JPS60232798A - 電気音響トランスジユ−サ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、一般的には、トランスジューサの作動や各構
成要素に対して通常有害である環境においても使用しう
るトランスジユーザに関し、特に、そのような環境にお
いて使用しつる、振動ダイヤフラムを用いた容量形超音
波トランスジューサに関する。

（従来の技術〕 トランスジューサは、機械的振動のような形のエネルギ
を、電気的信号のような他の形のエネルギに、またはそ
の逆に変換するための装置として一般に良く知られてい
る。多くの例をあげるまでもなく、目標物までの距離、
物体の温度、またはガス圧のようなさまざまな量を測定
する目的で、多くの異なった形式のトランスジュー４ノ
が、さまざまな測定装置に用いられている。例えば、マ
サチュセツツ州ケンブリッジのポラロイド社においては
、現在いくつかの異なった形式の自動現像カメラが製造
されており、これらのカメラはそれぞれ、被写体距離決
定用の容量形トランスジューサを用いた距離計によって
、自動的に焦点合わせされる焦点調節式レンズ装置を使
用している。被写体距離は、トランスジューサから特定
被写体に向けて超音波エネルギのバーストが送信されて
から、同じトランスジューサによって、その特定被写体
から反射されたそのエネルギバーストが検出されるまで
の経過時間を測定することによって決定される。距離計
から発生する、この経過時間、従って被写体距離、を表
わす電気的信号は、後にレンズ装置の焦点合わせを正確
に制御するために用いられる。

容量形超音波トランスジューサには、一方の面に厚さ数
百オングストロームの金の層すなわちコーティングを有
する薄いプラスチックフィルムから成る、音響発生／検
出用振動ダイヤフラムが用いられている。上述の自動焦
点式自動現像カメラの場合のような、通常の状況下にお
いては、撮動ダイヤフラムの金コーティングは、それを
使用した装置の外側に取りつけられるので、その装置が
置かれ、または使用される場所の大気または環境と物理
的に直接接触することになる。多くの応用において、周
囲環境は、ダイヤフラムの金コーティングおよびトラン
スジューサ動作のいずれに対しても、有害な影響をほと
んど与えないか、または全く与えない。しかし、ある応
用においては、人気に腐食性ガスおよび異物粒子が含ま
れ、トランスジューサの構成要素に対して有害であった
り、トランスジューサの作動を劣化せしめる可能性があ
る。

上述の形式の容量形超音波トランスジューサを用いた距
離計によれば、かなり近＜（１２，１９ｍ（４０フイー
ト）以内）にある物体までの距離を、比較的小さい誤差
範囲（約±１．２７ａｎ（±０．５インチ））で決定す
ることかできる。しかし、この形式の距離計を、Ｉ−ラ
ンスジューサが霧状塩水（塩霧）と加摩耗物（砂）との
組合わさった環境にさらさられるような、車両の外表面
上で用いると、距離計は比較的短期間の後動作しえなく
なるか、または正常に動作しなくなる。そのような環境
において距離計が部分的に、または全く動作しなくなる
理由は、塩霧が距離計の開口部を経てトランスジューサ
の内部、またはその近くに入った後、そこの電気的要素
を腐食せしめることによって、または加摩耗物が当たっ
て振動ダイヤフラムの露出した金コーティング面を摩耗
せしめることによって、トランスジューサ、従って距離
計の動作を著しく劣化せしめるからである。

（発明の目的と要約） 従って、本発明は、トランスジューサの作動や構成要素
に対して通常有害である環境においても正常に動作しつ
るトランスジューサを提供することを目的とする。

本発明のもう１つの目的は、腐食性かつ／または摩耗性
の環境においても正常に動作しつる、容量形超音波トラ
ンスジューサを提供することである。

本発明のもう１つの目的は、腐蝕性かつ／または摩耗性
の環境においても正常に動作しうる容量形超音波トラン
スジューサを用いた距離計を提供することである。

本発明の他の諸口的、諸特徴、および諸利点は、添付図
面を参照しつつ行なわれる実施例についての後述の説明
において明らかにされる。

本発明においては、従来のトランスジューサの作動を劣
化せしめ、かつ／または、従来のトランスジューサまた
はトランスジューサ関連要素に損傷を与えるような環境
においても正常に動作しうるトランスジューサ装置が提
供される。この装置は、薄いプラスチックフィルムによ
って２つの容積部分に分割されたハウジングの一方の部
分内に振動ダイヤプラム形超音波トランスジユーザが収
納されている。振動ダイヤフラムの両面に隣接するガス
の間に生じる可能性のある温度起因圧力差をなくすため
の手段が設けられている。ハウジングの一方の容積部分
は直接大気へ問いており、他方の容積部分は、この容積
部分の内部を遠隔の保護された位置にある大気中へ通ぜ
しめる導管部分を除外すれば、トランスジューサを完全
に包囲している。ハウジングの双方の容積部分が大気中
へ通ぜしめられていることによって、双方の容積部分間
を生じつる、トランスジューサ動作を劣化せしめ、かつ
／または、プラスチックフィルムをひずましめる圧力差
がなくされ、また、トランスジューサを含む容積部分が
遠隔保護位置にある大気中へ通ぜしめられていることに
よって、包囲されているトランスジューサと、トランス
ジューサの動作および／または要素に有害であるかもし
れない環境状態にある大気とが、その圧力差をなくす過
程中に直接接触しないようにされている。

〔実施例〕

第１ａ図および第１ｂ図には、本発明に従って構成され
た容量形超音波トランスジューサ１０が示されている。

トランスジューサ１０は円筒形ハウジング１２を有し、
該ハウジングの一端は開放端部１４をなし、他端は部分
的に開鎖された有孔端部１６となっている。該ハウジン
グ１２はまた、その開放端部１４の近くに、フランジ部
１８を有する。平形の振動ダイヤフラム２０は、ハウジ
ング開放端部１４の開口全体を覆うように、支持リング
２２とハウジング１２との間に配置される。

ハウジング１２のフランジ部１８に形成された通路２１
ａおよび２１ｂは、フランジ部１８の所でダイヤフラム
２０とハウジングとの間に気密シールが形成されないよ
うにするためのものである。

振動ダイヤフラム２０は、好ましくは、Ｅ、　Ｉ。

ｄｕＰｏｎｔ　ｄｅＮｅｍｏｕｒｓ　Ｃｏｍｐａｎｙ、
Ｉｎｃ、からカプトン（ＫＡＰＴＯＮ）という登録商標
で発売されている薄いポリアミドフィル１１で作られた
ものとする。

ダイヤフラム２０の一方の表面は、薄い金の層（厚さ約
３００人）でコーティングされていることによって導電
性を有し、他方の表面は誘電性の、すなわち非導電性の
、カプトンから成る。支持リング２２は、中央部を貫通
する開口２３をもった円形断面のもので、ハウジング１
２のフランジ部１８と協働的に係合するためのフランジ
付端部を有する。円形断面をもった後板２４は、振動ダ
イヤフラム２０と協働的に係合するための導電性の中高
表面を有する。板ばね２６は、後板２４とダイヤフラム
２０とを正しい物理的接触状態に保つための機械的な圧
力を与える。有害ガスおよび／または加摩耗物がハウジ
ング１２の有孔端部から入るのを防止する機能をもつ保
護ダイヤフラム２８は、ハウジングの有孔端部を完全に
覆っている。ダイヤフラム２８は、好ましくはＥ、　１
．ｄｕＰｏｎｔｄｅＮｅｍｏｕｒｓ　Ｃｏｍｐａｎｙ、
Ｉｎｃからマイラ（ＭＹＬＡＲ）という登録商標で発売
されている薄いポリエステルフィルムで作られたものと
する。第１図に示されているトランスジューサ要素は組
立てられると、第２ａ図および第３図に示された位置を
とる。

第２ａ図、第２ｂ図、および第３図を参照してトランス
ジューサ１０の組立について説明する。

ダイヤフラム２０は半径方向の弱い一様な力゛を作用さ
せて比較的平らな平面状に保持した状態でトランスジュ
ーサハウジング１２の開口１４（第１図）上に置かれる
。次に、後板２４を係合して、ダイヤフラム２０を、後
板の中高表面の形状である凹形にする。次に、ダイヤフ
ラム２００周を、支持リング２２のフランジイ」端部と
ハウジング１２のフランジ部１８との間に挟んだ後、ハ
ウジング１２の開放端部をリング２２のフランジ部上に
締付け、それによって該フランジ部がダイヤフラム２０
の周をハウジング１２に対して固定位置に保つようにす
る。通路２１ａおよび２１ｂは、ダイヤフラム２０どト
ランスジューサハウジング１２との間に気密シールか形
成されるのを防止する。中高後板２４は支持リング２２
の開口２３内に配置され、後板２４の中高表面がダイヤ
フラム２０の誘電性すなわち絶縁性表面と係合する。後
板２４をそのように配置した後、板ばね２６を支持リン
グ２２の穴３０ａおよび３０ｂ（第１図）のそれぞれを
通るように挿入し、それによって板ばね２６の中央部が
後板２４を押し、板ばね２６の両端部が支持リング２２
の穴３０ａ、３０ｂの壁上に支持されるようにする。板
ばね２６をそのように配置すると、ダイヤフラム２０は
後板２４の中高表面との適正な協働的係合状態に保たれ
る。

トランスジューサ１０が上述のようにして完全に組立て
られた後、トランスジューサハウジング１２の有孔端部
１６に対し、保護ダイヤフラム２８を接着せしめる。ダ
イヤフラム２８は、ダイヤフラム２８の一方の表面の外
端縁部に沿って前もって付与された接着性コーティング
（図示されていない）を有する。ダイヤフラム２８を、
その接着性コーテイング面がハウジング１２の有孔端部
に面するようにして、該有孔端部上に配置した後、組立
工具（図示されていない）によってダイヤフラム２８を
ハウジング１２の有孔端部上において広げ、次にダイヤ
フラム２８をハウジング１２の有孔端部の外部輪郭の形
状に適合せしめる。

ダイヤフラム２８が、広げられてハウジングの０輪郭の
形状にされた位置に保持されている時、組立工具からダ
イヤフラムおよびすでにその上にある熱硬化性の接着性
コーティングに対して必要量の熱を供給し、それによっ
てダイヤフラム２８の一方の表面の外端縁部を、ハウジ
ング１２の外部横表面３２上に接着する。保護ダイヤフ
ラム２８をハウジング１２に接着するために使用される
この種の組立工具の例は、ＰＡＧＥ夏Ａによる米国特許
第４．４０３，１１７号に示されている。このトランス
ジューサ１０と接着されたダイヤフラム２８との組合せ
を、次に第４図、第５図、第６図に示されているように
保護ハウジング３４内へ挿入する。

第４図には、保護ハウジング装＠３４の分解斜視図とト
ランスジューサ１０の斜視図とが示されており、そこに
は、振動ダイヤフラム２０の圧力等化用通路の一方と共
にトランスジューサ１０に接着された保護ダイヤフラム
２８が腐食性かつ／または摩耗性である可能性のある環
境からの保護を行ないうるように、ハウジング装置３４
内に配置された状態が示されている。第４図、第５図、
第６図において、保護ハウジング３４は基礎部材３６を
含んでおり、この基礎部材３６は、トランスジューサ１
０が完全にハウジング装置ａ３４内に組込まれた時、ト
ランスジューサ１０の一部を突出させるための凹部３８
を有する。さらに、基礎部材３６の外端縁部の近くには
、等間隔に形成された複数の平凡４ｏが円周状に形成さ
れている。

保護ハウジング３４はさらにカバ一部材４２を含んでお
り、このカバ一部材４２は、外端縁部の近くに前記平凡
に対応して等間隔に形成された複数のねじ孔４４と、中
央部を貫通する大きい円形開口４６とを有する。開口４
６の１端部は縮径されており、大径端部と小径端部との
間には肩部４８が形成されている。カバ一部材４２はま
た、半円形断面の円形のみぞ５０を有し、このみぞ５０
に０リングシール５２を収容した後に、基礎部材３６が
カバ一部材４２に対し所定位置に置かれる。

Ｏリング５２はトランスジューサ装置の基礎部材３６と
カバ一部材４２との間のシールを形成し、Ｏリング５４
は保護ダイヤフラム２８とカバ一部材４２の肩部４８と
の間のシールを形成し、これらの部材が完全に組立てら
れると、カバ一部材４２は基礎部材３６に対し小ねじ５
６によって、堅固に取付けられる。プラスチックチュー
ブ５８は基礎部材３６の孔を通って、その内部に形成さ
れた凹部３８内へ入る。シリコンを基材とするシール材
６０は、プラスチックチューブ５８が基礎部材３６内に
入る部分において、該チューブ５８の外表面と基礎部材
３６との間に気密シールを形成する。１対の電気導線６
２はプラスチックチューブ５８内を通って、遠隔位置か
ら基礎部材の四部３８内へ導かれている。カバ一部材４
２の表面６６に接着されている保護格子６４（第６図）
は、比較的大きい物体がカバ一部材４２の開口４６から
入って、保護装置３４内の保護位置に取付けられた保護
ダイヤフラム２８に損傷を与えるのを防止する。

トランスジューサ１０は、次のようにして保護ハウジン
グ３４内に収納される。まず、弾性的な０リング５４を
、カバ一部材４２の開口４６内の肩部４８上に配置する
。次に、トランスジューサ１０を、その保護ダイヤフラ
ム２８により被覆された有孔端部が開口４６の肩部４８
に面するようにして、ダイヤフラム２８の周が弾性的Ｏ
リング５４に係合するまで、開口４６内に挿入する。次
に、電気導線対６２の先端が接続されているスペード形
の雄端子部材を、超音波トランスジユーザ１０の後板２
４と、ダイヤフラム２０の導電性表面とのそれぞれに接
続された雄端子部材に嵌合せしめる。次に、弾性的Ｏリ
ング５２をカバ一部材４２の位置決めみぞ５０内に配置
した後、基礎部材３６を、その凹部３８の形成された表
面６８がＯリング５２に係合するように配置する。基礎
部材３６がそのように置かれると、カバ一部材４２と基
礎部材３６との間にＯリング５２によって気密シールが
形成される。基礎部材３６の表面６８はまた、トランス
ジューサ１０の支持リング２２の端部に係合することに
よって、０リング５４をさらに圧縮するので、保護ダイ
ヤフラム２８とカバ一部材４２との間に一層緊密なシー
ルが形成される。基礎部材３６の孔４０がカバ一部材４
２のねじ孔４４と位置整合するように、基礎部材３６を
カバ一部材４２上に置いた後、これらの両孔に小ねじ５
６を挿入し、基礎部材３６をカバ一部材４２に締付けて
固定する。これらの両部材が固定されると、トランスジ
ューサ１０は、剛性プラスチックの基礎部材３６と、剛
性プラスチックのカバ一部材４２と、保護ダイヤフラム
２８と、Ｏリング５２および５４と、によって形成され
る、通気孔を１つだけもった気密チＡ７ンバ内に収納さ
れたことになる。

〔解説〕

トランスジューサ１０が通気孔を１つだけもった気密チ
ャンバ内に収納されていても、保護ダイヤフラム２８を
ひずませるような、ダイヤフラム２０の両側に直接隣接
しているガス間の温度に起因する圧力差の発生は、圧力
等化通路２１ａおよび２１ｂの存在によって防止される
。もし、振動ダイヤフラム２０とハウジング１２の肩部
１８との間に気密シールが形成されれば、トランスジュ
ーサ装置３４（第５図）が完全に組立てられた時、振動
ダイヤフラム２０と保護ダイヤフラム２８との間に気密
チャンバが形成される。トランスジューサ装置３４が自
動車の外部表面上に取付けられた時、もしこれら２つの
ダイヤフラムによって形成されたチャンバ内のガスすな
わち空気が太陽光線などによって熱せられると、保護ダ
イヤフラム２８はこのダイヤフラムによって形成された
チャンバ内に閉じ込められた空気が熱膨張することによ
って拡大せしめられる。ダイヤフラム２８が拡大される
と、そこに永久的なしわができる可能性があり、そのし
わは、ダイヤフラム２８によって送信され、または受信
される、物体検出超音波エネルギの聞を実質的に減少せ
しめる。

上述のように、保護ダイヤフラム２８の両側付近の空気
または空間的容積は、ダイヤフラム２８によって送信お
よび受信される超音波エネルギの周波数特性の劣化を避
け、かつ／または、ダイヤフラム２８の動作を劣化させ
るダイヤフラム２．８をひずませる温度起因圧力差を防
止するためには、実質的に同じ圧力をもたなくてはなら
ない。もし、保護ハウジング装置３４内のチャンバ３８
が完全に気密であれば、このような空気圧の等化は不可
能である。また、もしチャンバ３８の内部が、例えば腐
食性ガスを含有する動作環境に対して開放されていれば
、トランスジューサ１０および／またはトランスジュー
勺１０のインタフェース電気要素が強い損傷を受けるこ
とになる。トランスジューサ１０内のダイヤフラム２０
に隣接するガス間の有害な温度起因圧力差は、前述のよ
うに通路２１ａおよび２１ｂ（第２ａ図および第２ｂ図
）によって防止できる。本発明の装置は、これらの問題
を解決するために、チャンバ３８の内部を、気密なプラ
スチックのチューブすなわち導管５８によって遠隔位置
にある腐食性ガスおよび粒子を含まない環境に接続し、
導管５８の１端部をその腐食性ガスおよび粒子のない環
境内において開いている。実施例において、トランスジ
ューサ１０に振動発生用の電気的エネルギを供給する電
気導線６２が導管５８内を通されているのは、単に便宜
のために過ぎない。圧力等化用のガス通路と、トランス
ジューサ１０を付勢するだめの電気導線とに対し、それ
ぞれ別個の経路を用いることも、もしそのような配置が
適当であると考えられるならば、できないわけではない
。

トランスジューサ１０をハウジング装置３４内に封入す
れば、トランスジューサ１０およびインタフェース電気
要素のあるものは、その動作環境に存在するいかなる腐
食性ガスからも、また異物粒子による摩耗からも、保護
される。しかし、トランスジューサ１０を保護の目的の
ためにチャンバ内に封入するだけでは、超音波エネルギ
がチャンバの壁を通過しえないか、または通過エネルギ
のレベルが実質的に減衰してしまう。

本発明においては、トランスジューサが封入される保護
チャンバは、基礎部材３６およびカバ一部材４２から成
る剛性部分と、超音波エネルギを効率的かつ有効に通過
させて送り出す保護ダイヤフラム２８から成る可撓部分
とを含んでいる。超音波トランスジューサ１０の振動ダ
イヤフラム２０によって発生せしめられる超音波エネル
ギは保護ダイヤフラム２８へ送られ、保護ダイヤフラム
２８はそれによって、ダイヤフラム２０と実質的に同じ
振動数および振幅で、同じ長さの時間の間共振せしめら
れる。保護ダイヤフラム２８の共振によって発生する超
音波エネルギは、物体を検出する目的で特定の遠隔物体
または遠隔位置へ送られる。振動ダイヤフラム２０によ
って発生せしめられる超音波エネルギに対する妨−害を
最小化するために、保護ダイヤフラム２８はダイヤフラ
ム２ｏから実質的に半波長の距離にある平面上の節点（
波の振幅が最小である点）に取付けられ、カバ一部材４
２上の保護格子６４は、超音波エネルギを伝える保護ダ
イヤフラム２８からは実質的に半波長、振動ダイヤフラ
ム２０からはちょうど１波長の距離にある平面上のもう
１つの節点に取付けられる。

本技術分野に精通した者ならば、本発明の詳細な説明か
ら、本発明の真の範囲から逸脱することなく、上述の実
施例に対してさまざまな改良および改変を施しうろこと
がわかるはずである。上述の実施例は、単に例示的なも
のであり本発明の全てを含む唯一の実施例であると考え
てはならない。

【図面の簡単な説明】

第１ａ図は、本発明の保護ダイヤフラムをもった容量形
超音波トランスジューサの部分断面分解立面図、第１ｂ
図は、第１ａ図の右側から見た場合の、ハウジングに形
成された圧力等化通路の部分立面図、第２ａ図は、保護
ダイヤフラムが第１図のトランスジューサの保護位置に
取付けられ、完全に組立てられた状態の部分断両立面図
、第２ｂ図は、第２ａ図の右側から見た場合の、本発明
において用いられる超音波トランスジューサおよびその
ハウジングに形成された圧力等化通路の部分立面図、第
３図は、第２図に示されているトランスジューサの有孔
ハウジングおよび保護ダイヤフラムの底面図、第４図は
、腐食性および／または摩耗性の環境においても動作可
能な本発、明の超音波トランスジューサ装置の分解斜視
図、第５図は、完全に組立てられた第４図の超音波トラ
ンスジューサ装置の部分断両立面図、第６図は、第５図
の超音波トランスジューサ装置の底面図である。 符号の説明 １０・・・容量形超音波トランスジューサ、１２・・・
円筒形ハウジング、 １６・・・右孔端部、 ２０・・・振動ダイヤフラム、 ２１ａ、２１ｂ−！ＮＢ、 ２４・・・後板、 ２８・・・操護ダイヤフラム、 ３４・・・保護ハウジング、 ３８・・・気密チャンバ、 ４６・・・円形開口、 ５２．５４・・・０リング、 ５８・・・プラスチックチューブ、 ６２・・・電気導線、 ６４・・・保護格子。 代理人　浅　村　皓

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　後板と、該後板の１つの主表面上に延在する第
   １ダイヤフラムと、該第１ダイヤフラムの両側のガス圧
   を等化する装置と、該第１ダイヤフラムを作動せしめて
   前記後板から離れる方向へ音響エネルギを伝搬せしめる
   装置と、前記トランスジューサ装置の動作環境ガス内の
   異物粒子が前記第１ダイヤフラムの外表面上に衝突する
   のを防止する装置と、を備えており、該異物粒予防止装
   置が前記第１ダイヤフラムから離れてその上方位置に置
   かれた第２ダイヤフラムを含んでいて、該第２ダイヤフ
   ラムが前記音響エネルギによって作動せしめられること
   によって前記トランスジューサ装置の外へ前記後板から
   離れる方向に音響エネルギを伝搬せしめるようになって
   いる、電気音響トランスジューサ装置。 （２）　特許請求の範囲第１項において、前記第２ダイ
   ヤフラムがポリエステルフィルムによってＪｆ９成され
   ている、電気音響トランスジューサ装置。 （３）　特許請求の範囲第２項において、前記ポリエス
   テルフィルムがマイラである、電気音響トランスジュー
   サ装置。 （４）　特許請求の範囲第１項において、前記異物粒予
   防止装置が前記第１ダイヤフラムから離れてその上方位
   置に置かれた実質的に平らな有孔部分を有する支持部材
   を含んでおり、前記第２ダイヤフラムが該支持部材の法
   事らな有孔部分上に展張されている、電気音響トランス
   ジューサ装置。 （５）　特許請求の範囲第１項において、前記第２ダイ
   ヤフラムが前記第１ダイヤフラムから半波長の倍数だけ
   離れている、電気音響トランスジューサ装置。 （６）　特許請求の範囲第４項において、前記第２ダイ
   ヤフラムから所定距離だけ離れた位置に置かれた実質的
   に平らな保護格子をさらに備えている、電気音響トラン
   スジューサ装置。 （７）　特許請求の範囲第６項において、前記保護格子
   と前記第２ダイヤフラムとの間の前記所定距離が、半波
   長の倍数になっている、電気音響トランスジューサ装置
   。 （８）　後板と、該後板の１つの主表面上に延在するダ
   イヤフラムと、該ダイヤフラムの両側のガス圧を等化す
   るＨｆｔと、該ダイヤフラムを作動せしめ、かつそれに
   よって発生せしめられた音響エネルギを、前記トランス
   ジューサ装置を直接包囲している環境ガスが該ダイヤフ
   ラムに接触することを防止しつつ、該ｌ−ランスジュー
   サ装置の外へ前記後板から離れる方向に伝搬せしめる装
   置と、を備えている、音響トランスジューサ装置。 （９）　特許請求の範囲第８項において、前記ガス圧等
   化装置が、前記後板および前記第１ダイヤフラムを収容
   する実質的に気密なチャンバを画定するチャンバ画定装
   置と、該チャンバを該チャンバから遠隔の位置にあって
   該チャンバ内に収容された前記トランスジューサ装置の
   要素に対して悪影響を与えつる不純物を実質的に含まな
   い他の環境ガス内へ通気せしめる通気装置を含んでいる
   、音響トランスジューサ装置。 （１０）特許請求の範囲第９項において、前記通気装置
   が前記チャンバから前記遠隔の位置にある環境ガス内へ
   延長する管を備え、前記ガス圧等化装置は、前記延長管
   を通って前記後板と前記ダイヤフラムとのそれぞれに結
   合せしめられた１対の細長い電気導体を含む、音響トラ
   ンスジューサ装置。 （１１）特許請求の範囲第９項において、前記チャンバ
   画定装置が、前記第１ダイヤフラムから所定距離だけ離
   れてその上方位置に広がり前記音響エネルギにより作動
   せしめられて音響エネルギを前記トランスジューサ装置
   の外へ前記後板から離れる方向に伝搬せしめる第２ダイ
   ヤフラムと、前記第２ダイヤフラムにより伝搬せしめら
   れる音響エネルギを妨害しないようにするための開口を
   もった剛性ハウジング組立体と、前記第２ダイヤフラム
   と前記ハウジング組立体との間に気密シールを形成する
   装置とを備え、前記第２ダイヤフラムと前記ハウジング
   組立体との組合せにより前記チャンバを画定するように
   した音響トランスジューサ装置。 （１２、特許請求の範囲第１１項において、前記第２ダ
   イヤフラムが前記第１ダイヤフラムから離れてその上方
   位置に置かれた実質的に平らな有孔部分を有する支持部
   材によって支持され、前記第２ダイヤフラムが該支持部
   材の平らな有孔部分上に展張されている、音響トランス
   ジューサ装置。 （１３）特許請求の範囲第１１項において、前記第１お
   よび第２ダイヤフラムの間の前記所定距離が半波長の倍
   数になっている、音響トランスジューサ装置。 （１４）特許請求の範囲第１２項において異物が前記第
   ２ダイヤフラムに衝突するのを防止するため該第２ダイ
   ヤフラムから所定距離だけ離れて延在するように前記ハ
   ウジング組立体上に取付けられた外部保護格子であって
   、前記第２ダイヤフラムの前記支持部材の前記有孔部分
   に接触する表面とは反対側の表面の近くに配置された前
   記外部保護格子をさらに備えている、音響トランスジュ
   ーサ装置。 （１５）特許請求の範囲第１４項において、前記保護格
   子と前記第２ダイヤフラムとの間の前記所定距離が半波
   長の倍数になっている、音響トランスジューサ装置。