JPS6044742A - クリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は空気清浄化ラインゲ介して清浄な空気ン１Ｗ環
させるクリーンルームに関し、特に半導体工簗、医薬品
下梁、食品工業等の清浄な作業空間ケ必要と−ｒる分野
で使用されるものである。

〔発明の１に術的背駿およびその問題点〕従来より種々
の方式で局所空間の清浄化がなされてきており、近年は
直径１μｍ以下ハ微粒子ケも除去可能な高性能なエアー
フィルタが光成され、子のエアーフィルタケ清浄化ライ
ンに設けたクリーンルームが清浄空間を必要とでる分野
に提供され（いる。ここで、クリーンルームの型式には
ＩＩＡＲ型と非層流型の２種があるが、いずれも空気の
連通はＨＥＰＡフィルタと呼ばれる高性能のエアーフィ
ルタのみによってなされている。また、動力費削減のた
めに、多くの場合空気ケ循環使用（クリーンルームから
排出された空気？清浄化ラインに設けたフィルタで濾ｉ
（ＭＬ、、再び送出口からクリーンルームに戻で）して
いる。

ところで、清浄化ライン？循環でる空気、＋７″１中に
は、クリーンルーム内の作業によって発生した溶剤ガス
、蒸気、粉末、コロイド粒子および外部、に混って外部
から侵入したガス、蒸気、粉末などが含まれている。そ
れらの大半は高性能のエアーフィルタにエリ捕獲される
が、分子やイオンレベルの不純物、コロイド粒子は捕獲
されずに再びクリーンルームに戻されて清浄度ケ低下さ
せる。この傾向は、特に薬品処理作業、加熱作業等のな
されているクリーンルームにおいて顕著である。

従来、イオンレベルの不純物やコロイド粒子に、Ｊ：る
清浄度の悪化は、レーザー等を用いたダストカウントに
より評価されているが、清浄度の悪化自体に対−［る対
策はなされていない。

〔発明の目的〕

本発明は上記の諸点に鑑みてなされたもので、イオン、
′Ａ−子レベルの不純物、コロイド粒子。

溶剤ガス等による汚染Ｙも除去して清浄度ケ著しく向上
させることのできるクリーンルーム？提供ｆることン目
的とｆる。

〔発明０″）１既要〕 上記の目的ケ実現″′ｒるため本発明は、空気清浄化ラ
インに空気中のイオンレベルの不純物、コロイド粒子等
ケ水中に捕獲ｆろ水中捕獲器と、有機物質（溶剤ガス）
、Ｎ　Ｏｘ　、　ＳＯｘ等？吸収でる活性炭−ｉ１イル
タと、ＨＥＰＡフィルタ等のエアーフィルタと？設けた
クリーンルーム？提供ｆるものである。

〔発明の実施例〕

以下、添付図面？参照して本発明の一実栴例を説明′ｆ
る。第１図は同実施例の構成の概要用である。クリーン
ルーム１に設けた吸引口２ａ、　２ｂに吸引された空気
は清浄化ラインに順次設けられたファン３、活性炭素フ
ィルタ４．水中捕獲器５（不純物検出用としては従来か
ら用いられている）およびＨＥＰＡフィルタ６ｍ、ｆｉ
ｂ、６ｃ′Ｆ／通過して、再びクリーンルーム１に戻さ
れる。なお、ファン３には図示しないモータが嘔付けら
れている。

第２図は第１図に示で活性炭素フィルタ４の構成な示す
断面概要図である。外囲器７内には円筒状に巻いた活性
炭素繊維８が設けられ、空気人口９から入った空気は活
性炭素繊維８ケ通過しなければ空気出口１０に行けない
ようにしである。図中の矢印の如く空気がこの活性炭素
繊維８ケ通過でる際に、ＮＯｚ　、　ＳＯｘ　、溶剤の
ガス等が抄着除去される。第２図に示す活性炭素フィル
タによる溶剤ガスの吸着除去率に関しては、ｌ＜ｉｌｌ
えばトリクロルエチレン、１・１・１トリクロルエタン
、　１．！Ｉｎ塩化炭素、トルエン等について９７饅以
上の値が実験（３） から−＋１られた。

第３図Ｑま胡１図に示す水中捕獲器５の構成ケ示す断面
概要図である。外囲器１１の中には蒸留水、高純度線入
等の不純物捕獲用の水１２が入れられ、微生物発生ケ防
止′ｆるための殺菌灯１３が設けられている。水１２は
適時、供給口１４および排出口１５によって入れ換えら
れる。空気は図中の矢印の方向に送気管１６によって水
１２の甲に送られ、排気口１７から出ていく。

このようにして水１２の中ケ通過ｆる際に、イオン、分
子レベルの不純物、コロイド粒子等が捕獲される。第３
図に示で水中捕獲器５によるイオン等の捕獲壁に関して
は下記の表の如き値が実鹸から得られた。但し、表中の
数値は空気１ｍ”あたりの１市ら＠積゛で、酢イ立（工
［ｎｇ／ｍ”〕である。

表 Ｎａ　：　９４　Ｋ　：　３５　Ｚｎ：　２９０Ｆｅ　
：　４３（Ｉ　Ｃａ　：　１７５０　Ｎｏ−ｓ：　３４
０Ｃ（１−：　７００　ＮＯｘ　：２５７０　ＳＯ”７
：　４２１０２ハ４図はＰＡ１図に示イエアーフィルタ
６８〜６Ｃｒ　ぺ　１ （４） の構成ケ示で断面概要図でキ）る。送気管１８ケ介して
外囲器１９の上流側に圧入された空気は、布フィルタ加
と網目状補強材２１ケ介して外囲器Ｉ９の下流側に流れ
こむ。そして、メツシュ材２２を介して図中の矢印の如
くクリーンルームに流れこむ。このとき、活性炭素フィ
ルタ４や水中捕ｌ！器５では除去されなかった微小粒子
等が布フィルタ２０に捕獲されて除去される。

〔発明の効果〕

上記の如く本発明によれば、空気清浄化ラインに、空気
中のイオンレベルの不純物、コロイド粒子等ケ水中に捕
獲でる水中捕獲器と、水中捕獲器では十分に除去されな
い溶剤ガス等ケ吸収でる活性炭素フィルタと、水中捕獲
器や活性炭素フィルタでは十分に除去されない微粒子な
除去″′ｒるエアーフィルタとケ役けたので、清浄度ケ
著しく向上させることのできるクリーンルームが得られ
心。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成の概要図、第（６） ２図は第１図に示す実施例の活性炭素フィルタの断面概
要図、第３図は第１図に示で実施例の水中捕獲器の断面
概要図、第４図は第１図に示す実Ｍ世１１Ｉ７１エアー
フィルタの断面概要図である。 １・・・クリーンルーム、２ａ、２ｂ・・・吸引口。 ３・・・ファン５４・・・活性炭素フィルタ、５・・・
水中捕獲器、６　ａ、　６　ｂ　、　６　ｃ＝−ＨＥＰ
Ａフィルタ、８・・・活性炭素繊維、１２・・・水、１
３・・・殺菌灯、λ〕・・・布フィルタ、２１・・・網
目状補強材、２２・・・メツシュ材。 Ｌ旧墳人代理人　猪　股　清 （７） 第１区 屯２区

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 空気清浄化ラインに、空気ケ水中に圧入して通過させる
   ことによって空気中のイオンレベルの不純物あるいはコ
   ロイド粒子等ケ水中に捕ｆ！Ｊ−ｒる水甲抽勲器と５．
   古性炭素フィルタと、エアーフィルタとケ設ケたことケ
   特徴とｆるクリーンルーム。