JPS60255390A - 弾性体の揺動機構 - Google Patents
弾性体の揺動機構Info
- Publication number
- JPS60255390A JPS60255390A JP11121184A JP11121184A JPS60255390A JP S60255390 A JPS60255390 A JP S60255390A JP 11121184 A JP11121184 A JP 11121184A JP 11121184 A JP11121184 A JP 11121184A JP S60255390 A JPS60255390 A JP S60255390A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- parallel
- elastic body
- force
- voice coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 208000013623 stereotypic movement disease Diseases 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000021058 soft food Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、端部が接続されて成る複数枚の板状の弾性体
を、板状の弾性体の板面に略垂直な方向から当該弾性体
に対して変形力を付与することにより揺動せしめる機構
の構造の改良に関するものである。 ゛ 現在、F/A (ファクトリ−・オートメーション)、
FMS(フレキシブル・マニファクチャリング・システ
ム)化が進むにつれ、ロボットの生産工程^、の導入も
盛んになってきている。
を、板状の弾性体の板面に略垂直な方向から当該弾性体
に対して変形力を付与することにより揺動せしめる機構
の構造の改良に関するものである。 ゛ 現在、F/A (ファクトリ−・オートメーション)、
FMS(フレキシブル・マニファクチャリング・システ
ム)化が進むにつれ、ロボットの生産工程^、の導入も
盛んになってきている。
一方、微細作業を必要とする例えば半導体プロセス、周
辺搬用磁気ヘッドの組立て、あるいは軟い食品、材料の
検査等の自動化は、大幅に遅れている状態にある。これ
は、高度の知能を持ったロボットにより、自動化は進め
られると考えられるが、現時点では、例えばダラムオー
ダーの微小な力制御のできるロボットが存在しないこと
に起因する。すなわち、微細部品を扱う微細作業等の自
動化は、微小力制御のできるロボットがないため、実現
が困難であった。
辺搬用磁気ヘッドの組立て、あるいは軟い食品、材料の
検査等の自動化は、大幅に遅れている状態にある。これ
は、高度の知能を持ったロボットにより、自動化は進め
られると考えられるが、現時点では、例えばダラムオー
ダーの微小な力制御のできるロボットが存在しないこと
に起因する。すなわち、微細部品を扱う微細作業等の自
動化は、微小力制御のできるロボットがないため、実現
が困難であった。
例えば、従来のロボットのハンドでは、把持力を制御す
る場合に、指の把持部分に圧力センサーを設け、指の開
き幅で把持力を制御するようにされる。この場合、位置
制御モードと力制御モードの2つを作業タイミングに合
せて切り変える必要があり、切り変えのタイミングが難
しいばかりではなく、切り換え時の位置制御モードと力
制御モードとのゲインの差が、把持時の指の移動速度に
影響され、一定でないため、把持物との接触時に、振動
や衝突を起こすことになる。従って、把持力を小さな範
囲で制御することは不可能に近い。また、制御回路およ
びセンサについて、位置制御用と力制御角にそれぞれ2
つ必要となり、コスト高になるという問題がある。
る場合に、指の把持部分に圧力センサーを設け、指の開
き幅で把持力を制御するようにされる。この場合、位置
制御モードと力制御モードの2つを作業タイミングに合
せて切り変える必要があり、切り変えのタイミングが難
しいばかりではなく、切り換え時の位置制御モードと力
制御モードとのゲインの差が、把持時の指の移動速度に
影響され、一定でないため、把持物との接触時に、振動
や衝突を起こすことになる。従って、把持力を小さな範
囲で制御することは不可能に近い。また、制御回路およ
びセンサについて、位置制御用と力制御角にそれぞれ2
つ必要となり、コスト高になるという問題がある。
第3図は、このような問題に対応するために提案された
ロボットのハンドの一例を示す図である。
ロボットのハンドの一例を示す図である。
第4図は第3図に示すハンドの制御ブロック図である。
図中、符号1はロボット・アーム、2はハンド基部、3
−1および3−2は一対の指部、4は揺動機構を構成す
る平行バネ、5はストレインゲージ、6はボイスコイル
モータ、7は永久磁石、8はコイル、9は継鉄、10は
ストッパ、11は把持対象物を表わす。
−1および3−2は一対の指部、4は揺動機構を構成す
る平行バネ、5はストレインゲージ、6はボイスコイル
モータ、7は永久磁石、8はコイル、9は継鉄、10は
ストッパ、11は把持対象物を表わす。
tl[3−1,3−2は、ロボット・アーム1に装着さ
れるハンド基部2に、対向して形成され、特に指部3−
1は剛体で形成され、他方の指部3−2は先端部分が一
対の平行バネ4によって支持されるよう形成されている
。平行バネ4は、指部3−2の先端部分の図示■方向へ
の相対的な変位に対し、復元力を及ぼすものである。平
行バネ4のそれぞれ内側に′ストレインゲージ5が貼付
され、このストレインゲージ5によって、平行バネ4の
たわみから、指部3−2の先端部分のハンド基部2に対
する相対的な変位が検出可能となっている。
れるハンド基部2に、対向して形成され、特に指部3−
1は剛体で形成され、他方の指部3−2は先端部分が一
対の平行バネ4によって支持されるよう形成されている
。平行バネ4は、指部3−2の先端部分の図示■方向へ
の相対的な変位に対し、復元力を及ぼすものである。平
行バネ4のそれぞれ内側に′ストレインゲージ5が貼付
され、このストレインゲージ5によって、平行バネ4の
たわみから、指部3−2の先端部分のハンド基部2に対
する相対的な変位が検出可能となっている。
ボイスコイルモータ6は、永久磁石7が取り付 ′けら
れた継鉄9であって、ハンド基部2に対して固定された
部分と、指部3−2の先端部分に装着されたコイル8部
分とからなり、コイル8に電流を通電・制御することに
より、図示■方向に指を開閉させることができるように
なっている。これにより、把持対象物11を把持または
隔成する。
れた継鉄9であって、ハンド基部2に対して固定された
部分と、指部3−2の先端部分に装着されたコイル8部
分とからなり、コイル8に電流を通電・制御することに
より、図示■方向に指を開閉させることができるように
なっている。これにより、把持対象物11を把持または
隔成する。
なお、2枚の板状バネ体によって構成される平行バネ4
は、移動方向のみの剛性が低く、他の方向に対する剛性
は比較的高いため、バネを用いた1方向への移動ガイド
として適している。
は、移動方向のみの剛性が低く、他の方向に対する剛性
は比較的高いため、バネを用いた1方向への移動ガイド
として適している。
第3図図示ロボット・ハンドでは、ハンドの開き幅で把
持力を制御するのではなく、ボイスコイルモータ6の発
生力すなわち通電電流の制御により把持力を制御する。
持力を制御するのではなく、ボイスコイルモータ6の発
生力すなわち通電電流の制御により把持力を制御する。
すなわち、センサとしては、ストレインゲージ5のよう
な、変位を検出するためのセンサを用い、次のように制
御する。
な、変位を検出するためのセンサを用い、次のように制
御する。
本例の制御においては、特に、
■ 平行バネ4のバネ力を打消ずように、変位センサで
あるストレインゲージ5がらの力信号を正帰還し、 ■ 把持力指令値は、ボイスコイルモータ6の発生力か
ら算出するようにしている。
あるストレインゲージ5がらの力信号を正帰還し、 ■ 把持力指令値は、ボイスコイルモータ6の発生力か
ら算出するようにしている。
ここで、発生力は、
発生力=B/i
ただし、B:ボイスコイルモータの空隙磁束密度
!=ボイスコイルモータの巻線数
i:ボイスコイルモータの通電電流
である。この発生力については、ボイスコイルモータ6
の空隙磁束密度Bが回転モータの場合とは異なり、動作
範囲で一定であり、発生力の電流に対数直線性が高いた
め計算値と実測値とは良好に一致する。
の空隙磁束密度Bが回転モータの場合とは異なり、動作
範囲で一定であり、発生力の電流に対数直線性が高いた
め計算値と実測値とは良好に一致する。
第3図図示ロボット・ハンドの制御ブロック図を第4図
に示す。電流、速度および変位を各々帰還する形となっ
ている。なお、以下の説明において、パラメータを次の
ように定める。
に示す。電流、速度および変位を各々帰還する形となっ
ている。なお、以下の説明において、パラメータを次の
ように定める。
e:ボイスコイルモータの端子間電圧
R:ボイスコイルモータの端子間抵抗
i:ボイスコイルモータの端子間電流
L:ボイスコイルモータの端子間インダクタン。
ス
B:ボイスコイルモータの空隙磁束密度β:ボイスコイ
ルモー゛夕のコイル巻線数量:可動部質量 D:粘性制動係数 に:平行バネのバネ定数 X:平行バネの変位 Oc:オペレーショナルアンプの開ループゲイン■c:
電流の帰還ゲイン vc:速度の帰還ゲイン Pc:変位の帰還ゲイン Sニラプラス演算子 R(S) :把持指令 X (S) 、:変°位 F (S) :把持力 ここで、ボイスコイルモータ6の特性を、i e = Ri+ L −+ B I Q −−−−−−
−−−−−illt B l i =M’)E X +D 灸+k x−−−
−−−−−−−・−(21とする。
ルモー゛夕のコイル巻線数量:可動部質量 D:粘性制動係数 に:平行バネのバネ定数 X:平行バネの変位 Oc:オペレーショナルアンプの開ループゲイン■c:
電流の帰還ゲイン vc:速度の帰還ゲイン Pc:変位の帰還ゲイン Sニラプラス演算子 R(S) :把持指令 X (S) 、:変°位 F (S) :把持力 ここで、ボイスコイルモータ6の特性を、i e = Ri+ L −+ B I Q −−−−−−
−−−−−illt B l i =M’)E X +D 灸+k x−−−
−−−−−−−・−(21とする。
第4図において、把指令R(S)から平行バネの変位X
(S)への伝達関数をめると、となる。従って、R(
S)がステップ状に変化した場合のX (S)の定常値
は、 となる。即ち、この制御システムは上記第(4)式で表
わされ定席位置誤差を持っていることになる。
(S)への伝達関数をめると、となる。従って、R(
S)がステップ状に変化した場合のX (S)の定常値
は、 となる。即ち、この制御システムは上記第(4)式で表
わされ定席位置誤差を持っていることになる。
ここで、一般にOcは80db 〜100dbと非帛に
大きい値であるため、定常位置誤差はほとんどゼロとな
る。このことは、本ロボット・ハンドの制御には好まし
くない。把持物の幅が正確に分っていないと、その幅の
指示誤差により、ボイスコイルモータ6は、低域周波数
帯で第(4)式に示されるバネ定数を持ったバネとして
作用し大きな力を発生するため、把持力の制御はできな
(なってしまう。
大きい値であるため、定常位置誤差はほとんどゼロとな
る。このことは、本ロボット・ハンドの制御には好まし
くない。把持物の幅が正確に分っていないと、その幅の
指示誤差により、ボイスコイルモータ6は、低域周波数
帯で第(4)式に示されるバネ定数を持ったバネとして
作用し大きな力を発生するため、把持力の制御はできな
(なってしまう。
そこで、本例では、位置誤差のゲインを制御系が安定な
範囲で、できるだけ低くし、位置誤差に起因する発生力
を抑える方式をとっている。
範囲で、できるだけ低くし、位置誤差に起因する発生力
を抑える方式をとっている。
すなわち、第(4)式で明らかなように、変位を正帰還
しているため(Pcの符号が負)、上記方式が実現でき
る。第(4)式から、 とするようにPcを調整すればよい。この状態では、上
記第(3)から明らかなように、指の平行ハネのバネ定
数があたかも非常に小さくなったかのように見える。従
って、位置誤差に関して、ハネによる復元力は非常に小
さくなる。実験では、ハネ定数を見かけ上0.1 (g
/m)まで落すことができている。これにより、ハンド
の開閉ストロークが±2〔籠〕の場合、把持物への最大
発生力は、±0.2(g)と非常に小さな値となる。
しているため(Pcの符号が負)、上記方式が実現でき
る。第(4)式から、 とするようにPcを調整すればよい。この状態では、上
記第(3)から明らかなように、指の平行ハネのバネ定
数があたかも非常に小さくなったかのように見える。従
って、位置誤差に関して、ハネによる復元力は非常に小
さくなる。実験では、ハネ定数を見かけ上0.1 (g
/m)まで落すことができている。これにより、ハンド
の開閉ストロークが±2〔籠〕の場合、把持物への最大
発生力は、±0.2(g)と非常に小さな値となる。
このような状態で把持物成分のみをR(S)として入力
すると、ロボット・ハンドは、把持物の幅によらず±0
.2(g)以内の力誤差で、把持物の把持指令を与えれ
ば、一定の力でストッパ10に接触し、開口状態となる
。
すると、ロボット・ハンドは、把持物の幅によらず±0
.2(g)以内の力誤差で、把持物の把持指令を与えれ
ば、一定の力でストッパ10に接触し、開口状態となる
。
以上説明したように本実施例のロボット・ハンドでは、
把持力指令のみの簡単な命令で、把持対象物11の幅に
影響なく、微小力から大きな力まで自在に把持対象物1
1をつかむことができる。
把持力指令のみの簡単な命令で、把持対象物11の幅に
影響なく、微小力から大きな力まで自在に把持対象物1
1をつかむことができる。
また、センサは、ストレインゲージ5などの変位センサ
のみであり、構造もシンプルであるため、低コストであ
る。なお、変位センサの信号により、把持力を制御する
ことにより、軟い、硬いに拘らず把持物の幅を計測する
こともできる。
のみであり、構造もシンプルであるため、低コストであ
る。なお、変位センサの信号により、把持力を制御する
ことにより、軟い、硬いに拘らず把持物の幅を計測する
こともできる。
第5図は、揺動機構の従来技術を説明する図である。!
図において、30は接続部材31に対して板3Qa、3
0bが互いに平行となるように配置された平行バネ30
Aの変位方向と、板バネ30C130dが互いに平行と
なるように配置された平行板バネ30Bの変位方向が夫
々直交するように接続された板バネ組体、32は平行板
バネ30Aの他端側が接続される部材、33は部材32
が固定される基台、34は平行板バネ30Bの他端側が
接続される部材、35は部材34に接続された軸である
。36.37は夫々平行板バネ30A。
0bが互いに平行となるように配置された平行バネ30
Aの変位方向と、板バネ30C130dが互いに平行と
なるように配置された平行板バネ30Bの変位方向が夫
々直交するように接続された板バネ組体、32は平行板
バネ30Aの他端側が接続される部材、33は部材32
が固定される基台、34は平行板バネ30Bの他端側が
接続される部材、35は部材34に接続された軸である
。36.37は夫々平行板バネ30A。
30Bに取付けられた歪ゲージ(図示しない)からの出
力信号に基づいて、駆動制御されるボイスコイルモータ
であって、夫々の可動子36a。
力信号に基づいて、駆動制御されるボイスコイルモータ
であって、夫々の可動子36a。
37aが軸35に接続されている。尚、第5図の構成の
ものにおいては、ボイスコイルモータの駆動制御回路は
第4図に示す構成のものと同じでよいが、夫々別個に設
けられる。
ものにおいては、ボイスコイルモータの駆動制御回路は
第4図に示す構成のものと同じでよいが、夫々別個に設
けられる。
第5図に示す揺動機構は、第2図に示す機構の板バネの
変位方向が一方向であったものに対して、X−Y平面内
における変位を可能としたものである。
変位方向が一方向であったものに対して、X−Y平面内
における変位を可能としたものである。
第3図、第5図に示す構成のものにおいては、ボイスコ
イルモータが平行ハネの外部に設けられており、揺動機
構全体が大きくなり、微小な物品を把持するハンドが大
形化するという欠点がある。
イルモータが平行ハネの外部に設けられており、揺動機
構全体が大きくなり、微小な物品を把持するハンドが大
形化するという欠点がある。
また、第5図に示すものにおいては、例えば平行板バネ
30Bの変位方向と平行となるように、軸35に取付け
られるボイスコイルモータ37に取付誤差△Oyがある
と、平行板30BをY軸方向に変位させるボイスコイル
モータを駆動した際に、X軸方向に変位する平行板バネ
30Aも動いてしまい、正確な駆動制御を行なうことが
できな(なるという欠点がある。このため、ボイスコイ
ルモータを高精度に取付けねばならず、高価なものとな
る。
30Bの変位方向と平行となるように、軸35に取付け
られるボイスコイルモータ37に取付誤差△Oyがある
と、平行板30BをY軸方向に変位させるボイスコイル
モータを駆動した際に、X軸方向に変位する平行板バネ
30Aも動いてしまい、正確な駆動制御を行なうことが
できな(なるという欠点がある。このため、ボイスコイ
ルモータを高精度に取付けねばならず、高価なものとな
る。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、前述した問題点を解消することのできる弾性
体の揺動機構を提供するものであって、その手段は、対
向配置された複数枚の板状の弾性体と、前記複数枚の板
状の弾性体の端部を接続する接続部材と、前記板状の弾
性体の板面と略垂直な方向から前記板状の弾性体に変形
力を付与する手段とを備、えた弾性体の揺動機構であっ
、て、前記板状の弾性体に変形力を付与する手段は、前
記複数枚の板状の弾性体で囲まれた空間内に配置されて
成ることを特徴とする弾性体の揺動機構を提供すること
により達成される。
体の揺動機構を提供するものであって、その手段は、対
向配置された複数枚の板状の弾性体と、前記複数枚の板
状の弾性体の端部を接続する接続部材と、前記板状の弾
性体の板面と略垂直な方向から前記板状の弾性体に変形
力を付与する手段とを備、えた弾性体の揺動機構であっ
、て、前記板状の弾性体に変形力を付与する手段は、前
記複数枚の板状の弾性体で囲まれた空間内に配置されて
成ることを特徴とする弾性体の揺動機構を提供すること
により達成される。
第1図は、本発明に係る弾性体の揺動機構の一実施例を
説明するための図である。
説明するための図である。
図において、4は対向配置される平行バネ、6はボイス
コイルモータ、20は平行バネ4の上端部を接続する接
続部材、21は平行バネ4の下端部を接続する接続部材
であって、例えば図示されない基本台等である。
コイルモータ、20は平行バネ4の上端部を接続する接
続部材、21は平行バネ4の下端部を接続する接続部材
であって、例えば図示されない基本台等である。
22は対向配置される平行ハネ4の間に設けられたボイ
スコイルモータ6を構成する固定子であって、永久磁石
23が貼着されている。24はコイルであって、接続部
材20に固定されたL型金具25の先端に設けられた筒
状部26に巻回されており、図示しない上位装置により
電流を通電。
スコイルモータ6を構成する固定子であって、永久磁石
23が貼着されている。24はコイルであって、接続部
材20に固定されたL型金具25の先端に設けられた筒
状部26に巻回されており、図示しない上位装置により
電流を通電。
制御されることにより、前記筒状部26を図中記号Aで
示す矢印方向に往復動せしめ、平行バネ4を変形させる
。
示す矢印方向に往復動せしめ、平行バネ4を変形させる
。
以上説明した構成とすることにより、揺動機構全体を小
さくすることができる。
さくすることができる。
尚、本実施例においては、平行バネの場合について説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば、平行バネの夫々の長さが異なる場合、平行でない場
合であっても適用可能である。
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば、平行バネの夫々の長さが異なる場合、平行でない場
合であっても適用可能である。
第2図は、本発明の他の実施例を示す図である。
図において、第5図と同一部分には同一番号を付す。
40は平行板ハネ30BをY方向に変位させるボイスコ
イルモータであって、接続部材31上に載置された基台
43上に設けられており、可動子40aが金具42を介
して部材34に接続されている。
イルモータであって、接続部材31上に載置された基台
43上に設けられており、可動子40aが金具42を介
して部材34に接続されている。
44は平行バネ30AをX方向に変位させるボイスコイ
ルモータであって、部材32上に載置された基台45上
に設けられており、動揺に図示しない可動子が金具(図
示しない)を介して接続部材31に接続されている。
ルモータであって、部材32上に載置された基台45上
に設けられており、動揺に図示しない可動子が金具(図
示しない)を介して接続部材31に接続されている。
以上発明した構成とすることにより、ボイスコイルモー
タの可動子の変位方向が必らずしも高精度に平行板バネ
の変位方向と平行となるように配置されていなくとも、
夫々X、Y方向に変位する平行板バネを独立して駆動す
ることができる。
タの可動子の変位方向が必らずしも高精度に平行板バネ
の変位方向と平行となるように配置されていなくとも、
夫々X、Y方向に変位する平行板バネを独立して駆動す
ることができる。
以上説明したように、本発明によれば、安価で且つ小型
化が可能な弾性体の揺動機構を提供することができる。
化が可能な弾性体の揺動機構を提供することができる。
第1図は本発明の一実施例を説明するための図。
第2図は他の実施例の説明図、第3図は従来のロボット
ハンドの説明図、第4図はハンドの制御ブロック図、第
5図は揺動機構の他の従来技術を説明する図である。 図において、4は平行ハネ、6はボイスコイルモータ、
20.21は接続部材、22は固定子。 23は永久磁石、24はコイル、25はL型金具。 26は筒状部である。 皐1把 2θ 2ノ 第2図 第3砧 皐5聡
ハンドの説明図、第4図はハンドの制御ブロック図、第
5図は揺動機構の他の従来技術を説明する図である。 図において、4は平行ハネ、6はボイスコイルモータ、
20.21は接続部材、22は固定子。 23は永久磁石、24はコイル、25はL型金具。 26は筒状部である。 皐1把 2θ 2ノ 第2図 第3砧 皐5聡
Claims (3)
- (1)対向配置された複数枚の板状の弾性体と、前記複
数枚の板状の弾性体の端部を接続する接続部材と、前記
板状の弾性体の板面と略垂直な方向から前記板状の弾性
体に変形力を付与する手段とを備えた弾性体の揺動機構
であって、前記板状の弾性体に変形力を付与する手段は
、前記複数枚の板状の弾性体で囲まれた空間内に配置さ
れて成ることを特徴とする弾性体の揺動機構。 - (2)前記複数板の板状の弾性体は、互いに平行となる
ように配置された2枚の平行板ばねで構成されて成るこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の弾性体
の揺動機構。 - (3)前記変形力を付与する手段は、電動機で構成され
て成ることを特徴とする特許請求の範囲第(])または
第(2)項記載の弾性体の揺動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11121184A JPS60255390A (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | 弾性体の揺動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11121184A JPS60255390A (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | 弾性体の揺動機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60255390A true JPS60255390A (ja) | 1985-12-17 |
Family
ID=14555338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11121184A Pending JPS60255390A (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | 弾性体の揺動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60255390A (ja) |
-
1984
- 1984-05-31 JP JP11121184A patent/JPS60255390A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0147082B1 (en) | Force controlling system | |
Asada et al. | Control of a direct-drive arm | |
Pérez et al. | Modeling, fabrication, and validation of a high-performance 2-DoF piezoactuator for micromanipulation | |
JP2010131743A (ja) | 力覚センサを内蔵した把持装置 | |
Yokokohji et al. | Analysis of maneuverability and stability of micro-teleoperation systems | |
JPH05504100A (ja) | 超高速電気力学式x、y、θ位置決めステージ | |
JP2017201258A (ja) | 疲労試験方法、および、疲労試験装置 | |
Liaw et al. | Constrained motion tracking control of piezo-actuated flexure-based four-bar mechanisms for micro/nano manipulation | |
EP3646148A2 (en) | Haptic actuator and haptic interface comprising at least one of such actuators | |
Katsura et al. | Absolute stabilization of multimass resonant system by phase-lead compensator based on disturbance observer | |
Stokic et al. | Implementation of force feedback in manipulation robots | |
Youcef-Toumi et al. | Force control of direct-drive manipulators for surface following | |
JPS60255390A (ja) | 弾性体の揺動機構 | |
Liu et al. | Design of a control system for a macro-micro dual-drive high acceleration high precision positioning stage for IC packaging | |
Simpson et al. | Sensorless force estimation for robots with friction | |
Ferreira et al. | Dynamic modeling and control of a conveyance microrobotic system using active friction drive | |
JPH06226671A (ja) | ロボットハンド制御装置 | |
JPS6260482A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
JPH0152156B2 (ja) | ||
JPS63139678A (ja) | 組立ロボツトの手首機構 | |
Hodac et al. | Decoupled macro/micro-manipulator for fast and precise assembly operations: design and experiments | |
US11881795B2 (en) | Method of controlling piezoelectric driving apparatus, method of controlling robot, and robot | |
Tungpataratanawong et al. | High performance robust motion control of industrial robot parameter identification based on resonant frequency | |
Udai et al. | Force/position control of 3 dof delta manipulator with voice coil actuator | |
Kim et al. | Voice coil motor nano stage with an eddy current damper |