JPS6151737A - 電子レンズ - Google Patents
電子レンズInfo
- Publication number
- JPS6151737A JPS6151737A JP17231085A JP17231085A JPS6151737A JP S6151737 A JPS6151737 A JP S6151737A JP 17231085 A JP17231085 A JP 17231085A JP 17231085 A JP17231085 A JP 17231085A JP S6151737 A JPS6151737 A JP S6151737A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- resin
- electromagnetic coil
- coil
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、電子線応用装置において用いられる電磁コイ
ルを用いた電子レンズに関するものである。
ルを用いた電子レンズに関するものである。
一般に電子線応用装置は熱や振動に対して、極めて高精
度に制御されている。たとえば、電子線応用装置の一つ
である電子線描画装置（これについては、ヒユーレット
パッカードジャーナルＶｏｕ、３２．Ｎｏ、５ （１９
８１）ｐ、１４１Ｃ記載されている。）と呼ばれるもの
は、恒温室で除振台に固定され、マスクやシリコンウェ
ーハの描画装置の鏡体部及び描画室の断面図である。電
子銃１から引き出された電子線２は、鏡体３に組込まれ
ている電子レンズ４を通過し、集束され、描画室５の中
の移動台６の上に取付いている被描画物７の面上を一定
のパターンで露光する。その際の描画は１μｍ以下であ
ることが必要とされる。一方、電子レンズは電磁コイル
に通電することによって得られる磁界を利用するが、同
時に熱も発生する。この熱により電磁コイルの周辺の部
品は熱変形する。通常、この影響は小さいものであるが
、上述のような高精度の描画を行なう場合には無視でき
ない。なお、図中８はアライナコイル、９は偏向コイル
である。
度に制御されている。たとえば、電子線応用装置の一つ
である電子線描画装置（これについては、ヒユーレット
パッカードジャーナルＶｏｕ、３２．Ｎｏ、５ （１９
８１）ｐ、１４１Ｃ記載されている。）と呼ばれるもの
は、恒温室で除振台に固定され、マスクやシリコンウェ
ーハの描画装置の鏡体部及び描画室の断面図である。電
子銃１から引き出された電子線２は、鏡体３に組込まれ
ている電子レンズ４を通過し、集束され、描画室５の中
の移動台６の上に取付いている被描画物７の面上を一定
のパターンで露光する。その際の描画は１μｍ以下であ
ることが必要とされる。一方、電子レンズは電磁コイル
に通電することによって得られる磁界を利用するが、同
時に熱も発生する。この熱により電磁コイルの周辺の部
品は熱変形する。通常、この影響は小さいものであるが
、上述のような高精度の描画を行なう場合には無視でき
ない。なお、図中８はアライナコイル、９は偏向コイル
である。
第２図は、従来の電子レンズの断面図である。
この図において、エナメル線１０は絶縁クロス１１、絶
縁ワニス１２を層状に用いながら、コイルボビン１３の
中に巻かれている。そして、このコイルは磁路１４の中
に組込まれ、電子レンズを構成している。なお、図中、
１５はコイルリード線取出し用コネクタ、１６は真空保
持のためのスペーサ、１７は電子線の軌跡を示す。
縁ワニス１２を層状に用いながら、コイルボビン１３の
中に巻かれている。そして、このコイルは磁路１４の中
に組込まれ、電子レンズを構成している。なお、図中、
１５はコイルリード線取出し用コネクタ、１６は真空保
持のためのスペーサ、１７は電子線の軌跡を示す。
さて、この電磁コイルに通電すると、磁界が形成され、
電子線に対しレンズの役目をするが、一方、その時、コ
イルから熱損失としての熱が発生する。この熱はコイル
内部から、周囲の磁路を経て、近接する部品へと伝達す
る。ところが、熱の放出は磁路の外表面での熱放射が行
なわれるだけであり、電子レンズに熱がこもる状態とな
ってしまう、そして、ついには熱により磁路や近接部品
の変形を引き起し、電子線位置および形状のドリフト等
の悪影響をおよぼし、描画精度悪化の一因となっていた
。
電子線に対しレンズの役目をするが、一方、その時、コ
イルから熱損失としての熱が発生する。この熱はコイル
内部から、周囲の磁路を経て、近接する部品へと伝達す
る。ところが、熱の放出は磁路の外表面での熱放射が行
なわれるだけであり、電子レンズに熱がこもる状態とな
ってしまう、そして、ついには熱により磁路や近接部品
の変形を引き起し、電子線位置および形状のドリフト等
の悪影響をおよぼし、描画精度悪化の一因となっていた
。
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、電
子レンズにおける電磁コイルの発熱による描画精度への
悪影響を除去するために、冷却効果をもつ電子レンズを
提供するものである。
子レンズにおける電磁コイルの発熱による描画精度への
悪影響を除去するために、冷却効果をもつ電子レンズを
提供するものである。
上記目的を達成するために、本発明では電磁コイル外周
部に放熱フィンを有する如く構成したものである。
部に放熱フィンを有する如く構成したものである。
以下、本発明を実施例を参照して詳細に説明する。
第３図は、電子線描画装置に適用した場合における本発
明による電子レンズの一実施例を示す断面図である。図
に示すように、層状に巻かれた巻ａ１８は、熱伝導の良
いレジン１９でモールドされ、絶縁固定されている。そ
して、このレジンモールド部の外周部には、フィン２０
が設けられている。また、この電磁コイルを保持する磁
路２１には、冷却空気の送入口２２と吐出口２３とが設
けられている。なお、図中、２４はコイルリード線取出
し用コネクタ、２５は真空保持のためのスペーサ、２６
は電子線の軌跡を示す。
明による電子レンズの一実施例を示す断面図である。図
に示すように、層状に巻かれた巻ａ１８は、熱伝導の良
いレジン１９でモールドされ、絶縁固定されている。そ
して、このレジンモールド部の外周部には、フィン２０
が設けられている。また、この電磁コイルを保持する磁
路２１には、冷却空気の送入口２２と吐出口２３とが設
けられている。なお、図中、２４はコイルリード線取出
し用コネクタ、２５は真空保持のためのスペーサ、２６
は電子線の軌跡を示す。
さて、電磁コイルから発生した熱はレジンへと伝達され
るが、ここで送入口より、恒温化された １冷
却空気を通風すれば、レジンへ伝達した熱はレジンモー
ルド部のフィンを介して放出され、従って磁路への熱伝
達は減少する。そして、コイルでの発熱量とフィンでの
放出熱量とが平衡状態を保つようにすれば、電子レンズ
の温度をほとんど一定に保つことができる。すなわち、
熱による部品の変形は減少し、従って、電子線のドリフ
ト等が減少するので、描画精度が向上し、信頼性も増す
ことが可能である。
るが、ここで送入口より、恒温化された １冷
却空気を通風すれば、レジンへ伝達した熱はレジンモー
ルド部のフィンを介して放出され、従って磁路への熱伝
達は減少する。そして、コイルでの発熱量とフィンでの
放出熱量とが平衡状態を保つようにすれば、電子レンズ
の温度をほとんど一定に保つことができる。すなわち、
熱による部品の変形は減少し、従って、電子線のドリフ
ト等が減少するので、描画精度が向上し、信頼性も増す
ことが可能である。
以上、説明したごとく、本発明によれば、電磁コイルか
らのＮ熱を効率良く冷却し、電子レンズを一定温度に保
つことができるので、従来、電子レンズの熱変形が原因
と考えられていた電子線の温度ドリフト等を減少させ、
高精度の電子線描画が行なえるようになった。
らのＮ熱を効率良く冷却し、電子レンズを一定温度に保
つことができるので、従来、電子レンズの熱変形が原因
と考えられていた電子線の温度ドリフト等を減少させ、
高精度の電子線描画が行なえるようになった。
本発明は、上記の実施例では電子線描画装置に適用した
場合を例にとって述べたが、これに限らず電子レンズを
用いる電子線応用諸装置に適用可能であることは言うま
でもない。
場合を例にとって述べたが、これに限らず電子レンズを
用いる電子線応用諸装置に適用可能であることは言うま
でもない。
第１図は電子線応用装置の一つである電子線描画装置の
鏡体部と描画室を示す断面図、第２図は従来用いられて
いた電磁コイルと磁路からなる電子レンズを示す断面図
、第３図は本発明による電子レンズの一実施例を示す断
面図である。 図中、１８・・・巻線、１９・・・レジン、２０・・・
フィン、２１・・・磁路、２２・・・冷却空気の送入口
、２３・・・冷却空気の吐出口。
鏡体部と描画室を示す断面図、第２図は従来用いられて
いた電磁コイルと磁路からなる電子レンズを示す断面図
、第３図は本発明による電子レンズの一実施例を示す断
面図である。 図中、１８・・・巻線、１９・・・レジン、２０・・・
フィン、２１・・・磁路、２２・・・冷却空気の送入口
、２３・・・冷却空気の吐出口。
Claims (1)
- １、電子線を集束させるための、電磁コイルと磁路を有
する電子レンズにおいて、上記電磁コイルの外周部に放
熱フィンを有する如く構成したことを特徴とする電子レ
ンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17231085A JPS6151737A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17231085A JPS6151737A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 電子レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6151737A true JPS6151737A (ja) | 1986-03-14 |
Family
ID=15939544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17231085A Pending JPS6151737A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6151737A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461366A2 (en) * | 1990-05-17 | 1991-12-18 | Etec Systems, Inc. | Thermally stable magnetic deflection assembly and method of making same |
| JP2009123542A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Institute Of Physical & Chemical Research | 電磁コイル |
-
1985
- 1985-08-07 JP JP17231085A patent/JPS6151737A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461366A2 (en) * | 1990-05-17 | 1991-12-18 | Etec Systems, Inc. | Thermally stable magnetic deflection assembly and method of making same |
| US5136166A (en) * | 1990-05-17 | 1992-08-04 | Etec Systems, Inc. | Temperature stable magnetic deflection assembly |
| JP2009123542A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Institute Of Physical & Chemical Research | 電磁コイル |
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