動圧気体ジャーナル軸受(3) 、 (4)と回転子
(3]1 、固定子C32により、スピンドル(6)の
回転中には、スピンドル(6)の回転が非常に滑らかな
ものとなり、さらに面精度な回転が実現する。
A stator with a higher magnetic flux density than the three stators c is used. In this way, since the spindle (6) is floating,
When the spindle (6) is rotated by one layer of motor,
The initial starting torque at this time becomes very small. Furthermore, due to the hydrodynamic gas journal bearings (3), (4), rotor (3]1, and stator C32, the rotation of the spindle (6) becomes extremely smooth during rotation of the spindle (6). , achieving rotation with even more surface precision.

ここで、レーザ光が光源入射口(5)から入射すると、
多面体蜆(10)の反射面(11)に当るが、スピンド
ル(6)、多匍体鏡(10)は高速で回転しているため
、反射鏡(1υは周方間に高速移動しなからレーザ光を
反射させる。この超来、反射したレーザ光は所定の箇所
を走査するのである。
Here, when the laser light enters from the light source entrance port (5),
It hits the reflecting surface (11) of the polyhedral mirror (10), but since the spindle (6) and the multi-faceted mirror (10) are rotating at high speed, the reflecting mirror (1υ) does not move at high speed between the circumferential directions. The laser beam is reflected.Then, the reflected laser beam scans a predetermined location.

このように、本実施例では、多面体鋺(+ulの両端面
に平板ドーナツ形状の水入磁石からなる回転子61)を
設け、さらに回転子C3+1に対向する面に、回転子C
31)と同形状で永久イメ石からなるi61定子(32
1を回転子01)と反発するように設けたので、これら
回転子61)と固定子G4とがスピンドル(6)のスラ
スト方向の荷重を支えることになるとともに、動圧気体
ジャーナル軸受(3)、(4)の軸間距離を非常に小さ
くすることができた。このため、スピンドル(6)の回
転性能を向上することができ、さらに装置全体を小型化
することが可能となった。
As described above, in this embodiment, a polyhedral screw (rotor 61 made of flat donut-shaped water magnets on both end faces of +ul) is provided, and a rotor C is provided on the face facing rotor C3+1.
i61 constantor (32), which has the same shape as 31) and is made of permanent stone.
Since the rotor 61) and the stator G4 support the load in the thrust direction of the spindle (6), the hydrodynamic gas journal bearing (3) supports the load in the thrust direction of the spindle (6). , (4), the distance between the axes can be made very small. Therefore, it is possible to improve the rotational performance of the spindle (6), and it is also possible to downsize the entire device.

なお、本実施例では気体軸受にいわゆる全周型の動圧気
体ジャーナル軸受(3)、(4)を用いたが、これにと
られれず、例えばヘリングボーン型、テイルティングバ
ンド型のものでもよい。さらに、回転子01)と固定子
621とは同一形状のものを用いるとは限らない。
In this embodiment, so-called full-circle type hydrodynamic gas journal bearings (3) and (4) were used as the gas bearings, but this is not the only option; for example, herringbone type or tailing band type bearings may be used. . Furthermore, the rotor 01) and the stator 621 do not necessarily have the same shape.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明の光偏向器は全体的に小型と
なゆ、さらにスピンドルが高オ゛n度に回転することが
可能となった。このため5例えばレーザプリンタでは装
置全体を小型化することができるとともに高性能な装置
となりその効果は非常に大きなものである。
As explained above, the optical deflector of the present invention is compact overall, and furthermore, the spindle can be rotated at a high frequency. For this reason, for example, in a laser printer, the entire device can be made smaller, and it can also be a high-performance device, which has a very large effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面は本発明の一実施例を示す断面正面図である。 (6)・・・スピンドル、(10)・・・多面体鏡。 t31)・・・回転子、04・・・固定子。 The drawing is a sectional front view showing one embodiment of the present invention. (6)...spindle, (10)...polyhedral mirror. t31)...Rotor, 04...Stator.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 回転可能なスピンドルに設けられた多面体鏡によって入
射する光を反射させ、上記スピンドルにより上記多面体
鏡を回転させて反射した光を異方向に偏向させる光偏向
器において、上記多面体鏡の両端面に設けられた永久磁
石よりなる回転子と、この回転子と対向した位置に設け
られ前記回転子と同極同志で対面する永久磁石よりなる
固定子とを具備したことを特徴とする光偏向器。
An optical deflector that reflects incident light by a polygonal mirror provided on a rotatable spindle, and deflects the reflected light in different directions by rotating the polygonal mirror with the spindle, provided on both end surfaces of the polygonal mirror. An optical deflector comprising: a rotor made of a permanent magnet, and a stator made of a permanent magnet, which is provided at a position facing the rotor and faces the rotor with the same polarity.
JP16332283A 1983-09-07 1983-09-07 Optical deflector Granted JPS6055315A (en)

Priority Applications (1)

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JP16332283A JPS6055315A (en) 1983-09-07 1983-09-07 Optical deflector

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JP16332283A JPS6055315A (en) 1983-09-07 1983-09-07 Optical deflector

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Publication Number Publication Date
JPS6055315A true JPS6055315A (en) 1985-03-30
JPH0332764B2 JPH0332764B2 (en) 1991-05-14

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ID=15771636

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0562175U (en) * 1992-01-21 1993-08-13 株式会社三協精機製作所 Polygon mirror motor
JPH06505211A (en) * 1991-02-22 1994-06-16 プルップ・エスコフォット・アクティーゼルスカブ laser imagesetter

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4953447A (en) * 1972-09-22 1974-05-24
JPS57109917A (en) * 1980-12-26 1982-07-08 Toshiba Corp Rotary mirror deflector

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JPH0332764B2 (en) 1991-05-14

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