JPS6032651Y2 - レ−ザ−光導入装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はレーザ光導入装置に関する。

薄膜光導波路などの検査において、レーザ光は上記光導
波路上に設けたプリズムカプラまたは回折格子を介して
所定の入射角範囲で導入される。

しかし、従来の導入装置では、上記プリズムカプラの入
カブリズムまたは上記回折格子への入射角を変えると、
上記人カブリズムまたは上記回折格子への入射点が変動
し、そのような入射点の変動に応じて上記プリズムカプ
ラの位置を変えるとともに、受光側装置の配置などを大
幅に変える必要があった。

この考案は上記従来の欠点を解消し、レーザ光導入装置
を提供することを目的とする。

この考案は、上記目的を遠戚するために被照射体、たと
えば薄膜光導波路を載せるテーブルと、上記テーブル面
よりも上方にあってテーブル面から所定の高さに入射す
る光を上記テーブル面上へ反射させるミラーと、そのミ
ラーを支持してその反射面をテーブル面に対して所定の
角度範囲内で回動させるミラー角度調整装置とを備え、
そのミラー角度調整装置における上記回動の中心を、ミ
ラーの各回動位置における各反射面を含む各平面の交線
上に設けたことを特徴としている。

この考案は次に説明する入射角調節原理に基づいてなさ
れたものである。

以下、この考案のレーザ光導入装置において、導入すべ
き光をテーブル上の所定点に入射させ得る上記入射角調
節原理について説明する。

第１図に示すように、薄膜光導波路３はテーブル４上に
載せられ、入カブリズム２ａを介して入射光を導入し出
カブリズム２ｂより出力する。

光導波路３の水平面を基準とした、入カブリズム２ａの
頂点Ａのまわりの角度θ１と０２の間の範囲で入射角を
変えるものとする。

レーザ光源よりの光は導波路３の水平面より所定の高さ
で、かつ、はぼ平行に導入される。

入射角θ１の光を入カブリズム２ａに導入する場合、上
記レーザ光源の光はミラー１のａ点においてＡ□の角度
をなして反射され、また入射角θ２の光を導入する場合
、鳥点において角度Ａ２をなして反射される。

そこで、Ｂ１点を通り、角度Ａ１の二等分線に垂直な直
線と、ら点を通り、角度Ａ２の二等分線に垂直な直線と
の間の交点Ｃは一意的に定まる。

すなわち、入射角θ、からθ２の間におけるミラー１の
各反射面は、その延長上において上述の交点Ｃを含み、
紙面に直交する直線で交叉する。

従ってこの０点を含む上述の直線を上記ミラーを回転中
心とし、十分広い反射面積をもつ上記ミラーを回動させ
れば、θ１から０２の間のいずれかの入射角の入射光を
入カブリズム２ａの頂点Ａに集光させることができる。

次に、この考案の実施例を第２図に従い説明する。

第２図はこの実施例の側面図であり、第１図と同一部分
については同一番号を付し説明する。

レーザ光源からの光は、テーブル４の水平面より所定の
高さで、かつほぼ平行にミラー１に入射される。

被照射体を載せるテーブル４は調節装置１１によってＸ
、 Ｙ、 Ｚ方向に微調節することができる。

本体８の側面内の支持点９を軸として回動し、傾斜面に
ミラー１が固定されたミラー支持部１２は、ミラー１の
面とテーブル４の面との間に鋭角を猛威して傾斜してい
る。

支持点９の位置は、上述の入射角調節原理において説明
した点Ｃの位置に対応するものであり、テーブル４上に
載せた光導波路３上の入カブリズム２ａへの入射角の上
限θ１ と下限θ２から決まる。

ミラー１の水平方向とほぼ平行な平板からなる当接部７
がミラー支持部１２と一体に猛威されている。

マイクロメータヘッド５は固定部１３によって、その胴
部が本体８の側面に固定されている。

当接部７とミラー支持部１２はばね１０を介して連結さ
れ、マイクロメータヘッド５のスピンドル６は当接部７
に当接する。

マイクロメータヘッド５はスピンドル６の移動によって
当接部７を力点とし、かつ支持点９を軸としてミラー支
持部１２を回動させる。

次に、上記実施例の使用方法について説明する。

被照射体の薄膜光導波路３をプリズムカプラ２ａと２ｂ
とともにテーブル４上に載せ、第１図の０１から０２の
間の任意の入射角で光を導入する場合、マイクロメータ
ヘッド５によってその入射角に対応した傾斜位置にミラ
ー支持部１２を回動する。

この傾斜位置設定後レーザ光を導入して入カブリズム２
ａの頂点Ａに集光するようテーブル４を移動する。

次に、入カブリズム２ａの位置をそのままにして、θ１
から０２の範囲で上記入射角に対して他の入射角に変え
る場合、スピンドル６の移動量を調節し、ミラー支持部
１２の傾斜角を変えることにより他の入射角に設定する
ことができる。

このとき、上述の入射角調節原理に基づき、新たな入射
光は頂点Ａにおいて集光される。

以上のように、この考案によれば、レーザ光源、測定系
装置などを移動させることなく、マイクロメータヘッド
などの調節装置の操作によって簡単に入射角を変えるこ
とができるから、先導波路などへのレーザ光導入を精密
かつ能率的に行い得るレーザ光導入装置を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案における入射角調節原理を説明するた
めの原理図である。 第２図はこの考案の実施例を示す側面図である。 １・・・・・・ミラー、２ａ＊２ｂ・・・・・・プリズ
ムカプラ、３・・・・・・薄膜光導波路 ４・・・・・
・テーブル、５・・・・・・マイクロメータヘッド、６
・・・・・・スピンドル、７・・・・・・当接部、９・
・・・・・支持点、１２・・・・・・ミラー支持部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被照射体を載せるテーブルと、上記テーブル面よりも上
   方にあってテーブル面から所定高さに入射する光を上記
   テーブル面上へ反射させるミラーと、そのミラーを支持
   してその反射面を上記テーブル面に対して所定の角度範
   囲内で回動させるミラー角度調整装置とを備え、上記ミ
   ラー角度調整装置における上記回動中心を、上記ミラー
   の各回動位置における各反射面を含む各平面の交線上に
   設けたことを特徴とするレーザー光導入装置。