JPS6027616A - 光フアイバの製造装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、光ファイバの製造装置、特に光ファイバの
各皿特性値番計測しつつ製造時の各線制御パラメータを
割卵して所望の特性をもつ光ファイバを精度よく製造す
ることが可能な製造装置に関する。

従来技術 光ファイバの従来の製造方法は通常、母材であるプリフ
ォームの製造工程と、プリフォームを加熱して線引きす
る線引き工程とに別かれている。

従来の製造方法には代表的なものとして、肉付は法、い
わゆるＭＣＶＤ法及びＶＡＤ法がある。

第１図（ａ）＊（ｂ）にＭＣＶＤＣＶＤ工程的模式的、
第２図にＶＡＤ裂造工程を模式的に示す。まず　９４１
図に示す工程において、製造後の石英系光フアイバ内の
屈折率分布を制御する為のドーパント（例えばＧｅ、Ｐ
、Ｂ）のハロゲン化物（例えばＧｅＣ４＊　、ｐｏｃ４
　ｔ　ＢＢｒｇＪが酸素中に気化される。

これらのガスの流量はキャリアガスである酸素の流ｔを
マスクローコントローラーＭＦＣで制御することによっ
て制御される。気化した気体はガラス旋鍼ｌにより一定
のスピードで回転している石英パイプ８の中へ導かれる
。この石英パイプ８は酸水素炎バーナ−２により外部か
ら加熱され、その結果ガラスパイプ中でハロゲン化物が
酸化し、Ｇｅ、Ｐ、Ｂ等を含む薄い石英ガラス膜がパイ
プメ臀面に付着すると共に、不透明な石英ガラス微粒子
が気体下流の石英パイプ８の内面に付着する。

石英パイプ外部の酸水素炎は気体流と同方向へゆ慎り２
動カ、あれ、内、ｆｌｉ、。付着、え不透明是゛５ユを
融かし、透明なガラスにする。

光ファイバのコアになるのに十分な量の透明な石英膜４
が石英パイプ内面に堆積された後（第１図（ｂ））、そ
の石英パイプは１９００’Ｃ程度に加熱され、熱により
つぶされ、棒状のプリフォーム５になる。これを電気炉
６で加熱し線引きをすると光ファイバ７が得られる。

他方の第２図に示すＶＡＤ　製造工程は、スート堆積、
脱水、焼結などの工程がら成っている。酸水素トーチｌ
Ｏによる酸水素炎中での酸化及び加水分解反応によりガ
ラス微粒子１１が生成され、適当なガラス棒１２の下端
に吹き付けられる（第２図（ａ））。そのガラス微粒子
１１は、白い粉が固められたような微粒粉末プリフォー
ム１８を形成し、軸方向に成長する。そのプリフォーム
１８は、均一で外径が一定になるよう回転させられなが
ら、ゆっくりと上に引き上げられていく。次にその微粉
末プリフォーム１Ｂはカーボン炉１４などにより１６０
０℃に加熱され、透明なプリフォーム１６に焼結される
。

以上例示した二つの製造方法において、屈折率分布は、
例えばＧｅＣ／ｉ’４の流量を制御することにより変化
できるが、複雑な屈折率分布を実現したいときは不純物
の混入量を時々刻々コンピュータで制御する必賛がある
。そうした制御に関しては、出来上りのファイバ、すな
わち製造ラインからはずされたファイバの特性変化を何
らかの形で製造側にフィードバックすることは試みられ
ているが、製造時におけるプリフォーム又はファイバの
緒特性の情報を逐時プリフォーム及びファイバの製造側
の種々の製造制御パラメータにフィードバックさせてプ
リフォーム又はファイバの緒特性をより良く制御しよう
とすることはこれまで行われていなかった。

最近、光通信に利用される光ファイバの断面寸法カ国際
的に標準化された事に伴い、光フアイバ製造会社及びそ
の関連機関が製造したファイバの断面寸法やコア内屈折
率分布等の種々の特性値を精密に計測し製造時の各種制
御パラメータの制御に反映させて高精度な緒特性をもつ
ファイバを製造することが重要となってきている。

第８図に光ファイバの構造を示す。石英のコア２１とク
ラッド２２及びプラスチックの被覆材２８から′！Ｍｘ
される光ファイバはコア２１内の屈折率分布や率、偏心
率等があり、以下これらをまとめて断面寸法と誓く。

さて、光ファイバの断面寸法を計測する方法としては大
別して次の二つが知られている。

ａ）ファイバの端面よりレーザ光又は通常の光られた情
報を信号処理した後ＴＶモニタ又はプロペＬ ツタ上に表示さ共て計測する方法。

ｂ）コア内に屈折率増大物質としてＧｅ原子をドープし
た光フアイバプリフォームに紫外線レーザ光を照射し、
Ｇｅが光を吸収して蛍光を発する現象を利用して、コア
径、クラツド径及び屈折率分布を計測する方法。

第４図に、ｂ）の方法でムれた蛍光現象を利用したファ
イバ融着装置を示す。この装置ではファイバ８１ノ側面
にＨｅ−Ｃｄレーザからの紫外光線ビーム８２を照射し
、その方向から±４５°の方向に互いに９０°の角をな
す対物レンズ８８　、８８’を設置した二視野顕微＠８
４を介してテレビカメラ部で、ファイバ中の蛍光現象に
よる光とクラッドからの反射光を受ける。そうした光に
よる信号をデメジタイザ８６で信号処理した後テレビモ
ニタ８７上にコアの位置を表示させている。この場合、
ファイバとファイバの融着接続を目的としているため、
紫外光線ビームは両ファイバの接続点に照射可能な様に
構成され、又放電でファイバを融着させる為の電極（図
示せず）がファイバの周囲に設けられている。ここで挙
げたコアの位置検知装置は、非破壊的にファイバの種々
の特性を計測し得る可能性があるものの、ファイバ間の
接続という限定した利用を目的としている為にそうして
計測した特性値の情報を速時製造装置における各種製造
パラメータの制御に用いるという思想は生まれなかった
。

また、従来Ｏ製造装置による場合、製造後の測定で所望
の規格から外れた特性をもつファイバが作られた仁とが
判明した場合それを棄てるなどする無駄があった。

発明の目的 仁の発明は、光フアイバ製造時にファイバの各種特性値
を計測しつつ、これらの情報をオンラインで製造側の各
種制御パラメータに逐時フィードバックさせて制御する
ことにより、精度の高い所望の特性をもつ光ファイバを
製造することが可能な光ファイバの製造装置及びその製
造方法を提供することを目的とする。このことにより、
従来の装置では達成し得なかった、緒特性のすぐれた高
精度ファイバを迅速に製造することが可能である。

発明の構成 上述の目的を達成する為に、本願で開示する製を処理す
る信号処理手段、さらに該信り処う」手段からの情報を
オンライン的をζフィードバックさせて製造時の制御パ
ラメータを変化させる制御手段とを備えたものである。

実施例 第６図に本願の発明に係る光フアイバ製造装置のブロッ
クダイヤグラムを示す。プリフォーム製造部４０で作ら
れたプリフォーム４１が加熱線引き部４２で加熱され、
線引きされて出来るファイバ４８が特性計測部４４に送
出される。計測部４４は、ファイバの断面寸法及び屈折
率分布に関する物理量を計し 測メ、信号処理の後それらのデータをプリフォーム製造
部４０及び／又は加Ｊ％線引き部４２にフィードバック
させて断面寸法及び屈折率分布に影響を与える製造パラ
メータを制御する。プリフォーム製造部４０と加熱線引
き部４２が一つの製造装置に組込まれていない場合、つ
まりあらかじめプリフォーム製造部４０で作られたプリ
フォームを加熱線引きする場合には、線引き工程でのフ
ィートノ（ツク制製造装置を構成するのが望ましい。プ
リフォーム製造部４０で作られたプリフォーム４１は特
性計測部４４′にて計測され、プリフォーム４１の屈折
率分布等に関する物理量が計測され、信号処理の後、プ
リフォーム製造部４０にそれらのデータがフィードバッ
クされて、屈折率分布等に影響を与える製造パラメータ
が制御される。

次に、計測８４４．４４’の一例を第７図に示す。

紫外光源Ｓ（例えばＨｅ−Ｃｄレーザ、紫外線ランプ等
）から出た紫外光線を集光レンズＬ１で集束させファイ
バ５１の軸に垂直に側面から当てる。この場合、後述す
る理由で光源の発光効率を考慮して、ファイバ５１のク
ラッド６２径より小さいスポット径の光を照射するのが
望ましい。ファイ１＜に照射することにより、その光エ
ネルギーの一部がコア５８に吸収され、その結果コア５
３内に含まれるＧｅ原子が蛍光を発する。この蛍光によ
る光とクラッド観測する。テレビカメラＴＶＣからの信
号はアナログ／デジタル変換器５５によりデジタル変換
され、フレームメモリ５６に最初に設定した方向からデ
ータが記憶させられ、次に駆動手段６０により一視野系
光学システム６４が所定角度（例えば９０°）ｔごり回
転させられ、再びテレビカメラＴＶＣからの信号がアナ
ログ／デジタル変換＠５５によりデジタル変換されて回
転後における方向からのデータがフレームメモリ５６に
記憶させられる。こうしでフレームメモリ６６に記憶さ
せた回転前後の二視野からの観測データによりそれらの
パターンをテレビモニタ６８上で重ねて表示させる。

テレビモニタ上のパターンから断面寸法が測定出来るが
、より詳細な計測とコア内屈折率分布の計測はコンピュ
ータにより信号処理させなければならない。すなわち、
パターンの中心を通る一本の垂直ラインを選び、そのラ
イン上の輝度分量からコアとクラッドの境界を知り、そ
の結果コア径が測定出来るし、またクラッドと空気の境
界を知ることによりクラツド径が測定出来る。非円率と
偏心率については、回転前後の二視野、さらに精度費上
げるには二以上の多視野から観測されるコア径、クラツ
ド径の情報からそれらの程度が知れる。

より測定出来る。その理由は、コア内Ｇｅ原子の分布が
屈折率分布を反映しており、それは蛍光のコア円空間分
布として表われてくるからである。

第７図に示す計測部は、−視野ｘＹ学システムで多視野
系の光学システムと同ＣＩ測定効果を得る為に、■上記
の様にファイバは固定しておき、−視野顕微鏡を回転さ
せるか、■光学系は固定しておきファイバ自体を回転可
能になる４１１な構成にしておく必要がある。

また、上で少し触れ、また下に説明する様に、さいスポ
ット径で被測定ファイバに照射する様に光学系を構成す
るのが望ましい。例えば、紫外光のスポット径が大きな
値の１５０μｍで紫外光源のレーザ先のパワーが約４　
ｍＷ必要とすると、光パワー密度〔光パワー／〔π×（
半径〕２〕〕は、約０、２８　Ｘ　１０−”ｍＷ／　Ｃ
μｍ　）２　となる。仮りニ同シ光ハワー密度が必要だ
とすると、紫外光リスポット径を小さな値の５０μｍと
することにより、必要な光パワーは０．４５ｍＷでよい
ことになる。光パワーの減少は紫外光源として低価格の
ものの使用を可能とすることになり、経済的であること
に加えて一紫外光源の寿命保証時間の点でも低田力の方
が有利である。しかし、紫外光のスポットがトラッド径
より小さいため、クラッドの外周部からの光が検知出来
ずクラツド径等が計測出来ない可能性が出てくる。もち
輪生しは光の回折現象で未照射の部分にも光が回りこむ
ことが考えられるが、念の為に以下の対策を講じておく
必要が島る９すなわち、スポットとファイバが相対的に
可動となる＃２成にしておく。Ｃれには、第８図（ａ）
に示す様にファイバ６１Ｊ！ｔｌｉ！ｉＩ定してスポ′
−ット６２が動（様に構成するか、又は逆に第８図（ｂ
）に示す様にスポット６２′を固定させてファイバ６１
’が移動可能となる像構成する。

次に、ｆｉ７ｆｆｉに示す計測部と同様のものを二視野
系光学システムで構成したものを第９図に示す。

紫外光源Ｓからの光線を集光レンズＬｌで集束させ被測
定ファイバ６１に軸に凰直に側面から照射させる。この
照射によるＧｅの蛍光とクラッド中の透過光とを二視野
系顛微鏡６６で観測する。第９図にｍ？ｌＩｔｇａ５か
らの出力光をテレビカメラＴＶＣ６６に加え、テレビカ
メラＴＶＣ６６の出力信号・社デジタイザ６７で所定（
ｕ（１号処理をした上でテレビモニタＴＶＭ６８上に表
示させる。コンピュータによる（Ｊ号処理により表示さ
れた発光強度分布から屈折率分布及びｋｒ厘寸法といっ
た情報が得られる。

光ファイバの製造は通常、母材であるプリフォームの製
造工程と、プリフォームを加熱して線引きする線引き工
程に別かれている。伝送損失や帯域、屈折率分布などは
前者の工程で決定され、クラッドの形状寸法や強度など
の特性は後者の工程水 で決定される。第６図、第６図に内ずプリフォーム製造
部４０の一例を、第１０図のブロックタイヤグラムに従
い説明する。

材料ガス麓を制御する機構を含むガス供給部Ｇからの材
料ガスがプリフォーム第１形成部Ｐ１に送られる。ここ
で形成された予備プリフォームが１、第２形成部Ｊｌ、
ｉ’２を加熱し、第１の駆一部ＤＩは夫々必要に応じて
加熱ａ＊Ｈ１ｊ第１形成ｍｘ１．第２形成部Ｐ２を所定
速度で駆動させるものである。回転駆動部ＲＤは第１形
成部Ｐｌを所定速度で回転させ、Ｍ２駆動部Ｄ２は第２
加熱源を駆動させるものである。

ＭＣＶＤ工程の製造方法をｉｌｌ、１０図の各ブロック
を用いて説明すると次の様になる。流層を制御された材
料ガスがガス供給部Ｇから供給され、回転駆動部ＲＤに
より回転させられつつ第１加熱源Ｈ１により加熱されて
第１形成部Ｐ１にある石英パイプに送られる。石英パイ
プと第１加熱源Ｈ１は第１駆動手段ＤＩにより相対的に
所定速度で動く様構成されていて、石英パイプ内に堆積
層が形成される。所定厚さの堆積ノ１が形成された後、
石英る。この除、第２加熱源Ｈ２も必要に光じ所定速度
で第２形成部Ｐ２に沿って移動させられる。また、必要
なら第２形成部Ｐ２での石英パイプも第“ｉ〒第６図に
示す計測部４４′により、プリフォーム内の屈折率分布
等の特性データが計測され、帰還回路７０を介してフィ
ードバック制御の為に逐時ガス供給部Ｇ、第１．第２Ｗ
Ａ動部ＤＩ、Ｄ２．第１゜第２加熱源Ｈ１，Ｈ２２回転
１１に動部ＲＤへ制御信号の形として帰還される。

ける酸水素トーチ１０．カーボンが１４が夫々第１゜第
２の加熱源に対応する。プリフォーム第１形属部Ｐ１に
設けた種棒１２（第２図（ａ）〕にガラス微粒子が付着
し微粉末プリフォームが形成される。

第１１図に、第６図に示した加熱線引き部４２の一例を
ブロックダイヤグラムを用いて示す。プリフォーム供出
部、Ｆから゛送出さ）れるプリフォーム７２τ加熱しつ
つ線引きし、光ファイノ＜　７８’を得る。線引きには
２０００°Ｃ以上の高温が必要となるが、紛引きに最適
な温度は光ファイバの強圧、伝癲損失及、びファイバ径
等を加味して所定のものになる様逐時制御される。プリ
フォーム表面に傷が多く存在する場合、縁引き後の光フ
アイバ表面に残存する恐れがあり、こうした事態を避け
る為に線引き温度は十分に高くしなければならない。し
かし、他方線引き温度が高過ぎると、酸素欠陥による色
中心が生じたり、添加物の発泡現象などを引起こし損失
が増加する。

線引きされた後の光ファイバ表内に、外界との物理的接
触などにより傷が生じない様被覆処理部ＰＣにて５〜１
００μｍ厚程度の Ｌシ人下墾白Ｊ られていく。その際、測定部４４で計測された特性精密
に制御する。

以上、第１０図、第１１図において制御システムの構成
について記述したが、更に別の制御システムを第１２図
に示す。第１２図は、第６図と第６図に示す制御システ
ムを組合せた構成を採用する光ファイバの製造装置のブ
ロックダイヤグラムを示す。第１２図において、第６．
第６図におけるブロック、部分と同一の又はそれに相当
するブロック、部分には夫々同じ符号を付している。

製造されてきた光ファイバ４８の物理特性が計測部４４
にて連続して計測され、その計測結果に基づく情報がプ
リフォーム製造部４０．加熱線引き部４２へ制御信号の
形で帰還される。この制御に加えて、プリフォーム製造
部４０から送出されてくるプリフ、オーム４１の物理特
性が別の計測部４４′により連続して計測され、同様に
計測結果に基づく情報がプリフォーム製造部４０へ制御
信号の形で帰還される。

第１２図に示す制御システムの構成を採用することによ
う、プリフォーム及び光ファイバ只を一貫して製造する
光ファイバの製造装置において、より精度の高い制御の
下で光ファイバを製造することが出来る。例えば、プリ
フォーム内の屈折率分布が連続して計測され、その計測
結果がブリフォーされ、加えて光ファイバのコア径、ク
ラツド径等の断面寸法が同じく連続して計測され、その
計測る。この結果、希望する特性を持った光ファイバが
さらに高精度に製造出来る、という利点がある。

以上記述した制御システムの構成を′もつ本願に係る製
造装置及び製造方法によれば、従来生じていた様な製造
時の問題点、例えば■コア周辺部（コアとクラッドとの
境界）での低屈折率のすそ引きの除去、つまりコアとク
ラッドとの境界で屈折率が顕著に変化させられない点と
か、■コア周辺部の屈折率分布（不純物分布）の不整の
除去の点等が高精度制御による製造により解決される。

る場合も、光学システムの簡単な変形によりレーザ光線
源を用いる場合と同じ様な測定効果を得ることが出来る
。

発明の効果 本願で開示する光フアイバ製造方法及び装置によれば、
製造時に遂時光ファイバの特性を計測しその情報をオン
ラインλ゛製造・寸うメータの制御蛋こ帰還し、製造時
における特性変化制御に反映させることによりプリフォ
ーム及び光ファイ１＜の緒特性を精密に制御することが
可能で、これにより希望する特性の光ファイバを精度よ
く製造することが可能である。

【図面の簡単な説明】

のブロックダイヤグラムである。 図において１・・・ガラス旋盤、２・・・酸水素炎バー
ナ−，８・・・石英パイプ、４・・・堆積層、５・・・
プリフォーム、６・・・電気炉、７・・・光ファイバ、
１０・・・酸水素トーチ、１１・・・ガラス微粒子、１
２・・・ガラス棒、１８・・・微粉末プリフォーム、１
４・・・カーボン炉、１５・・・透明プリフォーム、２
１・・・コア、２２・・・クラッド、２８・・・被覆材
、８１・・・ファイバ、８２・・・紫外光線ビーム、８
８゜８８′・・・対物レンズ、８４・・・二視野顕微鏡
、８５・・・テレビカメラ、８６・・・デジタイザ、８
７・・・テレビモニタ、４０・・・プリフォーム製造部
、４１・・・プリフォーム、４２パ°加熱線引き部、４
８・・・ファイバ、４４．４４’・・・特性計測部、Ｌ
ｌ・・・集光レンズ、Ｓ・・・紫外光源、５１・・・フ
ァイバ、６２・・・クラッド、６８・・・コア、５４・
・・−視野系光学システム、５６・・・アナログ／デジ
タル変換器、５６・・・フレームメモリ、５７・・・コ
ンピュータ、６８・・・テレビモニタ、５９・・・プリ
ンタ、６ｏ・・・祁動手段、６１．６１’・・・ファイ
バ、６２．６２’・・・スポット、６５・・・二視野系
顕微鏡、６６・・・テレビカメラ、６７・・・デジタイ
ザ、６８・・・テレビモニタ、Ｄｌ、Ｄ２・・・駆動部
、Ｇ・・・ガス供給部、Ｈｌ、Ｈ２・・・加熱源、Ｐ・
・・透明プリフォーム、ＰＩ、Ｐ２・・・形成部、ＲＤ
、・・回転駆動部、７ｏ・・・帰還回路、Ｆ・・・フオ
ーム、７８・・・光ファイバである。 なお各図中同一符号は同一または相当部分を示すものと
する。 ４イｔｅｌｌ　！１９−丁ｆ＋　喪龜ａｉＫ第３図 第４図 第５図 ［ 第６図 第７図 第８図（ｂ） 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　光ファイバの母材であるプリフォームを所定の
   制御下で加熱する加熱手段と、光ファイバを制御下の線
   引き速度で線引きする線引手段とを具備する光ファイバ
   の製造装置において、前記光ファイバの線引き時に該光
   ファイバの物理特性を計測する計測手段と、その測定結
   果を演算処理する信号演算処理手段と、前記信号演算処
   理手段からの情報信号を前記加熱手段と前記線引手段の
   少なくとも１つにフィードバックさせる帰還回路とを具
   備することを特徴とする光ファイバの製造装置。 （２）　回転する石英パイプに材料気体とキャリアガス
   を流し、第１の温度で該パイプ外壁面を走行する第２の
   加熱手段で加熱しガラスの堆積層を該パイプ内壁画に形
   成させ、′その後前記第１の温度より高温の第２の温度
   で前記石英パイプを加熱しプリフォームを形成する様構
   成した堆積法プリフォーム製造部を更暑ζ具備し、前記
   信号演算処理手段からの情報信号を前記プリフォーム製
   造部にフィードバックさせる＃ｉ！！の帰還回路を更に
   備え、前記情報信号に基づき、前記石英パイプの回転速
   度、前記材料気体の量、前記キャリアガスの量。 前記１ｊｌの温度、前記＄２の加熱手段の走行速度の少
   なくとも１つを制御する様構成したことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の光フアイバ製造装置。 （３）　回転する種棒を第１の温度で加熱し、材料ガス
   の酸化及び加水分解反応によりガラス微粒子を前記線棒
   Ｏ下端に吹き付は微粉末プリフォームを形成し、前記微
   粉末プリフォームを第２の温度で掃引される第２の加熱
   手段で加熱・焼結し透明プリフォームを形成する様構成
   した軸付は法プリフォーム製造部を更に具備し、前記信
   号演算処理手段からの情報信号を前記プリフォーム製造
   部にフィードバックさせる第２の帰還回路を更に備え、
   前記情報信号に基づき、前記種棒の回転速度、前記第１
   の温度、前記材料ガスの麓、前記第２の温度、前記第２
   の加熱手段の掃引速度のうち少なくとも１つを制御する
   様構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の光ファイバの製造装置。 （４ン　前記計測手段が一視野顕微鏡とテレビカメラか
   ら構成され、前記信号演算処理手段はデ゛ジタイザ、テ
   レビモニタ及びコンピュータがら構成されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１〜第８項のいずれかに記
   載の光ファイバの製造装置。 （５ン　前記計測手段が二視野顕微鏡−とテレビカメラ
   から構成され、前記信号演算処理手段はデジタイザ、テ
   レビモニタ及びコンピュータから構成されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１〜第８項のいずれかに記
   載の光ファイバの製造装置。 （６）光ファイバの母材であるプリフォームを加熱制御
   手段により加熱し、引張制御手段で可変の線引き速度で
   プリフォームを線引きして光ファイバを製造する光ファ
   イバの製造方法において、前記光ファイバの線引き中に
   該光ファイバの物理特性を計測手段により連続的に計測
   し、その測定結果を信号演算処理手段により演算処理し
   、前記信号演算処理手段からの情報信号を帰還回路を介
   して前記加熱制御手段及び前記引張制御手段に帰還させ
   て８「記加熱制御手段の加熱制御及び前記引張制御手段
   の引張制御を行わせることを特徴とする光ファイバの製
   造方法。 （７）前記プリフォームは、回転する石英パイプに材料
   気体とキャリアガスが流され、第１の温度で走行する加
   熱手段で該パイプ外壁面が加熱され、石英パイプが加熱
   されプリフォーム形成部にて形成され、前記信号演算処
   理手段からのＴｉｆ報信号を第２の帰還回路を介して前
   記プリフォーム形成部に帰還し、前記情報信号に基づき
   、前記石英パイプの回転速度、前記材料気体の量、前記
   キャリアガスの量、前記第１．＠２の温度、前記第２の
   加熱手段の走行速度のうち少なくとも１つを制御するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載の光フアイ
   バ製造方法。 （８）　回転する種棒を第１の温度で加熱し、材料ガス
   の酸化及び加水分解反応によりガラス微粒子を前記種棒
   の下端に吹き付は微粉末プリフォームを形成し、前記微
   粉末プリフォームを第２の温度で掃引される第２の加熱
   手段で加熱・焼結するプリフォーム製造部にて透明プリ
   フォームを形成し、前記信号演算処理手段からの情報信
   号を第８の帰還回路を介して前記プリフォーム製造部に
   帰還させ、前記情報信号に基づき、前記種棒の回転速度
   。 前記第１　ｓ　ＷＥＥ　２の温度、前記材料ガスの鼠、
   前記加熱手段の掃引速度のうち少なくとも１つを制御す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載の光フ
   ァイバの製造方法。