JPS6035204A - 光透過照射マーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、光の透過による照射マーキングを芋える装置
に関する。この装置は光学器械、４Ｓには顕微鏡に使用
するのに好適である。

（背　景〕 像を形成する光学装置により、顕微鏡などの光学器械の
視野に記号又はう・イングリッドを反射又は投射するこ
とが一般に知られている。前記記号又はライングリッド
は背後から照射されたマスク」−にあり、このため記号
は観察されている対象物の明るい像の上に明るく重なっ
て現われる。透明の１１４＆上に暗い記号又はライング
リントを配設することも知られており、その場合暗い記
号又はライングリッドが照射により与えられ、該記号又
はライングリット上に対象物の像が重ねられる。相互に
対面する薄板の表面に記号を配置し、次いで該薄板を互
いに相対移動させることにより各記号を動かし、これに
より観察される対象物の測定がなされる。

相芽に移動される光の透過による照射マーキングをｒえ
る際に生ずる問題点は、これまでのところ解決されてい
ない、２枚のマスクを重ねると、方のマスクの不透明領
域が他方のマスクの透明ン１域を覆うことになる。

Ｃｔｉ　的〕 本発明の目的は、相互に移動　可能である透通り・：イ
射マーキングを与えることのできる装置を提供すること
である。

し発明の構成概要〕 本発明によると、顕微鏡などの光学器械において先の透
過による照射マーキングを与える装置が提供され、この
装置は各個がブロック領域と各ブロック領域に延在する
マーキング領域とを有しかつ重ねられて相互に移動可能
な２個の部材を有しブロック領域は相互に組み合ってこ
れらの領域に入射する殆どすべての光が前記部材を通過
するのを阻止し、また各部材のマーキング領域は他の部
材のブロック領域と組み合い該マーキング領域に入射す
る少なくとも１部の光は前記部材を透過しこれにより光
の透過による照射マーキングが生成し、また前記部材の
相対移動によりマーキングは相対移動される。

本発明の　１実施態様においては、ブロック領域が与え
られ、該ブロック領域は交互に配置された複数本の不透
明細片（帯）と透明細片（帯）とを有し、一方のブロッ
ク領域の不透明細片は他方のブロック領域の透明細片と
一般に整列され、また前記他方のブロック領域の不透明
細片は前記一方のブロック領域の透明細片と一般に整列
される。

前記部材の不透明細片の幅は透明細片の幅と同しであっ
てよいが、好ましくは各部材の不透引細片がその縁部に
沿って相互に重なるよう、前記部材の不透明細片の幅は
透明細片の幅よりも僅かに広くされる。これにより、各
部材の隣り合う不透明細ノ１の間を透過する光が排除さ
れる。

この実施態様においては、部材のマーキング領域は部材
の各不透明細片における断続ないし透明間隙により形成
される。該断続は、好適には一般に直線状の連続をなす
ことが好ましい。

不透明細片が一般に直線状に延在する場合、前記部材は
相互に直線移動するよう取り付けられ、また不透明細片
が一般に円状に延在する場合、前記部材は相与に回転移
動するよう取すイ」けられる。

本発明の別の実施態様においては、ブロック領域は互い
に重ならない異なる光の透過帯を具えたフ１ルタを有す
る。マーキング領域は、フィルタ内の透明の切抜きの形
をなしている。

本発明の更に別の実施態様においては、ブロック領域は
直交偏光フィルタを有する。マーキング領域はフィルタ
内の透明の切抜、２の形をなしている。

本発明の更に別の実施態様においては、ブロック領域は
そこに入射する白色光のある特定割合部分を透過させる
フィルタを有する。マーキング領域は、フィルタ内の透
明の切抜の形をなしている。フィルタの光の透過特性は
、好ましくは略々１０バーセントであり、このため入射
光の１０パーセントがマーキング領域を透過され、また
２つのブロック領域が重なる個所で、入射光の１パーセ
ントが透過される。

本発明のその他の特徴、利点などは、添付図面に示す種
々の実施例についての以下の説明から明らかとなるであ
ろう。

〔実施の態様〕

本発明装置の第１実施態様において第１図および第２ａ
図に示される第１実施例によると、透明の板１０．１２
である２枚の部材上に不透明の細片１４が配置される。

板１０．１２は、細片１４が配置されている面か互いに
向き合うよう、重ねて取り１・ｊけられる（第１図参照
）。細片１４は一般に直線状であり、互いに平行で離間
し、透明の細片１６を画定している。２枚の板１０．１
２は、板１２の不透明の細片１４が板ｌＯの透明の細片
１６と整列してこれを覆い。

また板１０の不透明の細片１４が板１２の透明の細片１
６と整列し−にれを覆うようにして重ねられる。

各板の上にあって交互に透明そして不透明となる上記細
片はブロック領域を形成し、このブロック領域は、　２
枚の板が重ねられた時に、そこに入射する光のほとんど
全ては２枚の板を透過することを阻止されるようなもの
である。各板は、更にマーキングライン１８の形をした
マーキング領域を有する。各マーキングラインは、前記
不透明の細ノ１における一連の不連続部分を有する。そ
して該ラインは、一般に細片の長袖を横切る方向に直線
状に延びる。

不透明の細片１４が不連続となるライン１８に沿った位
置においてのみ、光は重なる２枚の板を透過することが
てきる。不透明および透明の細片の長さに沿ったいずれ
かの方向に２枚の板を相互に移動させるよことにより、
このような光の透過による照射マーキングの相互の移動
が可能とさ、れる。

このようなマークが光学器械、例えば顕微鏡内に入射さ
れると、第３ａ図に示す破線状のマーキンゲラ・ｒン１
８が生じ、これは例えば検査される対象−物の４離測定
に用いることかできる。

前記２枚の板の上に配置される不透明の細片１４は透明
の細片よりも僅かに幅が広く、このため一方の板に配置
された不透明の細片の各個は、他方の板に配置されたそ
れと隣り合う不透明の細片とその縁部に沿って僅かに重
なり合う。これにより、不透明の細片の長手方向の縁部
に沿って光が装置を透過するのか阻止される。

第２ｂ図は他の実施例を表わし、この場合２枚の板はマ
イクロ硬度試験のためのマーキングライン１８を有する
。このマーキングラインは、Ｖ字状に延在し、光の透過
による照射マーキングが第９ｂ図に表わされる。

重ねられる３枚以上の板を有する装置を用いることがｕ
ｆ能である。この実施例が第３図および第４図に示され
、この場合３枚の重ねられた板が３個のマーキングを生
成し、各マーキングは他のマ−キングに対して移動可能
である。ガラス板１０゜１２は、薄板又はフィルム１３
の両側に夫々配置される。透明の細片１６は、不透明の
細片１４の略々２倍の幅を有する。３枚の板のうちの第
１の板の不透す１の細片と、第２の板の不透明の細片と
は組合わされて第３の板の透明の細片を覆う。この構成
により生成されるマーキングライン１８が第９Ｃ図に表
わされ、各マーキングライン１８は他のマーキング細片
１４と透明の細片１６とを具えた２枚の板を有する。こ
の２枚の板は正ねられ、各板の細片は前述した第１の実
施例の場合と同様に相互に補足し合う。

光の透過による照射マーキングが相互に動かされるとき
、重なる２枚の板は２組の円形の細片の中心な通る軸の
回りを相互に回転される。これにより、マーキンゲラ・
イン１Ｂ’、１８”は相互に回転される。光の透過によ
る照射マーキングは第８ｄ図に示される。この型の装置
は、角度を測定するのに用いられる。

本発明の装置の第２の実施態様は、各個が異なるカラー
フィルタを有する２枚の板から成る（第６図〜第８図参
照）。第６図に示されるように、板１０のカラーフィル
タは緑色の光を透過させる一方、板１２のカラーフィル
タは赤色の光を透過させる。これらのフィルタは、それ
ぞれのプロ・ンク領域を与える。各カラーフィルタは、
白色の光を透過させるマーキングライン１８の形でマー
キング領域を有する。　２枚の板が重ねられると、板１
２におけるマーキンゲラ・イン１８に対応する光の透過
によるマーキングは緑色に現われる一方、板１０におけ
るマーキングライン１８に対応する光の透過によるマー
キングは赤色に現われる。第８ａ図〜第９ｄ図に示すマ
ーキングとは対照的に、２枚の板を動かすことにより相
Ｖに移動され得る光の透過によるマーキングは連続的で
ある。

異なる色のマーキングが、カラーフィルタの使用者にと
って好ましくない場合には、相互に近く隣接した光の透
過帯を具えたカラーフィルタが選択される。緑色の光の
透過帯を具えたフィルタが、第７図に示される。相互に
密接した光の透過帯は、干渉フィルタを利用して容易に
形成される。

本発明の第２実施態様による装置においては、２枚の板
の相対移動の方向ｌ±、板上の細片のノくターンによっ
ては定められない。

本発明の装置の第３実施態様によると、板１０゜１２の
形をしたブロック領域は、第１０図に示されるように偏
光フィルタを有する。２枚のフィルタの偏光の方向は互
いに直交し、このため′２枚の板が重ねられた時に、光
は板を透過することができない。各板は、偏光効果を有
しない透明の間隙１８の形をしたマー、キング領域を有
する。このため、本装置における光の透過によるマーキ
ングは、互いに直交するそれぞれの方向に偏光される光
から成る。

本発明の装置の第４実施態様によると、　２枚のｋ　Ｉ
ｎ−１２Ｌ±、ｉｌ１図に示されるように、中性フィル
タの形でブロック領域を宥する。これらのフィルタはそ
れぞれ、例えばｌＯパーセントの透過率を有する。マー
キングライン１日の形をしたマーキング領域は、略−？
１００パーセント透明である。　２枚の板が重ねられる
と、マーキングラインは１０パーセ〉・トの透過率を有
する一方、フィルタの残部には　１パーセントの透過率
が適応する。結果として、マーキングラインは低い照度
を有する。なお、本実施態様は相互に移動される３個以
上のマーキングを生成するのには好適ではない。しかし
、この実施態様の製作コストは低い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施態様における第１実施例装置
の板を示す側面図、第２図は第１実施例装置の離間させ
た２枚の板を示す平面図、第２ｂ図は第１実施態様の、
第２実施例を示す平面図、第３図は第１実施態様の第３
実施例を示す側面図、第４図は第３図に示す実施例の離
間させた３枚の板を示す平面図、第５図は第１実施態様
の更に別の実施例の離間させた２枚の板を示す平面図、
第８図および第７図は本発明の第２実施態様装置のそれ
ぞれ１対の板の光の透過を示す図、第８図は本発明の第
２実施態様装置の離間させた２枚の板を示す平面図、第
９ａ図〜第８ｄ図は第１図〜第５図に示す板で得られる
種々のマーキングパターンを示す図、第１０図は本発明
の第３実施態様装置の離間させた２枚の板を示す平面図
、第１１図は本発明の第４実施態様装置の離間させた２
枚の板を示す平面図である。 １０．１２・・・・・・・・・・・・・・・板１３　・
・・・・・・・・・・・・・・・・・　薄板又はフィル
ム１４　・・・・・・・・・・・・・・・・・・　不透
明の細片１６　・・・・・・・・・・・・・・・・・・
　透明の細片１８、１８′、１８　″・・・　マーキン
グライン出願人　ラニー・ライへルトーオプティシェ・
つ゛エルグ・アーゲー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ〕顕微鏡などの光学器械において光の透過による照射
   マーキングを与える装置であって、各個がプロ・ツク諭
   域と各ブロック領域を通るマーキング領域とを有し、重
   ねられて相互に移動し得る２個の部材を有し、ブロック
   領域は相互に組み合ってこれらの領域に入射する殆どす
   べての光が前記部側を通過するのを阻屯し、また各部材
   のマーキング領域は他の部材のブロック領域と組み合い
   、該マーキング領域に入射する少なくとも１部の光は前
   記部材を透過され、これにより光の透過による照射マー
   キングが生成され、また前記部材の相対移動によりマー
   キングは相対移動されるようにしたことを特徴とする光
   透過照射マーキング装置。 ２）前記部材は板であり、一般に互いに対面させて配置
   される特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ３）前記マーキング領域は一般に細長い特許請求の範囲
   第１項に記載の装置。 ４）各ブロック領域は交互に配置された複数本の不透明
   細片ど細長い透明領域とを有し、一方のブロック領域の
   不透明細片は他方のブロック領域の透明領域と一般に整
   列され、また前記他方のプロ・ンク領域の不透明細片は
   前記一方のブロック領域の透明領域と一般に整列される
   特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ５）部材の各マーキング領域は一般に不透明細片の長さ
   を横切る方向に延びて各不透明細片内に断続箇所を有し
   、光の透過による照射マーキングは破線の形で生成され
   る特許請求の範囲第４項に記載の装置。 ６）−方の部材の１本の不透明細片はその縁部に沿って
   他力の部材上のそれと隣り合う２木の不透明細片と重な
   り、不透明細片の縁部に近い領域において光が前記部材
   を透過するのが阻止される特許請求の範囲第４項に記載
   の装置。 ７）各部材の不透明細片および透明領域は一般に直線状
   に延び、？ｆｉｉ記部材は細片の長袖に沿って相対移動
   するよう、一般に各部材の細片を互いに平行にして取り
   伺けられる特許請求の範囲第４項に記載の装置。 ８）各部材の不透明細片および透明領域は一般に同心円
   状に延び、前記部材はその同心円の中心を通る軸の回り
   を相互に回動し得るよう取り付けられる＃詐請求の範囲
   第４項に記載の装置。 ９）前記２枚の部材と重なり且つ前記２枚の部材ど相対
   的に移動し得る第３の部材を有する特許請求の範囲第４
   項に記載の装置。 １０）各部材の透明領域は、それぞれ一般的に他の２枚
   の部材の不透引細片と整列される特許請求の範囲第９項
   に記載の装置。 １１）各部材のブロック領域は、互いに重ならない異な
   った透過帯を具えたフィルタを有する特許請求の範囲第
   １項に記載の装置。 ：　２　）　＋ｉｉｊ記部材のブロック領域は直交して
   偏光されるフィルタを有する特許請求の範囲第１項に記
   載の装置。 １３）前記部材のブロック領域は、それに入射する白色
   光の特定割合Φ≠ヰ部分を透過させるフィルタを有する
   特許請求の範囲第１項に記載の装置。 １４）フィルタはそれに入射する光の略々１０ツク−セ
   ントを透過させる特許請求の範囲第１３項に記載の装置
   。