JPS6047357A - 直線導入器 - Google Patents
直線導入器Info
- Publication number
- JPS6047357A JPS6047357A JP58153286A JP15328683A JPS6047357A JP S6047357 A JPS6047357 A JP S6047357A JP 58153286 A JP58153286 A JP 58153286A JP 15328683 A JP15328683 A JP 15328683A JP S6047357 A JPS6047357 A JP S6047357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical cam
- bellows
- arrow
- attached
- linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、大気側から真空側へ直線運動を導入する直線
導入器に関するものでおる。
導入器に関するものでおる。
基板光面に薄膜を作成する蒸着装置、試料表向の分析を
行なうオージェ分析装置等では、真空内での基板、試料
の移動が必要である。これらの１多動には、大気側から
真空側へ運動を導入する碑人器を用いる。近年、上記の
装置の超萬真空性能の向上、自動化の要求が強まるにし
たが因、導入器の７１％ ！１．’！化、自動送９機能
の達成が請求されている。
行なうオージェ分析装置等では、真空内での基板、試料
の移動が必要である。これらの１多動には、大気側から
真空側へ運動を導入する碑人器を用いる。近年、上記の
装置の超萬真空性能の向上、自動化の要求が強まるにし
たが因、導入器の７１％ ！１．’！化、自動送９機能
の達成が請求されている。
第１図に、従来の直線導入器を示す。これは、人気中の
七−夕８の回転運動ｔｌ−真空中の軸５の直線運動に変
換するものである。フランジ１に、矢印２方回へ伸縮可
能で真空を保持するベローズ３が、Ｒノ接されている。
七−夕８の回転運動ｔｌ−真空中の軸５の直線運動に変
換するものである。フランジ１に、矢印２方回へ伸縮可
能で真空を保持するベローズ３が、Ｒノ接されている。
このベローズ３の他端には、矢印２方向へ移動可能な真
空中の軸５を固定する移動４＋１４が同様に溶接され取
り付いている。この移動板４は、大気中において、フラ
ンジ１に固定され／／−ガイド軸６に案内されており、
矢印７方向に回転するモータ８でイジ１１によシ駆動さ
れてい乙。ネジ１１は、ベアリング１３でその両端を支
持さｎ１カンプリング１０でモータ８と結合している。
空中の軸５を固定する移動４＋１４が同様に溶接され取
り付いている。この移動板４は、大気中において、フラ
ンジ１に固定され／／−ガイド軸６に案内されており、
矢印７方向に回転するモータ８でイジ１１によシ駆動さ
れてい乙。ネジ１１は、ベアリング１３でその両端を支
持さｎ１カンプリング１０でモータ８と結合している。
このネジ１１と移動板４に取り付くナンド１２がかみ合
い、運動が伝達されている。移動板４の停止位置を決め
るため、リミットスイッチ１４と移動板４に固定された
ノブ１５が配置されている。すなわち、リミットスイッ
チ１４が作動し７こ助、制御回路１６でモータ８を停止
させる。
い、運動が伝達されている。移動板４の停止位置を決め
るため、リミットスイッチ１４と移動板４に固定された
ノブ１５が配置されている。すなわち、リミットスイッ
チ１４が作動し７こ助、制御回路１６でモータ８を停止
させる。
以上の直＃ｉ！導入器をフランジ１で真空槽に取シ付け
て、大気側よりょ真空槽内に矢印２方向の面線運動を導
入するわけである。
て、大気側よりょ真空槽内に矢印２方向の面線運動を導
入するわけである。
しかし、ｔがら、上述した直線尋人器には次のような欠
点がある。
点がある。
（１）インがベローズの外側に配置されている／ζめ、
負荷であるベローズと駆動するネジを結合する移動板に
七−メントが働く。このモーメントは、ガイドに曲げの
反力を作用させるので移動イム・の円滑な直線の直線移
動をさまたげる。特にべ１」−ズ径が大きい場合、負荷
が大きくなり、自すて負荷位置と駆動位置の距離が増大
する結尿、モーメントが大きくなるので、円滑な直線移
動は一層困難となる。真空装置は、内部の筒真空を達成
するために、頻繁に装置全体を高温Ｖ（加熱するのが一
般である。、」二記のような運動の不具合は、装置の自
動化に重大なあい路となっ−Ｃいる。
負荷であるベローズと駆動するネジを結合する移動板に
七−メントが働く。このモーメントは、ガイドに曲げの
反力を作用させるので移動イム・の円滑な直線の直線移
動をさまたげる。特にべ１」−ズ径が大きい場合、負荷
が大きくなり、自すて負荷位置と駆動位置の距離が増大
する結尿、モーメントが大きくなるので、円滑な直線移
動は一層困難となる。真空装置は、内部の筒真空を達成
するために、頻繁に装置全体を高温Ｖ（加熱するのが一
般である。、」二記のような運動の不具合は、装置の自
動化に重大なあい路となっ−Ｃいる。
（２）独立な２個の直線運動を近接して真空中へ導入す
る場合、本直線導入器が２個必要となり装置が大きくな
る。
る場合、本直線導入器が２個必要となり装置が大きくな
る。
（３）上記（２）に関連して、それぞれの軸を連動させ
て自動送りする場合、それぞれの軸にリミットスイッチ
とモータが必要となり制御が複雑となる。
て自動送りする場合、それぞれの軸にリミットスイッチ
とモータが必要となり制御が複雑となる。
Ｉユ土のような理由で、かかる直線尋人器を備えｆｃ装
置では、円滑な直線運動が困難で、装置の自動比がむず
かしく、特に複数個の直線導入器を備えた装置では、装
置の大型化が避けられず、超茜に／ｓ”−の対応が困難
で、かつ制御が複雑なものとな−っていた。
置では、円滑な直線運動が困難で、装置の自動比がむず
かしく、特に複数個の直線導入器を備えた装置では、装
置の大型化が避けられず、超茜に／ｓ”−の対応が困難
で、かつ制御が複雑なものとな−っていた。
４すｌ’ｉ明は、上記の点に注目してなされたものであ
り、運動部材の動きが円滑で、かつ装置が小型であり、
さらに自動送りにおける制御が容易な直線与大器を提供
することを目的どするものである。
り、運動部材の動きが円滑で、かつ装置が小型であり、
さらに自動送りにおける制御が容易な直線与大器を提供
することを目的どするものである。
ＬＭ＋：の目的を達成するため、本発明では、ベローズ
゛の周囲に配置した円筒カムで移動板の駆動を杓なうこ
とにより、円滑な移動板の運動を可能とし、２軸以上の
運動の導入に際しては、複数個のベローズを互いに複数
個の移動板を介して溶接ｊ７、でれそれの移動板を１個
の円筒カムで駆動することにより、装置の小型化を達成
し、さらにこの円筒カムを歯車を介してモータで駆動す
ることにより制御が容易な自動送り装置を可能とした。
゛の周囲に配置した円筒カムで移動板の駆動を杓なうこ
とにより、円滑な移動板の運動を可能とし、２軸以上の
運動の導入に際しては、複数個のベローズを互いに複数
個の移動板を介して溶接ｊ７、でれそれの移動板を１個
の円筒カムで駆動することにより、装置の小型化を達成
し、さらにこの円筒カムを歯車を介してモータで駆動す
ることにより制御が容易な自動送り装置を可能とした。
以上、本発明を実施例を参照して、詳細に説明する。
第２図は、本発明の一実施例を示す図である。。
フランジ３１に、矢−コ３２方向に伸縮可能な真空シー
ル用のベローズ３３が取り付いている。このベローズ３
３の他端には、移動板３４が浴接さＪしている。本移動
板３４は、ガイド３５で案内される構造になっておシ、
円筒カム３６内を矢印３２方向に移動する。円筒カム３
６には、筒面に溝３７が加工されており、この中を移動
板３４に取り付く複数個のビン３８が入る構造となつ−
Ｃいる。
ル用のベローズ３３が取り付いている。このベローズ３
３の他端には、移動板３４が浴接さＪしている。本移動
板３４は、ガイド３５で案内される構造になっておシ、
円筒カム３６内を矢印３２方向に移動する。円筒カム３
６には、筒面に溝３７が加工されており、この中を移動
板３４に取り付く複数個のビン３８が入る構造となつ−
Ｃいる。
すなわち、円筒カム３６の矢印３９方向への回転移動に
より移動板３４の矢印３２方向への直進移動が伺られる
わけである。移動板３４には、軸４０が固定されており
、円筒カム３６は、ベアリング４１で案内されている。
より移動板３４の矢印３２方向への直進移動が伺られる
わけである。移動板３４には、軸４０が固定されており
、円筒カム３６は、ベアリング４１で案内されている。
円筒カム３６の回転駆動０同筒カム３６上に固定するハ
スバ歯車４２と矢印４５方向に回転するモータ４３に取
り付くつ４−−ム４４で行なわれる。この時、停止位置
を決めるためにリミットスイッチ４６が配置されて６■
ン（ベローズＡ６２とベローズＢ６３およびそれｅ！１
移動板Ａ６４と移動板Ｂ６５が溶接されている。ベロー
ズＡ６２とベローズＢ６３は共に矢印６（］方向に伸縮
可能で、いずれも真空ノールを’ｔｒなう構造となって
いる。それぞれの移動板６４゜６５には、ビン６７がそ
の円周に複数個取りイ」き、円筒カム６８内の溝６９に
入っている。この円筒カム（り８は、モータ７０に取９
伺いたウオーム７１の矢印７２方向の回転で矢印７３方
向にハスパ歯車７４を介して回転駆動さｎる。この回転
により移動板Ａ６４と移動板Ｂ６５に取シ付くそれぞれ
の軸７５，７６が矢印６６方向に直線移動する。このｌ
Ｉｇ、、円筒カム６８はベアリング７７で案内されてお
り、リミットス・ｆンテ７８で位置法めきれる構造とな
っている。すなわち、リミット、く・ｒツチの１否号に
より制御回路７９でモータ７０ｆ：停止させるわけであ
る。ここで円筒カム６８内の而６９の形状は、その回転
移動に対して、２本の独立した軸７５．７６がそれぞれ
所定の直線移動を行なうよう決められている。
スバ歯車４２と矢印４５方向に回転するモータ４３に取
り付くつ４−−ム４４で行なわれる。この時、停止位置
を決めるためにリミットスイッチ４６が配置されて６■
ン（ベローズＡ６２とベローズＢ６３およびそれｅ！１
移動板Ａ６４と移動板Ｂ６５が溶接されている。ベロー
ズＡ６２とベローズＢ６３は共に矢印６（］方向に伸縮
可能で、いずれも真空ノールを’ｔｒなう構造となって
いる。それぞれの移動板６４゜６５には、ビン６７がそ
の円周に複数個取りイ」き、円筒カム６８内の溝６９に
入っている。この円筒カム（り８は、モータ７０に取９
伺いたウオーム７１の矢印７２方向の回転で矢印７３方
向にハスパ歯車７４を介して回転駆動さｎる。この回転
により移動板Ａ６４と移動板Ｂ６５に取シ付くそれぞれ
の軸７５，７６が矢印６６方向に直線移動する。このｌ
Ｉｇ、、円筒カム６８はベアリング７７で案内されてお
り、リミットス・ｆンテ７８で位置法めきれる構造とな
っている。すなわち、リミット、く・ｒツチの１否号に
より制御回路７９でモータ７０ｆ：停止させるわけであ
る。ここで円筒カム６８内の而６９の形状は、その回転
移動に対して、２本の独立した軸７５．７６がそれぞれ
所定の直線移動を行なうよう決められている。
なお、上記のハスパ歯車の代シにワオームホ１−ルを用
いても同等の性能が得られることはり」らかである。
いても同等の性能が得られることはり」らかである。
上述の実施例によって、以下に示すような利点が得られ
た。
た。
（１）負荷が加わるベローズをそのまわりの円筒カムで
複数個のビンを介して駆動するため、駆ルｂ時に移動板
にモーメントが発生せず円滑なｉ＃ｉ１移動が得られる
。
複数個のビンを介して駆動するため、駆ルｂ時に移動板
にモーメントが発生せず円滑なｉ＃ｉ１移動が得られる
。
（２）特に２軸以上の直線運動を近接して真空中に尋人
する場合に、装置自体が小型化される。
する場合に、装置自体が小型化される。
（３）２ＩｌｌｌＩ以上の自動送りによる直線移動を真
空中に導入する場合、円筒カムの溝形状をそれぞれの制
鍔ヌ」象に合わせて形成ブれば、１台のモーＳ（の１す
１転と停止だけですべての制御を行なシこ１（が口丁能
になる。
空中に導入する場合、円筒カムの溝形状をそれぞれの制
鍔ヌ」象に合わせて形成ブれば、１台のモーＳ（の１す
１転と停止だけですべての制御を行なシこ１（が口丁能
になる。
以上説明したように、氷見明によれば、円滑な直、に′
、ＩＪ７移動が得られ、小型で、制御が簡単な自動送り
、Ｌイ」”なう直線２！を大器を得ることができた。本
発明は、特に、互いに連動する複数個の直線運動のくり
返しの自動送りに市−効である。
、ＩＪ７移動が得られ、小型で、制御が簡単な自動送り
、Ｌイ」”なう直線２！を大器を得ることができた。本
発明は、特に、互いに連動する複数個の直線運動のくり
返しの自動送りに市−効である。
ｔｆｆ １図は、従来の直線導入器を示す断面図、第２
図−１本発明の一実施例になる直線導入器を示す１９［
面図、第３図は、本発明の他の実施例になる直Ｉｆ？メ
専大器を示す断面図である。 １・・・フンンジ、３・・・ベローズ、１１・・・不ン
、１２・・・犬ツｌ−１３２・・・矢印、３４・・・移
動板、３６・・・円筒カム、３７・・・溝、４１・・・
ベアリング、６２・・ベロー）Ａ１６７・・・ビン、７
０・・・モータ、７１・・・つ奉 ／ 巳 第 ２ 囚 弔 ３ 日
図−１本発明の一実施例になる直線導入器を示す１９［
面図、第３図は、本発明の他の実施例になる直Ｉｆ？メ
専大器を示す断面図である。 １・・・フンンジ、３・・・ベローズ、１１・・・不ン
、１２・・・犬ツｌ−１３２・・・矢印、３４・・・移
動板、３６・・・円筒カム、３７・・・溝、４１・・・
ベアリング、６２・・ベロー）Ａ１６７・・・ビン、７
０・・・モータ、７１・・・つ奉 ／ 巳 第 ２ 囚 弔 ３ 日
Claims (1)
- １、大気側から真空側へ直線運動を導入する直線導入器
において、真空を保持し、移動方向へ伸縮可能なベロー
ズと、該ベローズの一端に溶接され、ガイドに案内され
る移動部と、前記ベローズの周囲に配置され該移動部を
直線駆動せ１゜める円筒カムとを具備してなることを特
徴とする直線導入器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58153286A JPS6047357A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 直線導入器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58153286A JPS6047357A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 直線導入器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6047357A true JPS6047357A (ja) | 1985-03-14 |
Family
ID=15559151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58153286A Pending JPS6047357A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 直線導入器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047357A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999022398A3 (en) * | 1997-10-24 | 1999-07-22 | Filplas Vacuum Technology Pte | Cathode arc source with target feeding apparatus |
| CN1088411C (zh) * | 1996-02-20 | 2002-07-31 | 三菱重工业株式会社 | 瓶盖杀菌方法及其装置 |
| JP2009033005A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Ricoh Co Ltd | シール機構、ステージ装置、及び電子線描画装置 |
| JP2013118638A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Weltronics Component Ltd | クロックデータ再生回路 |
| JP2014170497A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 直線駆動導入器 |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP58153286A patent/JPS6047357A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1088411C (zh) * | 1996-02-20 | 2002-07-31 | 三菱重工业株式会社 | 瓶盖杀菌方法及其装置 |
| WO1999022398A3 (en) * | 1997-10-24 | 1999-07-22 | Filplas Vacuum Technology Pte | Cathode arc source with target feeding apparatus |
| GB2347146A (en) * | 1997-10-24 | 2000-08-30 | Filplas Vacuum Technology Pte | Cathode arc source with target feeding apparatus |
| GB2347146B (en) * | 1997-10-24 | 2002-10-30 | Filplas Vacuum Technology Pte | Cathode arc source with target feeding apparatus |
| JP2009033005A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Ricoh Co Ltd | シール機構、ステージ装置、及び電子線描画装置 |
| JP2013118638A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Weltronics Component Ltd | クロックデータ再生回路 |
| JP2014170497A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 直線駆動導入器 |
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