JPS60264200A - 超音波振動子 - Google Patents
超音波振動子Info
- Publication number
- JPS60264200A JPS60264200A JP11991484A JP11991484A JPS60264200A JP S60264200 A JPS60264200 A JP S60264200A JP 11991484 A JP11991484 A JP 11991484A JP 11991484 A JP11991484 A JP 11991484A JP S60264200 A JPS60264200 A JP S60264200A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- high polymer
- polymer piezoelectric
- piezoelectric member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 9
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 abstract description 3
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は超音波振動子に関するものである。
(従来の技術)
従来の此種振動子は第72−、”/、31図に示すよう
に、圧電性結晶体(例えば、ロッシェル塩或いは水晶等
)、又は焼結された圧電セラミック(例えば分極処理さ
れたBaTiO3或いはPb(z r、Ti ) 03
磁器)により形成される圧iit累子部子部両側より←
)電極2と(→電極3とを付け、夫々の(+)リード線
グと(−)リード線Sとに′匍、気信号を加えることに
より機械的な超音波振動を得るようになっている。
に、圧電性結晶体(例えば、ロッシェル塩或いは水晶等
)、又は焼結された圧電セラミック(例えば分極処理さ
れたBaTiO3或いはPb(z r、Ti ) 03
磁器)により形成される圧iit累子部子部両側より←
)電極2と(→電極3とを付け、夫々の(+)リード線
グと(−)リード線Sとに′匍、気信号を加えることに
より機械的な超音波振動を得るようになっている。
(発明が解決しようとする問題点)
ところで、前記の圧電素子は圧電性結晶体の場合、結晶
であるがため、圧電現象を得るには方向性を考慮した取
扱いが必要となり、形状においてもあまり大型のものは
製作できない。
であるがため、圧電現象を得るには方向性を考慮した取
扱いが必要となり、形状においてもあまり大型のものは
製作できない。
又、圧電セラミックにおいては、製造工程が混合且つ圧
縮成形した原料粉末を、同相反応によって合成する工程
と、合成した粉末を再び成形して焼き固めるという工程
の二つから成り立っており、粉末をプレスすることは不
可欠であるが、その工程において大型のものを均一にプ
レスすることは困難な場合がある。
縮成形した原料粉末を、同相反応によって合成する工程
と、合成した粉末を再び成形して焼き固めるという工程
の二つから成り立っており、粉末をプレスすることは不
可欠であるが、その工程において大型のものを均一にプ
レスすることは困難な場合がある。
(問題点を解決するだめの手段)
本発明の超音波振動子は、表裏に(+)電極と(−)電
極を有するシート状の高分子圧電材を渦巻状に形成した
ものである。
極を有するシート状の高分子圧電材を渦巻状に形成した
ものである。
(作 用)
本発明においては(→、(−)’を極に印加するこ°と
により電気信号の鞠波数に応じた横効果振動が生じ、超
音波振動を発生させる。
により電気信号の鞠波数に応じた横効果振動が生じ、超
音波振動を発生させる。
(実施例)
本発明の第1実施例を第1図乃至第3図に基いて詳細に
説明すると、例えば、ポリフン化ビニリデン(PVF2
)等のシート状をし7だ高分子圧電材/′の表裏に(→
′練極2と(→電極3とを地付ける。この両電極2,3
は銀ペーストを厚き2μm〜70μmで塗布後乾燥させ
、又は真空蒸着法等にて形成する。そして、従来と同様
に、両電極コ、3に夫々(+)リード線グ、(=)リー
ド線5、を取付ける。尚、図面では省略し2だが、両電
極2,3の表面に′電気的絶縁層を設ける。この状態に
おいて高分子圧電材/′を第1図に示すように渦巻状に
巻取る。
説明すると、例えば、ポリフン化ビニリデン(PVF2
)等のシート状をし7だ高分子圧電材/′の表裏に(→
′練極2と(→電極3とを地付ける。この両電極2,3
は銀ペーストを厚き2μm〜70μmで塗布後乾燥させ
、又は真空蒸着法等にて形成する。そして、従来と同様
に、両電極コ、3に夫々(+)リード線グ、(=)リー
ド線5、を取付ける。尚、図面では省略し2だが、両電
極2,3の表面に′電気的絶縁層を設ける。この状態に
おいて高分子圧電材/′を第1図に示すように渦巻状に
巻取る。
尚、本実施例においては第3図に示す高分子圧電材/′
が平板状になっている状態で、両電極2.3間に直流電
圧(最大電界強度7 Q KV廓)を印加することによ
り矢印で示す方向に分極させ、圧電性を向上させる。
が平板状になっている状態で、両電極2.3間に直流電
圧(最大電界強度7 Q KV廓)を印加することによ
り矢印で示す方向に分極させ、圧電性を向上させる。
第1実施例は前記のように構成したもので、電気信号発
生装置よりの交流信号を(4−) 、 (−) IJ
−ド線&、5より印加することにより、電気信号の周波
数に応じて横効果振動(電界の方向と弾性波の伝播方向
が直交している振動)を生じ、第2図に矢印で示す高分
子圧電材/′の渦巻状と直交する方向に超音波振動を生
じる。
生装置よりの交流信号を(4−) 、 (−) IJ
−ド線&、5より印加することにより、電気信号の周波
数に応じて横効果振動(電界の方向と弾性波の伝播方向
が直交している振動)を生じ、第2図に矢印で示す高分
子圧電材/′の渦巻状と直交する方向に超音波振動を生
じる。
第1笑施例においては従来の振動子と同様な動作を祷る
ことができ、渦巻状に形成するので、従来の振動子で得
られなかった大型の形状の振動子を得ることができる。
ことができ、渦巻状に形成するので、従来の振動子で得
られなかった大型の形状の振動子を得ることができる。
次に、第2実施例を第9図に基いて説明すると、本実施
例は、第1笑励例で形成した渦巻状のものを、中央部を
片側から押し出して凹面状に形成したものである◇他の
構成は第1失施例と同一なので、同一符号を伺し、説明
を省略するO 第2笑施例においては、音波の集束を計ることが可能と
なる。
例は、第1笑励例で形成した渦巻状のものを、中央部を
片側から押し出して凹面状に形成したものである◇他の
構成は第1失施例と同一なので、同一符号を伺し、説明
を省略するO 第2笑施例においては、音波の集束を計ることが可能と
なる。
音圧が最大になる点X はkh>グの条件において
x m zF 7./’ F/ (k” h’ +72
)X においての音圧P は π m p 〜<hh+/2/kb)ρcv m 〜 上京めることができる。
)X においての音圧P は π m p 〜<hh+/2/kb)ρcv m 〜 上京めることができる。
世し、a2aは直径、hは凹みの深さ、Fは焦点までの
距離、kは波長定数、P焦点、■は音源の振動速度、ρ
CV は平面波の場合の音圧法に、第3実施例を第5,
6図に基いて説明すると、2枚のシート状の高分子圧電
材t/ 、 tlの表裏に夫々(+)電極2、(−)1
1を極3を取付け、両(→電極2を内側にして重ね合せ
、第S図に示すように渦巻状に巻取る〇 尚、両高分子圧箪材// 、 t、lの夫々同一の(+
)電極2,2は一本の(+)リード線グで接続し、(−
)k極3,3は一本の(→リード線Sで接続している。
距離、kは波長定数、P焦点、■は音源の振動速度、ρ
CV は平面波の場合の音圧法に、第3実施例を第5,
6図に基いて説明すると、2枚のシート状の高分子圧電
材t/ 、 tlの表裏に夫々(+)電極2、(−)1
1を極3を取付け、両(→電極2を内側にして重ね合せ
、第S図に示すように渦巻状に巻取る〇 尚、両高分子圧箪材// 、 t、lの夫々同一の(+
)電極2,2は一本の(+)リード線グで接続し、(−
)k極3,3は一本の(→リード線Sで接続している。
前記実施例においては(+) ’[極2,2を重ね合わ
せるように説明したが、(−)電極3,3を重ねてもよ
いものである。
せるように説明したが、(−)電極3,3を重ねてもよ
いものである。
第3実施例においては同一電極を重ねているので、第1
実施例のような電気的絶縁層を設ける必要がないもので
ある。他の作用は第1実施例と同様である。
実施例のような電気的絶縁層を設ける必要がないもので
ある。他の作用は第1実施例と同様である。
次に、第グ笑施例を第71g図に基いて説明すると、高
分子圧電材/′の表面に複数個の分割した(+)!極片
2a、2b 、2c r−−−を取付け、裏面には一つ
の(−) IE電極を取付け、他の実施例と同様に渦巻
状に巻取る。各(+)電極片2a。
分子圧電材/′の表面に複数個の分割した(+)!極片
2a、2b 、2c r−−−を取付け、裏面には一つ
の(−) IE電極を取付け、他の実施例と同様に渦巻
状に巻取る。各(+)電極片2a。
2 b 、 2 c 、 −−−には夫々(+)リード
線4ta 。
線4ta 。
ダb、グC9−−−を取付ける。
第グ実施例は前記のように411)成したもので、各(
→リード線グa、グb、グC1−−−に周波数は同じで
あるが、位相を制御された電気信号を印加すると、指向
性の制御された超音波振動を発生させることができる。
→リード線グa、グb、グC1−−−に周波数は同じで
あるが、位相を制御された電気信号を印加すると、指向
性の制御された超音波振動を発生させることができる。
次に、第!r笑施例を第り図に基いて説明すると高分子
圧電材/′の表面に複数個の分割した(+)電極片2a
、2b 、2c 、2d+−−−を設け、裏面にも同様
に複数個に分割した(+)電極片3a +3b + 3
c r 3d’+ −−一を設けて直列的に接続したも
のである。そして、第グ実か、・例と圓様に渦巻状に巻
取る。
圧電材/′の表面に複数個の分割した(+)電極片2a
、2b 、2c 、2d+−−−を設け、裏面にも同様
に複数個に分割した(+)電極片3a +3b + 3
c r 3d’+ −−一を設けて直列的に接続したも
のである。そして、第グ実か、・例と圓様に渦巻状に巻
取る。
第3実施例においては任意の電気入力インビダンスを得
ることができる。
ることができる。
次に、第6実施し1]を第10.77図に基いて説明す
ると、第70図に示すように一辺が傾斜した台形の高分
子圧電材/“を使用するもので、他は前記各実施例と同
様である。
ると、第70図に示すように一辺が傾斜した台形の高分
子圧電材/“を使用するもので、他は前記各実施例と同
様である。
前記の高分子圧電材/″の大きな高d H1j111を
内側にして渦巻状に巻取ると、第1/図(A)に示すよ
うに、中央部を突出させた形状のものが得られる。この
形状の振動子は広帯域性、集束効果を有するものである
。
内側にして渦巻状に巻取ると、第1/図(A)に示すよ
うに、中央部を突出させた形状のものが得られる。この
形状の振動子は広帯域性、集束効果を有するものである
。
又、高分子圧′電材/“の小さな賃さ内側を内側にして
渦巻状に巻取ると、第1/図(B)に示すように、中央
部が窪んだ形状のものが得られる。
渦巻状に巻取ると、第1/図(B)に示すように、中央
部が窪んだ形状のものが得られる。
この形状の振動子は広帯域化、集束短パルス化、高感度
化等の特性を得ることができる。
化等の特性を得ることができる。
本発明は高分子圧電材を渦巻状に形成しているため任意
の形状及び大きさの振動子を得ることができる。
の形状及び大きさの振動子を得ることができる。
又、高分子圧電材料の音普インビダンスが水或いは生体
に近いため、それらへの送波或いは受波の効率が良い。
に近いため、それらへの送波或いは受波の効率が良い。
従来のものは電極間の距離が大きいため必要な電界を得
るためには高電圧を印加しなければならないが、本発明
においてはシートの厚みが電極間の距離となるだめ従来
のものよりも低電圧で必要な電界を得ることができる。
るためには高電圧を印加しなければならないが、本発明
においてはシートの厚みが電極間の距離となるだめ従来
のものよりも低電圧で必要な電界を得ることができる。
第1図は本発明に係る超音波振動子の第/実施沙りの正
面図、第2図は911面図、第3図は展開斜視図、第9
図は第2実施例の断面図、第S図は第3実施例の展開斜
視図、第4図はその正面図、第7図は第グ実施例の展開
正面図、第に図はその伺]面図、第り図は第S笑施例の
展開図、第70図は第6実施例の展開平面図、第1/図
(A) 、 (B)はその巻取り方を変えた側面図、第
72図は従来の振動子の断面図、第73図はその正面図
である。 尚、図中/′、/“は昼分子圧電材、!+ 2 a+
2 b r−m−は(+)電極、3は(−)電極である
。 特許出願人 島田理化工業株式会社 第1図 第5図 第61図 第7図
面図、第2図は911面図、第3図は展開斜視図、第9
図は第2実施例の断面図、第S図は第3実施例の展開斜
視図、第4図はその正面図、第7図は第グ実施例の展開
正面図、第に図はその伺]面図、第り図は第S笑施例の
展開図、第70図は第6実施例の展開平面図、第1/図
(A) 、 (B)はその巻取り方を変えた側面図、第
72図は従来の振動子の断面図、第73図はその正面図
である。 尚、図中/′、/“は昼分子圧電材、!+ 2 a+
2 b r−m−は(+)電極、3は(−)電極である
。 特許出願人 島田理化工業株式会社 第1図 第5図 第61図 第7図
Claims (1)
- 表裏に(→電極と(−)電極とを有するシート状の高分
子圧電材を渦巻状に形成したことを特徴とする超音波振
動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11991484A JPS60264200A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11991484A JPS60264200A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 超音波振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60264200A true JPS60264200A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14773310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11991484A Pending JPS60264200A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60264200A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0251599A2 (en) * | 1986-06-19 | 1988-01-07 | Gec-Marconi Limited | Acoustic transducer |
JPS6443782A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-16 | Yokogawa Electric Corp | Transmitter and receiver for ultrasonic range finder |
GB2312680A (en) * | 1995-02-08 | 1997-11-05 | California Inst Of Techn | Metallic glass alloys of zr,ti,cu and ni |
GB2375455A (en) * | 2001-02-26 | 2002-11-13 | Schlumberger Holdings | Acoustic transducer with spiral-shaped piezoelectric shell |
US6713944B2 (en) * | 2002-01-02 | 2004-03-30 | Omron Corporation | Actuator and method of manufacturing a strain element |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5715600A (en) * | 1980-07-02 | 1982-01-26 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Transducer |
JPS5787700A (en) * | 1980-11-20 | 1982-06-01 | Nec Corp | Transmitter and receiver |
JPS57145497A (en) * | 1981-03-05 | 1982-09-08 | Nec Corp | Wave transmitter and receiver |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP11991484A patent/JPS60264200A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5715600A (en) * | 1980-07-02 | 1982-01-26 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Transducer |
JPS5787700A (en) * | 1980-11-20 | 1982-06-01 | Nec Corp | Transmitter and receiver |
JPS57145497A (en) * | 1981-03-05 | 1982-09-08 | Nec Corp | Wave transmitter and receiver |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0251599A2 (en) * | 1986-06-19 | 1988-01-07 | Gec-Marconi Limited | Acoustic transducer |
JPS6443782A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-16 | Yokogawa Electric Corp | Transmitter and receiver for ultrasonic range finder |
JPH0553231B2 (ja) * | 1987-08-11 | 1993-08-09 | Yokogawa Electric Corp | |
GB2312680A (en) * | 1995-02-08 | 1997-11-05 | California Inst Of Techn | Metallic glass alloys of zr,ti,cu and ni |
GB2312680B (en) * | 1995-02-08 | 1999-03-17 | California Inst Of Techn | Metallic glass alloys of zr,ti,cu and ni |
GB2375455A (en) * | 2001-02-26 | 2002-11-13 | Schlumberger Holdings | Acoustic transducer with spiral-shaped piezoelectric shell |
GB2375455B (en) * | 2001-02-26 | 2003-11-12 | Schlumberger Holdings | Acoustic transducer with spiral-shaped piezoeletric shell |
US6671380B2 (en) | 2001-02-26 | 2003-12-30 | Schlumberger Technology Corporation | Acoustic transducer with spiral-shaped piezoelectric shell |
US6713944B2 (en) * | 2002-01-02 | 2004-03-30 | Omron Corporation | Actuator and method of manufacturing a strain element |
US6983521B2 (en) | 2002-01-02 | 2006-01-10 | Omron Corporation | Method of manufacturing a strain element |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4233477A (en) | Flexible, shapeable, composite acoustic transducer | |
US7876027B2 (en) | Multilayer piezoelectric and polymer ultrawideband ultrasonic transducer | |
JPS60264200A (ja) | 超音波振動子 | |
Gürkan et al. | Simulation and measurement of air-coupled semi-circular and conical PVDF sensors | |
Tressler et al. | A comparison of the underwater acoustic performance of single crystal versus piezoelectric ceramic-based “cymbal” projectors | |
US3364461A (en) | Transducer array with constant pressure, plane wave near-field | |
US20130028055A1 (en) | High directive ultrasonic transducer | |
JPH02309799A (ja) | 送受波器 | |
JPH0520079Y2 (ja) | ||
JPS5913500A (ja) | 超音波送受波器 | |
JPS62231589A (ja) | 圧電送受波器 | |
JPS5826719B2 (ja) | 圧電気振動子 | |
JPH07112316B2 (ja) | 圧電送波器用圧電可撓性シートの分極処理方法 | |
JPH0632549B2 (ja) | 圧電送受波器 | |
JPS62231591A (ja) | 圧電送受波器 | |
CN210431862U (zh) | 柔性膜及换能器 | |
JPH0452677B2 (ja) | ||
JPS62231592A (ja) | 圧電送波器用圧電板の分極処理方法 | |
Butler et al. | Spatially shaped acoustic transducer arrays | |
JPH0142034Y2 (ja) | ||
JPH0124476B2 (ja) | ||
Benjamin | Transducers for sonar systems | |
JPS6022718Y2 (ja) | 多数配列構成の高分子圧電膜超音波トランスジユーサ | |
Reitz et al. | Two parabolic reflector underwater transducers | |
JPH0632548B2 (ja) | 圧電送受波器 |