JPS6039238U - 紫外線洗浄装置 - Google Patents
紫外線洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6039238U JPS6039238U JP12984483U JP12984483U JPS6039238U JP S6039238 U JPS6039238 U JP S6039238U JP 12984483 U JP12984483 U JP 12984483U JP 12984483 U JP12984483 U JP 12984483U JP S6039238 U JPS6039238 U JP S6039238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- ultraviolet lamp
- cleaning equipment
- ultraviolet
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案実施例の断面図である。
１・・・装置箱、２・・・灯体、３・・・紫外線ランプ
、４・・・ミラー、６・・・被洗浄体、７・・・支持台
、８・・・加熱部材、９・・・吸入孔、１０・・・排出
孔。
、４・・・ミラー、６・・・被洗浄体、７・・・支持台
、８・・・加熱部材、９・・・吸入孔、１０・・・排出
孔。
Claims (1)
- 紫外線ランプと、この紫外線ランプの背後に近接配置さ
れるミラーと、紫外線ランプによって照射される位置に
配置される被洗浄体支持台と、この支持台の下方にもし
くは支持台と一体に配設される加熱部材と、支持台近傍
に酸素を含むガスを供給する機構とを備えてなる紫外線
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12984483U JPS6039238U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 紫外線洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12984483U JPS6039238U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 紫外線洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039238U true JPS6039238U (ja) | 1985-03-19 |
Family
ID=30294071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12984483U Pending JPS6039238U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 紫外線洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039238U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503958A (ja) * | 1972-08-18 | 1975-01-16 | ||
| JPS5776846A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-14 | Fujitsu Ltd | Surface treating method for semiconductor |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP12984483U patent/JPS6039238U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503958A (ja) * | 1972-08-18 | 1975-01-16 | ||
| JPS5776846A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-14 | Fujitsu Ltd | Surface treating method for semiconductor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
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