JPS6028834A - イオン化清浄気体噴射装置 - Google Patents
イオン化清浄気体噴射装置Info
- Publication number
- JPS6028834A JPS6028834A JP58135936A JP13593683A JPS6028834A JP S6028834 A JPS6028834 A JP S6028834A JP 58135936 A JP58135936 A JP 58135936A JP 13593683 A JP13593683 A JP 13593683A JP S6028834 A JPS6028834 A JP S6028834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- clean gas
- pressure switch
- dust
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrostatic Separation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技、術分野〕
この発明はイオン化清浄気体噴射装置に関し、特に半導
体製造室で用いられる機器、部材、特に合成樹脂の部材
等で静電気を帯び夕゛ストが付着しているものの除電、
除塵に用いられる。
体製造室で用いられる機器、部材、特に合成樹脂の部材
等で静電気を帯び夕゛ストが付着しているものの除電、
除塵に用いられる。
イオン化清浄気体噴射装置の従来の一例の構造を第１図
に示す。図において、（１）は送気導管で硬質の合成樹
脂で形成され、その一端は高圧気体源（２）の−例のエ
ヤコンプレッサ、高圧窒素ボンベ等に接続されている。
に示す。図において、（１）は送気導管で硬質の合成樹
脂で形成され、その一端は高圧気体源（２）の−例のエ
ヤコンプレッサ、高圧窒素ボンベ等に接続されている。
そして図示を省略する開閉バルブ、レギュレータ等を経
て送気導管の一部に設けられたフィルタ（３）を経て清
浄化された気体流圧によって作動する圧力スイッチ（４
１を作動させる。
て送気導管の一部に設けられたフィルタ（３）を経て清
浄化された気体流圧によって作動する圧力スイッチ（４
１を作動させる。
この圧力スイッチ（４）はスイッチ箭休部（４ａ）′と
、この筒体内を気体流の圧力で筒体の軸方向に摺動する
遊動片（４ｂ）と、遊動片を高圧気体源側へ押すスプリ
ング（４Ｃ）と、遊動片が気体流によって推進される先
端に設けられているスイッチの短絡端子片（４ｄ）と、
遊動片の推進終点に上記スイッチの短絡端子片（４ｄ）
によって短絡される並設端子片（４ｅｌ）。
、この筒体内を気体流の圧力で筒体の軸方向に摺動する
遊動片（４ｂ）と、遊動片を高圧気体源側へ押すスプリ
ング（４Ｃ）と、遊動片が気体流によって推進される先
端に設けられているスイッチの短絡端子片（４ｄ）と、
遊動片の推進終点に上記スイッチの短絡端子片（４ｄ）
によって短絡される並設端子片（４ｅｌ）。
（４ｅ２）が設けられて構成されている。次に上記圧力
スイッチ（４）と送気導管終端の７Ｈ浄気体噴気口（６
）との間にイオン化装置部（５）が設けられている。こ
のイオン化装置部は上記圧力スイッチによって送気中の
み作動し、交流電源を昇圧した高圧を電極（５ｍ）、（
５ｂ）間に放電させて帯電イオン化をはかるものである
。次に、送電導管終端は清浄気体噴気【」（６）に麿っ
ておシ、可撓管を接続して延長すれば所望の部位の清浄
化を達成することができる。
スイッチ（４）と送気導管終端の７Ｈ浄気体噴気口（６
）との間にイオン化装置部（５）が設けられている。こ
のイオン化装置部は上記圧力スイッチによって送気中の
み作動し、交流電源を昇圧した高圧を電極（５ｍ）、（
５ｂ）間に放電させて帯電イオン化をはかるものである
。次に、送電導管終端は清浄気体噴気【」（６）に麿っ
ておシ、可撓管を接続して延長すれば所望の部位の清浄
化を達成することができる。
斜上の背景技術によると、帯電付着しているダストに対
して有効であることは認められるが、噴気口のダストが
多いという意外な問題に当面した。
して有効であることは認められるが、噴気口のダストが
多いという意外な問題に当面した。
す々わち、０．５μｍ以上のダスト斂が１００個／立方
フィート未満に抑えられている半導体製造室の基準に対
して１０００〜３０００１１−１１／立方フイー）−？
Ｊるという重大な問題がある。
フィート未満に抑えられている半導体製造室の基準に対
して１０００〜３０００１１−１１／立方フイー）−？
Ｊるという重大な問題がある。
斜上に対しダストの発生源を調べたところ、圧力スイッ
チにおいて未作動時の状態を示す第１図の遊動片（４ｂ
）が、作動に移ると第２図に示すようにスイッチ筒体部
（４ａ）の内面をｊ１η動し、並設端子片間を蝮絡端子
片が接続、短絡までの距離ｆｄ）をすべることによって
ダストが発生することによるのが判明した。しかも、発
生した夕゛ストは逐次気流によって送られ常時好ましく
ない状態に置かれる。
チにおいて未作動時の状態を示す第１図の遊動片（４ｂ
）が、作動に移ると第２図に示すようにスイッチ筒体部
（４ａ）の内面をｊ１η動し、並設端子片間を蝮絡端子
片が接続、短絡までの距離ｆｄ）をすべることによって
ダストが発生することによるのが判明した。しかも、発
生した夕゛ストは逐次気流によって送られ常時好ましく
ない状態に置かれる。
この発明は斜上の問題点に鑑み改良されたイオン化清浄
気体噴射装置の構造を提供する。
気体噴射装置の構造を提供する。
この発明にかかるイオン化清浄気体噴射装置１′【の構
造は、一端を高圧気体源に接続した送気々゛ｔ−凸の一
部に設けられたイオン化装置部とこれを送気圧にしたが
って制御する圧力スイッチ、および送気を瀘過するフィ
ルタを具備し、曲３′・１品が（１′ｆ浄気体噴気口に
なるものにおいて、フィルタ全圧力スイッチと７１！浄
気体噴気日とのＩ＋１］に設りたことを特ｒ；”Ｖとす
る、 〔発明の実施例〕 次にこの発明を１実施例につき第３図および、（３４図
を参照して従来との相違点′５ｒ：説明する。なお、実
施例を７Ｊｅす各図において従来と変わらない部分につ
いては図面に従来と同じ狛号を付りて７ドし説明を省略
する。まだ、圧力スイッチについては従来と全く変わら
ないので、図面に圧力スイッチ１４＋のみを示し、（４
ａ）〜（４ｅ２）にわたる細部の４’ｉＵ ｉ、’を直
や符号等の図示を省略する。
造は、一端を高圧気体源に接続した送気々゛ｔ−凸の一
部に設けられたイオン化装置部とこれを送気圧にしたが
って制御する圧力スイッチ、および送気を瀘過するフィ
ルタを具備し、曲３′・１品が（１′ｆ浄気体噴気口に
なるものにおいて、フィルタ全圧力スイッチと７１！浄
気体噴気日とのＩ＋１］に設りたことを特ｒ；”Ｖとす
る、 〔発明の実施例〕 次にこの発明を１実施例につき第３図および、（３４図
を参照して従来との相違点′５ｒ：説明する。なお、実
施例を７Ｊｅす各図において従来と変わらない部分につ
いては図面に従来と同じ狛号を付りて７ドし説明を省略
する。まだ、圧力スイッチについては従来と全く変わら
ないので、図面に圧力スイッチ１４＋のみを示し、（４
ａ）〜（４ｅ２）にわたる細部の４’ｉＵ ｉ、’を直
や符号等の図示を省略する。
まず、第３図に示す１実施例のイオン化イ１”ｔ ６”
ｘｊ体噴射装置は圧力スイッチｆ４）と清浄気体噴気口
（６）との間にフィルタ（７）を設けている／ｉ＋ｊ徴
がある。なお、イオン化装置ｄ部（８）は上記フィルタ
（力と清浄気体噴気口（６）との間に設けられている。
ｘｊ体噴射装置は圧力スイッチｆ４）と清浄気体噴気口
（６）との間にフィルタ（７）を設けている／ｉ＋ｊ徴
がある。なお、イオン化装置ｄ部（８）は上記フィルタ
（力と清浄気体噴気口（６）との間に設けられている。
次に第４図に示す別の実施例のイオン化清浄気体噴射装
置はフィルタ（力が圧力スイッチ（４＋と清浄気体噴気
口（６）の間で、かつ、圧力スイッチ（４）よシも清浄
気体噴気口（６）側に配置されているイオン化装置部（
５）よシも清浄気体噴気口（６）側に設けられているの
が特徴である。
置はフィルタ（力が圧力スイッチ（４＋と清浄気体噴気
口（６）の間で、かつ、圧力スイッチ（４）よシも清浄
気体噴気口（６）側に配置されているイオン化装置部（
５）よシも清浄気体噴気口（６）側に設けられているの
が特徴である。
この発明によれば、フィルタが圧力スイッチよシも清浄
気体噴気口側に設けられているので、圧力スイッチの遊
動片とスイッチ筒体部との摺接によって発生するゲスト
が完全にｐ過され、半導体製造室における夕゛ストの基
準を充分Ｋａ足するものになった。
気体噴気口側に設けられているので、圧力スイッチの遊
動片とスイッチ筒体部との摺接によって発生するゲスト
が完全にｐ過され、半導体製造室における夕゛ストの基
準を充分Ｋａ足するものになった。
また、この発明は実施にあたり、装置Ｋの改造が小規模
で達成される利点もある。
で達成される利点もある。
第１図は従来のイオン化７Ｈ浄気体噴射装、ｉ、Ｖ、の
断面図、第２図は第１図の装置Ｋｔにおける圧力スイッ
チの動作を説明する断面図、第３図は１実施例のイオン
化清浄気体噴射装置の概妥を示す断面図、第４図は別の
１実施例を第３図に準じて示す断面図である。 １ 送気専管 ３．７ フィルタ 生 圧力スイッチ ５．８ イオン化装置部 ６ 清浄気体噴気口 代理人 弁理± Ｊｌ 上 −男
断面図、第２図は第１図の装置Ｋｔにおける圧力スイッ
チの動作を説明する断面図、第３図は１実施例のイオン
化清浄気体噴射装置の概妥を示す断面図、第４図は別の
１実施例を第３図に準じて示す断面図である。 １ 送気専管 ３．７ フィルタ 生 圧力スイッチ ５．８ イオン化装置部 ６ 清浄気体噴気口 代理人 弁理± Ｊｌ 上 −男
Claims (1)
- 一端を高圧気体源に接続した送気導管の一部に設けられ
たイオン化装置部とこれを送気圧にしたがって制御する
圧力スイッチ、および送気を渥過するフィルタを具備し
、他端が清浄気体噴気口になるイオン化清浄気体噴射装
置において、フィルタを圧力スイッチと清浄気体噴気口
との間に設けたことを特徴とするイオン化清浄気体噴射
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58135936A JPS6028834A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | イオン化清浄気体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58135936A JPS6028834A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | イオン化清浄気体噴射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028834A true JPS6028834A (ja) | 1985-02-14 |
Family
ID=15163301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58135936A Pending JPS6028834A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | イオン化清浄気体噴射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028834A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106237764A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-12-21 | 卢志旭 | 具有多个除尘器单元的除尘器系统 |
| CN106310852A (zh) * | 2016-08-18 | 2017-01-11 | 卢志旭 | 并联式除尘器系统 |
-
1983
- 1983-07-27 JP JP58135936A patent/JPS6028834A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106237764A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-12-21 | 卢志旭 | 具有多个除尘器单元的除尘器系统 |
| CN106310852A (zh) * | 2016-08-18 | 2017-01-11 | 卢志旭 | 并联式除尘器系统 |
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