JPS6036057B2 - How to make fluorescent surfaces for television picture tubes - Google Patents

How to make fluorescent surfaces for television picture tubes

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JPS6036057B2
JPS6036057B2 JP6623878A JP6623878A JPS6036057B2 JP S6036057 B2 JPS6036057 B2 JP S6036057B2 JP 6623878 A JP6623878 A JP 6623878A JP 6623878 A JP6623878 A JP 6623878A JP S6036057 B2 JPS6036057 B2 JP S6036057B2
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JP
Japan
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photoresist film
mask
face plate
exposure amount
width
Prior art date
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JP6623878A
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Japanese (ja)
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達雄 田中
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、テレビ受像管のパネル内面のフェースプレ
ートに形成されたホトレジスト被膜を露光して蛍光体ま
たは光吸収性物質の仮パターンを形成する工程において
、ホトレジスト被膜の露光量を適切な値に制御すること
により、フェースプレートとの距離が各位層で異なるマ
スク、例えば円筒面マスクを用いて均一なストライプ幅
を有する仮パターンを得るようにしたテレビ受像管の蛍
光面製作方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a step of exposing a photoresist film formed on a face plate on the inner surface of a panel of a television picture tube to form a temporary pattern of phosphor or light-absorbing material. By controlling the amount to an appropriate value, a mask with different distances from the face plate for each layer, such as a cylindrical mask, is used to produce a temporary pattern with a uniform stripe width. Regarding the method.

一般に、テレビ受像管、例えばブラックマトリックス型
テレビ受像管のストライプ状の蛍光面の製作工程は、ガ
ラス等のパネルのフェースプレート上に回転塗布法等の
手段によりホトレジスト被膜を形成し、このホトレジス
ト被膜を感光し得る水銀灯等の点状または線状の露光用
光源からの紫外光を、ストライプ状のパターンを有する
マスクの透過溝を通してホトレジスト被膜上に照射し、
後で蛍光体を装着するフェースプレートの所定の箇所に
付着しいるホトレジスト被膜の部分を露光して硬化させ
る。
Generally, the manufacturing process for the striped phosphor screen of a television picture tube, for example a black matrix television picture tube, involves forming a photoresist film on the face plate of a panel made of glass or the like by means such as a spin coating method. Ultraviolet light from a point or linear exposure light source such as a mercury lamp that is sensitive to light is irradiated onto the photoresist film through the transmission grooves of a mask having a striped pattern,
Portions of the photoresist coating attached to predetermined locations on the face plate on which phosphors will later be attached are exposed to light and cured.

つぎに、このホトレジスト被膜の非露光部分を熔解して
除去し、ホトレジスト被膜の露光部分によりストライプ
状の仮パターンを形成し、さらに、ホトレジスト被膜の
露光部分およびフェースプレートの各全面に黒鉛等の光
吸収性物質を塗布して乾燥する。そして、ホトレジスト
被膜の露光部分を剥離剤により熔解膨潤させ、さらに、
高圧水の水スプレーによりホトレジスト被膜の露光部分
とともにその上面に付着している光吸収性物質をも除去
し、フェースプレート上にストライプ状のパターンの光
吸収性被膜、すなわちブラックマトリックスを形成する
。その後、各光吸収性被膜の間隙に、前述と同様の工程
を3回繰り返えして緑,青および赤の3種の蛍光体をス
トライプ状に装着し、ストライプ状の蛍光面が得られる
。なお、前述とは逆に、フェースプレートに3種の蛍光
体をストライプ状に装着したのち、ブラックマトリック
スを形成する場合もあり、製作工程は前述と同様である
。ところで、テレビ受像管の品質の面から重要なことは
、フェースプレート上にストラィプ状のパターンに形成
される各光吸収性被膜および各蛍光体のストライプ幅の
均一性であり、言い換えると、ホトレジスト被膜を一定
のストライプ隔て露光することであり、そのためには、
フェースフレートとマスクの距離を一定になるように配
置する必要があり、従来、フェースプレートとマスクと
の距離が一定になるように形成されたシャドウマスクが
用いられている。
Next, the non-exposed portions of the photoresist film are melted and removed, a striped temporary pattern is formed using the exposed portions of the photoresist film, and a light beam such as graphite is applied to the exposed portions of the photoresist film and the entire surface of the face plate. Apply absorbent material and dry. Then, the exposed portion of the photoresist film is melted and swollen with a stripping agent, and further,
A high-pressure water spray removes the exposed portion of the photoresist film as well as the light-absorbing material adhering to its upper surface, forming a striped pattern of light-absorbing film, ie, a black matrix, on the face plate. Thereafter, the same process as described above is repeated three times to attach green, blue, and red phosphors in stripes to the gaps between each light-absorbing coating, resulting in a striped phosphor screen. . Note that, contrary to the above, a black matrix may be formed after three types of phosphors are attached to the face plate in stripes, and the manufacturing process is the same as that described above. By the way, what is important in terms of the quality of television picture tubes is the uniformity of the stripe width of each light-absorbing film and each phosphor formed in a striped pattern on the face plate. The method is to expose a certain stripe apart, and for that purpose,
It is necessary to arrange the face plate and the mask so that the distance between them is constant, and conventionally, a shadow mask is used which is formed so that the distance between the face plate and the mask is constant.

しかしテレビ受像管のパネルは、一般に球面の曲率を有
した形状になっているため、パネルと同一曲率の球面を
有するシャドウマスクを製作するには歪みが生じ、通常
、各パネルと各シャドウマスクとが対になっており、1
個のシャドウマスクを多数のパネルに共用することがで
きないと云う欠点がある。なお、円筒の曲率を有する円
筒面の場合は、平板状のマスクを歪みなく容易に円筒面
状に変形でき、シャドウマスクと同様に用いることもで
きるが、実際には、正確な円筒面のパネルはその強度か
ら考えられず、球面パネルが一般的である。この発明は
、前記従来の問題点に留意し、シャドウマスクを用いる
ことなく、マスクとパネルとの距離が各個所により異な
る形状のマスクを用い、ホトレジスト被膜の露光量を適
切な値に制御することにより、一定のストライプ幅で露
光できるようにしたものであり、つぎにこの発明を、そ
の1実施例を示した図面とともに詳細に説明する。
However, since the panel of a television picture tube generally has a shape with a spherical curvature, creating a shadow mask with a spherical surface of the same curvature as the panel would result in distortion, and normally each panel and each shadow mask would be distorted. are paired, and 1
The drawback is that a single shadow mask cannot be shared by multiple panels. In the case of a cylindrical surface with a cylindrical curvature, a flat mask can be easily transformed into a cylindrical surface without distortion, and can be used in the same way as a shadow mask, but in reality, a panel with an accurate cylindrical surface can be used. cannot be considered due to its strength, and spherical panels are common. The present invention takes into consideration the above-mentioned conventional problems, and uses a mask in which the distance between the mask and the panel differs depending on the location, without using a shadow mask, and controls the exposure amount of the photoresist film to an appropriate value. This makes it possible to perform exposure with a constant stripe width.Next, this invention will be explained in detail with reference to the drawings showing one embodiment thereof.

第1図は球面パネル1とマスク2との配置を示し、マス
ク2の形状は、平板にストライプ状のパターンの透過溝
(図示せず)を形成したのち、透過溝と直角方向に曲率
を有しかつ曲率中心は球面パネル2の曲率中心と同一に
なるようにわん曲した円筒面状とすする。
FIG. 1 shows the arrangement of a spherical panel 1 and a mask 2. The shape of the mask 2 is such that a striped pattern of transmission grooves (not shown) is formed on a flat plate, and then a curvature is formed in a direction perpendicular to the transmission groove. Moreover, the cylindrical surface is curved so that the center of curvature is the same as the center of curvature of the spherical panel 2.

そして、同a図はマスク2の透過溝と平行方向に切断し
た断面図、同b図は透過溝に直角方向に切断した断面図
を示し、光源3は球面パネルーの曲率中心に位置する点
光源とする。したがって、同a図から明らかなように、
球面パネルーのフェースプレート1′とマスクーの透過
溝との距離は一定ではない。つぎに、第2図はマスク2
の透過溝2′を通過した光スポットの透過溝2′のスト
ライプ方向と直角方向での光度分布を示しており、パネ
ル1のフェースプレート1′に形成されたホトレジスト
被膜4面とマスクーとの距離をd、光源3の幅をW、マ
スクーと光源3との距離を1とする。
Figure A shows a sectional view taken in a direction parallel to the transmission grooves of the mask 2, and Figure B shows a sectional view taken in a direction perpendicular to the transmission grooves.The light source 3 is a point light source located at the center of curvature of the spherical panel. shall be. Therefore, as is clear from Figure a,
The distance between the face plate 1' of the spherical panel and the transmission groove of the mask is not constant. Next, Figure 2 shows mask 2.
It shows the luminous intensity distribution of the light spot that passed through the transmission groove 2' in the direction perpendicular to the stripe direction of the transmission groove 2', and the distance between the mask and the 4 sides of the photoresist coating formed on the face plate 1' of the panel 1. Let d be the width of the light source 3, W be the width of the light source 3, and let the distance between the mask and the light source 3 be 1.

この配置でホトレジスト被膜4面に露光した場合、ホト
レジスト被膜4の面上における光強度分布のプロフアィ
ルは、Aで示すように、台形状となる。つぎに、光強度
分布を、そのプロフアィルAを拡大した第3図とともに
説明する。いま、光強度が最大となる真影部の幅をDm
in、光強度が零となる半影部の幅をDmaxとすれば
Dmjn:a+(a−W)d′1 ..‐..‐
(イ)Dmax=a+(a+W)d′1 ・・・
・.・{o}となる。
When the photoresist coating 4 is exposed to light in this arrangement, the profile of the light intensity distribution on the photoresist coating 4 becomes trapezoidal, as shown by A. Next, the light intensity distribution will be explained with reference to FIG. 3, which is an enlarged view of profile A. Now, the width of the true shadow area where the light intensity is maximum is Dm
in, and if the width of the penumbra where the light intensity becomes zero is Dmax, then Dmjn:a+(a-W)d'1. .. -. .. -
(a) Dmax=a+(a+W)d'1...
・..・It becomes {o}.

また、露光したホトレジスト被膜4を現像処理した時に
ホトレジスト被膜4がフェースプレート1′に接着して
残留するために最低限必要な露光量であるホトレジスト
被膜4の限界露光量をEoとすれば、ホトレジスト被膜
4により形成される仮パターンのストライプ幅は、図か
ら明らかなようにDとなる。そして、真影部の露光量(
マスク2を取り除いた時の露光量であり、一般にパネル
1のフェースプレート1′全面で一定の値になるように
調光フィル夕を使用する)をEとすると、ホトレジスト
被膜4による仮パターンのストライプ幅Dは、D:a+
(a+W−2WEo/E)d′1.・‐‐‐‐し一 の式で表わされる。
Furthermore, if Eo is the limit exposure amount of the photoresist film 4, which is the minimum exposure amount required for the photoresist film 4 to adhere and remain on the face plate 1' when the exposed photoresist film 4 is developed, then The stripe width of the temporary pattern formed by the film 4 is D as is clear from the figure. Then, the exposure amount of the true shadow area (
If E is the exposure amount when the mask 2 is removed (in general, a light control filter is used to maintain a constant value over the entire face plate 1' of the panel 1), then the temporary pattern of stripes formed by the photoresist film 4 is The width D is D:a+
(a+W-2WEo/E)d'1.・---It is expressed by the following formula.

前記し一式において、マスク2とフェースプレート1′
上のホトレジスト被膜4面との距離dが、第1図a図に
示すように、パネルーのフェースプレート1′とマスク
2との距離が一定でないと、ホトレジスト被膜4による
仮パターンのストライプ幅Dが変化するが、ホトレジス
ト被膜4の露光量Eをある条件にすれば解消できる。す
なわち、a+W−2WEo/E=0 ・・・
・・・9の関係式が成立すると、し一式はD=aとなり
、距離dが一定でなし、にも拘わらず、ホトレジスト被
膜4による仮パターンのストライプ幅Dは、マスク2の
透過溝2′の幅aと同一となり、フェースプレート1′
の全面で同一ストライプ幅Dの仮パターンが得られる。
In the above set, the mask 2 and the face plate 1'
If the distance d between the upper photoresist film 4 and the distance between the face plate 1' of the panel and the mask 2 is not constant as shown in FIG. Although it varies, it can be resolved by setting the exposure amount E of the photoresist film 4 to a certain condition. That is, a+W-2WEo/E=0...
...If the relational expression 9 holds, then the set becomes D=a, and even though the distance d is constant, the stripe width D of the temporary pattern formed by the photoresist film 4 is equal to the transmission groove 2' of the mask 2. is the same as the width a of the face plate 1'
A temporary pattern with the same stripe width D is obtained over the entire surface.

そして、前記日式を成立させるためには、露光量Eを、
E=2WEo/(a+W) ……鼠にすれば
よい。
In order to establish the above-mentioned Japanese formula, the exposure amount E must be
E=2WEo/(a+W)...You can use it as a mouse.

すなわち、ホトレジスト被膜4の露光量Eを、ホトレジ
スト被膜4の限界露光量Eoの2W′(a+W)倍にす
ればよい。例えば、マスク2の露光量2′の幅aを0.
15肋とし、光源3の幅Wを1.0仇肋とすれば、E=
1.7伍oとなり、限界露光量Eoの1.74倍の露光
量Eでホトレジスト被膜4を露光することにより、0.
15柳の均一なストライブ幅を有する仮パターンを得る
ことができる。また、ホトレジスト被膜4の限界露光量
Eoは実験的に容易に求めることができ、ホトレジスト
被膜4の種類,形成条件等が同一であつ光源3が同一な
らば、一定値となる。そして、ホトレジスト被膜4によ
る均一なストライプ幅の仮パターンが形成されると、前
述と同様の工程により、仮パターンを除去した部分に蛍
光体を塗布することにより、3色線条の蛍光面が形成さ
れる。なお、光源3は点光源に限らず、マスク2の透過
溝2′に平行な線光源でも同様の効果を得ることができ
、また、この発明は、ホトレジスト被膜4による光吸収
性物質の仮パターン形成時のみならず、蛍光体の仮パタ
ーン形成時のホトレジスト被膜への露光時にも同様の効
果を得ることは勿論である。
That is, the exposure amount E of the photoresist film 4 may be set to 2W' (a+W) times the limit exposure amount Eo of the photoresist film 4. For example, the width a of the exposure amount 2' of the mask 2 is set to 0.
If the width W of the light source 3 is 1.0 ribs, then E=
By exposing the photoresist film 4 with an exposure amount E that is 1.74 times the limit exposure amount Eo, the amount becomes 0.75o.
A temporary pattern with a uniform stripe width of 15 willows can be obtained. Further, the limit exposure amount Eo of the photoresist film 4 can be easily determined experimentally, and will be a constant value if the type of photoresist film 4, the formation conditions, etc. are the same, and the light source 3 is the same. Once a temporary pattern with a uniform stripe width is formed using the photoresist film 4, a phosphor screen with three-color lines is formed by applying phosphor to the area from which the temporary pattern has been removed in the same process as described above. be done. Note that the light source 3 is not limited to a point light source, but a line light source parallel to the transmission groove 2' of the mask 2 can also achieve the same effect. Of course, similar effects can be obtained not only during formation but also during exposure of the photoresist film during the formation of a temporary pattern of phosphors.

以上のように、この発明の蛍光面製作方法によると、パ
ネルのフェースプレートに、ホトレジスト被膜を形成し
、ホトレジスト被膜に、マスクのストライプ状のパター
ンの透過溝を通じて光源からの光を露光する工程におい
て、光源の幅をW、マスクの透過溝の幅をaとしたとき
、ホトレジスト被膜の露光量を、ホトレジスト被膜の限
界露光量に対して2W/a+W倍にし、ホトレジスト被
膜の露光部分または非露光部分を除去した部分に蛍光体
を塗布してストライプ状の蛍光面を製作することにより
、マスクとフェースプレートとの距離が一定でない形状
のマスクの透過溝を通してホトレジスト被膜を露光する
場合にも、ホトレジスト被膜の露光量を適切な値にする
ことにより、均一なストライプ幅のパターンに露光する
ことができ、ホトレジスト被膜の露光部分または非露光
部分を除去した部分に形成する蛍光体のストライプ幅を
一定にすることができ、また、1個のマスクを多数のパ
ネルに共用できる。
As described above, according to the phosphor screen manufacturing method of the present invention, in the step of forming a photoresist film on the face plate of a panel and exposing the photoresist film to light from a light source through transmission grooves in a striped pattern of a mask, , when the width of the light source is W and the width of the transmission groove of the mask is a, the exposure amount of the photoresist film is increased by 2W/a+W times the limit exposure amount of the photoresist film, and the exposed or non-exposed portion of the photoresist film is By applying phosphor to the removed portion to create a striped phosphor screen, the photoresist film can be easily removed even when the photoresist film is exposed through the transmission groove of a mask where the distance between the mask and the face plate is not constant. By setting the exposure amount to an appropriate value, it is possible to expose a pattern with a uniform stripe width, and the stripe width of the phosphor formed on the exposed portion of the photoresist film or the portion where the non-exposed portion has been removed is made constant. In addition, one mask can be shared by many panels.

しかも、球面パネルおよび円筒面パネルの相方に適用で
き、この発明は、安価でかつ高品質のテレビ受像管の蛍
光面製作方法を提供するものである。
Furthermore, the invention can be applied to both spherical panels and cylindrical panels, and the present invention provides an inexpensive and high-quality method for producing a phosphor screen for a television picture tube.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面はこの発明のテレビ受像管の蛍光面製作方法の1実
施例を示し、第1図はパネルとマスクの配置を示し、同
a図はマスクの透過溝のストライプ方向に平行に切断し
た断面図、同b図はマスクの透過溝のストライプ方向に
直角に切断した断面図、第2図はマスクの透過溝のスト
ライプ方向に対し直角方向の光スポットの光強度分布の
プロフアィルの説明図、第3図は第2図のプロフアィル
による露光量と仮パターンのストライプ幅の説明図であ
る。 1……パネル、1′……フェースプレート、2・・・・
・・マスク、2′・・・・・・透過溝、3・・・・・・
光源、4・・・.・・ホトレジスト被膜。 第1図 第2図 第3図
The drawings show an embodiment of the method for manufacturing a phosphor screen of a television picture tube according to the present invention, and FIG. 1 shows the arrangement of a panel and a mask, and FIG. , Figure b is a cross-sectional view cut perpendicular to the stripe direction of the transmission grooves of the mask, Figure 2 is an explanatory diagram of the profile of the light intensity distribution of the light spot in the direction perpendicular to the stripe direction of the transmission grooves of the mask, and Figure 3 The figure is an explanatory diagram of the exposure amount and the stripe width of the temporary pattern according to the profile of FIG. 2. 1... Panel, 1'... Face plate, 2...
...Mask, 2'... Transmission groove, 3...
Light source, 4... ...Photoresist coating. Figure 1 Figure 2 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 パネルのフエースプレートに、ホトレジスト被膜を
形成し、前記ホトレジスト被膜に、マスクのストライプ
状のパターンの透過溝を通して光源からの光を露光する
工程において、前記光源の幅をW、前記マスクの透過溝
の幅をaとしたとき、前記ホトレジスト被膜の露光量を
、前記ホトレジスト被膜の限界露光量に対して2W/a
+W倍にし、前記ホトレジスト被膜の露光部分または非
露光部分を除去した部分に蛍光体を塗布してストライプ
状の蛍光面を製作することを特徴とするテレビ受像管の
蛍光面製作方法。
1. In the step of forming a photoresist film on the face plate of the panel and exposing the photoresist film to light from a light source through transmission grooves in a striped pattern of a mask, the width of the light source is W, and the transmission groove of the mask is When the width of the photoresist film is a, the exposure amount of the photoresist film is 2W/a with respect to the limit exposure amount of the photoresist film.
A method for manufacturing a phosphor screen for a television picture tube, characterized in that the photoresist film is multiplied by +W, and a phosphor is applied to the exposed portion or the non-exposed portion of the photoresist film to produce a striped phosphor screen.
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