JPS6035550U - アモルフアスシリコンラインセンサ - Google Patents

アモルフアスシリコンラインセンサ

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JPS6035550U
JPS6035550U JP12689383U JP12689383U JPS6035550U JP S6035550 U JPS6035550 U JP S6035550U JP 12689383 U JP12689383 U JP 12689383U JP 12689383 U JP12689383 U JP 12689383U JP S6035550 U JPS6035550 U JP S6035550U
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JP
Japan
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amorphous silicon
film
line sensor
silicon line
light
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JP12689383U
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JPH021865Y2 (ja
Inventor
浩一 羽賀
Original Assignee
東北リコ−株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来例の斜視図、第２図は、本考案の一実施
例の斜視図、第３図は、第２図、第４図の個別電極膜及
びくし形ガード電極膜の配置を示す図、第４図は、本考
案の他の実施例の斜視図である。 １１・・・絶縁基板、１２・・・くし形ガード電極膜、
１３・・・個別電極膜、１４・・・ｎ形アモルファスシ
リコン膜、１５・・・ｉ形アモルファスシリコン膜、１
６・・・絶縁膜、１７・・・共通電極膜、１８・・・遮
光膜、２１・・・下部共通電極を有する基板、２２・・
・絶縁膜。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）基板上に、下部電極膜、ｎ−ｉ形アモルファスシ
    リコン膜、絶縁膜、光透過性上部電極膜を順次積層して
    なることを特徴とするアモルファスシリコンラインセン
    サ。
  2. （２）前記下部電極膜及び上部電極膜のいずれか一方を
    共通電極とし、他方を、くし形ガード電極の各くし歯の
    間にそれぞれ個別電極を配置し、かつ、前記上部電極膜
    の上に光の入射範囲を規制する遮光膜を設けたことを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第（１）項記載のアモ
    ルファスシリコンラインセンサ。
JP12689383U 1983-08-18 1983-08-18 アモルフアスシリコンラインセンサ Granted JPS6035550U (ja)

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JP12689383U JPS6035550U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 アモルフアスシリコンラインセンサ

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JP12689383U JPS6035550U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 アモルフアスシリコンラインセンサ

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Publication Number Publication Date
JPS6035550U true JPS6035550U (ja) 1985-03-11
JPH021865Y2 JPH021865Y2 (ja) 1990-01-17

Family

ID=30288382

Family Applications (1)

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JP12689383U Granted JPS6035550U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 アモルフアスシリコンラインセンサ

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JP (1) JPS6035550U (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5339095A (en) * 1976-09-22 1978-04-10 Hitachi Ltd Photo detector
JPS5349981A (en) * 1976-10-18 1978-05-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Photoelectric conversion element
JPS56103477A (en) * 1980-01-21 1981-08-18 Hitachi Ltd Photoelectric conversion element
JPS5897862A (ja) * 1981-12-08 1983-06-10 Nec Corp 密着型イメ−ジセンサ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5339095A (en) * 1976-09-22 1978-04-10 Hitachi Ltd Photo detector
JPS5349981A (en) * 1976-10-18 1978-05-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Photoelectric conversion element
JPS56103477A (en) * 1980-01-21 1981-08-18 Hitachi Ltd Photoelectric conversion element
JPS5897862A (ja) * 1981-12-08 1983-06-10 Nec Corp 密着型イメ−ジセンサ

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JPH021865Y2 (ja) 1990-01-17

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