JPS60264110A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS60264110A JPS60264110A JP11999584A JP11999584A JPS60264110A JP S60264110 A JPS60264110 A JP S60264110A JP 11999584 A JP11999584 A JP 11999584A JP 11999584 A JP11999584 A JP 11999584A JP S60264110 A JPS60264110 A JP S60264110A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group delay
- surface acoustic
- gap
- acoustic wave
- electrode
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02858—Means for compensation or elimination of undesirable effects of wave front distortion
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、弾性表面波の二次元的壜ビ７ムの拡がりを考
慮して、所与の仕様に適合した特性が得られるようにし
た弾性表面波装置に関する。
慮して、所与の仕様に適合した特性が得られるようにし
た弾性表面波装置に関する。
弾性表面波装置は所望の特性を得るためＫ。
一般に、入出力電極の少なくとも一方に重み付けを施す
。この重み付けは一般忙第２図に示すように、電極指１
の交差幅および繰り返し周期を変化させることにより達
成される。また、弾性表面波の反射を抑圧する目的で、
電極指幅λ／８（λは弾性表面波波長）の同極性の電極
指を２本づつ隣接並列した組にして組毎に交互に極性を
変えて配列した所謂二重電極構造の櫛型電極が用いられ
る（ Ｓ、Ｗａｋａｍｏｒｉ ｅｔ ａｌ、Ｎｅｗ Ｓ
Ｅ−ＣＡＭ Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ＳＡＷ ＩＦ Ｆｉ
ｌｔｅｒ Ｓｅｐａｒａｔｉｎｇ ｔｈｅＳｏｕｎｄ
ａｎｄ Ｐｉｃｔｕｒｅ Ｓｉｇｎａｌｓ：ＪＪＡＰ
ｖｏｌ、２２ ｐｐ１７１〜１７２．１９８２鬼 しか
し、この電極構造では、重み付は電極の交差幅分布によ
っては、ダミー電極指２（弾性表面波の波面乱れを軽減
するために設けるー）との不要な交差６が特Ｋ ２０Ｍ
［（ｚ以下の低周波のときに発生し、第３図に示すよう
に実際の振幅周波数特性５は計算した特性４に比べて大
きく異なっていた。また従来から、ダミー電極指２を短
かくしたり、ダミー電極指２との間隙ＬＧを大きくした
りして不要な交差を取り除く方法（Ａ、Ｊ、ＤｅＶｒｉ
ｅａ ｅｔ ａｌ、Ｄｅｔａｉｌｅｄ Ｄｅｓ−ｃｒｉ
ｐｔｉｏｎ ｏｆ Ａ Ｃｏｍｍｅｒｃｌａｌ ５ｕｒ
ｆａｃｅ−Ｗａｖｅ ＴＶＩＦＦｉｌｔｅｒ ： ＩＥ
ＥＥ ＵＳ、８ｙｍｐ、Ｐｒｏｃ、ｐｐ １ａ７〜１５
２゜１９７４）が知られているが、隣々接の異極性の電
極指との間に広がる電界により不要な弾性表面波が励振
され、周波数特性は改善できなかった。
。この重み付けは一般忙第２図に示すように、電極指１
の交差幅および繰り返し周期を変化させることにより達
成される。また、弾性表面波の反射を抑圧する目的で、
電極指幅λ／８（λは弾性表面波波長）の同極性の電極
指を２本づつ隣接並列した組にして組毎に交互に極性を
変えて配列した所謂二重電極構造の櫛型電極が用いられ
る（ Ｓ、Ｗａｋａｍｏｒｉ ｅｔ ａｌ、Ｎｅｗ Ｓ
Ｅ−ＣＡＭ Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ＳＡＷ ＩＦ Ｆｉ
ｌｔｅｒ Ｓｅｐａｒａｔｉｎｇ ｔｈｅＳｏｕｎｄ
ａｎｄ Ｐｉｃｔｕｒｅ Ｓｉｇｎａｌｓ：ＪＪＡＰ
ｖｏｌ、２２ ｐｐ１７１〜１７２．１９８２鬼 しか
し、この電極構造では、重み付は電極の交差幅分布によ
っては、ダミー電極指２（弾性表面波の波面乱れを軽減
するために設けるー）との不要な交差６が特Ｋ ２０Ｍ
［（ｚ以下の低周波のときに発生し、第３図に示すよう
に実際の振幅周波数特性５は計算した特性４に比べて大
きく異なっていた。また従来から、ダミー電極指２を短
かくしたり、ダミー電極指２との間隙ＬＧを大きくした
りして不要な交差を取り除く方法（Ａ、Ｊ、ＤｅＶｒｉ
ｅａ ｅｔ ａｌ、Ｄｅｔａｉｌｅｄ Ｄｅｓ−ｃｒｉ
ｐｔｉｏｎ ｏｆ Ａ Ｃｏｍｍｅｒｃｌａｌ ５ｕｒ
ｆａｃｅ−Ｗａｖｅ ＴＶＩＦＦｉｌｔｅｒ ： ＩＥ
ＥＥ ＵＳ、８ｙｍｐ、Ｐｒｏｃ、ｐｐ １ａ７〜１５
２゜１９７４）が知られているが、隣々接の異極性の電
極指との間に広がる電界により不要な弾性表面波が励振
され、周波数特性は改善できなかった。
このように従来の電極構造では、ダミー電極指との不要
交差が生じるが、これを除いたとき□の不要な弾性表面
波の励振により特性が劣化するという不具合を有してい
た。
交差が生じるが、これを除いたとき□の不要な弾性表面
波の励振により特性が劣化するという不具合を有してい
た。
本発明の目的は、上記従来の弾性表面波装置のような不
具合を生じない、不要な弾性表面波を抑圧して所与の仕
様に適合した特性が得られるような電極構造を有する弾
性表面波装置を提供することにある。
具合を生じない、不要な弾性表面波を抑圧して所与の仕
様に適合した特性が得られるような電極構造を有する弾
性表面波装置を提供することにある。
第１図を用いて本発明を説明する。重み付は電極の同極
性の二重電極指は、組毎にダミー電極指との間隙ＬＧよ
り小なる範囲１で長さを異ならせてあり、かつ、ダミー
電極指との間隙ひは０．１λ以上０．２６λ以下（λは
弾性表面波波長）である構造とした。
性の二重電極指は、組毎にダミー電極指との間隙ＬＧよ
り小なる範囲１で長さを異ならせてあり、かつ、ダミー
電極指との間隙ひは０．１λ以上０．２６λ以下（λは
弾性表面波波長）である構造とした。
このような電極構造を達成させるため、所望の特性より
得られる交差幅分布は、各交差部分の中心７が伝搬軸の
中心−上に在るように配置されないことがあり、このと
き弾性表面波の回折の影響が大きくなる。
得られる交差幅分布は、各交差部分の中心７が伝搬軸の
中心−上に在るように配置されないことがあり、このと
き弾性表面波の回折の影響が大きくなる。
各交差部分の中心７と伝搬軸の中心との差ΔＬＫ対する
回折の影響を群遅延平坦度により考察する。
回折の影響を群遅延平坦度により考察する。
弾性表面波の回折効果による群遅延特性への影響は、Ａ
ＳＰＷ法（塩用ら、すだれ状電極における弾性表面波の
回折現象と周波数特性：超音波研究会資料ＵＳ７５−３
７）により計算した。なお、ここでは開口長を７λ、重
み付は対数を８．５対としている。Δ１＝０、すなわち
各交差部分の中心７が伝搬軸の中心線上にあるとした場
合は、群遅延平坦度はほぼ平坦となる。しかし、ダミー
電極指との不要交差を考慮すれば、群遅延特性は大きく
乱れ、第３図中に６と示したように１８Ｏｎｌｉｐ”’
ｐ にもなる。一方、ダミー電極指との間隙ＬＧを０．
２λとし、隣接する電極指の長さをＱ、４ ＬＧだけず
らしたとき、ΔＪは［Ｌ７１ λ以下となり、不要交差
は発生せず、群遅延特性の劣化は回折による影響で６０
ｎａｐ−ｐとなるだけである。
ＳＰＷ法（塩用ら、すだれ状電極における弾性表面波の
回折現象と周波数特性：超音波研究会資料ＵＳ７５−３
７）により計算した。なお、ここでは開口長を７λ、重
み付は対数を８．５対としている。Δ１＝０、すなわち
各交差部分の中心７が伝搬軸の中心線上にあるとした場
合は、群遅延平坦度はほぼ平坦となる。しかし、ダミー
電極指との不要交差を考慮すれば、群遅延特性は大きく
乱れ、第３図中に６と示したように１８Ｏｎｌｉｐ”’
ｐ にもなる。一方、ダミー電極指との間隙ＬＧを０．
２λとし、隣接する電極指の長さをＱ、４ ＬＧだけず
らしたとき、ΔＪは［Ｌ７１ λ以下となり、不要交差
は発生せず、群遅延特性の劣化は回折による影響で６０
ｎａｐ−ｐとなるだけである。
また、上記電極においてダミー電極指との間隙Ｉ、ｏと
群遅延平坦度の関係を実験により検討したところ、竿４
図中に８と示した曲線のようＫなった。Ｌａが小さいと
きは、端部が対向している電極指との間に広がる電界に
より弾性表面波が励振され、また、ＬＧが大きくなると
隣々接の異極性の電極指との間に広がる電界により弾性
表面波が励振され、それぞれ群遅延特性の劣化を招く。
群遅延平坦度の関係を実験により検討したところ、竿４
図中に８と示した曲線のようＫなった。Ｌａが小さいと
きは、端部が対向している電極指との間に広がる電界に
より弾性表面波が励振され、また、ＬＧが大きくなると
隣々接の異極性の電極指との間に広がる電界により弾性
表面波が励振され、それぞれ群遅延特性の劣化を招く。
これらの原因で群遅延平坦度を２０ｎｓｐ−ｐ以下とす
るには、ダミー電極指との間隙ＬＧは［１，１λ以上０
．２６λ以下としなければならない。一方、電極指が開
口長１１，１λ、対数１５．５対の重み付は電極である
ときの、ダミー電極指との間隙ＬＧと群遅延平坦度の関
係を実験によりめた結果を第５図中に曲線９で示す。こ
のときも、第４図に示した場合と同様な傾向を示し、前
記の場合よりも開口長が大きいため、電界の広がりの効
果が実質的に小さいが、群遅延平坦度を２０ｎａｐ−ｐ
以下とすれば、ＬＧは０．１λ以上０．２６λ以下でな
ければならない。
るには、ダミー電極指との間隙ＬＧは［１，１λ以上０
．２６λ以下としなければならない。一方、電極指が開
口長１１，１λ、対数１５．５対の重み付は電極である
ときの、ダミー電極指との間隙ＬＧと群遅延平坦度の関
係を実験によりめた結果を第５図中に曲線９で示す。こ
のときも、第４図に示した場合と同様な傾向を示し、前
記の場合よりも開口長が大きいため、電界の広がりの効
果が実質的に小さいが、群遅延平坦度を２０ｎａｐ−ｐ
以下とすれば、ＬＧは０．１λ以上０．２６λ以下でな
ければならない。
対数８．５対、開口長１８９０μｍの重み付は電極でこ
のＩ、ｏの条件を満足し、かつ不要交差を発生しない電
極構成で、交差部分の中心と伝搬軸の中心との差ΔＪと
、群遅延平坦度の関係を検討した結果を第６図に示す。
のＩ、ｏの条件を満足し、かつ不要交差を発生しない電
極構成で、交差部分の中心と伝搬軸の中心との差ΔＪと
、群遅延平坦度の関係を検討した結果を第６図に示す。
図中、実線１１が計算値、白丸１０が実験値であり良く
傾向を表している。
傾向を表している。
ＶＴＲの再生位相等化器に用いる弾性表面波装置は、群
遅延平坦度の画質に与える影響が大きく群遅延平坦度が
悪くなると、画面上では白黒反転の発生、ライン相関性
能の低下など画質の劣化を招く。そこで目標値はａｏｎ
ｓｐ−ｐ以下としているので、ΔＬは０．９λ以下でな
ければならない。条件を緩めて１５０ ｎｆｉｐ−ｐ以
下とすればΔ１はｔ３λ以下となる。
遅延平坦度の画質に与える影響が大きく群遅延平坦度が
悪くなると、画面上では白黒反転の発生、ライン相関性
能の低下など画質の劣化を招く。そこで目標値はａｏｎ
ｓｐ−ｐ以下としているので、ΔＬは０．９λ以下でな
ければならない。条件を緩めて１５０ ｎｆｉｐ−ｐ以
下とすればΔ１はｔ３λ以下となる。
なお、以上全ての交差部分について一律にパターンの補
正を行う方法について述べたが、電極指によって補正量
を異ならせても前記目的が達成されることは明らかであ
る。
正を行う方法について述べたが、電極指によって補正量
を異ならせても前記目的が達成されることは明らかであ
る。
本発明をＶＴＲのＦＭ再生位相等化器用弾性表面波装置
に実施した第１実施例について説明する。本装置はビデ
オヘッドの特性補償に用いられるもので、ライン相関性
能などを向上させるために、ビデオ信号をアップコンバ
ートして用いる。アップコンバート周波数ヲ１１ＭＨｚ
（！： Ｌ。
に実施した第１実施例について説明する。本装置はビデ
オヘッドの特性補償に用いられるもので、ライン相関性
能などを向上させるために、ビデオ信号をアップコンバ
ートして用いる。アップコンバート周波数ヲ１１ＭＨｚ
（！： Ｌ。
て、装置の中心周波数を１５ＭＨｚとした。第７図に此
の装置を示す。圧電性基板１２として板厚０．５■、１
２８度回転Ｙ軸カット、Ｘ軸伝搬のニオブ酸リチウム単
結晶を用いた。入力電極１３は４対の正規型電極、出力
電極１４は８．５対の二重電極構造の重み付は電極であ
る。また、これらの電極は８０ＧＯＡのアルミニウム蒸
着膜をホトリングラフ技術により形成した。電極指の開
口長は１８９０μｍ、ダミー電極指との間隙ＬＧを５０
μｍとした。組毎の電極指の長さの差１は２０丸として
交差部分の中心と伝搬軸の中心との差ΔＪはα７１λ以
下となった。このとき、第８図に示す良好な振幅周波数
特性１５が得られ、群遅延特性１６も平坦度が６０ｎａ
ｐ−ｐとなった。
の装置を示す。圧電性基板１２として板厚０．５■、１
２８度回転Ｙ軸カット、Ｘ軸伝搬のニオブ酸リチウム単
結晶を用いた。入力電極１３は４対の正規型電極、出力
電極１４は８．５対の二重電極構造の重み付は電極であ
る。また、これらの電極は８０ＧＯＡのアルミニウム蒸
着膜をホトリングラフ技術により形成した。電極指の開
口長は１８９０μｍ、ダミー電極指との間隙ＬＧを５０
μｍとした。組毎の電極指の長さの差１は２０丸として
交差部分の中心と伝搬軸の中心との差ΔＪはα７１λ以
下となった。このとき、第８図に示す良好な振幅周波数
特性１５が得られ、群遅延特性１６も平坦度が６０ｎａ
ｐ−ｐとなった。
本発明の第２実診例として、本発明をビデオカメラのイ
ンデックス方式カラービューファインダ用弾性表面波装
置に実施した例について説明する。本装置は、インデッ
クス方式カラービューファインダ管の色相の全面一様性
を向上させるもので、群遅延時間特性の平坦な弾性表面
波装置を用いるために、インデックス管から採光したイ
ンデックス信号をアップコンバートして用いる。アップ
コンバート周波数ヲ１’Ｌ６ＭＨｚとして装置の中心周
波数を１４．５ ＭＨｚとした。以下第１実施例の第７
図を借りて説明する。圧電性基板材料および電極の作成
方法は第１実施例と同じである。入力電極１３は５．５
対の正規型電極、出力電極１４は１５．５対の二重電極
構造の重み付は電極である。電極指の開口長は１００μ
ｍ、ダミー電極指との間隙ＬＧを５０μｍとした。組毎
の電極指の長さの差１は２５μｍとして交差部分の中心
との差ΔＬは０．６４λ以下となった。このとき第９図
に示すような良好な振幅周波数特性１７が得られ、群遅
延特性１８も平坦度がａｏｎｓｐ−ｐとなった・〔発明
の効果〕 以上説明したように本発明によれば、不要な弾性表面波
を抑圧して、所与の仕様に適合した良好な特性の弾性表
面波装置が得られる。
ンデックス方式カラービューファインダ用弾性表面波装
置に実施した例について説明する。本装置は、インデッ
クス方式カラービューファインダ管の色相の全面一様性
を向上させるもので、群遅延時間特性の平坦な弾性表面
波装置を用いるために、インデックス管から採光したイ
ンデックス信号をアップコンバートして用いる。アップ
コンバート周波数ヲ１’Ｌ６ＭＨｚとして装置の中心周
波数を１４．５ ＭＨｚとした。以下第１実施例の第７
図を借りて説明する。圧電性基板材料および電極の作成
方法は第１実施例と同じである。入力電極１３は５．５
対の正規型電極、出力電極１４は１５．５対の二重電極
構造の重み付は電極である。電極指の開口長は１００μ
ｍ、ダミー電極指との間隙ＬＧを５０μｍとした。組毎
の電極指の長さの差１は２５μｍとして交差部分の中心
との差ΔＬは０．６４λ以下となった。このとき第９図
に示すような良好な振幅周波数特性１７が得られ、群遅
延特性１８も平坦度がａｏｎｓｐ−ｐとなった・〔発明
の効果〕 以上説明したように本発明によれば、不要な弾性表面波
を抑圧して、所与の仕様に適合した良好な特性の弾性表
面波装置が得られる。
第１図は本発明を説明する電極パターン図、第２図は従
来の不要交差の存在する二重電極構造を有する重み付は
電極のパターン図、第３図は同従来例の振幅周波数特性
を仕様特性と比較して示す図、第４図は開口長７λ、対
数８．５対の重み付は電極の波長で正規化したダミー電
極指との間隙と群遅延平坦度の関係を示す図、第５図は
開口長１ｔ１λ、対数１５．５対の重み付は電極の波長
で正規化し九ダミー電極指との間隙と群遅延平坦度の関
係を示す図、第６図は本発明を説明する交差部分中心の
伝搬軸中心との差と群遅延平坦度の関係の実測値と計算
値を比較して示す図、第７図は本発明第１実施例の平面
図、第８図は第１実施例の振幅周波数特性図、第９図は
本発明第２実施例の振幅周波数特性図でをる。 １・・・電極指、 ２・・・ダミー電極指、３・・・ダ
ミー電極指との不要交差部分、４・・・計算し献仕（社
）振幅周波数特性、５・・・不要交差があるときの実際
の振幅周波数特性、６・・・不要交差があるときの群遅
延特性、７・・・交差部分の中心、 ８．９・・・ダミー電極指との間隙に対する群遅延平坦
度の関係の実験値、 １０・・・交差部分中心との差に対する群遅延平坦度特
性の実験値、 １１・・・交差部分中心との差に対する群遅延平坦度特
性の計算値、 １２・・・圧電性基板、１ト・・入力電極、１４・・・
出力電極、 １５・・・第１実施例の振幅周波数特性、 １６・・・第１実施例の群遅延特性、 １７・・・第２実施例の振幅周波数特性、１８・・・第
２実施例の群遅延特性。 簑１ 胆 第２図 第３図 周、＋１＆（ＭＨｘ） 纂４０ ′ 」 入 笛ｌ 第を図 篤７図 ３ ／２ ／４−
来の不要交差の存在する二重電極構造を有する重み付は
電極のパターン図、第３図は同従来例の振幅周波数特性
を仕様特性と比較して示す図、第４図は開口長７λ、対
数８．５対の重み付は電極の波長で正規化したダミー電
極指との間隙と群遅延平坦度の関係を示す図、第５図は
開口長１ｔ１λ、対数１５．５対の重み付は電極の波長
で正規化し九ダミー電極指との間隙と群遅延平坦度の関
係を示す図、第６図は本発明を説明する交差部分中心の
伝搬軸中心との差と群遅延平坦度の関係の実測値と計算
値を比較して示す図、第７図は本発明第１実施例の平面
図、第８図は第１実施例の振幅周波数特性図、第９図は
本発明第２実施例の振幅周波数特性図でをる。 １・・・電極指、 ２・・・ダミー電極指、３・・・ダ
ミー電極指との不要交差部分、４・・・計算し献仕（社
）振幅周波数特性、５・・・不要交差があるときの実際
の振幅周波数特性、６・・・不要交差があるときの群遅
延特性、７・・・交差部分の中心、 ８．９・・・ダミー電極指との間隙に対する群遅延平坦
度の関係の実験値、 １０・・・交差部分中心との差に対する群遅延平坦度特
性の実験値、 １１・・・交差部分中心との差に対する群遅延平坦度特
性の計算値、 １２・・・圧電性基板、１ト・・入力電極、１４・・・
出力電極、 １５・・・第１実施例の振幅周波数特性、 １６・・・第１実施例の群遅延特性、 １７・・・第２実施例の振幅周波数特性、１８・・・第
２実施例の群遅延特性。 簑１ 胆 第２図 第３図 周、＋１＆（ＭＨｘ） 纂４０ ′ 」 入 笛ｌ 第を図 篤７図 ３ ／２ ／４−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ 圧電性基板面に人力用と出方用の櫛型電極を備えた
弾性表面波装置において、これら電極のうち少々くとも
一方の櫛型電極は、二重電極構造を有し、電極指対の交
差幅が電極指対毎に異なるように重み付ｉされており、
これら重み付は二重電極の隣接する同極性電極指の長さ
が１．各電極指端部と対向する異極性ダミー電極指端部
との間隙より小さい範囲内゛で異なっており、更に前記
電極指端部間間隙は、弾性表面波波長をλとした時、［
ｌＬ１λ以上α２６λ以下であることを特徴とする弾性
表面波装置。 ２ 櫛型電極により定まる周波数帯域が２０ ＭＨｚ以
下であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11999584A JPS60264110A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11999584A JPS60264110A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60264110A true JPS60264110A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14775289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11999584A Pending JPS60264110A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60264110A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000013316A1 (fr) * | 1998-08-28 | 2000-03-09 | Seiko Epson Corporation | Filtre d'ondes de surface a plusieurs modes longitudinaux |
| JP2006319887A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP11999584A patent/JPS60264110A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000013316A1 (fr) * | 1998-08-28 | 2000-03-09 | Seiko Epson Corporation | Filtre d'ondes de surface a plusieurs modes longitudinaux |
| US6335667B1 (en) | 1998-08-28 | 2002-01-01 | Seiko Epson Corporation | Multi-longitudinal mode coupled saw filter |
| JP2006319887A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
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