JPS6055206A - 光干渉計 - Google Patents
光干渉計Info
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- JPS6055206A JPS6055206A JP58163815A JP16381583A JPS6055206A JP S6055206 A JPS6055206 A JP S6055206A JP 58163815 A JP58163815 A JP 58163815A JP 16381583 A JP16381583 A JP 16381583A JP S6055206 A JPS6055206 A JP S6055206A
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- Japan
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- optical
- incident light
- optical fiber
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/264—Mechanical constructional elements therefor ; Mechanical adjustment thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は光干渉計に関するものである。
被測定面に照射された光の反射光と参照光とを光学的に
干渉させて干渉縞を作成し、被測定面の移動によって生
ずる干渉縞の半径方向における外側或は内側への移動に
よシ被測定面の微小な変位量を検出する光干渉計が使用
されている。
干渉させて干渉縞を作成し、被測定面の移動によって生
ずる干渉縞の半径方向における外側或は内側への移動に
よシ被測定面の微小な変位量を検出する光干渉計が使用
されている。
従来使用されている光干渉計は、第１図に示すような構
造を有し、ハーフミラ−１１に対して入射光Ｌｉを入射
させると、この入射光Ｌｉの一部がハーフミラ−１１を
透過して被測定面１２に照射される。
造を有し、ハーフミラ−１１に対して入射光Ｌｉを入射
させると、この入射光Ｌｉの一部がハーフミラ−１１を
透過して被測定面１２に照射される。
又入射光Ｌ１の一部はノ・−フミラー１１で反射して被
測定面１２に対して直角方向に設けられている固定ミラ
ー１３に照射される。
測定面１２に対して直角方向に設けられている固定ミラ
ー１３に照射される。
被測定面１２からの反射光Ｌｒと固定ミラー１３よりの
反射光Ｌｒ ／はノ・−フミラー１１で光学的に結合さ
れる。このようにして入射光ＬｉＯ内ノ・−フミラー１
１から被測定面１２マでの往復光と、ノ・−フミラー１
１から固定ミラー１３までの往復光がノ・−ノミラー１
１で光学的に結合され、・・−フミラー１１を挾んで固
定ミラー１３と対向した位置に配設されるスクリーン１
４上に干渉縞１５を形成する。
反射光Ｌｒ ／はノ・−フミラー１１で光学的に結合さ
れる。このようにして入射光ＬｉＯ内ノ・−フミラー１
１から被測定面１２マでの往復光と、ノ・−フミラー１
１から固定ミラー１３までの往復光がノ・−ノミラー１
１で光学的に結合され、・・−フミラー１１を挾んで固
定ミラー１３と対向した位置に配設されるスクリーン１
４上に干渉縞１５を形成する。
被測定面１２が第１図に矢印×で示す方向に僅かに移動
すると、スクリーン１４上の干渉縞１５が半径方向にお
いて内側もしくは外側に移動するので、この干渉縞１５
の変化を監視することにより被測定面１２の基準面に対
する変位量を検出することができる。
すると、スクリーン１４上の干渉縞１５が半径方向にお
いて内側もしくは外側に移動するので、この干渉縞１５
の変化を監視することにより被測定面１２の基準面に対
する変位量を検出することができる。
しかしこの従来使用されている光干渉計では、雰囲気温
度の変化によってノ・−７ミラー１１から固定ミラー１
３までの光路長、即ち参照光路長が変化し易く、この参
照光路長の変化が直接被測定面１２の変位測定に誤差を
生ずる。又センサ部分がハーフミラ−１１や固定ミラー
１３などの光学部品で構成されているために、全体の形
状が大型化すると共に、その製作に際しては各部に微細
な光学的調整が必要となってその製造費用も増大するこ
とになる。
度の変化によってノ・−７ミラー１１から固定ミラー１
３までの光路長、即ち参照光路長が変化し易く、この参
照光路長の変化が直接被測定面１２の変位測定に誤差を
生ずる。又センサ部分がハーフミラ−１１や固定ミラー
１３などの光学部品で構成されているために、全体の形
状が大型化すると共に、その製作に際しては各部に微細
な光学的調整が必要となってその製造費用も増大するこ
とになる。
この発明の光干渉計はこの従来使用されている光干渉計
における欠点を解決し、雰囲気温度の変動による参照光
路長の変動を補正して誤差のない測定が可能であると共
に、センサ部がレンズなどのガラス体のみで構成され、
光学的調整個所も少なく、全体を小型化することができ
ると共に、その構造も堅固なものとすることができる。
における欠点を解決し、雰囲気温度の変動による参照光
路長の変動を補正して誤差のない測定が可能であると共
に、センサ部がレンズなどのガラス体のみで構成され、
光学的調整個所も少なく、全体を小型化することができ
ると共に、その構造も堅固なものとすることができる。
さらにこの発明の光干渉計はその製造費用を低減させる
ことができると共に、広い測定範囲にゎたって高精度の
測定が可能である。
ことができると共に、広い測定範囲にゎたって高精度の
測定が可能である。
この発明の光干渉計ではガラス体の一端面に１本の入射
光用光ファイバと２本の干渉縞検出用光ファイバが取υ
付けられる。このガラス体の入射光用光ファイバ及び干
渉縞検出用光ファイバが取シ付けられる一端面に対向す
るガラス体の対向端面が入射光を参照光に変換する反射
面とされ、この対向端面が被測定面に対向して配設され
た構成となっている。
光用光ファイバと２本の干渉縞検出用光ファイバが取υ
付けられる。このガラス体の入射光用光ファイバ及び干
渉縞検出用光ファイバが取シ付けられる一端面に対向す
るガラス体の対向端面が入射光を参照光に変換する反射
面とされ、この対向端面が被測定面に対向して配設され
た構成となっている。
以下この発明の光干渉計をその実施例に基づき図面を使
用して詳細に説明する。
用して詳細に説明する。
第２図はこの発明の光干渉計の実施例の構成を示す図で
、はぼ円柱状のガラス体２１の一端面２４に１本の入射
光用光ファイバ２２と２本の干渉縞検出用光ファイバ２
３−１．２３−２がそれぞれの端部を端面２４に対接固
定して取り付けられる。一方これらの光ファイバが取シ
付けられた一端面２４に対向する対向端面２５が入射光
を参照光に変換する反射面とされる。又対向端面２５が
その変位量が測定される被測定面２６に対向して配設さ
れた構成とされる。
、はぼ円柱状のガラス体２１の一端面２４に１本の入射
光用光ファイバ２２と２本の干渉縞検出用光ファイバ２
３−１．２３−２がそれぞれの端部を端面２４に対接固
定して取り付けられる。一方これらの光ファイバが取シ
付けられた一端面２４に対向する対向端面２５が入射光
を参照光に変換する反射面とされる。又対向端面２５が
その変位量が測定される被測定面２６に対向して配設さ
れた構成とされる。
第２図では図示していない光源から入射光用光ファイバ
２２を伝達されてガラス体２１内に放射される入射光Ｌ
ｉの一部は、対向端面２５を透過して被測定面２６上に
投射され、被測定面２６で反射されて反射光Ｌｒとして
ガラス体２１に対向端面２５から入射する。他方、入射
光Ｌｉの一部は対向端面２５で反射されて参照光ＬＲと
なる。これらの反射光Ｌｒと参照光ＬＲとはガラス体２
１内で互に光学的に結合されて干渉を生じ、被測定面２
６と対向端面２５間の距離ｔに対応した干渉縞２８が入
射光用光ファイバ２２の中心と、端面２４との接点Ｃを
中心として同心円状に形成される。
２２を伝達されてガラス体２１内に放射される入射光Ｌ
ｉの一部は、対向端面２５を透過して被測定面２６上に
投射され、被測定面２６で反射されて反射光Ｌｒとして
ガラス体２１に対向端面２５から入射する。他方、入射
光Ｌｉの一部は対向端面２５で反射されて参照光ＬＲと
なる。これらの反射光Ｌｒと参照光ＬＲとはガラス体２
１内で互に光学的に結合されて干渉を生じ、被測定面２
６と対向端面２５間の距離ｔに対応した干渉縞２８が入
射光用光ファイバ２２の中心と、端面２４との接点Ｃを
中心として同心円状に形成される。
この干渉縞２８は第２図矢印×に示すように被測定面２
６が移動して距離ｔが僅かに変化することにより、点Ｃ
を中心にして半径方向において内側或は外側に移動する
。端面２４には２本の干渉縞検出用光ファイバ２３−１
、２３−２が互に中心Ｃからの距離を異ならせて取シ
付けられているので、干渉縞の移動による干渉縞検出用
光ファイバ２３−１゜２３−２の出力信号の検出ピーク
数及び位相差から被測定面２６の変位量及び変位方向が
測定される。
６が移動して距離ｔが僅かに変化することにより、点Ｃ
を中心にして半径方向において内側或は外側に移動する
。端面２４には２本の干渉縞検出用光ファイバ２３−１
、２３−２が互に中心Ｃからの距離を異ならせて取シ
付けられているので、干渉縞の移動による干渉縞検出用
光ファイバ２３−１゜２３−２の出力信号の検出ピーク
数及び位相差から被測定面２６の変位量及び変位方向が
測定される。
この発明の光干渉計の全体は例えば第３図に示すように
構成され、入射光用光ファイバ２２に対して例えばレー
ザなどの光源３１かもの入射光を収束用レンズ３２で収
束してその端部から入射させる。
構成され、入射光用光ファイバ２２に対して例えばレー
ザなどの光源３１かもの入射光を収束用レンズ３２で収
束してその端部から入射させる。
又干渉縞検出用光ファイバ２３−１ 、２３−２からの
出力光がそれぞれフォトデラクタ３：３−１ 、３３−
２に入射されて電気信号Ａｔ 、 Ａ２に変換される。
出力光がそれぞれフォトデラクタ３：３−１ 、３３−
２に入射されて電気信号Ａｔ 、 Ａ２に変換される。
これらの電気信号ＡＩ 、 Ａ２は被測定面２６と対向
端面２５間距離ｔの変化をΔｔとして変化Δｔの関数と
なシ、それぞれＡＩ＝ｆＩ（Δｔ ） 、 Ａ２＝ １
２ （Δｔ）で表わされる。
端面２５間距離ｔの変化をΔｔとして変化Δｔの関数と
なシ、それぞれＡＩ＝ｆＩ（Δｔ ） 、 Ａ２＝ １
２ （Δｔ）で表わされる。
これらの電気信号Ａ１ 、 Ａ２が信号処理回路３５に
入力され、変化ΔｔがＡｌ ＃ Ａ２の関数として演算
され、Δｔ＝ｆｓ （Ａｓ ｒ Ａ２ ）として被測定
面２６の変位量が演算される。この変位量が表示部３６
によシ例えばディジタル表示量としてディジタル表示さ
れる。干渉縞検出用光ファイバを２本使用すると被測定
面２６の変位量とその変位方向の両方がまり、干渉縞検
出用光ファイバーを１本だけ使用するとその変位量のみ
が演算可能である。
入力され、変化ΔｔがＡｌ ＃ Ａ２の関数として演算
され、Δｔ＝ｆｓ （Ａｓ ｒ Ａ２ ）として被測定
面２６の変位量が演算される。この変位量が表示部３６
によシ例えばディジタル表示量としてディジタル表示さ
れる。干渉縞検出用光ファイバを２本使用すると被測定
面２６の変位量とその変位方向の両方がまり、干渉縞検
出用光ファイバーを１本だけ使用するとその変位量のみ
が演算可能である。
第４図に第２図と同一部分に同一符号を付して示すのは
、この発明の光干渉計の他の実施例の構成であり、この
実施例ではガラス体に代えて屈折率分布レンズ３８が使
用されている。この屈折率分布レンズ３８は光軸方向の
長さが焦点距離即ち蛇行ピッチの１／４よりやや短かい
長さに設定されている。従って入射光用光ファイバ２２
からの入射光は対向端面２５でほぼ平行光とされて被測
定面２６に対して照射される。
、この発明の光干渉計の他の実施例の構成であり、この
実施例ではガラス体に代えて屈折率分布レンズ３８が使
用されている。この屈折率分布レンズ３８は光軸方向の
長さが焦点距離即ち蛇行ピッチの１／４よりやや短かい
長さに設定されている。従って入射光用光ファイバ２２
からの入射光は対向端面２５でほぼ平行光とされて被測
定面２６に対して照射される。
第２図で示した実施例と同様に、被測定面２６がらの反
射光Ｌｒと対向端面２５で入射光Ｌｉの一部が反射して
生ずる参照光Ｌａとの光学的干渉で干渉縞が屈折率分布
レンズ３８の端面２４上に生ずる。端面２４上に配設さ
れた干渉縞検出用光ファイバ２３−１゜２３−２によシ
、第２図に示した実施例と全く同様にして被測定面２６
の変位量が測定される。
射光Ｌｒと対向端面２５で入射光Ｌｉの一部が反射して
生ずる参照光Ｌａとの光学的干渉で干渉縞が屈折率分布
レンズ３８の端面２４上に生ずる。端面２４上に配設さ
れた干渉縞検出用光ファイバ２３−１゜２３−２によシ
、第２図に示した実施例と全く同様にして被測定面２６
の変位量が測定される。
第４図に示す実施例においては屈折率分布レンズ３８の
光軸方向の長さを焦点距離、即ち蛇行ピッチの１／４よ
シやや短かく設定されているが、この長さは蛇行ピッチ
の１／４よシやや短かく或はやや長く設定することが可
能である。要はＮを自然数としてＮ／２−１／４倍であ
ると、対向端面２５の反射光が端面２４で一点に焦光し
て干渉による縞が生じないのでこの条件をはずした長さ
、即ち蛇行ピッチの１／４の奇数倍よシやや短かく或は
やや長くすればよい。
光軸方向の長さを焦点距離、即ち蛇行ピッチの１／４よ
シやや短かく設定されているが、この長さは蛇行ピッチ
の１／４よシやや短かく或はやや長く設定することが可
能である。要はＮを自然数としてＮ／２−１／４倍であ
ると、対向端面２５の反射光が端面２４で一点に焦光し
て干渉による縞が生じないのでこの条件をはずした長さ
、即ち蛇行ピッチの１／４の奇数倍よシやや短かく或は
やや長くすればよい。
この第４図に示す実施例では、屈折率分布レンズ３８か
らの被測定面２６に対する入射光が互にほぼ平行光と々
るために光損失が少なく、光減衰量が減少し、干渉縞の
明暗のコントラストを向上させることができる。従って
被測定面２６と対向端面２５との間隔を大きく設定する
ことが可能となる。しかしこの場合には干渉縞の間隔は
狭くなる。
らの被測定面２６に対する入射光が互にほぼ平行光と々
るために光損失が少なく、光減衰量が減少し、干渉縞の
明暗のコントラストを向上させることができる。従って
被測定面２６と対向端面２５との間隔を大きく設定する
ことが可能となる。しかしこの場合には干渉縞の間隔は
狭くなる。
第５図は各実施例における端面２４上に配設される入射
光用光ファイバ２２及び干渉縞検出用光ファイバ２３−
１．２３−２の他の配置状態を示すものである◇この配
置は入射光用光ファイバ２２と干渉縞検出用光ファイバ
２３−１ 、２３−２とが一直線上に配置されない例で
あり、各党ファイバは互に外周面を対接するようにして
配設されている。入射光用光ファイバ２２とこれに接し
て配設される２本の干渉縞検出用光ファイバ２３−１
、２３−２のコアー中心間の距離ｒｌ ｌ ｒ２は互に
異なシ、従って入射光用光ファイバ２２の中心Ｃの廻Ｄ
Ｋ形成される干渉縞２８の異なる半径位置に干渉縞検出
用光ファイバ２３−１ 、２３−２のそれぞれの中心が
位置するように配置される。
光用光ファイバ２２及び干渉縞検出用光ファイバ２３−
１．２３−２の他の配置状態を示すものである◇この配
置は入射光用光ファイバ２２と干渉縞検出用光ファイバ
２３−１ 、２３−２とが一直線上に配置されない例で
あり、各党ファイバは互に外周面を対接するようにして
配設されている。入射光用光ファイバ２２とこれに接し
て配設される２本の干渉縞検出用光ファイバ２３−１
、２３−２のコアー中心間の距離ｒｌ ｌ ｒ２は互に
異なシ、従って入射光用光ファイバ２２の中心Ｃの廻Ｄ
Ｋ形成される干渉縞２８の異なる半径位置に干渉縞検出
用光ファイバ２３−１ 、２３−２のそれぞれの中心が
位置するように配置される。
この場合には例えばＨＦを使用してのエツチングの手段
によシム射光用光ファイバ２２及び干渉縞検出用光ファ
イバ２３−１ 、２３−２の直径を、それぞれ予め設定
した値に精密に設定することができる。このようにして
それぞれの直径を精密に設定した光ファイバを互に第５
図に示すように配置させ、入射光用光ファイバ２２の中
心Ｃからの２本の干渉縞検出用光ファイバ２３−１．２
３−２の中心までの距離をそれぞれ所定値に精密に設定
することができる。従って干渉縞の間隔が小さい場合で
、変位量の測定に際して高精度の距離を設定して光ファ
イバを配設しなければなら々い場合に使用して最適であ
る。
によシム射光用光ファイバ２２及び干渉縞検出用光ファ
イバ２３−１ 、２３−２の直径を、それぞれ予め設定
した値に精密に設定することができる。このようにして
それぞれの直径を精密に設定した光ファイバを互に第５
図に示すように配置させ、入射光用光ファイバ２２の中
心Ｃからの２本の干渉縞検出用光ファイバ２３−１．２
３−２の中心までの距離をそれぞれ所定値に精密に設定
することができる。従って干渉縞の間隔が小さい場合で
、変位量の測定に際して高精度の距離を設定して光ファ
イバを配設しなければなら々い場合に使用して最適であ
る。
各実施例においては、対向端面２５と被測定面２６間の
距離の変化、即ち被測定面２６の変位量を測定する場合
を説明したが、被測定面２６をダイヤフラムとして圧力
計を構成することが可能である。又被測定面２６をばね
で支持された重錘とすることにより加速度計を構成する
ことができるので、この発明は各種の物理量センサとし
て使用することができる。
距離の変化、即ち被測定面２６の変位量を測定する場合
を説明したが、被測定面２６をダイヤフラムとして圧力
計を構成することが可能である。又被測定面２６をばね
で支持された重錘とすることにより加速度計を構成する
ことができるので、この発明は各種の物理量センサとし
て使用することができる。
すでに述べたように従来の光干渉計では、温度変化など
の外乱により参照光路長が変化してこの変化に基づく測
定誤差を生じ易い。しかしこの発明の光干渉計では参照
光路は測定光の光路の一部を構成しているため、温度変
化などの外乱が測定上は相殺されて原理的には誤差が発
生しない。特に屈折率分布レンズを使用し、１本の入射
光用光ファイバ２２及び２本の干渉縞検出用光ファイバ
２３−１．２３−２を同一直線上にない配置の構成とす
ることによシ、憂位量の測定範囲が大幅に拡大されると
共に全体の形状も小型化され、且つ高精度の変位量が測
定可能な光干渉計を実現することができる。
の外乱により参照光路長が変化してこの変化に基づく測
定誤差を生じ易い。しかしこの発明の光干渉計では参照
光路は測定光の光路の一部を構成しているため、温度変
化などの外乱が測定上は相殺されて原理的には誤差が発
生しない。特に屈折率分布レンズを使用し、１本の入射
光用光ファイバ２２及び２本の干渉縞検出用光ファイバ
２３−１．２３−２を同一直線上にない配置の構成とす
ることによシ、憂位量の測定範囲が大幅に拡大されると
共に全体の形状も小型化され、且つ高精度の変位量が測
定可能な光干渉計を実現することができる。
以上詳細に説明したようにこの発明によると、温度変化
などの外乱の影響を受けずに広い範囲の変位量を精度よ
く測定可能であシ、全体の形状をも大幅に小型化するこ
とが可能で、且つ堅固な構造の光干渉計を提供すること
が可能である。
などの外乱の影響を受けずに広い範囲の変位量を精度よ
く測定可能であシ、全体の形状をも大幅に小型化するこ
とが可能で、且つ堅固な構造の光干渉計を提供すること
が可能である。
第１図は従来使用されている光干渉計の原理構成図、第
２図はこの発明の光干渉網の実施例の要部の構成を示す
原理図、第３図はこの発明の光干渉計の実施例の全体の
構成を示すブロック図、第４図はこの発明の他の実施例
の構成を示す原理図、第５図はこの発明における光ファ
イバの配設の他の例を示す図である。 ２１ニガラス体、２２：入射光用光ファイバ、２３−１
、２３−２ ：干渉縞検出用光ファイバ、２４：端面
、２５：対向端面、２６：被測定面、２８：干渉縞、３
Ｓ：信号処理回路、３６：表示部、３８：屈折率分布レ
ンズ。 特許出願人 日本航空電子工業株式会社代理人 草野
卓 第 ５ 図２ 第 ３ 図 。 第４図
２図はこの発明の光干渉網の実施例の要部の構成を示す
原理図、第３図はこの発明の光干渉計の実施例の全体の
構成を示すブロック図、第４図はこの発明の他の実施例
の構成を示す原理図、第５図はこの発明における光ファ
イバの配設の他の例を示す図である。 ２１ニガラス体、２２：入射光用光ファイバ、２３−１
、２３−２ ：干渉縞検出用光ファイバ、２４：端面
、２５：対向端面、２６：被測定面、２８：干渉縞、３
Ｓ：信号処理回路、３６：表示部、３８：屈折率分布レ
ンズ。 特許出願人 日本航空電子工業株式会社代理人 草野
卓 第 ５ 図２ 第 ３ 図 。 第４図
Claims (1)
- （１）ガラス体の一端面に１本の入射光用光ファイバと
２本の干渉縞検出用光ファイバが取り付けられ、前記一
端面に対向する前記ガラス体の対向端面が入射光を参照
光に変換する反射面とされ、前記対向端面が被測定面に
対向して配設されてなることを特徴とする光干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163815A JPS6055206A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 光干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163815A JPS6055206A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 光干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055206A true JPS6055206A (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=15781242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58163815A Pending JPS6055206A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 光干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055206A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61288102A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平面導波路を用いた走査微分干渉装置 |
| JP2011123037A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Canon Inc | 干渉計 |
| CN114739431A (zh) * | 2022-04-07 | 2022-07-12 | 深圳太辰光通信股份有限公司 | 一种光纤传感器无胶封装方法和光纤传感器 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP58163815A patent/JPS6055206A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61288102A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平面導波路を用いた走査微分干渉装置 |
| JP2011123037A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Canon Inc | 干渉計 |
| CN114739431A (zh) * | 2022-04-07 | 2022-07-12 | 深圳太辰光通信股份有限公司 | 一种光纤传感器无胶封装方法和光纤传感器 |
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