JPS60245132A - 電子ビ−ム露光装置等の電子レンズ - Google Patents
電子ビ−ム露光装置等の電子レンズInfo
- Publication number
- JPS60245132A JPS60245132A JP59100415A JP10041584A JPS60245132A JP S60245132 A JPS60245132 A JP S60245132A JP 59100415 A JP59100415 A JP 59100415A JP 10041584 A JP10041584 A JP 10041584A JP S60245132 A JPS60245132 A JP S60245132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- electron beam
- temperature
- jacket
- oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title abstract description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 11
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 abstract 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の＠する技術分野〕
この発明は電子ビーム露光装置等の電子レンズに関する
。
。
一般に、電子ビーム露光装置に用いる電子レンズとして
は電磁レンズが広く使用されているが、この電磁レンズ
には数アンペアにも及ぶ電流を通じる為大量の熱を発生
し多くの不都合が生じている。すなわち励磁コイルから
発生する熱が被露光試料に到達して該被露光試料を熱膨
張させ露光されたパターンの寸法が所望の値から変化し
てしまうとか、発生ずる熱の為電子光学系の各部が熱膨
張して軸合わせが狂ったり特性が変化してパターンを誤
った位置に露光してしまう等である。
は電磁レンズが広く使用されているが、この電磁レンズ
には数アンペアにも及ぶ電流を通じる為大量の熱を発生
し多くの不都合が生じている。すなわち励磁コイルから
発生する熱が被露光試料に到達して該被露光試料を熱膨
張させ露光されたパターンの寸法が所望の値から変化し
てしまうとか、発生ずる熱の為電子光学系の各部が熱膨
張して軸合わせが狂ったり特性が変化してパターンを誤
った位置に露光してしまう等である。
これらの不都合を除く為、従来は第１図に示す様にコイ
ル巻き枠１−’Ｐレンズヨーク２にパイプ３を嘔り付け
、該パイプ３の内側に温度調整した水を通す方法が用い
られていた。
ル巻き枠１−’Ｐレンズヨーク２にパイプ３を嘔り付け
、該パイプ３の内側に温度調整した水を通す方法が用い
られていた。
しかしこの方法では、パイプ外壁の温度が水温より高（
なる事は避けられず、またパイプを溶接等でコイル巻き
枠やレンズヨークに取り付ける際に隙間な（配置する事
は加工上非常に困難であっ、た。
なる事は避けられず、またパイプを溶接等でコイル巻き
枠やレンズヨークに取り付ける際に隙間な（配置する事
は加工上非常に困難であっ、た。
近年では電子ビーム露光装置で露光される回路パターン
が微細化されるに従って前述のパターン寸法や位置に許
容される誤差も小さくなっており、従来のコイル冷却方
法では不充分となって来ていた。
が微細化されるに従って前述のパターン寸法や位置に許
容される誤差も小さくなっており、従来のコイル冷却方
法では不充分となって来ていた。
この発明は以上の欠点を改良し発熱により生じる不都合
をｆ、Ｋ＜シた電、子レンズを提供することにある。
をｆ、Ｋ＜シた電、子レンズを提供することにある。
本究明は、励磁コイルをシリコンオイル中に浸漬し、そ
れを温度調整するものである。
れを温度調整するものである。
第２図は本発明による電子ビーム蕗光装置等の電子レン
ズの一実施例で、励磁コイル４を巻いたコイル巻き枠５
にジャケット６を組付ケ、該ジャケット内に温度調整機
７で温度調整したシリコンオイル８をポンプ９により流
入せしめ、励磁コイルを浸漬し、励起コイルで発生した
熱を受けて昇温したシリコンオイルを再び温度調整機に
戻す構成となっている。
ズの一実施例で、励磁コイル４を巻いたコイル巻き枠５
にジャケット６を組付ケ、該ジャケット内に温度調整機
７で温度調整したシリコンオイル８をポンプ９により流
入せしめ、励磁コイルを浸漬し、励起コイルで発生した
熱を受けて昇温したシリコンオイルを再び温度調整機に
戻す構成となっている。
斯くすれば励磁コイル４で発生した熱はほとんど全部が
シリコンオイル８に伝達され、ジャケット６’Ｐレンズ
ヨークｌＯの温度上昇はシリコンオイルの温度上昇より
低く押える事ができる。１夕ｕえば励起コイルが３０ワ
ツトの発熱量がある場合、シリコンオイルの温度上昇％
０．１°Ｃ以下に押える為には約１０リツトル／分の
シリコンオイルを流す必要があるがこの程度の熱交換器
及びポンプは容易に実現でき、ジャケットやレンズヨー
クの温度上昇を０．１℃以下にする事ができる。
シリコンオイル８に伝達され、ジャケット６’Ｐレンズ
ヨークｌＯの温度上昇はシリコンオイルの温度上昇より
低く押える事ができる。１夕ｕえば励起コイルが３０ワ
ツトの発熱量がある場合、シリコンオイルの温度上昇％
０．１°Ｃ以下に押える為には約１０リツトル／分の
シリコンオイルを流す必要があるがこの程度の熱交換器
及びポンプは容易に実現でき、ジャケットやレンズヨー
クの温度上昇を０．１℃以下にする事ができる。
また、シリコンオイルを１更用するのは低粘度のものが
得られる為循環ポンプの負荷が小さい、熱伝導率が大な
為冷却能力にすぐれる、電気絶縁１生が良い為コイル弔
電１線の被覆にあるピンホールからの電流リークがない
、化学的に不活性な為周囲の材料を侵したり発錆させな
い等の性簀のバランスが他の冷却液、例えば水や変圧器
油等に比べて優れているからである。本究明は電子ビー
ム露光装置ｔこ限定されるものではなく、例えば電子顕
微鏡、電子ビームプローバ等励磁コイルの発熱の影響を
受けた場合に不都合が起きる装置に於いても同様の効果
を持つ事は明らかである。
得られる為循環ポンプの負荷が小さい、熱伝導率が大な
為冷却能力にすぐれる、電気絶縁１生が良い為コイル弔
電１線の被覆にあるピンホールからの電流リークがない
、化学的に不活性な為周囲の材料を侵したり発錆させな
い等の性簀のバランスが他の冷却液、例えば水や変圧器
油等に比べて優れているからである。本究明は電子ビー
ム露光装置ｔこ限定されるものではなく、例えば電子顕
微鏡、電子ビームプローバ等励磁コイルの発熱の影響を
受けた場合に不都合が起きる装置に於いても同様の効果
を持つ事は明らかである。
以上の説明の如く、本発明により励磁コイルの発熱によ
る不都合をほとんど皆無にする事ができた。
る不都合をほとんど皆無にする事ができた。
第１１図は従来用いられていた電子ビーム繕光装置等の
電子レンズの断面図、第２図は本発明による亀子ビーム
鑵光装置等の電子レンズの一実施例を不す断面図である
。 ■・・・コイル巻き枠、２・・・レンズヨーク、３・・
・パイプ、４・・・励磁コイル、５・・・コイル巻き枠
、６・・・ジャケット、７・・・温度調整機、８・・・
シリコンオイル、９・・・ポンプ、１０・・・レンズヨ
ーク。
電子レンズの断面図、第２図は本発明による亀子ビーム
鑵光装置等の電子レンズの一実施例を不す断面図である
。 ■・・・コイル巻き枠、２・・・レンズヨーク、３・・
・パイプ、４・・・励磁コイル、５・・・コイル巻き枠
、６・・・ジャケット、７・・・温度調整機、８・・・
シリコンオイル、９・・・ポンプ、１０・・・レンズヨ
ーク。
Claims (1)
- 励磁コイルをシリコンオイル中に浸漬し、該シリコンオ
イルを温度調整することを特徴とＴる遊子ビーム蕗光装
置等の電子レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59100415A JPS60245132A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 電子ビ−ム露光装置等の電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59100415A JPS60245132A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 電子ビ−ム露光装置等の電子レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60245132A true JPS60245132A (ja) | 1985-12-04 |
Family
ID=14273347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59100415A Pending JPS60245132A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 電子ビ−ム露光装置等の電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60245132A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103038855A (zh) * | 2010-10-27 | 2013-04-10 | 株式会社Ｐａｒａｍ | 电子透镜和电子束装置 |
| EP3200216A1 (en) * | 2016-01-26 | 2017-08-02 | Advantest Corporation | Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5360557A (en) * | 1976-11-12 | 1978-05-31 | Hitachi Ltd | Electron lens |
| JPS5360558A (en) * | 1976-11-12 | 1978-05-31 | Hitachi Ltd | Electron lens |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP59100415A patent/JPS60245132A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5360557A (en) * | 1976-11-12 | 1978-05-31 | Hitachi Ltd | Electron lens |
| JPS5360558A (en) * | 1976-11-12 | 1978-05-31 | Hitachi Ltd | Electron lens |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103038855A (zh) * | 2010-10-27 | 2013-04-10 | 株式会社Ｐａｒａｍ | 电子透镜和电子束装置 |
| EP2587517A1 (en) * | 2010-10-27 | 2013-05-01 | Param Corporation | Electron lens and the electron beam device |
| EP2587517A4 (en) * | 2010-10-27 | 2014-05-07 | Param Corp | ELECTRON LENS AND ELECTRON BEAM DEVICE |
| US9418815B2 (en) | 2010-10-27 | 2016-08-16 | Param Corporation | Tubular permanent magnet used in a multi-electron beam device |
| EP3200216A1 (en) * | 2016-01-26 | 2017-08-02 | Advantest Corporation | Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus |
| CN107017142A (zh) * | 2016-01-26 | 2017-08-04 | 爱德万测试株式会社 | 带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置 |
| TWI632586B (zh) * | 2016-01-26 | 2018-08-11 | 美商英特爾公司 | Charged particle beam lens device, charged particle beam cylinder, and charged particle beam exposure device |
| US10049854B2 (en) | 2016-01-26 | 2018-08-14 | Intel Corporation | Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8330935B2 (en) | Exposure apparatus and measuring device for a projection lens | |
| US6002318A (en) | Device for dissipating heat from ferrite cores of inductive components | |
| FI57181C (fi) | Fastransformationsmaetare | |
| JP2009016868A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
| JPS60245132A (ja) | 電子ビ−ム露光装置等の電子レンズ | |
| JP2003264145A (ja) | 電子ビーム露光装置のステージに用いる電力供給線を冷却する装置および方法 | |
| CN110265278A (zh) | 一种磁透镜及激励电流控制方法 | |
| US20030043352A1 (en) | Exposure apparatus and a device manufacturing method which keep temperature of a diaphragm of a projection optical system substantially constant | |
| JP6161430B2 (ja) | 電子レンズ及び荷電粒子線装置 | |
| JPS58178536A (ja) | 加工片保持装置 | |
| NO885039D0 (no) | Innretning for bedring av en motors, brenners og lignende ytelse etc. | |
| US5124531A (en) | Electric heater for heating a selected portion of workpiece and method of heating the workpiece by the heater | |
| US5289009A (en) | Charged particle beam system and cooling device, a coil comprising a cooling member and a cooling member for use in such a charged particle beam system | |
| JP2000077017A (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 | |
| US10845708B2 (en) | Exposure apparatus and method of manufacturing article | |
| JP2004134566A (ja) | デバイス製造装置 | |
| JP2008282846A (ja) | 油入静止誘導機器 | |
| JP2585833B2 (ja) | 電子レンズ | |
| US1671839A (en) | Inductional water heater | |
| JPH03165486A (ja) | 処理液温度調節装置 | |
| JPH03251768A (ja) | 超電導特性測定装置の電流導入端子 | |
| JPS6151737A (ja) | 電子レンズ | |
| JP2005229786A (ja) | 電動モータの冷却装置 | |
| US20200381153A1 (en) | Truncated Flat Wire Coil | |
| JPS60102837A (ja) | 電気機器の冷却装置 |