JPS6028386B2 - Lead frame placement method inside the mold - Google Patents
Lead frame placement method inside the moldInfo
- Publication number
- JPS6028386B2 JPS6028386B2 JP15987678A JP15987678A JPS6028386B2 JP S6028386 B2 JPS6028386 B2 JP S6028386B2 JP 15987678 A JP15987678 A JP 15987678A JP 15987678 A JP15987678 A JP 15987678A JP S6028386 B2 JPS6028386 B2 JP S6028386B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- lead frame
- frame
- placement method
- automatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は樹脂モールド型内の埋材配置技術、特に半導
体装置の組立装置における樹脂成形装置を対象とする。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is directed to a technique for arranging a filling material in a resin mold, and particularly to a resin molding apparatus used in an assembly apparatus for semiconductor devices.
樹脂封止型半導体装置の組立においては半導体ウェハの
段階で複数の同型素子領域を形成加工し、スクラィブに
より各素子を含むべレットに分断されたものに対して、
複数のリードを一体に形成したりードフレームの連続体
を用意し、このリードフレーム上にべレツトをボンデイ
ングし、ベレットの電極とりードとの間をワイヤボンデ
イングした後、上記リードフレーム上でべレットを樹脂
封止する。従来はこれらの各工程ごとに専用の自動機械
を使用し、一工程を終了するごとに次工程の自動機械に
移送、セットしていたが、そのために生じる作業手間や
セット時間のロスを軽減する目的で自動組立方式が採用
されつつある。このための組立装置として、リードフレ
ームを連続体から定尺に切断したりードフレーム複合体
として間欠送りするフレーム移送機構を使用し、例えば
2列の移送ラインにそってべレツトポンデイング装贋、
ワイヤボンディング菱層、プレヒート及び樹脂モールド
装置を配置し、この順序に従って組立、封止作業を一貫
して行なうようにしたものが本願出願人により開発され
ている。従来の樹脂モールドの際に型内にリードフレ−
ムを配置するにあたっては、例えば第1図に示すように
7〜1伍重の比較的短連のりードフレーム複合体la,
lbを向い合せて2列1組としその間にランナ2を配し
たものを型4の合せ面4にそって樹脂注入カル8を中心
に複数組配置していた。When assembling a resin-sealed semiconductor device, multiple elements of the same type are formed and processed at the semiconductor wafer stage, and the wafer is divided into pellets containing each element by scribing.
Prepare a continuum of a lead frame in which a plurality of leads are integrally formed, bond a pellet onto this lead frame, perform wire bonding between the electrodes of the pellet and the leads, and then bond the lead frame onto the lead frame. The let is sealed with resin. Previously, a dedicated automatic machine was used for each of these processes, and each time one process was completed, it was transferred to and set on the next process's automatic machine, but this reduces the work effort and loss of set time caused by this. Automatic assembly methods are being adopted for this purpose. As an assembly device for this purpose, a frame transfer mechanism is used that cuts the lead frame from a continuous body into regular lengths or intermittently feeds the lead frame as a composite lead frame, and for example, performs pellet ponding and fabrication along two transfer lines.
The applicant has developed a device in which a wire bonding diamond layer, preheating and resin molding devices are arranged, and assembly and sealing operations are performed consistently in this order. When using conventional resin molding, lead flake occurs inside the mold.
When arranging the frames, for example, as shown in Fig. 1, a relatively short lead frame complex of 7 to 1
A plurality of sets of two rows of lbs facing each other with runners 2 arranged between them were arranged along the mating surface 4 of the mold 4 with the resin-injected cull 8 at the center.
同図のように4組配置した場合、1ショットでモールド
するICの総数は56〜80となる。このような従来配
置法で樹脂モールドする場合に次の問題点がある。すな
わち、多数のリードフレーム複合体を型の所定位置にセ
ットするためには、第2図に示すように予め型の合せ面
と同形の整列拾具5を用意し、この整列拾具上に上記所
定位置と対応する配置でリードフレーム複合体la,l
bの整列位置合せを行ない、この整列治具を上下型の間
に移動して型の一方に移し替え(ローディング)、上下
型を閉じてモールドを行ない、モールド後は整列治具ご
と型外に取出し(アンローディング)、さらに整列拾臭
上より各リードフレーム複合体を次の工程に必要な配置
するための移し替えを行なう必要がある。When four sets are arranged as shown in the figure, the total number of ICs molded in one shot is 56 to 80. When performing resin molding using such a conventional arrangement method, there are the following problems. That is, in order to set a large number of lead frame composites at predetermined positions in a mold, an alignment pick 5 having the same shape as the mating surface of the mold is prepared in advance as shown in FIG. Lead frame composites la, l in predetermined positions and corresponding arrangements
Perform alignment as shown in b, move this alignment jig between the upper and lower molds, transfer it to one side of the mold (loading), close the upper and lower molds and perform molding, and after molding, remove the alignment jig from the mold. It is necessary to carry out unloading, alignment, and transfer of each lead frame composite to arrange it as required for the next process.
このような整列袷具を使用してフレームのセット、取出
しを自動化するためにリードフレーム複合体の自動整列
位置決め装置、リードフレームを整列した治臭のモール
ド型内への自動移動、ローディング装置、モールド後の
型よりの自動アンローディング装置及び拾具よりのりー
ドフレーム自動整列装置を用意することは設備費用が高
額化することを避けられない。本発明はかかる問題点を
解決するべくなされたもので、その目的は低額の設備費
でモールド装置のための型へのIJードフレーム配置技
術の提供にある。An automatic alignment positioning device for the lead frame complex to automate the setting and removal of the frame using such an alignment tool, an automatic movement of the lead frame into the aligned odor control mold, a loading device, and a mold. Providing an automatic unloading device for later molds and an automatic alignment device for stacking frames from pick-up tools inevitably increases the equipment cost. The present invention has been made to solve these problems, and its purpose is to provide a technique for arranging an IJ frame in a mold for a molding device at low equipment costs.
上記目的を達成するためこの発明においては、長連のり
ードフレーム定尺複合体を型のカル部をはさんで2列に
配置するものであり、これにより整列治具に多数組のり
ードフレームを予め整列するための自動装置やモールド
型内へセット、取出しのための自動装置等を不要とする
ものである。In order to achieve the above object, the present invention arranges a long continuous gluing frame fixed length composite in two rows across the cull part of the mold. This eliminates the need for an automatic device for pre-aligning the frames, an automatic device for setting them into a mold, and taking them out.
第8図において本発明によるリードフレームの配置法の
−実施例が示される。6a,6bは長連、例えば35運
のりードフレーム定尺複合体であって、同図のように型
7の合せ面にそってカル8を挟んで向い合せにdの間隔
で平行2列に配置する。In FIG. 8 an embodiment of the lead frame arrangement method according to the invention is shown. 6a and 6b are long series, for example, 35 scale lead frame fixed length composites, and as shown in the same figure, they are arranged in two parallel rows facing each other with a cull 8 in between along the mating surface of the mold 7. Place it in
カル8からは主ランナ9ランナ10を経て各リードフレ
ームに樹脂を供給するようになる。第4図乃至第6図は
本発明によりリードフレーム配置法を採用した場合のり
ードフレーム複合体の型への導入法の一例を示す。長連
のりードフレーム複合体6a,6bはべレツトボンデイ
ング、ワイヤボンディング等の各組立工程において既に
前記dの間隔で2列に配列移送され、モールド前工程と
してフレームブレヒータ11上に前記間隔dで配置され
て所定温度に加熱された状態にあり、図示しないフレー
ム押し器によりリードフレームは水平方向に押されて開
いた上下のモールド型7a,7bの間に移動し、例えば
第6図に示すフレーム保持臭12により所定位直に保持
される。この状態で上下型が閉じて型内にリードフレー
ムがセットされ、樹脂モールドが行われる。上記治具は
型が閉じた状態で一部が型の凹部内に残るか又は一部が
反転してリードフレームの少なくとも一部は型により直
接に支持される。モールド後はリードフレームはフレー
ム保持臭に保持された状態で他方へ移動し型より脱出す
る。上記実施例で述べた本発明によれば、{1)リード
フレームを長速化することにより型内で2列の配置でモ
ールドでき、例えば35重の場合35×2=70のリー
ドフレームを1ショットでモールドできる、‘2)リー
ドフレームは前工程で既に2列に配置されておりそのま
まの間隔で型内に導できるから、従来方式のように多数
組のりードフレーム複合体セットのための自動整列治具
が不要であり、型外から型内への自動的に導入るための
装置、型内から型外へ自動的に敬出すための装置をきわ
めて簡単な装置により実現できる。Resin is supplied from cull 8 to each lead frame via main runner 9 and runner 10. FIGS. 4 through 6 show an example of how a lead frame composite is introduced into a mold when the lead frame placement method according to the present invention is employed. The long lead frame composites 6a and 6b are already arranged and transferred in two rows at the interval d in each assembly process such as beret bonding and wire bonding, and are placed on the frame break heater 11 at the interval d as a pre-molding process. The lead frame is placed in a state where it is heated to a predetermined temperature, and the lead frame is pushed in the horizontal direction by a frame pusher (not shown) and moved between the open upper and lower mold molds 7a and 7b, as shown in FIG. 6, for example. The frame holding odor 12 holds it in place. In this state, the upper and lower molds are closed, the lead frame is set inside the mold, and resin molding is performed. A portion of the jig remains in the recess of the mold when the mold is closed, or a portion of the jig is inverted so that at least a portion of the lead frame is directly supported by the mold. After molding, the lead frame moves to the other side while being held by the frame holding odor and escapes from the mold. According to the present invention described in the above embodiments, {1) By increasing the speed of the lead frame, it is possible to mold in two rows in the mold, for example, in the case of 35 layers, 35 × 2 = 70 lead frames can be molded in one 2) The lead frames have already been arranged in two rows in the previous process and can be guided into the mold at the same intervals, making it possible to mold multiple lead frame composite sets unlike the conventional method. An automatic alignment jig is not required, and a device for automatically introducing the material from outside the mold into the mold and a device for automatically ejecting it from the inside of the mold to the outside of the mold can be realized using extremely simple devices.
{3}2列リードフレームを同時に型内に導入、型より
取出しが可能でそれに要する時間も少なくてすむ、‘4
川ードフレームを平行移動して型外へ取出せるからその
際に型内面の自動清浄作業が可能である等の諸効果がも
たらされるものである。なお、従釆方式で自動化する場
合のフレームのローデイング、アンローディングのため
に要する設備費用に比して本発明方式を採用した場合の
費用は1/乳陸度を低減できる。本発明は前記実施例に
限定されない。{3} Two rows of lead frames can be introduced into the mold at the same time and taken out from the mold, which requires less time.'4
Since the river board frame can be moved in parallel and taken out of the mold, various effects are brought about, such as automatic cleaning of the inner surface of the mold. It should be noted that compared to the equipment cost required for loading and unloading of frames in the case of automation using the follow-up method, the cost when the method of the present invention is adopted can be reduced by 1/milk land ratio. The invention is not limited to the above embodiments.
例えば長連のりードフレーム複合体のフレーム数は39
重1こ限らず、4G重その他とすることは差支えない。For example, the number of frames in a long continuous frame complex is 39.
It is not limited to 1 heavy weight, but there is no problem in using 4G heavy weight or others.
本発明は定尺リードフレームを用いるにの組立における
モールド装置にも適用できるものである。The present invention can also be applied to a molding device for assembly using a regular length lead frame.
第1図は従来の樹脂モールド型におけるリードフレーム
(複合体)の配置の形態を示す平面図、第2図は従来の
フレーム配置法の場合に使用される整列拾具の形態を示
す平面図である。
第3図は本発明によるリードフレーム配慮の形態を示す
平面図、第4図乃至第6図は本発明のフレーム配置法の
場合のりードフレームを型内に導入する際の形態を示し
、第4図は平面図、第5図は正面図、第6図は側面断面
図である。1・・…・短連リードフレーム複合体、2・
・・・・・ランナ、3・・・・・・カル、4……型、5
…・・・整列治具、6…・・・長連リードフレーム複合
体、7……型、8……力ル、9,10”””ランナ、1
1”””フレームプレヒータ、12・・・・・・フレー
ム保持袷具。
策!図第2図
鯖乙図
第4図
第5図
第6図Fig. 1 is a plan view showing the form of lead frame (composite) arrangement in a conventional resin mold, and Fig. 2 is a plan view showing the form of an alignment pick used in the conventional frame arrangement method. be. FIG. 3 is a plan view showing a mode in which the lead frame is taken into consideration according to the present invention, and FIGS. 4 is a plan view, FIG. 5 is a front view, and FIG. 6 is a side sectional view. 1...Short lead frame complex, 2.
...Runner, 3...Cal, 4...Type, 5
...Alignment jig, 6...Long lead frame composite, 7...Mold, 8...Runner, 9, 10"""Runner, 1
1"""Frame preheater, 12... Frame holding tool. Measures! Figure 2 Figure 2 Sabaotsu Figure 4 Figure 5 Figure 6
Claims (1)
配置するにあたつて、定尺のリードフレームを2列に配
置することを特徴とするモールド型内のリードフレーム
配置法。1. A method for arranging lead frames in a mold, which is characterized by arranging lead frames of a fixed length in two rows when arranging a plurality of lead frames as filling materials in the mold.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15987678A JPS6028386B2 (en) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | Lead frame placement method inside the mold |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15987678A JPS6028386B2 (en) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | Lead frame placement method inside the mold |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5588364A JPS5588364A (en) | 1980-07-04 |
JPS6028386B2 true JPS6028386B2 (en) | 1985-07-04 |
Family
ID=15703126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15987678A Expired JPS6028386B2 (en) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | Lead frame placement method inside the mold |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6028386B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04217778A (en) * | 1990-12-19 | 1992-08-07 | Misako Takase | Umbrella dewatering method and device thereof |
-
1978
- 1978-12-27 JP JP15987678A patent/JPS6028386B2/en not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04217778A (en) * | 1990-12-19 | 1992-08-07 | Misako Takase | Umbrella dewatering method and device thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5588364A (en) | 1980-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS59155139A (en) | Sealing molding machine and sealing molding method | |
JPS62122136A (en) | Manufacturing apparatus for resin mold semiconductor | |
JP4417096B2 (en) | Resin sealing method and resin sealing device | |
TW544879B (en) | Mold cleaning sheet and method of producing semiconductor devices using the same | |
JPS6028386B2 (en) | Lead frame placement method inside the mold | |
US7030504B2 (en) | Sectional molding system | |
JPH0139887B2 (en) | ||
JPH07253450A (en) | Method for testing electronic device attached to lead frame | |
JPH0535658B2 (en) | ||
JPH0546897Y2 (en) | ||
TW201700377A (en) | Runner mechanism, and conveyance method and apparatus using the runner mechanism to convey carrier trays which hold components such as flexible substrates arranged in a matrix for subsequent processing | |
KR20190080776A (en) | Bonding and indexing apparatus | |
JPH11204669A (en) | Ic chip manufacturing method and laser mark apparatus provided with burning mechanism | |
JPS6146051B2 (en) | ||
JPS6063936A (en) | Processing method for lead frame | |
JPS6063937A (en) | Assembling device for electronic component | |
US3748725A (en) | Method and apparatus for manufacture of integrated circuit devices | |
JPS6018318A (en) | Molding device of resin | |
JPS63947B2 (en) | ||
JPH08279525A (en) | Semiconductor molding device | |
JPH03264322A (en) | Resin-sealing metallic mold assembly | |
JPS5821345A (en) | Resin sealing method for electronic part and device thereof | |
JPS63184344A (en) | Equipment for manufacturing semiconductor | |
JPH0235743A (en) | Manufacturing device for semiconductor device | |
JPS57133639A (en) | Manufacture of semiconductor device |