JPS60262014A - 流量検知方法 - Google Patents
流量検知方法Info
- Publication number
- JPS60262014A JPS60262014A JP11780884A JP11780884A JPS60262014A JP S60262014 A JPS60262014 A JP S60262014A JP 11780884 A JP11780884 A JP 11780884A JP 11780884 A JP11780884 A JP 11780884A JP S60262014 A JPS60262014 A JP S60262014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- flow rate
- oscillator
- relay piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は液体或いは気体等の流体の超微量（１０ｃ、ｃ
／ ’分〜ｌ ｃｃ／分）流量を測定するための流量
検知方法に関する□。
／ ’分〜ｌ ｃｃ／分）流量を測定するための流量
検知方法に関する□。
（従来技術及びその問題点）
従来、流体の微少流量を測定する場合は、第２図に示す
如くハ６ジジグ１の流入口２から流出口３に向かつて流
動ず為流体の流量に比例する圧力を、前記ハウジング１
内に上下動自在に設けた受皿４により受け、該受皿４が
流体の圧力を受けるごとによりコイルばね５の付勢力に
抗して下降し。
如くハ６ジジグ１の流入口２から流出口３に向かつて流
動ず為流体の流量に比例する圧力を、前記ハウジング１
内に上下動自在に設けた受皿４により受け、該受皿４が
流体の圧力を受けるごとによりコイルばね５の付勢力に
抗して下降し。
前記受皿４にロッド６を介して連結されている差動トラ
ンス７の電磁結合素子８が変位することに波数を周波数
弁別器１０にて電流変化に変換する。 −より、発振器
９の発振周波数が変化し、該変化周そして、前記受皿４
に作用する圧力（動圧）は流速の２乗に比例するめで、
前記周波数弁別１１１０”からの出力信号を開平演算器
１１にて開平演算処理した上で、流量表示器１２に入力
して当該流量 ゛を表示するようにしている。
ンス７の電磁結合素子８が変位することに波数を周波数
弁別器１０にて電流変化に変換する。 −より、発振器
９の発振周波数が変化し、該変化周そして、前記受皿４
に作用する圧力（動圧）は流速の２乗に比例するめで、
前記周波数弁別１１１０”からの出力信号を開平演算器
１１にて開平演算処理した上で、流量表示器１２に入力
して当該流量 ゛を表示するようにしている。
また、第３図に示すように、ハウジング１ａの流入口２
ａから流出口（図示省略）に向かつて流動する流体の流
量Ｌミ比−する圧力を、゛前記ハウジング１哀内に設け
たダイヤプラム１３により位置変化に変換し、該ダイヤ
フラム１３の位置変化を、ダイヤフラム１３と一体に変
位する磁性体１４、該磁性体１４の両側に設けた磁石１
５、及び磁気抵抗素子１６により、磁力線変化、更には
電気抵、抗賓花辷変換して当、該流量を検出す”るよう
にシたものも従来公知である。
ａから流出口（図示省略）に向かつて流動する流体の流
量Ｌミ比−する圧力を、゛前記ハウジング１哀内に設け
たダイヤプラム１３により位置変化に変換し、該ダイヤ
フラム１３の位置変化を、ダイヤフラム１３と一体に変
位する磁性体１４、該磁性体１４の両側に設けた磁石１
５、及び磁気抵抗素子１６により、磁力線変化、更には
電気抵、抗賓花辷変換して当、該流量を検出す”るよう
にシたものも従来公知である。
更に、第４図に示すように、ハウジングｔｂの流入口２
ｂから流出口（図示省略）に向がって流動する流体流′
量に比例する圧力を、前記ハウジングｌｂ内に設けた圧
電素子１７により受け、該流体圧力を圧電−子１７によ
り出力電圧に変換して当該流量を検知するようにしたも
のも従来公知である。
ｂから流出口（図示省略）に向がって流動する流体流′
量に比例する圧力を、前記ハウジングｌｂ内に設けた圧
電素子１７により受け、該流体圧力を圧電−子１７によ
り出力電圧に変換して当該流量を検知するようにしたも
のも従来公知である。
しかし、第２図に示すものは、１００ ｃ ｃ、７分以
上の流量を測定する場合は問題ないが、１−Ｏｃｃ／分
〜ｌ ｅ ｅ’／Ｑの如く超微量の流量になるに従い。
上の流量を測定する場合は問題ないが、１−Ｏｃｃ／分
〜ｌ ｅ ｅ’／Ｑの如く超微量の流量になるに従い。
電磁結合素子８の移動量が小さくなるため、発振周波数
を高周波にセットして、その分解度を上げ−でも、温度
特性及び再現性が悪くなり、また、コイルばね５の定圧
ｊ−無視できなくなり、従って超微量の流量測定が困難
になるという問題がある。
を高周波にセットして、その分解度を上げ−でも、温度
特性及び再現性が悪くなり、また、コイルばね５の定圧
ｊ−無視できなくなり、従って超微量の流量測定が困難
になるという問題がある。
また、第３図に示すものも磁性体１４の移動量が大きい
場合はよいが小さい場合の変化は捕え難く、従って超微
量の流量測定が困難になるという“問題があ為。
場合はよいが小さい場合の変化は捕え難く、従って超微
量の流量測定が困難になるという“問題があ為。
更に、第４図に示すものは、圧電素子１７に作用する圧
力が微小なものでは増幅部及び温度特性に難点があり、
従って、超微量の流量測定が困難（発明の目的） 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、超′微量の
流量測定を確実に行えるようにすることを目的とするも
のである。
力が微小なものでは増幅部及び温度特性に難点があり、
従って、超微量の流量測定が困難（発明の目的） 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、超′微量の
流量測定を確実に行えるようにすることを目的とするも
のである。
（問題点を解決するための手段）
斯かる目的を達成するため本発明においては。
ハウジングの流入口から流出口に向かって流動する流体
の流量に比例する圧力をダイヤプラムで受け、該ダヤフ
ラムが受けた圧力を振動素子に点接触する中継ピースを
介して該振動素子に伝達せしめ、発振器を前記ダイヤプ
ラム、中継ピース、及 Ｉび振動素子の共振周波数で発
振させ、該共振周波数を前記ダイヤプラムの圧力により
変化させ、該変化分を流量検知用信号として利用するこ
とを特徴とする流量検知方法を提供するものである。
の流量に比例する圧力をダイヤプラムで受け、該ダヤフ
ラムが受けた圧力を振動素子に点接触する中継ピースを
介して該振動素子に伝達せしめ、発振器を前記ダイヤプ
ラム、中継ピース、及 Ｉび振動素子の共振周波数で発
振させ、該共振周波数を前記ダイヤプラムの圧力により
変化させ、該変化分を流量検知用信号として利用するこ
とを特徴とする流量検知方法を提供するものである。
（実施例）
以下本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。第
１回は本発明方法を実施するための流量検知装置の構成
を示し１図中２０は平面円形状のハウジングで、上側部
材−２１に下側部材２２を螺着してなり、上側部材２１
の周側面には流入口２３及び流出口２４が設けである。
１回は本発明方法を実施するための流量検知装置の構成
を示し１図中２０は平面円形状のハウジングで、上側部
材−２１に下側部材２２を螺着してなり、上側部材２１
の周側面には流入口２３及び流出口２４が設けである。
この流入口２３と流出口２４の略中間部に位置し不前記
上側部材２１の内面には垂直下方に向けて、案内壁２５
が突設してあり、該案内壁２５により流体の圧力が後述
するダイヤプラム２６の中央受圧面に竺して直角に作用
するようになっている。
上側部材２１の内面には垂直下方に向けて、案内壁２５
が突設してあり、該案内壁２５により流体の圧力が後述
するダイヤプラム２６の中央受圧面に竺して直角に作用
するようになっている。
前記上側部材２１と下側部材２２との間の略中間部には
ダイヤプラム２６が介装されている。、該、 ダイヤフ
ラム２６はその外周縁部が前記上側部材２１の内周面の
段部２１ａと、該上側部材２１の内周面に螺装した締付
リング２７の上端面との間前記ダイヤフラム２６の下側
には振動素子２８ 。
ダイヤプラム２６が介装されている。、該、 ダイヤフ
ラム２６はその外周縁部が前記上側部材２１の内周面の
段部２１ａと、該上側部材２１の内周面に螺装した締付
リング２７の上端面との間前記ダイヤフラム２６の下側
には振動素子２８ 。
が設けである。該振動素子２８は振動板２９の下面に圧
電素子３０及び周波数偏差検出素子３１を取り付けてな
る。前記振動板２９の外周縁部が、下側部材２２の段部
２２ａと前記締付リング、２７の下端面との間に挟持さ
れている。前記振動板２９の上面中央部には、前記ダイ
ヤフラム２６の中央下面に固定した金属製の小径球体よ
りなる中継ピース３２が点接触している。
電素子３０及び周波数偏差検出素子３１を取り付けてな
る。前記振動板２９の外周縁部が、下側部材２２の段部
２２ａと前記締付リング、２７の下端面との間に挟持さ
れている。前記振動板２９の上面中央部には、前記ダイ
ヤフラム２６の中央下面に固定した金属製の小径球体よ
りなる中継ピース３２が点接触している。
前記振動素子２８の出力端子は、前記ハウジング２０の
外部の発振＠３３に電気的に接続してあ発振器３３は前
記ダイヤフラム２６、中継ピース３２及び振動素子２８
の共振周波数で発振するものである。
外部の発振＠３３に電気的に接続してあ発振器３３は前
記ダイヤフラム２６、中継ピース３２及び振動素子２８
の共振周波数で発振するものである。
前記発振器３３は周波数弁別器３４に、該周波３５は流
量表示器３６にそれぞれ電気的に接続されている。
量表示器３６にそれぞれ電気的に接続されている。
なお、前記ダイヤフラム２６より下側に位置する前記ハ
ウジング２０の内部は大気圧に連通している。
ウジング２０の内部は大気圧に連通している。
上記構成の装置を用いた本発明方法の作用を説明する。
流体は流入口２３からハウジング２０のダイヤプラム２
６の上側室内に流入して流出口２４から流出するもので
あるが、その流動に伴う流体の流量に比例する圧力をダ
イヤフラム２６の中央部で受け、該ダイヤプラム２６”
が受けた圧力を振動素子２８に中継ピース３２を、昇し
て伝達せしめると共に、発振器３３をダイヤプラム２６
．中継ピース３２、及び振動素子２８の共振周波数で発
振させる。すると前記流体圧力がダイヤフラム２６及び
中継ピース３２烹介して振動素子２８に作用することに
よって、前記共振周波数は高い周波数に変化する。この
変化分の周波数の出力を周波数−偏差検出素子３１にて
検出し、該検出信号を発振器３３゛にフィードバックす
ることにより、振動素子２８は常に圧力分を加えた共振
周波数で発振することになる。この圧力変化による発振
周波数変調波を周波数弁別器３４にて振幅変調に変換し
てその出力を開平演算器３５．に入力して開平演算処理
した上、該開平演算器３５の出力を流量表示量３６に入
力することにより、当該流量を表示するものである。
６の上側室内に流入して流出口２４から流出するもので
あるが、その流動に伴う流体の流量に比例する圧力をダ
イヤフラム２６の中央部で受け、該ダイヤプラム２６”
が受けた圧力を振動素子２８に中継ピース３２を、昇し
て伝達せしめると共に、発振器３３をダイヤプラム２６
．中継ピース３２、及び振動素子２８の共振周波数で発
振させる。すると前記流体圧力がダイヤフラム２６及び
中継ピース３２烹介して振動素子２８に作用することに
よって、前記共振周波数は高い周波数に変化する。この
変化分の周波数の出力を周波数−偏差検出素子３１にて
検出し、該検出信号を発振器３３゛にフィードバックす
ることにより、振動素子２８は常に圧力分を加えた共振
周波数で発振することになる。この圧力変化による発振
周波数変調波を周波数弁別器３４にて振幅変調に変換し
てその出力を開平演算器３５．に入力して開平演算処理
した上、該開平演算器３５の出力を流量表示量３６に入
力することにより、当該流量を表示するものである。
：τｔ’ｌ’：３７’ｆ＝ｔｒａ ＜ ＊Ｊ［。＊；ｔ
＊ｍｈｍｓ＊、７、ウジングの流入口から流出口に向か
って流動する流体の流量−に比例する圧力をダイヤプラ
ムで受け。
＊ｍｈｍｓ＊、７、ウジングの流入口から流出口に向か
って流動する流体の流量−に比例する圧力をダイヤプラ
ムで受け。
該ダイヤプラムが受けた圧力を振動素子に点接触する中
継ピースを介して該振動素子に伝達せしめ、発振器を前
記ダイヤプラム、中継ピース、及び振動素子の共振周波
数で発振させ、該共振波数を前記ダイヤプラムの圧力に
より変化させ、該変化分を流量−知用信号として利用す
ることを特徴とすうから、 １０ｃｃ／分〜１ ｃｃ／
分の如く超微量の流量側 １定を確実に行えるという効
果を奏し得るものであ
継ピースを介して該振動素子に伝達せしめ、発振器を前
記ダイヤプラム、中継ピース、及び振動素子の共振周波
数で発振させ、該共振波数を前記ダイヤプラムの圧力に
より変化させ、該変化分を流量−知用信号として利用す
ることを特徴とすうから、 １０ｃｃ／分〜１ ｃｃ／
分の如く超微量の流量側 １定を確実に行えるという効
果を奏し得るものであ
第１図は本発明方法を実施するための流量検知装置の構
成図、第２図、第３図、及び第４図はそれぞれ異る従来
の流量検知装置の構成図である。 ２０・・・ハウジング、２３・・・流入口、２４・・・
流出口、２６・・・ダイヤフラム、２８・・・振動素子
、３２・・・中継ピース、３３・・・発振器。 出願人 遠 藤 良 − 代理人 弁理士 渡部 敏彦 同 弁理士 長門 保工 第６１図
成図、第２図、第３図、及び第４図はそれぞれ異る従来
の流量検知装置の構成図である。 ２０・・・ハウジング、２３・・・流入口、２４・・・
流出口、２６・・・ダイヤフラム、２８・・・振動素子
、３２・・・中継ピース、３３・・・発振器。 出願人 遠 藤 良 − 代理人 弁理士 渡部 敏彦 同 弁理士 長門 保工 第６１図
Claims (1)
- １、 ハウジングの流入口から流出口に向かつて流動ず
“る流体の流量に比例する圧力をダイヤプラムで受け、
該ダイヤフラムが受けた圧力を振動素子に点接触する中
継ピースを介し′て該振動素子に伝達せしめ、発振器を
前記ダイヤプラム、中継ピース及び振動素子の共振周波
数で発振させ、該共振周波数を前記ダイヤフラムの圧力
により変化させ、該変化分を流量検知用信号として利用
することを特徴とする流量検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11780884A JPS60262014A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 流量検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11780884A JPS60262014A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 流量検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262014A true JPS60262014A (ja) | 1985-12-25 |
Family
ID=14720778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11780884A Pending JPS60262014A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 流量検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262014A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH049717A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | M & M Technol:Kk | 流量計測装置 |
| WO1999013342A1 (fr) * | 1997-09-11 | 1999-03-18 | Zexel Corporation | Detecteur capacitif de microdebit, son procede de fabrication et son accessoire de fixation exterieure |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58186014A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-10-29 | Sankyo Dengiyou Kk | 流量計 |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP11780884A patent/JPS60262014A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58186014A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-10-29 | Sankyo Dengiyou Kk | 流量計 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH049717A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | M & M Technol:Kk | 流量計測装置 |
| WO1999013342A1 (fr) * | 1997-09-11 | 1999-03-18 | Zexel Corporation | Detecteur capacitif de microdebit, son procede de fabrication et son accessoire de fixation exterieure |
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