JPS6042949U - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS6042949U JPS6042949U JP13557083U JP13557083U JPS6042949U JP S6042949 U JPS6042949 U JP S6042949U JP 13557083 U JP13557083 U JP 13557083U JP 13557083 U JP13557083 U JP 13557083U JP S6042949 U JPS6042949 U JP S6042949U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- defect inspection
- scanning
- light
- inspection equipment
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の欠陥装置の一実施例を示す図、第２図は
欠陥検出信号の例を示す図、第３図、第４図は検査光の
入射角と信号の大きさの関係を示す説明図、第５図は本
考案による欠陥検査装置の一実施例を示す図である。 図において１はレーザ装置、２．２’ 、 ２“はレー
ザ光、３は振動鏡、４はミラーａ、５はミラーｂ１６は
被検査体、７，７′は集光レンズ、８．８′は光検出器
、９は信号処理装置、１０はハーフ・ミラー、１１はミ
ラーＣである。またα１、α２はレーザ光と被検査体の
なす角を表わしている。なお、図中同一あるいは相当部
分には同一符号を付しである。 ６（７） （Ｊ） １１−４’１ 一−／（距 」 ［−刀 Ｌ− Ｃア） Ｃイ】、Ｘ
：・鬼 Ｉ・、−１１ ｊｔ ζ Ｊ ） ｔａ倍信号 ｒ侶荀号
欠陥検出信号の例を示す図、第３図、第４図は検査光の
入射角と信号の大きさの関係を示す説明図、第５図は本
考案による欠陥検査装置の一実施例を示す図である。 図において１はレーザ装置、２．２’ 、 ２“はレー
ザ光、３は振動鏡、４はミラーａ、５はミラーｂ１６は
被検査体、７，７′は集光レンズ、８．８′は光検出器
、９は信号処理装置、１０はハーフ・ミラー、１１はミ
ラーＣである。またα１、α２はレーザ光と被検査体の
なす角を表わしている。なお、図中同一あるいは相当部
分には同一符号を付しである。 ６（７） （Ｊ） １１−４’１ 一−／（距 」 ［−刀 Ｌ− Ｃア） Ｃイ】、Ｘ
：・鬼 Ｉ・、−１１ ｊｔ ζ Ｊ ） ｔａ倍信号 ｒ侶荀号
Claims (1)
- 被検査体表面にレーザ光を照射する手段と、上記レーザ
光を上記被検査体表面上の所定の方向に走査するための
走査手段と、上記被検査体からの反射光あるいは透過光
を検出する検出手段とを備え、被検査体の欠陥を光学的
に検査する欠陥検査装置において、上記走査光を分割す
る手段と、分割された走査光を異なる角度で被検査体表
面に照射し、各々の照射光に対応した検出手段を備えた
ことを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13557083U JPS6042949U (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13557083U JPS6042949U (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6042949U true JPS6042949U (ja) | 1985-03-26 |
Family
ID=30305103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13557083U Pending JPS6042949U (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042949U (ja) |
-
1983
- 1983-09-01 JP JP13557083U patent/JPS6042949U/ja active Pending
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