JPS6033510A - 立体光回路およびその製造方法 - Google Patents
立体光回路およびその製造方法Info
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- JPS6033510A JPS6033510A JP14257783A JP14257783A JPS6033510A JP S6033510 A JPS6033510 A JP S6033510A JP 14257783 A JP14257783 A JP 14257783A JP 14257783 A JP14257783 A JP 14257783A JP S6033510 A JPS6033510 A JP S6033510A
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- Japan
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- ultraviolet light
- light
- monomer
- irradiated
- polymer
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/138—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光ファイバとの接続が容易な円形の光導波路を
有する三次元的な光導波回路およびその製造方法に関す
るものである。
有する三次元的な光導波回路およびその製造方法に関す
るものである。
（従来技術）
従来この補光導波路は低屈折率の高分子フィルムに高屈
折率の単量体を光導波路パターンに応じて含浸２重合す
る方法で得たり、もしくは光学結晶に光導波路パターン
に適応した形に高屈折率の金属イオンなど全拡散する方
法で得るなどしていた。そのため、光導波路は平面的配
置となっており高集積化ができない。また光導波路の断
面が矩形であり、光フアイバコアとの接続損失が大きい
などの欠点ゲイエしている。また円形の光ｌり波路断面
が得らｒしる特開昭５７−１２８３０１などに示されて
いるように、感光性の単量体に光ビームヶ照射し、円柱
状のコアＦｉ（分全重合、形成した後クラツディングし
全体を固めるという方法では、微細なパターンで長いコ
アが形成さｎた場合、自立ができない、傾いてし−まい
位置が不正確となる等の欠点を有していた。
折率の単量体を光導波路パターンに応じて含浸２重合す
る方法で得たり、もしくは光学結晶に光導波路パターン
に適応した形に高屈折率の金属イオンなど全拡散する方
法で得るなどしていた。そのため、光導波路は平面的配
置となっており高集積化ができない。また光導波路の断
面が矩形であり、光フアイバコアとの接続損失が大きい
などの欠点ゲイエしている。また円形の光ｌり波路断面
が得らｒしる特開昭５７−１２８３０１などに示されて
いるように、感光性の単量体に光ビームヶ照射し、円柱
状のコアＦｉ（分全重合、形成した後クラツディングし
全体を固めるという方法では、微細なパターンで長いコ
アが形成さｎた場合、自立ができない、傾いてし−まい
位置が不正確となる等の欠点を有していた。
（発明の目的）
本発明はこれらの欠点を除去するために提案さｎ、たも
ので、光導波路が円形断面を有する立体回路のコア部分
とクラッド部分を同時に製造用油とする構造ならびに方
法を提供することを目的とする。
ので、光導波路が円形断面を有する立体回路のコア部分
とクラッド部分を同時に製造用油とする構造ならびに方
法を提供することを目的とする。
（発明の構成）
上記の目的ケ達成するため、本発明は円形断面を有し、
三次元的な配列パターンや導波路構造を廟する光導波路
が均質基体中に屈折率分布構造をもって配置することを
特徴とする立体光回路ケ発明の安旨とするものである。
三次元的な配列パターンや導波路構造を廟する光導波路
が均質基体中に屈折率分布構造をもって配置することを
特徴とする立体光回路ケ発明の安旨とするものである。
をらに不発明は中量体を生成分とする混合液体中に〃；
板を置き、前Ｒｒ、液体の表面欠強度の小さい紫外光と
必安な形状にパターン化された強！！Ｖの大さい紫外′
／Ｌとの２光で同時に照射１７ながら、前り弓基板を徐
々に液体中に沈めてゆくことにエリ、強度の小さい紫外
光が照射した部分の単量体ケゲル化させ、同時に強度の
大きい紫外光の照射さｎ、た部分の単量体を固化１−だ
重合物とした後、前記混合液体中エリＩｆ）／り出し、
前記牟楢体よりも屈折率の小さな単債体會含浸させ、紫
外光葡全面露尤するかもしくは加熱して完全に重合させ
ることを特徴とする立体光回路の製造方法ケ発明の９旨
とするものである。
板を置き、前Ｒｒ、液体の表面欠強度の小さい紫外光と
必安な形状にパターン化された強！！Ｖの大さい紫外′
／Ｌとの２光で同時に照射１７ながら、前り弓基板を徐
々に液体中に沈めてゆくことにエリ、強度の小さい紫外
光が照射した部分の単量体ケゲル化させ、同時に強度の
大きい紫外光の照射さｎ、た部分の単量体を固化１−だ
重合物とした後、前記混合液体中エリＩｆ）／り出し、
前記牟楢体よりも屈折率の小さな単債体會含浸させ、紫
外光葡全面露尤するかもしくは加熱して完全に重合させ
ることを特徴とする立体光回路の製造方法ケ発明の９旨
とするものである。
次に本発明の実施例を添付図ｉ１１について説明する。
なｈ−一実施例一つの例示であって、本発明の精神ヶ逸
脱しない範囲で、種々の変更あるいは改良を行いうるこ
とは言う葦でもない。
脱しない範囲で、種々の変更あるいは改良を行いうるこ
とは言う葦でもない。
第１図は不発明による製造法の一実施例を示す。単量体
混合液ｌの中に浸した基板２’ｋｌ下への送り機構の付
属した支持棒３により保持する。単量体混合液１は単量
体の他に必要に応じて光感度が低い場合には光増感剤、
重合した立体光１す１路會浴媒に不溶とするためＶＣは
架橋剤等が混入さ１１でいる。強度の小さな紫外光４は
鏡５にエリ単に坏混合１１ダｌの液面に照射される。
混合液ｌの中に浸した基板２’ｋｌ下への送り機構の付
属した支持棒３により保持する。単量体混合液１は単量
体の他に必要に応じて光感度が低い場合には光増感剤、
重合した立体光１す１路會浴媒に不溶とするためＶＣは
架橋剤等が混入さ１１でいる。強度の小さな紫外光４は
鏡５にエリ単に坏混合１１ダｌの液面に照射される。
同時に強度の大きな紫外光６は鋭７により単量体混合液
ｌの液面に照射妊ｎる。この時基板２會徐々に単量体混
合液ｌ中に沈めて（均くことにエリ車合物が生成する。
ｌの液面に照射妊ｎる。この時基板２會徐々に単量体混
合液ｌ中に沈めて（均くことにエリ車合物が生成する。
重合物のうち強度の小さい紫外光４に照射さｔ′１．友
部分は重合が十分には行なわれずグル８どなる１、−ニ
ドだ強度の大きい紫外光６にエリ照射さｒｒ友部分は重
合がより進んだ重合体９となる。次にこの重合物音単量
体混合液１より取り出し、単量体混合液１中の単量体よ
りも小さい屈折率を有する他の早計体中に浸して未反応
の高屈折率の単量体と低屈折率の単量体との交換を行う
。
部分は重合が十分には行なわれずグル８どなる１、−ニ
ドだ強度の大きい紫外光６にエリ照射さｒｒ友部分は重
合がより進んだ重合体９となる。次にこの重合物音単量
体混合液１より取り出し、単量体混合液１中の単量体よ
りも小さい屈折率を有する他の早計体中に浸して未反応
の高屈折率の単量体と低屈折率の単量体との交換を行う
。
この時、重合体９０重合の程度全調整することにエリ、
重合体９中に屈折率分布ケ付けることが可能であり、−
また完全に車台が終了してい扛ば重合体９全体全同一屈
折率とすることも可能である。交換の終了した重合物は
単縫体中より取り出し、加熱イ・シくに紫外光の全面露
光に工り完全に重合を行い、基板より取りはずして立体
光回路とす／）。また紫外光の露光重合時、り重ＩＷの
大きな紫外光６ケ走査、拡大、縮小することにより任意
の形状の立体光回路とすることも可能である。
重合体９中に屈折率分布ケ付けることが可能であり、−
また完全に車台が終了してい扛ば重合体９全体全同一屈
折率とすることも可能である。交換の終了した重合物は
単縫体中より取り出し、加熱イ・シくに紫外光の全面露
光に工り完全に重合を行い、基板より取りはずして立体
光回路とす／）。また紫外光の露光重合時、り重ＩＷの
大きな紫外光６ケ走査、拡大、縮小することにより任意
の形状の立体光回路とすることも可能である。
また本発明によるｆｌｌＪの製造方法は次のＪハＪりで
ある。第１図に示した製造方法にエリ製作した基板２に
のったゲル８および重合体９ヶ単量体混合液ｌ工り敗り
出す。この重合物耐乾燥しない様な条件下、たとえば密
閉系、単量体混合液ｌと同−椿量体の雰囲気中等に一定
時間放瞳し、単量体混合液ｌ工り収り出しｆｃ時点にお
いてはゲル８中が密であった未反応単量体音拡散させ、
ゲル８中と重合体９中の未反応Ｍ？蓋体の分布を同一と
した後、加熱もしくは紫外光の全面露光に、Ｃり完全に
重合ケ行い基板エリ敗りはずして立体光回路とする。
ある。第１図に示した製造方法にエリ製作した基板２に
のったゲル８および重合体９ヶ単量体混合液ｌ工り敗り
出す。この重合物耐乾燥しない様な条件下、たとえば密
閉系、単量体混合液ｌと同−椿量体の雰囲気中等に一定
時間放瞳し、単量体混合液ｌ工り収り出しｆｃ時点にお
いてはゲル８中が密であった未反応単量体音拡散させ、
ゲル８中と重合体９中の未反応Ｍ？蓋体の分布を同一と
した後、加熱もしくは紫外光の全面露光に、Ｃり完全に
重合ケ行い基板エリ敗りはずして立体光回路とする。
以下実姉例に従い具体的に説明する。
（実施例１）
単量体混合液１としてフェニルメタクリレート及び少量
のフェニルメタクリレートポリマ及ヒ少量の増感剤のベ
ンゾインイソプロピルエーテルを混合１−だ液を用い、
強１す゛の犬さい紫外光６として８０μｍφのビームス
ポット全１２ケ、紫例光６と紫外光４の強ｔす死金２．
５として重合ケ行い、次にメナルメタクリレートを含浸
させ、第２図（ａ）に示す形状のステップ型コアを有す
る立体光回路ケ得た。
のフェニルメタクリレートポリマ及ヒ少量の増感剤のベ
ンゾインイソプロピルエーテルを混合１−だ液を用い、
強１す゛の犬さい紫外光６として８０μｍφのビームス
ポット全１２ケ、紫例光６と紫外光４の強ｔす死金２．
５として重合ケ行い、次にメナルメタクリレートを含浸
させ、第２図（ａ）に示す形状のステップ型コアを有す
る立体光回路ケ得た。
（実施例２）
＄量体混合液ｌとしてベンジルメタクリレート及び少量
の増感剤のペンゾインエナルエーテル及び少量の架橋剤
のエチレングリコールジメタクリレート全混合した液を
用い、強度の犬さい紫外光６を８ヶ３２０μｍφから１
６０μｍφのビームスポットにズーミングしながら紫外
光６と紫外光４の強ａ比を４として重合全行い、次にト
リフロロエテルメタクリレートを含浸させ、第２図（ｂ
）に示す形状のグレーデッド型コアヶ有する立体光回路
を得た。
の増感剤のペンゾインエナルエーテル及び少量の架橋剤
のエチレングリコールジメタクリレート全混合した液を
用い、強度の犬さい紫外光６を８ヶ３２０μｍφから１
６０μｍφのビームスポットにズーミングしながら紫外
光６と紫外光４の強ａ比を４として重合全行い、次にト
リフロロエテルメタクリレートを含浸させ、第２図（ｂ
）に示す形状のグレーデッド型コアヶ有する立体光回路
を得た。
（実施例３）
単量体混合液１としてスチレン及び少量の増感剤のベン
ゾインイソプロピルエーテル及び少量の架橋剤のジビニ
ルベンゼンケ混合した液を用い、５０ｐｍφの強度の大
きい紫外光６．３本を移動させながら紫外光６と紫外光
４０強度比會８として重合全行い、混合液中より取り出
した重合物をスチレン雰囲気中で１６時間保持した後完
全に重合させ第２図（ｅ）に示すステップ型コアを有す
る３分岐の立体光回路ケ得た。
ゾインイソプロピルエーテル及び少量の架橋剤のジビニ
ルベンゼンケ混合した液を用い、５０ｐｍφの強度の大
きい紫外光６．３本を移動させながら紫外光６と紫外光
４０強度比會８として重合全行い、混合液中より取り出
した重合物をスチレン雰囲気中で１６時間保持した後完
全に重合させ第２図（ｅ）に示すステップ型コアを有す
る３分岐の立体光回路ケ得た。
（発明の効果）
以上説明（ッたように、本発明による立体光回路は円形
の光導波路断面を有し、立体的に配置している１ｃめフ
ァイバとの結合効率が浪り、集積度も犬であるという利
点がある。また本発明に、【るＭ ＆方法ＶＣ，１：
ｎば、光導波路部分とその支持部分ケ同時に製造するた
め微細な′＃、＃波路部分であつ−Ｃも配列が乱れるこ
となく、簡単な装置および中段で製造でさるという利点
がある。
の光導波路断面を有し、立体的に配置している１ｃめフ
ァイバとの結合効率が浪り、集積度も犬であるという利
点がある。また本発明に、【るＭ ＆方法ＶＣ，１：
ｎば、光導波路部分とその支持部分ケ同時に製造するた
め微細な′＃、＃波路部分であつ−Ｃも配列が乱れるこ
となく、簡単な装置および中段で製造でさるという利点
がある。
さらに本発明による立体光回路の製造方法では露光乗件
７変えることＶＣより容易にクレーデッド型、ステップ
型の光導波路を得ることができるという利点がある。
７変えることＶＣより容易にクレーデッド型、ステップ
型の光導波路を得ることができるという利点がある。
第１図は本発明による製造方法の一構成例、第２図は本
発明による立体光回路の実施例を示す。 １・・・・・・単量体混合液 ２・・・・・・基板３・
・・・・・支持棒 ４・・・・・・紫外光５・・・・・
・鏡 ６・・・・・・紫外光７・・・・・・鏡 ８・・
・・・・ゲル９・・・・・・重合体 特許出願人 日本電信電話公社
発明による立体光回路の実施例を示す。 １・・・・・・単量体混合液 ２・・・・・・基板３・
・・・・・支持棒 ４・・・・・・紫外光５・・・・・
・鏡 ６・・・・・・紫外光７・・・・・・鏡 ８・・
・・・・ゲル９・・・・・・重合体 特許出願人 日本電信電話公社
Claims (3)
- （１）円形断面ケ有し、三次元的な配列パターンや轡波
路構造孕有する光導波路が均質基体中に屈折率分布構造
ケもって配置することを特徴とする立体光回路。 - （２）単）ｄ体ケ主成分とする混合液体中に基板を置き
、前記液体の表曲會強度の小σい紫外光と必快な形状に
パターン化された強ＩＷの大きい紫外光との２光で同時
に照射しながら、前記基板全組々に液体中に沈めてゆく
ことにエリ、強度の小さい紫外光が照射１７た部分の単
量体をゲル化さ一１ｔ、同時に強度の大きい紫外光の照
射された部分の単量体を固化ｌ〜だＭ会物とした後、前
記混合液体中より敗り出し、前記単量体エリも屈折率の
小さな単量体を含浸させ、紫外光全全面露光するかもし
くは加熱して完全に重合させること？！１″特徴とする
立体光回路の！！！造方法。 - （３） 前ｉ己特計に請求の帷囲第２１０に吐いて、混
合液体中より取り出Ｉ、たケル１？１び中介物を一定時
間放１ｉＫＬ、１１１合物中寂工びゲル中ＶＣ含１ｖる
末文［６モノマの分布會均−とした後、紫外光全全面露
光するかもしくは加熱【７て完全に重合させること全特
徴とする立体光回路の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14257783A JPS6033510A (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | 立体光回路およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14257783A JPS6033510A (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | 立体光回路およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033510A true JPS6033510A (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=15318547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14257783A Pending JPS6033510A (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | 立体光回路およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033510A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0378853U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-09 |
-
1983
- 1983-08-05 JP JP14257783A patent/JPS6033510A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0378853U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-09 |
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