JPS6055227A - 光電的長さ又は角度測定装置 - Google Patents

光電的長さ又は角度測定装置

Info

Publication number
JPS6055227A
JPS6055227A JP59161629A JP16162984A JPS6055227A JP S6055227 A JPS6055227 A JP S6055227A JP 59161629 A JP59161629 A JP 59161629A JP 16162984 A JP16162984 A JP 16162984A JP S6055227 A JPS6055227 A JP S6055227A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
support
measuring device
emitting diode
photovoltaic cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59161629A
Other languages
English (en)
Inventor
エリツヒ・フーベル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPS6055227A publication Critical patent/JPS6055227A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/58—Optical field-shaping elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念による光電的
長さ又は角度測定装置に関する。
光電的測定装置では、二つの対象物、例えば工作機械の
二つの機械部分の相対位置の測定のために、測定尺の目
盛は走査板の目盛によって、かつ走査ユニットの付設の
光電要素によって読取られる。測定尺と走査板の目盛の
照明のために走査ユニット中に照明装置が設けられてお
り、その光線は相対運動がある場合に目盛によって変調
され、そして周期的な電気的走査信号を発生するための
光電要素上に入射する。
これらの光電要素は照明装置によってできる限シ均一に
照明されるべきである。
しかし照明装置に市販の発光ダイオードを使用する場合
、発光ダイオードの側方から出て発光ダイオードの支持
体又は周囲にある他の構成部分によって測定尺及び走査
板の目盛の方向に反射される光線が周期的走査信号の変
調度の著しい悪化をもたらす。発光ダイオードの光射出
面上に取付けられる絞シは変調度の改良には有効である
が、大抵走査信号の振巾を著しく減少させる。
本発明はこの種の長さ又は角度測定装置において最適の
周期的走査信号の取出しを可能にするような照明装置を
提供することを課題の基礎とする。
この課題は、本発明によれば特許請求の範囲第１項の特
徴部分によって解決される。
本発明によって得られる利点は特に簡単な手段によって
照明装置の照射特性の改良が実現され、その結果、周期
的走査信号の変調度及び信号振巾、従って測定精度と測
定安全性が高められる。
本発明の他の有利な構成は実施態様項から把握される。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第１図によれば工作機械のベッド１に中空形材の形のハ
ウジング２を備えたカプセルに入った光電的長さ測定装
置がねじ６によって固定されている。このハウジング２
内に弾性接着層４によって目盛ＴＭを有する測定尺Ｍ（
第２図）が取付けられておシ、目盛は走査板ＡＰを備え
た走査ユニツ）Ａによって走査される機械のベッド１に
対して相対運動可能な往復台５に任意の方法で組立足部
６が固定されておシ、組立足部は剣状の挟小部７を介し
て一側面にシール部材８を備え、他の側面は完全に閉鎖
されたハウジング２のスリット９を通って接続ビン１ｏ
と結合されておシ、接続ビンは走査ユニツ）Ａに固定さ
れておりベッド１に対する往復台５の相対運動は走査ユ
ニツ）Ａ上に伝達される。
第２図は走査ユニツ）Ａの光電装置の図式図を示し、そ
の際照明装置Ｂの光線はコリメークに、測定尺Ｍ及び走
査板ＡＰを通って走査板ＡＰの目盛ＴＡに付設された光
電要素Ｐに入射する。測定方向Ｘにおける測定尺Ｍに対
する走査板ＡＰの運動の際、光電要素Ｐは目盛ＴＭ１Ｔ
Ａでの光変調によって周期的な電気的走査信号Ｓを発し
、この信号は接続装置を介して図示しない方法で評価装
置に供給され、評価装置はベッド１に対する往復台５の
位置の表示のための指示装置と接続している。
第６図において光源りから側方に出た光線の測定尺Ｍ及
び走査板ＡＰの目盛ＴＭ、ＴＡの方向の反射を防止する
ことによって照射特性の改良を行うだめの照明装置Ｂの
種々の構成が示されている。
第３ａ図による照明装置Ｂでは支持体Ｔ、の表面０．上
に発光ダイオードＬ１が配設されている。
発光ダイオードＬ、から側方に出だ光線の反射を防止す
るために表面０１のみ又は支持体Ｔ１全体が光吸収性材
料から成る。発光ダイオードＬ、の給電は導電性支持体
Ｔ、にはんだづけされた第一接触ビン”＋＋及び支持体
Ｔ、の穴Ｆ、中の絶縁層札を貫通しかつ導線Ｄ１を介し
て発光ダイオードＬ、と結合している第二接触ビン”１
２を介して行われる。
導線り、の保護のために導線は発光ダイオードＬ１と共
に光透過性樹脂から成る層Ｃ４中に埋設されている。
第６ｂ図による照明装置Ｂ２では支持体Ｔ２の表面０２
上に発光ダイオードＬ２が配設されている。
発光ダイオードＬ２から側方に出た光線の反射防止のた
めに支持体Ｔ２の表面０□上に光透過性かつ光吸収性材
料から成る分離層Ｕ２が配設されておシ、分離層は発光
ダイオードＬ２の側面を少なくとも部分的に被覆する発
光ダイオードＬ２の給電は電導性支持体Ｔ２にはんだづ
けされた第一接触ビン”２１及び支持体Ｔ２の穴Ｆ２中
の絶縁層重、を貫通しかつ導線Ｄ２を介して発光ダイオ
ードＬ２と接続されている第二接触ビン”２２を介して
行われる。導線Ｄ２の保膿のために導線は発光ダイオー
ドＬ２と共に光透過性樹脂から成る層Ｃ２中に埋設され
ている。
第３Ｃ図によ、る照明装置Ｂでは支持体Ｔ、の表面０．
上に発光ダイオードＬ５が配設されている。
発光ダイオードＬ、から側方に出る光線の反射を防止す
るために支持体Ｔｓの表面０５は測定方向Ｘにおいて発
光ダイオードＬ５と等しい寸法を有する。測定方向Ｘに
対して垂直の方向の支持体Ｔ５の表面０３０寸法は支持
体Ｔ３の充分な安定性に相応して任意に選択させること
ができる。発光ダイオードＬ３の給電のために第一接点
として細長片状の支持体Ｔ、が、そして第二接点として
接触細長片ＫＳが使用され、接触細長片は導＃Ｄ５を介
して発光ダイオードＬ、と接続されておシ、かつ支持体
Ｔ３に対しては絶縁層重、によって電気的に絶縁されて
いる。
【図面の簡単な説明】
第１図は光電的長さ測定装置の横断面図、第２図は光電
的装置の図式図、そして第３ａ図〜第６Ｃ図は照明装置
の種々の構成例を示す。 図中符号 ＡＰ・・・走査板 Ｌ・・・光源 Ｍ・・・目盛支持体 Ｔ・・・支持体 ＴＡ、　・・・目盛 ＴＭ・・・目盛 代理人江崎光好 代理人江崎光史 二Ｅｉｉ１ 乙ｂｊコー １０１コＣ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　二つの対象物の相対位置の測定のための光電的
    長さ又は角度測定装置にして、一方の対象物と結合され
    た目盛支持体の目盛は他方の対象物と結合した走査ユニ
    ットによって読取られ、走査ユニットは少なくとも一つ
    の付設の光電要素を備えた走査板と目盛支持体の目盛と
    走査板の照明のための照明装置とを有し、その際、照明
    装置は支持体上に配設された少なくとも一つの光電池を
    有するものにおいて。 □　光電池（Ｌ）の支持体（Ｔ）は光電池（Ｌ）の側方
    から出る光線が目盛支持体（Ｍ）と走査板（ＡＰ）の目
    盛（ＴＭ、ＴＡ）の方向への反射を防止されていること
    を特徴とする光電的長さ又は角度測定装置〇
  2. （２）光電池（Ｌ、）の支持体（Ｔ、）が光吸収性表面
    （０，）を有する、特許請求の範囲第１項記載の測定装
    置。
  3. （３）光電池（Ｌ２）用支持体（Ｔ２）上に光吸収層（
    Ｕ２）が取付けられている、特許請求の範囲第１項記載
    の測定装置。
  4. （４）光電池（Ｌ３）の支持体（Ｔ、）が測定方向Ｘに
    おいて光電池（Ｌ３）と等しい長さを有する。特許請求
    の範囲第１項記載の測定装置。
  5. （５）光電池（Ｌ）が発光ダイオードによって形成され
    ている、特許請求の範囲第１項から第４項までのうちの
    いずれか一つに記載の測定装置。
JP59161629A 1983-08-02 1984-08-02 光電的長さ又は角度測定装置 Pending JPS6055227A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833327849 DE3327849A1 (de) 1983-08-02 1983-08-02 Lichtelektrische laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3327849.0 1983-08-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6055227A true JPS6055227A (ja) 1985-03-30

Family

ID=6205564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59161629A Pending JPS6055227A (ja) 1983-08-02 1984-08-02 光電的長さ又は角度測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4714349A (ja)
EP (1) EP0147514B1 (ja)
JP (1) JPS6055227A (ja)
AT (1) ATE27357T1 (ja)
DE (2) DE3327849A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987005693A1 (en) * 1986-03-14 1987-09-24 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Photoelectric displacement detector

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3444878A1 (de) * 1984-12-08 1986-06-12 Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH, 7770 Überlingen Abtastkopf fuer schrittgeber, insbesondere winkelschrittgeber
DE3818218A1 (de) * 1988-04-16 1989-10-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische winkelmesseinrichtung
EP0374121A3 (de) * 1988-12-16 1991-01-16 RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. Leuchtdiode
EP0473808A1 (de) * 1990-09-03 1992-03-11 Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh Messeinrichtung zur Ermittlung eines Weges oder einer Position
EP2144305A1 (en) * 2008-07-08 2010-01-13 Dmitrijs Volohovs Semiconductor light-emitting device
DE102010046254A1 (de) * 2010-09-22 2012-04-19 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Halbleiterbauelement

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5033736A (ja) * 1973-07-26 1975-04-01
JPS554592A (en) * 1978-06-15 1980-01-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes System for measuring length and angle in terms of photoelectric increment
JPS57122362A (en) * 1980-11-26 1982-07-30 Gen Signal Corp Optical edge detector

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1312266A (en) * 1969-12-17 1973-04-04 Ferranti Ltd Optical measuring systems
US3815125A (en) * 1972-09-01 1974-06-04 Baldwin Electronics Inc Photoelectric encoder assembly
JPS55148482A (en) * 1979-05-08 1980-11-19 Canon Inc Semiconductor laser device
JPS5726004U (ja) * 1980-07-21 1982-02-10
US4581629A (en) * 1983-06-17 1986-04-08 Rca Corporation Light emitting devices

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5033736A (ja) * 1973-07-26 1975-04-01
JPS554592A (en) * 1978-06-15 1980-01-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes System for measuring length and angle in terms of photoelectric increment
JPS57122362A (en) * 1980-11-26 1982-07-30 Gen Signal Corp Optical edge detector

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987005693A1 (en) * 1986-03-14 1987-09-24 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Photoelectric displacement detector

Also Published As

Publication number Publication date
DE3327849A1 (de) 1985-02-14
EP0147514B1 (de) 1987-05-20
DE3463842D1 (en) 1987-06-25
EP0147514A1 (de) 1985-07-10
US4714349A (en) 1987-12-22
ATE27357T1 (de) 1987-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0838665B1 (en) Optical displacement detecting apparatus
US4952799A (en) Reflective shaft angle encoder
EP0349770A1 (en) Optical device for detecting coded symbols
EP0078364A3 (en) Opto-electronic coupling device
JPS6055227A (ja) 光電的長さ又は角度測定装置
US6410911B1 (en) Optical displacement detecting apparatus
US6526190B2 (en) Position measuring system
US4340814A (en) Electro-optical position transducer
US3581100A (en) Optical reading device
US6043482A (en) Scanning unit with a printed circuit for an optical position-measuring apparatus
FI84945B (fi) Knappsats.
JPS6428882A (en) Photoelectronic device, manufacture thereof, and lead frame used in same manufacture
CH668678GA3 (ja)
EP1614998B1 (en) Sensor head of reflective optical encoder
US6712273B1 (en) Versatile method and system for VCSEL-based bar code scanner
CN219246680U (zh) 光电芯片封装结构和反射式光电编码器
JPH083021Y2 (ja) 密着型画像読取り装置
JP3729725B2 (ja) 光結合装置
KR910013106A (ko) 광학 검출기
AU1737197A (en) Device for scanning bar codes
JP3156515B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPH0443942Y2 (ja)
Bernstein Optical Sensors
KR100255638B1 (ko) 엔코더
JP3824625B2 (ja) 光結合装置