JPS6031153Y2 - ベリリユウム窓 - Google Patents

ベリリユウム窓

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JPS6031153Y2
JPS6031153Y2 JP15832081U JP15832081U JPS6031153Y2 JP S6031153 Y2 JPS6031153 Y2 JP S6031153Y2 JP 15832081 U JP15832081 U JP 15832081U JP 15832081 U JP15832081 U JP 15832081U JP S6031153 Y2 JPS6031153 Y2 JP S6031153Y2
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JP
Japan
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beryllium
window
extraction tube
circumferential groove
vessel wall
Prior art date
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Expired
Application number
JP15832081U
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English (en)
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JPS5864061U (ja
Inventor
藤三郎 市原
Original Assignee
日本真空技術株式会社
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、X線を発生する装置の器壁の内方の高真空
雰囲気から前記器壁の外方の大気圧雰囲気に、前記X線
を取出すために前記器壁に設けられた、前記高真空雰囲
気と前記大気圧雰囲気の境界を、前記器壁と共に形成す
る、ベリリュウム窓に関する。
かかるベリリュウム窓は、ベリリュウム酸の窓板を、そ
の主要構成要素とする。
ベリリュウムは、X線を実質上減衰なしに透過させるこ
とができるから、X線を発生する装置(例えば高真空雰
囲気内で飛行する物質粒子を、ターゲットに衝突させて
、これからX線を発生させるような高速粒子加速器)の
器壁に開口部を設けて、これをおおうように、ベリリュ
ウム酸の窓板を気密接着させて置けば、X線発生装置内
に維持させる高真空雰囲気を損うことなしに、X線が、
X線発生装置の外部の大気圧雰囲気に取出しできる。
このような構成のものが、一般にベリリュウム窓と称せ
られる。
従来のベリリュウム窓の実際上構成によれば、加速器な
どの器壁に、これから外方へ突出する銅製のX線取出し
管が取付けられ、この取出し管に、軸線方向外向きの周
突縁を有するフランジが設けられている。
周突縁で囲まれたフランジの環状外面に、置きローがな
され、板状のベリリュウム窓板が、周突縁で囲まれるよ
うにかつ前記環状外面に接触するように配置させて、こ
の環状外面のところで、フランジにローは接着される。
加速器内からのX線は、取出し管の中を進行し、ベリリ
ュウム窓板を透過して、加速器の外部に出る。
しかるに、板状のベリリュウム窓板は、一般にその表面
が粗いので、ローのぬれが悪く、従ってロー付けによっ
ては気密接着が遠戚されない場合が多い、これを防止す
るために、ベリリュウム窓板の表面全体を研磨またはラ
ップ仕上げで平坦にすることが考えられるが、これは、
実際上極♂で困難である。
従来の板状のベリリュウム窓板苓使用したベリリュウム
窓は、その気密性の点で、歩留りが高高50%であるに
過ぎない。
この考案は、このような従来のベリリュウム窓の欠点を
除去することを、目的とする。
この目的の遠戚のため、この考案のベリリュウム窓は、
このベリリュウム窓が、前記器壁に固定されかつこれか
ら外方へ突出するX線取出し管と、このX線取出し管に
取付けられるベリリュウム酸の窓板とからなり、前記X
線取出し管が、これの外端に設けられた銅製のフランジ
を有し、このフランジの外面に周溝が形成され、前記窓
板が、内向きにわん曲した周縁部を備え、この周縁部の
平坦に形成された端面、および前記周縁部の外側面の少
くとも前端部分、前記周溝の底面および外周面に、それ
ぞれロー付けで気密接着されていること、を特徴とする
以下、図面を参照しながら、この考案の実施例について
説明する。
図面において、1は、X線を発生できる高速粒子加速器
などの器壁を示し、この器壁1は、その内方の高真空雰
囲気12と、そ外方の大気圧雰囲気13との、境界を形
成する。
器壁1に設けられた開口2の周面には、器壁1から外方
へ突出する銅製のX線取出し管3の内端が、適当な手段
で気密固着される。
取出し管3の外端には、フランジが設けられ、このフラ
ンジ4は、その外面に形成された周溝5と、この周溝5
の外側に隣接して軸線方向外向きに延長する端縁6とを
、備える。
周溝5の外周面7′は、同じく符号7′で示される端縁
6の内周面に一致する。
フランジ4に取付けるべきベリリュウム酸の窓板7は、
板状のベリリュウム板の周縁部8を内向きにわん曲させ
たものからなり、周縁部8の端部は、周溝5の中にしっ
くりと嵌まる形状寸法を有する。
周縁部8の端面9は、研磨またはラップ仕上げで平坦に
形成される。
このように形成された窓板7は、例えば13mmの直径
および0.2〜0.3団の板厚を有する。
ベリリュウム窓を形成するには、窓板7の周縁部8の端
部がフランジ4の周溝5にはまり込むようにして、周縁
部8の端面9と周溝5の底面10、および周縁部8の外
側面の少くとも前端部分とこれに対向する周溝の外周面
7′が、それぞれ、ロー付け11によって気密接着され
る。
かくして形成された、X線取出し管3およびベリリュウ
ム酸の窓板7からなるベリリュウム窓は、器壁1と共に
、高真空雰囲気12と大気圧雰囲気13の境界を形成す
る。
以上の説明について、ベリリュウム酸の窓板7の形状に
ついては、言及しなかったが、これは、円形、楕円形、
かどを丸めた長方形などの、種種な形状でよい。
周溝5はもちろん、この形状に対応した形状を有する。
この考案のベリリュウム窓は、上述のように構成されて
いるので、ローのぬれを良くするための研磨またはラッ
プ仕上げによる平坦加工は、比較的幅のせまい周縁部8
の端面9だけに施されるだけであるから、難なく達成さ
れる。
従って、確実な気密接着が容易に得られる。
この気密接着はさらに、周縁部8の外周面の少くとも前
端部分と、これに対向する周溝5の外周面7′との間の
、ロー付けによ気密接着によって、援助される。
しかも、このロー付けによる気密接着は、端面9と底面
10との間ロー付けによる気密接着と、一緒に遠戚でき
る。
さらに、この考案によるわん曲したベリリュウム製窓板
は、平板のものより大気・真空間の差圧に対して強く、
従って同一面積の場合に平板より薄くできる。
【図面の簡単な説明】
図面は、この考案によるベリリュウム窓の1実施例の長
手断面図である。 図面において、1は器壁、3はX線取出し管、4はフラ
ンジ、5は周溝、7は窓板、7′は周溝の外周面、8は
窓板の周縁部、9は周縁部の端面、10は周溝の底面、
11はロー付け、12は高真空雰囲気、13は大気圧雰
囲気を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. X線を発生する装置の器壁の内方の高真空雰囲気から、
    前記器壁の外方の大気圧雰囲気に、前記X線を取出すた
    めに、前記器壁に設けられた、前記高真空雰囲気と前記
    大気圧雰囲気の境界を前記器壁と共に形成する、ベリリ
    ュウム窓において、前記べIJ IJニウム窓が、前記
    器壁に固定されかつこれから外方へ突出するX線取出し
    管と、このX線取出し管に取付けられるベリリュウム酸
    の窓板とからなり、前記X線取出し管が、これの外端に
    設けられた銅製のフランジを有し、このフランジの外面
    に周溝が形成され、前記窓板が、内向きにわん曲した周
    縁部を備え、この周縁部の平坦に形成された端面、およ
    び前記周縁部の外側面の少くとも前端部分が、前記周溝
    の底面および外周面に、それぞれロー付けで気密接着さ
    れていること、を特徴とするベリリュウム窓。
JP15832081U 1981-10-26 1981-10-26 ベリリユウム窓 Expired JPS6031153Y2 (ja)

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JP15832081U JPS6031153Y2 (ja) 1981-10-26 1981-10-26 ベリリユウム窓

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JPS5864061U JPS5864061U (ja) 1983-04-30
JPS6031153Y2 true JPS6031153Y2 (ja) 1985-09-18

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JP15832081U Expired JPS6031153Y2 (ja) 1981-10-26 1981-10-26 ベリリユウム窓

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JP2007051996A (ja) * 2005-08-19 2007-03-01 Ngk Insulators Ltd 電子線照射装置

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JPS5864061U (ja) 1983-04-30

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