JPS6035293U - 外部駆動ｘｙ試料台装置 - Google Patents

外部駆動ｘｙ試料台装置

Info

Publication number
JPS6035293U
JPS6035293U JP12757183U JP12757183U JPS6035293U JP S6035293 U JPS6035293 U JP S6035293U JP 12757183 U JP12757183 U JP 12757183U JP 12757183 U JP12757183 U JP 12757183U JP S6035293 U JPS6035293 U JP S6035293U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample stage
pulley
stage device
external drive
timing belt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12757183U
Other languages
English (en)
Inventor
昌克 荷田
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by セイコーインスツルメンツ株式会社 filed Critical セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority to JP12757183U priority Critical patent/JPS6035293U/ja
Publication of JPS6035293U publication Critical patent/JPS6035293U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は、本考案の実施例を示し、第１図は正面図、第２
図は平面図、第３図は第２図の要部を示すＡ矢視図であ
名。 １・・・・・・Ｘハンドル、２・・・・・・軸、３・・
・・・・Ｘユニバーサルジヨイント１．４・・・・・・
歯車、５・・・・・・歯車、６・・・・・・プーリー、
７・・・・・・タイミングベルト、８・・・・・・ブロ
ック、９・・・・・・Ｙレール取付台、１０・・・・・
・試料台、１１・・・・・・Ｙハンドル、１２・・・・
・・軸、１３・曲・Ｙユニバーサルジヨイント、１４・
・・・・・７’−ＩＪ−１１５・・・・・・プーリー、
１６・・・・・伎イミングベルト、１７・・・・・・角
軸、１８・・・・・・プーリー、１９・・・・・・プー
リー、２０・・・・・・タイミングベルト、２１・・・
・・・タイミングベルト、２２・・・・・・プーリー、
２３・・・・・・歯車、２４・・・・・・歯車、２５・
・・・・・ブロック。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 装置外部に設けられた左右のＸＹハンドルと、その回転
    を伝える伸縮自在のユニバーサルジヨイントと、試料台
    をＸ方向に移動させるタイミングベルトとプーリーと、
    試料台をＹ方向に移動させる為の回軸運動をプーリーに
    伝える角軸と、その角軸に取付けたプーリーと、前記試
    料台を移動させるタイミングベルトから成り、前記ＸＹ
    ハンドルにより装置外部より試料台を駆動することがで
    きる外部駆動ＸＹ試料台装置。
JP12757183U 1983-08-18 1983-08-18 外部駆動ｘｙ試料台装置 Pending JPS6035293U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12757183U JPS6035293U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 外部駆動ｘｙ試料台装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12757183U JPS6035293U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 外部駆動ｘｙ試料台装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6035293U true JPS6035293U (ja) 1985-03-11

Family

ID=30289695

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12757183U Pending JPS6035293U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 外部駆動ｘｙ試料台装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6035293U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63171021U (ja) * 1987-04-27 1988-11-08
JPH0220106A (ja) * 1988-07-08 1990-01-23 Yokogawa Electric Corp 入力段増幅回路の直流変動補正回路

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63171021U (ja) * 1987-04-27 1988-11-08
JPH0220106A (ja) * 1988-07-08 1990-01-23 Yokogawa Electric Corp 入力段増幅回路の直流変動補正回路

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6035293U (ja) 外部駆動ｘｙ試料台装置
JPS60172048U (ja) ベルト張力調整装置
JPS60142229U (ja) シリコンウエハ−等の搬送装置
JPS58128621U (ja) 撹拌装置
JPS6045499U (ja) アドレスインジケ−タ
JPS6017977U (ja) ロボツトの動力伝達機構
JPS6098851U (ja) 現像バイアス印加装置
JPS59191869U (ja) 駆動源ユニツト
JPS58170445U (ja) 平ベルトの駆動装置
JPS5943747U (ja) ウオ−ムギア駆動装置
JPS616932U (ja) リ−ル軸駆動装置
JPS59156956U (ja) 作業車の旋回台回転角検出装置
JPS58103343U (ja) 分抄試料融解用揺動装置
JPS59167617U (ja) 振動ドリル
JPS59193469U (ja) テニス練習機
JPS59183388U (ja) ロボツト関節の位置検出装置
JPS58181025U (ja) 「ねじ」り振動減衰装置
JPS601719U (ja) ロ−ル駆動装置
JPS58189089U (ja) プロ−ブ上下機構
JPS58185694U (ja) スクリユ−コンベヤ
JPS5928564U (ja) カ−ドのシリンダ駆動装置
JPS5830058U (ja) ベルト駆動装置
JPS5915370U (ja) アクセサリ−展示用テ−ブル
JPS58194781U (ja) ミシンのロ−ラ−駆動装置
JPS612368U (ja) ケ−ブル送り出し装置