JPS6029725A - 音響光学変調装置 - Google Patents
音響光学変調装置Info
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- JPS6029725A JPS6029725A JP58138458A JP13845883A JPS6029725A JP S6029725 A JPS6029725 A JP S6029725A JP 58138458 A JP58138458 A JP 58138458A JP 13845883 A JP13845883 A JP 13845883A JP S6029725 A JPS6029725 A JP S6029725A
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- beams
- laser beams
- splitter
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/11—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
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- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、実質的に平行な複数のレーザビームを光変調
する音響光学変調装置に関づる。
する音響光学変調装置に関づる。
本装置は、レーザ記録装置等において利用され、従来装
置としては、異る複数の情報により、１個の音響光学変
調器でレーザビームを同時に光変調し、ブラック回折の
１次光をそれぞれの情報毎に分けて取り出して記録部分
に導く装置が提案されている。
置としては、異る複数の情報により、１個の音響光学変
調器でレーザビームを同時に光変調し、ブラック回折の
１次光をそれぞれの情報毎に分けて取り出して記録部分
に導く装置が提案されている。
例えば、５個の情報を同時に記録部る場合には、り１１
図に示すように音響光学変調装置が知られている。第１
図において、信号源１がら発生ずる互イニ異る５個の画
信号Ｓ ｌ 、Ｓ２ ’、Ｓ３ 、Ｓ４及びＳ５と、５
個の高周波発振器２１，２２，２３．２４及び２５から
それぞれ発生ずる互いに異る周波数２５０Ｍｌ−１ｚ、
２２５ Ｍ ＨＺ、２００ Ｍ ＨＺ、 １７５Ｍ Ｈ
Ｚ及び１５０ＭＨｚの各高周波信号とを振幅変調器３１
，３２，３３，３４゜及び３５にそれぞれ印加して振幅
変調させる。そして、この振幅変調器３１〜３５の出力
４ｍ号である各搬送波周波数「えは、混合器４にて混合
されて、広帯域振幅器５にて増幅された後、音響光学変
調器９のトランスジューサ６に印加して超音波信号に変
換され、その超音波信号が音響光学媒体７の内部を伝搬
して、吸音材８に吸収される。
図に示すように音響光学変調装置が知られている。第１
図において、信号源１がら発生ずる互イニ異る５個の画
信号Ｓ ｌ 、Ｓ２ ’、Ｓ３ 、Ｓ４及びＳ５と、５
個の高周波発振器２１，２２，２３．２４及び２５から
それぞれ発生ずる互いに異る周波数２５０Ｍｌ−１ｚ、
２２５ Ｍ ＨＺ、２００ Ｍ ＨＺ、 １７５Ｍ Ｈ
Ｚ及び１５０ＭＨｚの各高周波信号とを振幅変調器３１
，３２，３３，３４゜及び３５にそれぞれ印加して振幅
変調させる。そして、この振幅変調器３１〜３５の出力
４ｍ号である各搬送波周波数「えは、混合器４にて混合
されて、広帯域振幅器５にて増幅された後、音響光学変
調器９のトランスジューサ６に印加して超音波信号に変
換され、その超音波信号が音響光学媒体７の内部を伝搬
して、吸音材８に吸収される。
そして、レーザ発振器１０から発生したレーザビーム１
１は、音響光学媒体７に入射すると、ｉｌｌ述した超音
波信号に応じて光変調される。その際、レーザビーム１
１が音響光学媒体７（より詳しくは、超音波信号の波面
）に対してブラック角０βで入射すると、直進する０次
光１２と、各搬送波周波数ｆｔに対応した１次回折光１
３１，１３２，１３３，１３４及び１３５となって媒体
７の対向側面から出射り′る。本装置では、このような
１次回折光１３１〜１３５を変調光として利用する。
１は、音響光学媒体７に入射すると、ｉｌｌ述した超音
波信号に応じて光変調される。その際、レーザビーム１
１が音響光学媒体７（より詳しくは、超音波信号の波面
）に対してブラック角０βで入射すると、直進する０次
光１２と、各搬送波周波数ｆｔに対応した１次回折光１
３１，１３２，１３３，１３４及び１３５となって媒体
７の対向側面から出射り′る。本装置では、このような
１次回折光１３１〜１３５を変調光として利用する。
しかしながら、各搬送波周波数ｆＬは、広いセ１シ域（
１５０〜２５０ＭＨ２）にわたって設定されており、一
方、トランスジューサ６の本体（圧電板）の厚さは、あ
る特定の値を有することから、入力インピーダンス（通
常＝５０Ω）のマツチングを広い帯域にわたって取るこ
とが不可能になって、マツチングずれを起こすことにな
り、結局、トランスジューサ６に印加される各搬送波周
波数「ｉは、その／ 多くが反射され、音響光学媒体７の内部で十分に超音波
信号に変換されず、この超音波信号どレーザビーム１１
との相互作用も不十分になっ”Ｃ，音響光学変調器９の
１次光１３１〜１３５の各出射レーザビームの光強度が
低下してしまう。この欠点は、前述した各搬送波周波数
「Ｌの事例では、第２図の反射損失特性で示されるよう
に、反射損失が−７６３〜−１４ｄ ３のように大きく
なってしまう。
１５０〜２５０ＭＨ２）にわたって設定されており、一
方、トランスジューサ６の本体（圧電板）の厚さは、あ
る特定の値を有することから、入力インピーダンス（通
常＝５０Ω）のマツチングを広い帯域にわたって取るこ
とが不可能になって、マツチングずれを起こすことにな
り、結局、トランスジューサ６に印加される各搬送波周
波数「ｉは、その／ 多くが反射され、音響光学媒体７の内部で十分に超音波
信号に変換されず、この超音波信号どレーザビーム１１
との相互作用も不十分になっ”Ｃ，音響光学変調器９の
１次光１３１〜１３５の各出射レーザビームの光強度が
低下してしまう。この欠点は、前述した各搬送波周波数
「Ｌの事例では、第２図の反射損失特性で示されるよう
に、反射損失が−７６３〜−１４ｄ ３のように大きく
なってしまう。
更に小人な欠点は、音響光学媒体７に入射するブラック
角θδ−αｉ／２（なお、αｉはＯ次光１２と各１次回
折光１３１〜１３５の聞き角度であり、媒体７の屈折率
をＮとすれば、媒体７中のブラック角θ８はθ８＝αｔ
／ ２ Ｎになる。）は、入射レーザビーム１１と音響
光学媒体７が空間的に一つの固定された配置になってい
ることから、最適な同右ｆｉ（ｆをもつことになる。し
かし、このブラック角０６−α＝／ ２は各搬送波周波
数ｆＬに対応して次式（１）に従い変化することから、
回折効率の低下、すなわち出射レーザビーム１３１〜１
３５の光強度が低下してしまう。
角θδ−αｉ／２（なお、αｉはＯ次光１２と各１次回
折光１３１〜１３５の聞き角度であり、媒体７の屈折率
をＮとすれば、媒体７中のブラック角θ８はθ８＝αｔ
／ ２ Ｎになる。）は、入射レーザビーム１１と音響
光学媒体７が空間的に一つの固定された配置になってい
ることから、最適な同右ｆｉ（ｆをもつことになる。し
かし、このブラック角０６−α＝／ ２は各搬送波周波
数ｆＬに対応して次式（１）に従い変化することから、
回折効率の低下、すなわち出射レーザビーム１３１〜１
３５の光強度が低下してしまう。
ｃｚｚ＝ｓｉｎ−’ （λ−ｆＡ／Ｖ）−−−（１）こ
こで、λはレーザビームの波長、及びＶは媒体７°中の
超音波音速である。
こで、λはレーザビームの波長、及びＶは媒体７°中の
超音波音速である。
この欠点についても前例で説明すれば、音響光学媒体中
のブラック角θらにおいて、搬送波周波数ｆ、 ＝ ２
００１ｙｌ Ｈｚを３３１１４にして、そのとぎのブラ
ック角θ８と、残りの各搬送波周波数ｆＡ＝ １５０Ｍ
１−ｌｚ 。
のブラック角θらにおいて、搬送波周波数ｆ、 ＝ ２
００１ｙｌ Ｈｚを３３１１４にして、そのとぎのブラ
ック角θ８と、残りの各搬送波周波数ｆＡ＝ １５０Ｍ
１−ｌｚ 。
１７５Ｍ Ｈｚ、２２５ Ｍ ＨＺ及び２５０Ｍ ＨＺ
において、ずれたブラック内入〇ＦＳ（−θ８．。−〇
８ｆ４）の比、寸なわら、（△θ８／θ６）に対する相
対的回折効率は第３図に示すように、Δ０８／θうが１
５０Ｍ １４ Ｚ及び５を示して、いずれも０．７のオ
ーダーまで低下し、基準値から約３０％も変イヒしてし
まう。
において、ずれたブラック内入〇ＦＳ（−θ８．。−〇
８ｆ４）の比、寸なわら、（△θ８／θ６）に対する相
対的回折効率は第３図に示すように、Δ０８／θうが１
５０Ｍ １４ Ｚ及び５を示して、いずれも０．７のオ
ーダーまで低下し、基準値から約３０％も変イヒしてし
まう。
また、本装置では、画信号ＳＬ の強度が同一であって
も、他の画信号Ｓ、、＝発生の有無により、画信号Ｓメ
による出射レーザビームの光強度を変動してしまう。こ
の欠点についても前例で説明ずれば、画信号Ｓ＋のみが
入力（ＯＮ）して、その他の画信号８２〜Ｓ５が＠１ｏ
ｒｒ）の場合ど、全ての画信号８１〜Ｓ５が入力＜ＯＮ
）した場合とでは、出射レーザビーム１３１の光強度は
第３図の相対的回折効率特性を参照して、前者の場合に
１００％×１０％＝７０％であり、後者の場合に１００
％×１／ ５ Ｘ ７０％＝１４％であり、相対的光強
度差が７０％〜１４％＝５６％にもなってしまう。
も、他の画信号Ｓ、、＝発生の有無により、画信号Ｓメ
による出射レーザビームの光強度を変動してしまう。こ
の欠点についても前例で説明ずれば、画信号Ｓ＋のみが
入力（ＯＮ）して、その他の画信号８２〜Ｓ５が＠１ｏ
ｒｒ）の場合ど、全ての画信号８１〜Ｓ５が入力＜ＯＮ
）した場合とでは、出射レーザビーム１３１の光強度は
第３図の相対的回折効率特性を参照して、前者の場合に
１００％×１０％＝７０％であり、後者の場合に１００
％×１／ ５ Ｘ ７０％＝１４％であり、相対的光強
度差が７０％〜１４％＝５６％にもなってしまう。
本発明は、上記のような従来の欠点を除去するためにな
されたものであり、第１の目的Ｇよ、反射損失を少なく
して、安定した光強度のレーザピ、−ムを出射させる音
響光学変調装置を提供することであり、第２の目的は、
回折効率を向上□させ、画信号の有無による出射レーザ
ビームの光強度差を少なくさせた音響光学変調装゛置を
提供することであり、第３の目的は、超音波変調された
複数必し−ザビ亡ムを垂直方向又は水平方向に収束配゛
−させて、レーザビームの利用を容易にさせた音響文学
変調装置□を提供することである。以下、実ｉ例図面を
参照して、本発明の詳細な説明する。
されたものであり、第１の目的Ｇよ、反射損失を少なく
して、安定した光強度のレーザピ、−ムを出射させる音
響光学変調装置を提供することであり、第２の目的は、
回折効率を向上□させ、画信号の有無による出射レーザ
ビームの光強度差を少なくさせた音響光学変調装゛置を
提供することであり、第３の目的は、超音波変調された
複数必し−ザビ亡ムを垂直方向又は水平方向に収束配゛
−させて、レーザビームの利用を容易にさせた音響文学
変調装置□を提供することである。以下、実ｉ例図面を
参照して、本発明の詳細な説明する。
第４図は、本発明による音響光中変調装置の一実施一を
示す。本例では、信号源１から発生する互にパルス周期
の異なる５個の画信号Ｓ１〜Ｓ５と、５個の高周波発振
Ｈ２１〜２５からそれぞれ発生づる互いに異なる各搬送
波周波数ｆ １ ＝ １り’ＯＭＩ−ＩＺ、ｆ ’２’
＝ １７５Ｍ１−１ｚ、ｆ ３ ＝ ２００Ｍ１ｌｚＪ
４ ＝ ２２５Ｍ Ｈｚ及びｆ ｓ ＝ ２５０Ｍ１
−１ｚ ｇを振幅変調増幅器３１〜３５にそれぞれ印加
して各画信号Ｓ＋〜Ｓ’５の入力に応じて振幅変調され
、広帯域増幅器４１〜４５においてそれぞれ増幅されて
、振幅変調増幅された各搬送波周波＠ｆ ｒ −ｆ ｓ
が音響光学変調器９１〜９５の各７トランスジユーザ６
１〜６５に印加される。
示す。本例では、信号源１から発生する互にパルス周期
の異なる５個の画信号Ｓ１〜Ｓ５と、５個の高周波発振
Ｈ２１〜２５からそれぞれ発生づる互いに異なる各搬送
波周波数ｆ １ ＝ １り’ＯＭＩ−ＩＺ、ｆ ’２’
＝ １７５Ｍ１−１ｚ、ｆ ３ ＝ ２００Ｍ１ｌｚＪ
４ ＝ ２２５Ｍ Ｈｚ及びｆ ｓ ＝ ２５０Ｍ１
−１ｚ ｇを振幅変調増幅器３１〜３５にそれぞれ印加
して各画信号Ｓ＋〜Ｓ’５の入力に応じて振幅変調され
、広帯域増幅器４１〜４５においてそれぞれ増幅されて
、振幅変調増幅された各搬送波周波＠ｆ ｒ −ｆ ｓ
が音響光学変調器９１〜９５の各７トランスジユーザ６
１〜６５に印加される。
この音響光学変調器９１〜９５は、モリブデン酸鉛単結
晶（、Ｐ、ｂ Ｍｏ Ｏａ ）からそれぞれ成形された
音響光学媒体７１〜７５と、ニオブ酸リチウム単結晶（
Ｌｉ Ｎｂ ０３ ＞３６度Ｙ板の上下面に電極を配置
して成るトランスジューサ６１〜６５と、各トランスジ
ューサ６１〜６５の設置面と対向した音響光学媒体７１
〜７５の面に共通して接着した、アルミニウム板から成
る吸音、材８とから構成される。なお、本例の各音響光
学媒体７１〜７５は直立体形状でｉｏｘ １ｏｘ１ｍＩ
Ｉｌであり、出射ビーム間隔ｇ＝３ＩｌｌＩＩｌのピッ
チで配列している。そして、前述した各搬送波周波数ｆ
１〜ｆ５で各トランスジューサ６１〜６５を共振させる
ため、その各トランスジューサ６１〜６５本体の厚さは
、２４．５７ｍ、２１．０μｍ、１８．４μｎ、１６．
．４μｍ及び１４．７μｍに選定し、その本体形状は、
各トランスジューサ６１〜６５の設置面との関係で０．
７×５ＩｌｌＩｌｌにしている。 。
晶（、Ｐ、ｂ Ｍｏ Ｏａ ）からそれぞれ成形された
音響光学媒体７１〜７５と、ニオブ酸リチウム単結晶（
Ｌｉ Ｎｂ ０３ ＞３６度Ｙ板の上下面に電極を配置
して成るトランスジューサ６１〜６５と、各トランスジ
ューサ６１〜６５の設置面と対向した音響光学媒体７１
〜７５の面に共通して接着した、アルミニウム板から成
る吸音、材８とから構成される。なお、本例の各音響光
学媒体７１〜７５は直立体形状でｉｏｘ １ｏｘ１ｍＩ
Ｉｌであり、出射ビーム間隔ｇ＝３ＩｌｌＩＩｌのピッ
チで配列している。そして、前述した各搬送波周波数ｆ
１〜ｆ５で各トランスジューサ６１〜６５を共振させる
ため、その各トランスジューサ６１〜６５本体の厚さは
、２４．５７ｍ、２１．０μｍ、１８．４μｎ、１６．
．４μｍ及び１４．７μｍに選定し、その本体形状は、
各トランスジューサ６１〜６５の設置面との関係で０．
７×５ＩｌｌＩｌｌにしている。 。
次に、）ｌｅ−ｐ４ｅのレーザ発振器１０から発生する
レーザビーム１１（波長６３２，８ｎｍ）は、合成石英
を材料とした、後述する平行平板のご一ム分割器１４を
通して５木のレーザビーム１５１〜１５５に分割される
。これらのレーザビーム１５１〜１５５は、相互間隔が
平行で、且つ光強度も実質的に等しく分割されて、各音
響光学媒体１１〜７５に伝搬するトランスジューサ６１
〜Ｇ５から超音波面に対してブラック角θＢでそれぞれ
入射する。そこで、各トランスジユーザ６１〜６５は、
前述したような搬送波周波数［１〜［５がそれぞれ印加
されて、各音響光学媒体７１〜７５の内部に超音波信号
を伝搬して、超音波信号の疎密波とレーザビームとの相
互作用により光変調され、各音響光学変調器９１〜９５
の出射面がらＯ次光１２１〜１２５と、１次回折光１３
１〜１３５を出射する。なお、ビーム分割器１４から出
射された５本の分割ビーム１５１〜１５５は実質１互い
に平行であるものの、ビーム強度に多少のバラツキがあ
る場合には、各音響光学変調器９１〜９５のトランスジ
ューサ６１〜６５に印加する各搬送波周波数１１〜ｒ５
の出力を！ｌ！整することにより、１次回折光１３１〜
１３５の光強度をμいに等しくすることができる。
レーザビーム１１（波長６３２，８ｎｍ）は、合成石英
を材料とした、後述する平行平板のご一ム分割器１４を
通して５木のレーザビーム１５１〜１５５に分割される
。これらのレーザビーム１５１〜１５５は、相互間隔が
平行で、且つ光強度も実質的に等しく分割されて、各音
響光学媒体１１〜７５に伝搬するトランスジューサ６１
〜Ｇ５から超音波面に対してブラック角θＢでそれぞれ
入射する。そこで、各トランスジユーザ６１〜６５は、
前述したような搬送波周波数［１〜［５がそれぞれ印加
されて、各音響光学媒体７１〜７５の内部に超音波信号
を伝搬して、超音波信号の疎密波とレーザビームとの相
互作用により光変調され、各音響光学変調器９１〜９５
の出射面がらＯ次光１２１〜１２５と、１次回折光１３
１〜１３５を出射する。なお、ビーム分割器１４から出
射された５本の分割ビーム１５１〜１５５は実質１互い
に平行であるものの、ビーム強度に多少のバラツキがあ
る場合には、各音響光学変調器９１〜９５のトランスジ
ューサ６１〜６５に印加する各搬送波周波数１１〜ｒ５
の出力を！ｌ！整することにより、１次回折光１３１〜
１３５の光強度をμいに等しくすることができる。
これらの１次回折光１３１〜１３５の聞き角度α１〜α
５はそれぞれ２６．２ｍ ｒａｄ （１，’５ｉ ）
、３０．５１１１ｒａｄ （１，７５度） 、３４，９
ｍ ｒａｄ （２，００度）、３９．２ｍ ｒａｄ （
２，２５度）及び４３，６ｎ＋ ｒａｄ ＜ ２．５０
度〉になり、０次光１２１〜１２５は不用光であること
から、遮断板を用いてカットする。
５はそれぞれ２６．２ｍ ｒａｄ （１，’５ｉ ）
、３０．５１１１ｒａｄ （１，７５度） 、３４，９
ｍ ｒａｄ （２，００度）、３９．２ｍ ｒａｄ （
２，２５度）及び４３，６ｎ＋ ｒａｄ ＜ ２．５０
度〉になり、０次光１２１〜１２５は不用光であること
から、遮断板を用いてカットする。
以上のような構成により、本発明による音響光学変調装
置は、各音響光学変調器９１〜９５のインピーダンスマ
ツチング特性、すなわち各搬送波周波数「ｆ〜ｆ５に対
する反射損失特性は、第５図に示すように画信号８１−
８５の通常の変調帯域１０ＭＨｚにおいていずれも一２
７ｄ Ｂ以下の（「１を有し、マツチングのずれを十分
に防止し又いる。
置は、各音響光学変調器９１〜９５のインピーダンスマ
ツチング特性、すなわち各搬送波周波数「ｆ〜ｆ５に対
する反射損失特性は、第５図に示すように画信号８１−
８５の通常の変調帯域１０ＭＨｚにおいていずれも一２
７ｄ Ｂ以下の（「１を有し、マツチングのずれを十分
に防止し又いる。
次に搬送波周波数ｆ１〜ｆ５に対応したブラック角θ６
を各音響光学変調器９１〜９５において設定しているこ
とから、各音響光学媒体１１〜７５中のブラック角θ８
のずれを発生せず、本発明では回折効率が基準値を保持
してほとんど低下しない。また、画信号発生の有無によ
って影響されることなく、１次回折光１３１〜１３５の
レーザビームの光強度を安定にしている。
を各音響光学変調器９１〜９５において設定しているこ
とから、各音響光学媒体１１〜７５中のブラック角θ８
のずれを発生せず、本発明では回折効率が基準値を保持
してほとんど低下しない。また、画信号発生の有無によ
って影響されることなく、１次回折光１３１〜１３５の
レーザビームの光強度を安定にしている。
次に、各名前光学変調器９１〜９５から出射される５本
のレーザビームの相互間隔をρ＝３１１１１１１として
、その各出射面から２００ｍｍの距離を右Ｊ゛る位置で
の５本のレーザビームの配置は、第６図（ａ）に示すよ
うに斜めになっているが、この位置に曲率平面を水平に
した半円柱状シリンダーレンズ１６を第４図に示すよう
に設置することににす、そのレンズ１Ｇの焦点距離の位
置で、５本の′１次回折光１３１〜１３５が第６図（ｂ
）に示ずように垂直方向の同一線上に相互ｆｉ！Ｉ隔ｍ
＝ （１，４３ａ＋ｍで並んで収束される。この相互
間隔ｍは、各音響光学変調器９１〜９５の出射端面から
シリンダーレンズ１Ｇの位置までの距離に応じて変えら
れる。
のレーザビームの相互間隔をρ＝３１１１１１１として
、その各出射面から２００ｍｍの距離を右Ｊ゛る位置で
の５本のレーザビームの配置は、第６図（ａ）に示すよ
うに斜めになっているが、この位置に曲率平面を水平に
した半円柱状シリンダーレンズ１６を第４図に示すよう
に設置することににす、そのレンズ１Ｇの焦点距離の位
置で、５本の′１次回折光１３１〜１３５が第６図（ｂ
）に示ずように垂直方向の同一線上に相互ｆｉ！Ｉ隔ｍ
＝ （１，４３ａ＋ｍで並んで収束される。この相互
間隔ｍは、各音響光学変調器９１〜９５の出射端面から
シリンダーレンズ１Ｇの位置までの距離に応じて変えら
れる。
第７図は、第４図に示した平行平板のビーム分割器１４
の詳細を示ず。同図において、合成石英から成る透光性
基１１４０の一側面の垂線に対し、入射角Ｏｏで入射し
たレーザビーム１１は屈折角θ１で屈折する。この関係
は透光性基材１４０の屈折率をｎとすれば、スネルの法
則によってよく知られているように、ｎ５ｉｎθ１＝ｓ
ｉｎθ。で与えられる。出射ビーム１５１〜１５５の各
間隔ρは、透光性基材１４０の厚さをｄとすれば、Ｑ
＝ （２ｄ ／ｎ ）ｓｉｎθ。の関係で与えられる。
の詳細を示ず。同図において、合成石英から成る透光性
基１１４０の一側面の垂線に対し、入射角Ｏｏで入射し
たレーザビーム１１は屈折角θ１で屈折する。この関係
は透光性基材１４０の屈折率をｎとすれば、スネルの法
則によってよく知られているように、ｎ５ｉｎθ１＝ｓ
ｉｎθ。で与えられる。出射ビーム１５１〜１５５の各
間隔ρは、透光性基材１４０の厚さをｄとすれば、Ｑ
＝ （２ｄ ／ｎ ）ｓｉｎθ。の関係で与えられる。
これらのことを考慮して、透光性基材１４０の対向する
二面の一方の面上のレーザビーム１１の入射位置区域に
反射防止膜１４１及びその入射位置以外の区域に高反射
膜１４２を被着し、他方の面上の各出射ビーム位置の区
域に半透光性膜１４３〜１４７を被着する。これらの反
射防止膜１４１は弗化マグネシウム（Ｍ（ｌ Ｆ２ ）
と酸化ジルコニウム（Ｚｒ、０２）等の誘電体を数層施
し、高反射ｌ１ｌＪ １４２は二酸化チタン（Ｔｉ ０
２ ）と二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）等の誘電体を交互に
数層〜数１０層流して全反射とし、及び半透光性膜１４
３〜１４７はＴｆＯ２とＳｉＯ２等の誘電体を交互に数
層ずつ重ねて、各出射ビーム１５１〜１５５の光強度が
実質的に等しくなるように所定の反射率を備えている。
二面の一方の面上のレーザビーム１１の入射位置区域に
反射防止膜１４１及びその入射位置以外の区域に高反射
膜１４２を被着し、他方の面上の各出射ビーム位置の区
域に半透光性膜１４３〜１４７を被着する。これらの反
射防止膜１４１は弗化マグネシウム（Ｍ（ｌ Ｆ２ ）
と酸化ジルコニウム（Ｚｒ、０２）等の誘電体を数層施
し、高反射ｌ１ｌＪ １４２は二酸化チタン（Ｔｉ ０
２ ）と二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）等の誘電体を交互に
数層〜数１０層流して全反射とし、及び半透光性膜１４
３〜１４７はＴｆＯ２とＳｉＯ２等の誘電体を交互に数
層ずつ重ねて、各出射ビーム１５１〜１５５の光強度が
実質的に等しくなるように所定の反射率を備えている。
具体的に言えば、レーザビーム１１に対する透光性基材
１４０の内部吸収を零、反射防止膜１４１の反射率を零
、更に、＾反射膜、１４２の反射率を１００％とすると
、各出射ビーム１５１〜１５５の光強度が等しくなる条
件は、半透光性膜１４３． １４４゜・・・、１４７の
反射率をそれぞれＲ＋ ＊ Ｒ２、・・・Ｒ５とすると
、次の式（２）が成立する。
１４０の内部吸収を零、反射防止膜１４１の反射率を零
、更に、＾反射膜、１４２の反射率を１００％とすると
、各出射ビーム１５１〜１５５の光強度が等しくなる条
件は、半透光性膜１４３． １４４゜・・・、１４７の
反射率をそれぞれＲ＋ ＊ Ｒ２、・・・Ｒ５とすると
、次の式（２）が成立する。
（１−ＲＩ ）＝ （１−Ｒ２）Ｒ＋
＝ （１−Ｒ３） ＲＩ Ｒ２
＝ （１−Ｒ５）ＲＩ Ｒ２・・・Ｒ４・ ・ ・ ・
（２） 反射率が式（２）を満足するような半透光性膜１４３〜
１４７を施すことにより、入射レーザ光１１１よ第７図
に示すように、反射防止膜１４１から透光性基材１４０
に入射し、この透光性基材１４０内を多ｍ反射しながら
、進行すると共に、半透光性膜１４３〜１４７を介して
、実質上等しいｇＡＩＩＦＡＱで５木の出射レーザビー
ム１５１〜１５５として分υ１器、すむわち透光性基材
１４０から出射する。このとき、５本のレーザビームは
半透光性膜１４３〜１４７の反射率が式（２）の関係を
満足する限り、実質上等しい光強度を示す。なお、式（
２）の関係を満たす反射率の半透光性膜は、８膜の厚さ
を調整することにより容易に実現できる。また、高反射
１３１１４２は金属膜でもよいし、更に高反射ｌｌ＊１
４２ど半透光性膜１４３〜１４７の各被着面を置換して
、入射レーザビーム側に出射レーザビームを導き出して
もよい。
（２） 反射率が式（２）を満足するような半透光性膜１４３〜
１４７を施すことにより、入射レーザ光１１１よ第７図
に示すように、反射防止膜１４１から透光性基材１４０
に入射し、この透光性基材１４０内を多ｍ反射しながら
、進行すると共に、半透光性膜１４３〜１４７を介して
、実質上等しいｇＡＩＩＦＡＱで５木の出射レーザビー
ム１５１〜１５５として分υ１器、すむわち透光性基材
１４０から出射する。このとき、５本のレーザビームは
半透光性膜１４３〜１４７の反射率が式（２）の関係を
満足する限り、実質上等しい光強度を示す。なお、式（
２）の関係を満たす反射率の半透光性膜は、８膜の厚さ
を調整することにより容易に実現できる。また、高反射
１３１１４２は金属膜でもよいし、更に高反射ｌｌ＊１
４２ど半透光性膜１４３〜１４７の各被着面を置換して
、入射レーザビーム側に出射レーザビームを導き出して
もよい。
このようにして得られた平行且つ等しい光強度の５本の
レーザビーム１５１〜１５５は第４図に示した各音響光
学媒体７１〜７５に入射され、前述したような動作が行
われる。なお、本例のビーム分割数は５本であるが、搬
送波及び音響光学変調器の各個数と共に、任意の、本数
にしてよいことは勿論である。
レーザビーム１５１〜１５５は第４図に示した各音響光
学媒体７１〜７５に入射され、前述したような動作が行
われる。なお、本例のビーム分割数は５本であるが、搬
送波及び音響光学変調器の各個数と共に、任意の、本数
にしてよいことは勿論である。
上記した音響光学媒体７１〜７５の形状は、第８図（ａ
）及び（ｂ）に示すように、トランスジューサ６の設
置面と対向する平面、１“なりち底面をそれぞれ傾斜角
β及びγをもった斜面に形成して、超音波の反射による
定在波の発生を抑止してもよい。この場合、吸音材８は
必ずしも使用しなくてもよい。これらの音響光学媒体７
１〜７５の材質は、二酸化テルル単結晶（Ｔｅ ０２
）や光学硝子、例えばＦＤ−６、ＡＯＴ−５，ＡＯＴ−
４４Ｂ等（（株）保谷硝子商品名）金管光学の性能指数
が高く、超音波吸収係数が小さく、レーザビーム１１に
対して内部吸収が少ない材料が好ましい。搬送波周波数
も任意に選択できるが、本例のように一番高い搬送波周
波数（２５０ＭＨ２）が一番低い搬送波周波数（１５０
１’ｖ４１−１２ ＞の２倍より低くした方がスプリア
抑止の点で好ましい。透光性基材１４０の材料も合成石
英以外に、レーザビーム１１の波長に対して内部吸収の
少ない光学材料であればどれでもよい。
）及び（ｂ）に示すように、トランスジューサ６の設
置面と対向する平面、１“なりち底面をそれぞれ傾斜角
β及びγをもった斜面に形成して、超音波の反射による
定在波の発生を抑止してもよい。この場合、吸音材８は
必ずしも使用しなくてもよい。これらの音響光学媒体７
１〜７５の材質は、二酸化テルル単結晶（Ｔｅ ０２
）や光学硝子、例えばＦＤ−６、ＡＯＴ−５，ＡＯＴ−
４４Ｂ等（（株）保谷硝子商品名）金管光学の性能指数
が高く、超音波吸収係数が小さく、レーザビーム１１に
対して内部吸収が少ない材料が好ましい。搬送波周波数
も任意に選択できるが、本例のように一番高い搬送波周
波数（２５０ＭＨ２）が一番低い搬送波周波数（１５０
１’ｖ４１−１２ ＞の２倍より低くした方がスプリア
抑止の点で好ましい。透光性基材１４０の材料も合成石
英以外に、レーザビーム１１の波長に対して内部吸収の
少ない光学材料であればどれでもよい。
、第１０図は、第４図に示した実施例のうち半円柱シリ
ンダーレンズ１６を半円柱シリンダーレンズ１７に変更
した実施例を示す。この半円柱シリンダーレンズ１７は
、曲率平面を垂直方向にして、各音響光学媒体７１〜７
５の出射端面から２００ＩＩＩＩＩｌの距離を右する位
置に設置され、そのレンズ１１の焦点距離の位置で、５
木の１次回折光１３１〜１３５が第９図に示すように水
平方向に収束配置されている。これらのレンズ１６．１
７は、同一の垂直方向又は水平方向に収束させるｌＣめ
のちのであるから半円柱形状に限らず、曲面柱などの形
状であってもよい。
ンダーレンズ１６を半円柱シリンダーレンズ１７に変更
した実施例を示す。この半円柱シリンダーレンズ１７は
、曲率平面を垂直方向にして、各音響光学媒体７１〜７
５の出射端面から２００ＩＩＩＩＩｌの距離を右する位
置に設置され、そのレンズ１１の焦点距離の位置で、５
木の１次回折光１３１〜１３５が第９図に示すように水
平方向に収束配置されている。これらのレンズ１６．１
７は、同一の垂直方向又は水平方向に収束させるｌＣめ
のちのであるから半円柱形状に限らず、曲面柱などの形
状であってもよい。
第１１図及び第１２図は、第４図に示した木施例のうち
平行平板のビーム分割器１４の変形例であって、それぞ
れ回折格子１８、曲面柱レンズ１９及び光学繊維列２０
、曲面柱レンズ１９を使用した実施例を示す。
平行平板のビーム分割器１４の変形例であって、それぞ
れ回折格子１８、曲面柱レンズ１９及び光学繊維列２０
、曲面柱レンズ１９を使用した実施例を示す。
先ず、第１１図におい、て、入射レーデビーム１１を垂
直に受光する回折格子１８（詳しく番よ位相型回折格子
と、いう、。）は光学硝子から成る透過型で、標準的な
ものである。 すなわち、幅１インチ中に１２．０００
のくスリット〉を含み、回折格子間隔りは約２１，００
０人である。回折光強度の極大は、Ｑ ｓｉｎθ−ｐλ
（ここで、θは方向角、ｐは分割ビーム数で本例ではｐ
−５、λはレーザビームの波長である。）の関係の角度
で表わされるから、入射レーザビーム１１は実質上光強
度が等しい５木のビームに分割される。そして、次の曲
面柱レンズ１９を通して、各ビーム間隔が前述したよう
にＱ＝３ｍｖａで平行になるように補正される。なお、
この回折格子１８は、入射レーザビーム１１を斜めに受
光する反射型であってもよい。
直に受光する回折格子１８（詳しく番よ位相型回折格子
と、いう、。）は光学硝子から成る透過型で、標準的な
ものである。 すなわち、幅１インチ中に１２．０００
のくスリット〉を含み、回折格子間隔りは約２１，００
０人である。回折光強度の極大は、Ｑ ｓｉｎθ−ｐλ
（ここで、θは方向角、ｐは分割ビーム数で本例ではｐ
−５、λはレーザビームの波長である。）の関係の角度
で表わされるから、入射レーザビーム１１は実質上光強
度が等しい５木のビームに分割される。そして、次の曲
面柱レンズ１９を通して、各ビーム間隔が前述したよう
にＱ＝３ｍｖａで平行になるように補正される。なお、
この回折格子１８は、入射レーザビーム１１を斜めに受
光する反射型であってもよい。
次に、第１２図において、光学１１８１１列２４は、水
平方向に進行するレーザビーム１１に対して複数の光学
繊維を垂直方向に平行にして且つ密１妄に配列して構成
されたものであり、回折格子としての１３１１１１ｉを
有していることから、ファイバー回折格子とも呼ばれて
いる。この光学繊維列２４にＪ３いても回折光強度の極
大は前述した関係式１）ｓｉｎｉ／＝ｌ）λの角度で表
わされるから、入射レーザビーム１１は光学ｉ１ｉ ｔ
ｉ列２０を通して本例では実質上光強瓜が等しい５本の
ビームに分割される。そして、次の曲面社しンス１９を
通して実質上平行になるよう補正される。
平方向に進行するレーザビーム１１に対して複数の光学
繊維を垂直方向に平行にして且つ密１妄に配列して構成
されたものであり、回折格子としての１３１１１１ｉを
有していることから、ファイバー回折格子とも呼ばれて
いる。この光学繊維列２４にＪ３いても回折光強度の極
大は前述した関係式１）ｓｉｎｉ／＝ｌ）λの角度で表
わされるから、入射レーザビーム１１は光学ｉ１ｉ ｔ
ｉ列２０を通して本例では実質上光強瓜が等しい５本の
ビームに分割される。そして、次の曲面社しンス１９を
通して実質上平行になるよう補正される。
この平行補正のための曲面柱レンズ１９は、半円柱レン
ズ１６をビームの進行方向に対して逆向きにしたものと
置換してもよい、また、第１１図及び第１２図の各実施
例において、半円柱レンズ１Ｇはそれをレーザビームの
進行方向のまわりに９０°回転した第１１図に示した半
円柱レンズ１７に置換してもよい。
ズ１６をビームの進行方向に対して逆向きにしたものと
置換してもよい、また、第１１図及び第１２図の各実施
例において、半円柱レンズ１Ｇはそれをレーザビームの
進行方向のまわりに９０°回転した第１１図に示した半
円柱レンズ１７に置換してもよい。
以上の通り、本発明によれば、反射損失を少なくし、回
折効率の低下を防止し、かつレーザビームの光強度を安
定した音響光学変調装置を実現することができ、更にレ
ンズ系を使用して田川レーザビームの配列を同一の垂直
方向又は水平方向に収束させることができる。
折効率の低下を防止し、かつレーザビームの光強度を安
定した音響光学変調装置を実現することができ、更にレ
ンズ系を使用して田川レーザビームの配列を同一の垂直
方向又は水平方向に収束させることができる。
第１図は従来の音響光学変調装置を承り斜視図、第２図
は従来装置による搬送波周波数対反射損失特性図、第３
図シま従来装置による音響光学媒体中のブラック角から
のずれ対相対的回折効率特性図、第４図は本発明による
音響光学変調装置の一実施例を示す斜視図、第５図は第
４図に示した実施例による搬送波周波数対反射損失特性
図、第６図はレーザビームの配列を示す図、第７図は平
行平板ビーム分割器を示す図、第８図は音響光学変調器
の変形例を示す図、第９図は第１０図に示したもう一つ
の実施例によるレーザビームの配列を承り図、第１０図
は本発明による音響光学変調装置のもう一つの実施例を
示す斜視図、並びに第１１図及び第１２図はそれぞれ本
発明による音響光学変調装置の更にもう一つの実施例を
示す斜視図である。 １・・・信号源、２１〜２５・・・高周波発振器、３１
〜３５・・・振幅変調混合器、４．４１〜４５・・・広
帯域増幅器、６，６１〜６５・・・１ヘランスジユーサ
、７．７１〜７５・・・音響光学媒体、８・・・吸音材
、９１〜９５・・・音響光学変調器、１０・・・レーリ
゛発振器、１１・・・入射レーザビーム、１２１〜１２
５・・・０次光、１３１〜１３５・・・１次回折光、１
４・・・平行平板ビーム分割器、１５１〜１５５・・・
分割レーザビーム、１［３，１７・・・半円柱シリンダ
ーレンズ１．１８・・・回折格子、１９・・・曲面柱レ
ンズ、２０・・・光学繊維列 第１図 第３図 第５図 第９図 手 続 補 正 書 （自発） −゛ ２０発明の名称 音響光学変調装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区西新宿１丁「１１３番１２号〒１６
０ 置 ０３（３４８Ｈ２２１ ホ ヤ ガラス 名称 株式会社 保 谷 硝 子 明細内の「発明の詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 明ｌｏ書５頁１０行〜１１行に［広帯域振幅器５Ｊとあ
るを「広帯域増幅器５」と訂正する。 以上
は従来装置による搬送波周波数対反射損失特性図、第３
図シま従来装置による音響光学媒体中のブラック角から
のずれ対相対的回折効率特性図、第４図は本発明による
音響光学変調装置の一実施例を示す斜視図、第５図は第
４図に示した実施例による搬送波周波数対反射損失特性
図、第６図はレーザビームの配列を示す図、第７図は平
行平板ビーム分割器を示す図、第８図は音響光学変調器
の変形例を示す図、第９図は第１０図に示したもう一つ
の実施例によるレーザビームの配列を承り図、第１０図
は本発明による音響光学変調装置のもう一つの実施例を
示す斜視図、並びに第１１図及び第１２図はそれぞれ本
発明による音響光学変調装置の更にもう一つの実施例を
示す斜視図である。 １・・・信号源、２１〜２５・・・高周波発振器、３１
〜３５・・・振幅変調混合器、４．４１〜４５・・・広
帯域増幅器、６，６１〜６５・・・１ヘランスジユーサ
、７．７１〜７５・・・音響光学媒体、８・・・吸音材
、９１〜９５・・・音響光学変調器、１０・・・レーリ
゛発振器、１１・・・入射レーザビーム、１２１〜１２
５・・・０次光、１３１〜１３５・・・１次回折光、１
４・・・平行平板ビーム分割器、１５１〜１５５・・・
分割レーザビーム、１［３，１７・・・半円柱シリンダ
ーレンズ１．１８・・・回折格子、１９・・・曲面柱レ
ンズ、２０・・・光学繊維列 第１図 第３図 第５図 第９図 手 続 補 正 書 （自発） −゛ ２０発明の名称 音響光学変調装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区西新宿１丁「１１３番１２号〒１６
０ 置 ０３（３４８Ｈ２２１ ホ ヤ ガラス 名称 株式会社 保 谷 硝 子 明細内の「発明の詳細な説明」の欄 ５、補正の内容 明ｌｏ書５頁１０行〜１１行に［広帯域振幅器５Ｊとあ
るを「広帯域増幅器５」と訂正する。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 一本のレーザビームを入射し、実質□的に互い
に平行な複数のレーザビー云に分割して出射Ｊ゛る分割
器と、前記複数のレーザビームをそれぞ響光学媒体を有
し、かつ互い 社パルス＠期の異る複数の画信号と互（１に周波数の異
る複数の高周波信号とをそれぞ゛れ混合して振幅、変調
する複数の振幅変調混合器か゛らそれぞれ出力する複数
の搬送波周波数を、前記複数の音′響光学媒体にそれぞ
れ設置された複数の乍ランスジューサにそれぞれ印加し
て、前記複□数の入射レーザ。 ビームをそれぞれ光度ｍする複数の音響光学変調器とを
具備することを特徴とす、る竺菅光学変調装置。 （２） 分割器が、互いに対向する実質上平行な二面を
備えた透光性基材の一方の面上にレーザビームを入射し
、他方の面上と、−カの前記入射の区域を除く面上とに
それぞれ反射膜又は半透光性膜のうちいずれか一方を被
着して内部反射を繰り返し□、前記半透光性ｉから複数
のレーザビームに分割して出画すること□を特徴とする
特許請求の範囲第□１項記−〇゛音響光学変調装置。 （３） 分割器ｉ、一本のレーザビームを入射し、異る
方向に複数□の回折光を出射づる回折格子と、前記□複
数の回折光を□実質的に互いに平行な複数のレーザビー
ムにして送□出するレンズ系とから成ることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の音響光学変調器置。 （４） 分割器が、二゛本のレーザビームを入射し、複
数の゛ビームに分離゛する光学繊維列と、分離された前
記複数のビームを実質□的に互いに平行な複数のレーザ
ビームにして處出するレンズ系とからなる特許請求の範
囲第１項記載の音響光学変調装置。 （５） 一本のレーザビームを入射し、実質的に互いに
平行な複数のし―ザビームに分割して出射する分割器と
、前記複数のレーザビームをそ□れぞれ人ｉ′１°る複
数の音響光学媒体を有し、かつ互いにパルス周期の異る
複数の画信号と互いに周波数の異る複数の高周波信号と
をそれぞれ）ｌ１合して振幅変調する複数の振幅変調混
合器からそれぞれ出力する複数の搬送波周波数を、前記
複数の音響光学媒体にそれぞれ設置′された複数の１−
ランスジューサにそれぞれ印加して、前記複数の入射レ
ーザビームをそれぞれ光変調する複数の音響光学変調器
と、超音波変調された前記複数のレーザビームを実質的
に垂直方向又は水平方向に収束配置Ｊ−るレンズ系とを
具備することを特徴とする？ｉ ！光学変調装置。 （−６） 分割器が、互いに対向する実質上平行な二面
を備えた透光性基材の一方の面上にレーザビームを入射
し、他方の面上と、一方の前記入射の区域を除（面上と
にそれぞれ反射膜又は半透光性膜のうちいずれか一方を
被着して内部反射を繰り返し、前記半透光性膜から複数
のレーザビームに分割して出射することを特徴とする特
許請求の範囲第５項記載の音響光学変調装置。 （７） 分割器が、一本のレーザビームを入射し、異る
方向に複数の回折光を出射する回Ｊ／ｒ格子と、前記複
数の回折光を実質的に互いに平行な複数のレーザビーム
にして送出するレンズ系とがら成ることを特徴とする特
許請求の範囲第５梢記載の音響光学変調装置。 （８〉 分割器が、一本のレーザビームを入射し、複数
のビームに分離する光学繊維列と、分離された前記複数
のビームを実質的に互いに平１うな複数のレーザビーム
にして送出するレンズ系とからなる特許請求の範囲第５
項記載の音響光学変調装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58138458A JPS6029725A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 音響光学変調装置 |
| GB08419195A GB2146445B (en) | 1983-07-28 | 1984-07-27 | Acoustooptic modulation device |
| US07/151,445 US4843335A (en) | 1983-07-28 | 1988-02-02 | Acoustooptic modulation device capable of avoiding impedance mismatching over a wide frequency band |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58138458A JPS6029725A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 音響光学変調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029725A true JPS6029725A (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=15222487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58138458A Pending JPS6029725A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 音響光学変調装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4843335A (ja) |
| JP (1) | JPS6029725A (ja) |
| GB (1) | GB2146445B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62109139U (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-11 | ||
| JPS6327814A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-05 | Asahi Glass Co Ltd | マルチビ−ム光変調素子 |
| JPH01263953A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Sony Corp | 光学式記録装置 |
| JP2009506365A (ja) * | 2005-08-31 | 2009-02-12 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 電磁放射の光学的な分割および変調のための装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5048936A (en) * | 1987-12-29 | 1991-09-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Light beam deflector |
| CA2051193C (en) * | 1990-09-14 | 1995-09-26 | Hidetoshi Tatemichi | Information recording apparatus |
| JP4172558B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2008-10-29 | シチズン電子株式会社 | 赤外線通信デバイス |
| US6295157B1 (en) * | 1999-08-23 | 2001-09-25 | Etec Systems, Inc. | Thermally balanced acousto-optic modulator |
| US6903862B2 (en) * | 2002-11-05 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultraviolet acoustooptic device and optical imaging apparatus using the same |
| DE102006040843B4 (de) * | 2005-08-31 | 2015-04-16 | Heidelberger Instruments Mikrotechnik Gmbh | Vorrichtung zur optischen Aufspaltung und Modulation von elektromagnetischer Strahlung |
| US7385749B2 (en) * | 2006-01-21 | 2008-06-10 | Cleveland Crystals, Inc. | Silicon acousto-optic modulator |
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