JPS60264200A - 超音波振動子 - Google Patents

超音波振動子

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JPS60264200A
JPS60264200A JP11991484A JP11991484A JPS60264200A JP S60264200 A JPS60264200 A JP S60264200A JP 11991484 A JP11991484 A JP 11991484A JP 11991484 A JP11991484 A JP 11991484A JP S60264200 A JPS60264200 A JP S60264200A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
electrode
high polymer
polymer piezoelectric
piezoelectric member
Prior art date
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Pending
Application number
JP11991484A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukio Kagawa
加川 幸雄
Hidekazu Ando
英一 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Shimada Rika Kogyo KK
Original Assignee
SPC Electronics Corp
Shimada Rika Kogyo KK
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Filing date
Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp, Shimada Rika Kogyo KK filed Critical SPC Electronics Corp
Priority to JP11991484A priority Critical patent/JPS60264200A/ja
Publication of JPS60264200A publication Critical patent/JPS60264200A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0688Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は超音波振動子に関するものである。
(従来の技術) 従来の此種振動子は第72−、”/、31図に示すよう
に、圧電性結晶体(例えば、ロッシェル塩或いは水晶等
)、又は焼結された圧電セラミック(例えば分極処理さ
れたBaTiO3或いはPb(z r、Ti ) 03
磁器)により形成される圧iit累子部子部両側より←
)電極2と(→電極3とを付け、夫々の(+)リード線
グと(−)リード線Sとに′匍、気信号を加えることに
より機械的な超音波振動を得るようになっている。
(発明が解決しようとする問題点) ところで、前記の圧電素子は圧電性結晶体の場合、結晶
であるがため、圧電現象を得るには方向性を考慮した取
扱いが必要となり、形状においてもあまり大型のものは
製作できない。
又、圧電セラミックにおいては、製造工程が混合且つ圧
縮成形した原料粉末を、同相反応によって合成する工程
と、合成した粉末を再び成形して焼き固めるという工程
の二つから成り立っており、粉末をプレスすることは不
可欠であるが、その工程において大型のものを均一にプ
レスすることは困難な場合がある。
〔発明の構成〕
(問題点を解決するだめの手段) 本発明の超音波振動子は、表裏に(+)電極と(−)電
極を有するシート状の高分子圧電材を渦巻状に形成した
ものである。
(作 用) 本発明においては(→、(−)’を極に印加するこ°と
により電気信号の鞠波数に応じた横効果振動が生じ、超
音波振動を発生させる。
(実施例) 本発明の第1実施例を第1図乃至第3図に基いて詳細に
説明すると、例えば、ポリフン化ビニリデン(PVF2
)等のシート状をし7だ高分子圧電材/′の表裏に(→
′練極2と(→電極3とを地付ける。この両電極2,3
は銀ペーストを厚き2μm〜70μmで塗布後乾燥させ
、又は真空蒸着法等にて形成する。そして、従来と同様
に、両電極コ、3に夫々(+)リード線グ、(=)リー
ド線5、を取付ける。尚、図面では省略し2だが、両電
極2,3の表面に′電気的絶縁層を設ける。この状態に
おいて高分子圧電材/′を第1図に示すように渦巻状に
巻取る。
尚、本実施例においては第3図に示す高分子圧電材/′
が平板状になっている状態で、両電極2.3間に直流電
圧(最大電界強度7 Q KV廓)を印加することによ
り矢印で示す方向に分極させ、圧電性を向上させる。
第1実施例は前記のように構成したもので、電気信号発
生装置よりの交流信号を(4−) 、 (−) IJ 
−ド線&、5より印加することにより、電気信号の周波
数に応じて横効果振動(電界の方向と弾性波の伝播方向
が直交している振動)を生じ、第2図に矢印で示す高分
子圧電材/′の渦巻状と直交する方向に超音波振動を生
じる。
第1笑施例においては従来の振動子と同様な動作を祷る
ことができ、渦巻状に形成するので、従来の振動子で得
られなかった大型の形状の振動子を得ることができる。
次に、第2実施例を第9図に基いて説明すると、本実施
例は、第1笑励例で形成した渦巻状のものを、中央部を
片側から押し出して凹面状に形成したものである◇他の
構成は第1失施例と同一なので、同一符号を伺し、説明
を省略するO 第2笑施例においては、音波の集束を計ることが可能と
なる。
音圧が最大になる点X はkh>グの条件において x m zF 7./’ F/ (k” h’ +72
 )X においての音圧P は π m p 〜<hh+/2/kb)ρcv m 〜 上京めることができる。
世し、a2aは直径、hは凹みの深さ、Fは焦点までの
距離、kは波長定数、P焦点、■は音源の振動速度、ρ
CV は平面波の場合の音圧法に、第3実施例を第5,
6図に基いて説明すると、2枚のシート状の高分子圧電
材t/ 、 tlの表裏に夫々(+)電極2、(−)1
1を極3を取付け、両(→電極2を内側にして重ね合せ
、第S図に示すように渦巻状に巻取る〇 尚、両高分子圧箪材// 、 t、lの夫々同一の(+
)電極2,2は一本の(+)リード線グで接続し、(−
)k極3,3は一本の(→リード線Sで接続している。
前記実施例においては(+) ’[極2,2を重ね合わ
せるように説明したが、(−)電極3,3を重ねてもよ
いものである。
第3実施例においては同一電極を重ねているので、第1
実施例のような電気的絶縁層を設ける必要がないもので
ある。他の作用は第1実施例と同様である。
次に、第グ笑施例を第71g図に基いて説明すると、高
分子圧電材/′の表面に複数個の分割した(+)!極片
2a、2b 、2c r−−−を取付け、裏面には一つ
の(−) IE電極を取付け、他の実施例と同様に渦巻
状に巻取る。各(+)電極片2a。
2 b 、 2 c 、 −−−には夫々(+)リード
線4ta 。
ダb、グC9−−−を取付ける。
第グ実施例は前記のように411)成したもので、各(
→リード線グa、グb、グC1−−−に周波数は同じで
あるが、位相を制御された電気信号を印加すると、指向
性の制御された超音波振動を発生させることができる。
次に、第!r笑施例を第り図に基いて説明すると高分子
圧電材/′の表面に複数個の分割した(+)電極片2a
、2b 、2c 、2d+−−−を設け、裏面にも同様
に複数個に分割した(+)電極片3a +3b + 3
c r 3d’+ −−一を設けて直列的に接続したも
のである。そして、第グ実か、・例と圓様に渦巻状に巻
取る。
第3実施例においては任意の電気入力インビダンスを得
ることができる。
次に、第6実施し1]を第10.77図に基いて説明す
ると、第70図に示すように一辺が傾斜した台形の高分
子圧電材/“を使用するもので、他は前記各実施例と同
様である。
前記の高分子圧電材/″の大きな高d H1j111を
内側にして渦巻状に巻取ると、第1/図(A)に示すよ
うに、中央部を突出させた形状のものが得られる。この
形状の振動子は広帯域性、集束効果を有するものである
又、高分子圧′電材/“の小さな賃さ内側を内側にして
渦巻状に巻取ると、第1/図(B)に示すように、中央
部が窪んだ形状のものが得られる。
この形状の振動子は広帯域化、集束短パルス化、高感度
化等の特性を得ることができる。
〔発明の効果〕
本発明は高分子圧電材を渦巻状に形成しているため任意
の形状及び大きさの振動子を得ることができる。
又、高分子圧電材料の音普インビダンスが水或いは生体
に近いため、それらへの送波或いは受波の効率が良い。
従来のものは電極間の距離が大きいため必要な電界を得
るためには高電圧を印加しなければならないが、本発明
においてはシートの厚みが電極間の距離となるだめ従来
のものよりも低電圧で必要な電界を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る超音波振動子の第/実施沙りの正
面図、第2図は911面図、第3図は展開斜視図、第9
図は第2実施例の断面図、第S図は第3実施例の展開斜
視図、第4図はその正面図、第7図は第グ実施例の展開
正面図、第に図はその伺]面図、第り図は第S笑施例の
展開図、第70図は第6実施例の展開平面図、第1/図
(A) 、 (B)はその巻取り方を変えた側面図、第
72図は従来の振動子の断面図、第73図はその正面図
である。 尚、図中/′、/“は昼分子圧電材、!+ 2 a+ 
2 b r−m−は(+)電極、3は(−)電極である
。 特許出願人 島田理化工業株式会社 第1図 第5図 第61図 第7図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表裏に(→電極と(−)電極とを有するシート状の高分
    子圧電材を渦巻状に形成したことを特徴とする超音波振
    動子。
JP11991484A 1984-06-13 1984-06-13 超音波振動子 Pending JPS60264200A (ja)

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