JPS60232695A - Thin film el panel - Google Patents

Thin film el panel

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Publication number
JPS60232695A
JPS60232695A JP59087510A JP8751084A JPS60232695A JP S60232695 A JPS60232695 A JP S60232695A JP 59087510 A JP59087510 A JP 59087510A JP 8751084 A JP8751084 A JP 8751084A JP S60232695 A JPS60232695 A JP S60232695A
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JP
Japan
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protective fluid
thin film
envelope
porous glass
glass
Prior art date
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Pending
Application number
JP59087510A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
樺嶋 史朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP59087510A priority Critical patent/JPS60232695A/en
Publication of JPS60232695A publication Critical patent/JPS60232695A/en
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 従来の技術 従来、交流動作の薄膜KL素子に関して、発光層に短剣
的に高い電界(lO°V/m程度)を印加し、絶縁耐圧
、発光効率及び動作の安定性等を高めるために、0.1
〜1.Owt%のMn(あるいは(!u 、A4゜Br
等)をドープしたZn S、Zn Se等の半導体発光
層をY* Or 、T az Os等の誘電体薄膜でサ
ンドイッチした三層構造Zn S : Mn (又はz
n Se :Mn)EL素子が開発され、発光緒特性の
向上が確かめられている。この薄膜EL素子は数KH2
の交流印加によって高輝度発光し、しかも長寿命である
という特徴を有している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Conventionally, for AC-operated thin-film KL elements, a dagger-high electric field (about 1O°V/m) is applied to the light-emitting layer to improve dielectric strength, luminous efficiency, and operation stability. etc., 0.1
~1. Owt% Mn (or (!u, A4゜Br
A three-layer structure in which a semiconductor light-emitting layer such as ZnS, ZnSe, etc. doped with
nSe:Mn) EL devices have been developed, and improvements in luminescent characteristics have been confirmed. This thin film EL element is several KH2
It emits high-intensity light when applied with alternating current, and has a long lifespan.

薄膜EL素子の1例としてZn S : Mn薄膜EL
素子の基本的構造を第5図に示す。
As an example of a thin film EL element, ZnS:Mn thin film EL
The basic structure of the device is shown in FIG.

第5図に基づいて薄膜EL素子の構造を具体的に説明す
ると、ガラス基板1上にIn、O=、SnO。
The structure of the thin film EL element will be specifically explained based on FIG. 5. In, O=, and SnO are formed on the glass substrate 1.

等の透明電極2、更にその上に積層してY、03、Ta
、 O,1,、A4. O,、S is Nu、Sin
、等からなる第1の誘電体層8がスバ・7タあるいは電
子ビーム蒸着法等により重畳形成されている。第1の誘
電体層3上にはZn S : Mn焼結ベレットを電子
ビーム蒸着することにより得られるZn S発光層4が
形成されている。この時蒸着用のZn S : Mn焼
結へvリドには活性物質となるMnが目的に応じた濃度
に設定されたベレリトが使用される。Zn S発光層4
十には第1の誘電体層8と言様の材質から成る第2の誘
電体層5が積層され、更にその上にAt等から成る背面
電極6が蒸着形成されている。透明電極2と背面電極6
は第6図に示すように帯状に成形され、互いに直交する
如く複数本配列されたマ) 17 、、クス電極構造が
採用されており、透明電極2と背面電極6が平面図的に
見て交叉した位置7(斜線部分)がパネルの1画素に相
当する。
A transparent electrode 2 such as Y, 03, Ta is further layered on top of the transparent electrode 2.
, O,1,, A4. O,,S is Nu,Sin
A first dielectric layer 8 consisting of . A ZnS light emitting layer 4 is formed on the first dielectric layer 3, which is obtained by electron beam evaporation of a ZnS:Mn sintered pellet. At this time, for ZnS:Mn sintering for vapor deposition, Bererite is used, in which Mn, which is an active substance, is set at a concentration depending on the purpose. ZnS light emitting layer 4
A second dielectric layer 5 made of the same material as the first dielectric layer 8 is laminated on top of the second dielectric layer 8, and a back electrode 6 made of At or the like is further deposited thereon. Transparent electrode 2 and back electrode 6
As shown in FIG. 6, a square electrode structure is adopted in which a plurality of electrodes are formed into a strip shape and arranged perpendicularly to each other, and the transparent electrode 2 and the back electrode 6 are formed in a plan view. The crossing position 7 (shaded area) corresponds to one pixel on the panel.

透明電極2と背面電極6はそれぞれスイツチ8゜9を介
して交流電源10に接続されている。
The transparent electrode 2 and the back electrode 6 are each connected to an AC power source 10 via a switch 8.9.

上記の構成において、スイツチ8,9を閉じて電極2,
6間にAC電圧を印加すると、zr+ s発光層40両
側の誘電体層3,5間に上記AC電圧が誘起されること
になり、従ってZn S発光層4内に発生した電界によ
って伝導体に励起され、かつ加速されて充分なエネルギ
ーを得た電子が、直接Mn発光センターを励起し、励起
されたMn発光センターが基底状態に戻る際に橙黄色の
発光を行う。即ち高電界で加速された電子がZn S発
光層4中の発光センターであるZn サイトに入ったM
n原子の電子を励起し、基底状態に落ちる時、略々58
50Aをピークに幅広い波長領域で強い発光を呈する。
In the above configuration, when the switches 8 and 9 are closed, the electrodes 2 and
When an AC voltage is applied between 6 and 6, the above AC voltage will be induced between dielectric layers 3 and 5 on both sides of the Zr+S light emitting layer 40, and therefore the electric field generated within the ZnS light emitting layer 4 will cause the conductor to The excited and accelerated electrons that have obtained sufficient energy directly excite the Mn luminescent center, and when the excited Mn luminescent center returns to the ground state, it emits orange-yellow light. That is, M
When the electron of n atom is excited and falls to the ground state, approximately 58
It emits strong light in a wide wavelength range with a peak of 50A.

上記の茹き構造を有する薄膜EL素子はスベーヌファク
タの利点を生かした平面薄型ディスプレイ・デパイヌと
して、文字及び図形を含むコンピューターの出力表示端
末機器その他種々の表示装置に文字、記号、静止画像、
動画像等の表示手段として利用することができ非常に有
効なものである。
The thin film EL device having the above-mentioned boiled structure can be used as a flat thin display device that takes advantage of the Soubène factor to display characters, symbols, still images, etc.
It can be used as a means of displaying moving images, etc., and is very effective.

しかしながら薄膜EL素子の誘電体層は製造工程途中で
発生した多数のピンホールやマイクロクラリフ等を含み
、これらの欠陥を通してzn s発光層4に湿気等が侵
入するため、EL発光損失による発熱、層間剥離、素子
特性の劣化等を招来する。
However, the dielectric layer of the thin-film EL element contains many pinholes and micro-crystals generated during the manufacturing process, and moisture, etc. enters the ZNS light-emitting layer 4 through these defects, resulting in heat generation due to EL emission loss, This may lead to delamination, deterioration of device characteristics, etc.

上記問題を解決することを目的として、第7図に示すよ
うに、薄膜KL素子特有の不完全さ、即ちピンホール等
によって通電時に生じるブレークダウンのため起こる微
小な熱損傷領域の拡大を防止、固定化し、大気環境下で
の湿撮保護、放熱効果、きらに振動、たわみに対しても
有効と方る薄W K TJバネ)vllが知られている
In order to solve the above problem, as shown in Fig. 7, we have developed a method to prevent the expansion of minute thermal damage areas caused by breakdowns caused by pinholes and other imperfections peculiar to thin-film KL elements when energized. Thin WK TJ springs are known that are fixed and effective for wet photography protection in atmospheric environments, heat dissipation effects, and against vibration and deflection.

この薄映KLバネ/L’llを第7図に基づいて説明す
ると、1は第5図に示すガラス基板であり、ガラス基板
1上に透明電極2が帯状に一定ピノチ間隔をもって平行
配列され、その上に第1の誘電体層31発光層4.第2
の誘電体層5.背面電極6を積層形成した薄膜KL素子
12が構成されている。この薄膜EL素子12を収納す
る如く皿状の背面ガラス板13がガラス基板1上に重畳
され、その内部間隙に薄膜EL素子12が内蔵される。
This thin-reflection KL spring/L'll will be explained based on FIG. 7. 1 is a glass substrate shown in FIG. A first dielectric layer 31 and a light emitting layer 4 are formed thereon. Second
Dielectric layer 5. A thin film KL element 12 is constructed in which a back electrode 6 is laminated. A dish-shaped rear glass plate 13 is superimposed on the glass substrate 1 to accommodate the thin film EL element 12, and the thin film EL element 12 is built into the internal gap thereof.

ガラス基板1と背面ガラス板13の接合部は光硬化性樹
脂(フォトボンド)畦の接着剤14で密封されている。
The joint between the glass substrate 1 and the rear glass plate 13 is sealed with a photocurable resin (photobond) ridge adhesive 14.

即ち、ガラス基板1と背面ガラス板18は薄膜EL累子
12に対する外囲器15を構成する。そして外囲器15
内には薄膜E、L素子12が内蔵されると共にシリコン
オイル、真空グリース等の薄膜KL素子12の保護用の
絶縁性保護流体16が充填封入されている。絶縁性保護
流体16に要求される条件としてはピンホールへの浸透
性があり、絶縁耐圧が高く、耐熱性、耐湿性に優れ、薄
膜KL素子12の構成膜と反応せず、蒸気圧、≠礒寺→
熱膨張係数の小さい流動性物質であることが望せしいが
特にピンホールへの浸透性があり絶縁耐圧がある程度高
いこと及び薄膜EL素子構成膜と反応しないことを要す
る。
That is, the glass substrate 1 and the rear glass plate 18 constitute an envelope 15 for the thin film EL resistor 12. and envelope 15
Inside, the thin film E and L elements 12 are built in, and an insulating protective fluid 16 for protecting the thin film KL element 12 such as silicone oil or vacuum grease is filled and sealed. The conditions required for the insulating protective fluid 16 include permeability into pinholes, high dielectric strength, excellent heat resistance and moisture resistance, no reaction with the constituent films of the thin film KL element 12, and a vapor pressure of ≠ Isoji Temple →
It is desirable that the material be a fluid substance with a small coefficient of thermal expansion, but it is particularly required that it has permeability into pinholes, has a somewhat high dielectric strength voltage, and does not react with the films constituting the thin-film EL element.

この絶縁性保護流体16は背面ガラス板13に設けられ
ている注入孔17から注入され、この注入孔17は樹脂
18で封止されている(特開昭54−12290号公報
)。又薄膜KL素子12の透明電極2及び背面電極6の
リード端子部は、ガラス基板1と背面ガラス板18の接
合部を介して、外囲器15の外部のガラス基板1上へそ
の一端が延設され、駆動制御用回路(図示せず)と電欠
的に接続されている。
This insulating protective fluid 16 is injected through an injection hole 17 provided in the rear glass plate 13, and this injection hole 17 is sealed with a resin 18 (Japanese Patent Laid-Open No. 12290/1983). Further, one end of the lead terminal portions of the transparent electrode 2 and the back electrode 6 of the thin film KL element 12 extends onto the glass substrate 1 outside the envelope 15 via the joint between the glass substrate 1 and the back glass plate 18. and is electrically connected to a drive control circuit (not shown).

又、保護流体16の注入孔17を、上記のように樹脂1
8で封止する代わりに、第8図に示すように、ガラス板
19を接着剤20で接着して封止することも提案されて
いる(特開昭52−127790号公報)。
In addition, the injection hole 17 for the protective fluid 16 is filled with the resin 1 as described above.
8, it has also been proposed to seal the glass plate 19 by bonding it with an adhesive 20, as shown in FIG.

上記のように、外囲器15に保護流体16を収容した薄
膜FILバネJv11は、大気中の湿気侵入を完全に防
止できるため、薄膜ELパネルの信頼性、寿命を飛躍的
に向上させる優れた効果を有する。
As mentioned above, the thin film FIL spring Jv11 containing the protective fluid 16 in the envelope 15 can completely prevent moisture from entering into the atmosphere, so it is an excellent product that dramatically improves the reliability and lifespan of thin film EL panels. have an effect.

しかしながら、上記構成に於いても保護流体16自体に
水分が含有されているため、この水分が薄膜KL素子1
2に侵入して素子特性の劣化要因に々るという問題点が
尚残存する。保護流体16に含有される水分を外囲器1
5に注入前に完全に除去することは技術的に困難であり
、ガス出し操作を施しても、若干の水分は保護流体16
中に残存する。
However, even in the above configuration, since the protective fluid 16 itself contains moisture, this moisture is transferred to the thin film KL element 1.
However, there still remains the problem that it invades the 2nd layer and becomes a factor of deterioration of the device characteristics. Water contained in the protective fluid 16 is removed from the envelope 1.
It is technically difficult to completely remove the water from the protective fluid 16 before injection, and even after degassing, some moisture remains in the protective fluid 16.
remain inside.

このような問題に対処するために、第9図に示すように
、外囲器15内に、保護流体16を収容するとともに、
ノリルゲル等の水分吸収体22を収納した薄膜ELパネ
ル21(特開昭55−124182号公報)や、外囲器
15内に、シリカゲlし等の水分吸収体の微粉末を含有
する保護流体を収容した薄膜ELパネルが提案されてい
る(特開昭56−92581号公報)。
In order to deal with such problems, as shown in FIG. 9, a protective fluid 16 is contained in the envelope 15, and
A protective fluid containing fine powder of a moisture absorber such as silica gel is placed in the thin film EL panel 21 (Japanese Patent Laid-Open Publication No. 124182/1982) containing a moisture absorber 22 such as Noryl gel, and in the envelope 15. A thin film EL panel has been proposed (Japanese Unexamined Patent Publication No. 56-92581).

ところが、第7図ないし第9図に示すように外囲器15
内に絶縁性保護流体16を充填封入した場合、保護流体
16は外囲器15内に密閉されるため、周囲温度の上昇
や、熱サイクルテスト時、動作時のようにバネA/温度
上昇による保護流体16の熱膨張の際、その体積増に伴
う圧力増で外囲器15の強度の弱い箇所、例えばガラス
基板1と背面ガラス板13の接合部に応力が加わってガ
ラス基板1が反り、ガラス基板1上に形成されている薄
膜がはがれる場合がある。また、外囲器15内に保護流
体16を注入するとき、第10図に示すように、保護流
体16を背面ガラス板13の上面と面一に注入すること
は困難で、第11図に示すように不足気味になったり、
第12図に示すように過剰気味になったりしやすい。も
し、第11図に示すように、保護流体16が不足気味の
状態で樹脂18やガラス板19で封止すると、保護流体
16中に剣泡が混入し、薄膜EL素子12に対する保護
が不十分になりやすい。一方、第12図に示すように、
保護流体16が過剰気味の状態で樹脂18やガラス板1
9で封止しようとすると、余剰の保護流体16か注入孔
17の周囲に流れて、樹脂18や接着剤20による接着
が困難ないし不確実にがりやすい。したがって、一般に
は、第12図に示すように、過剰気味に保護流体16を
注入したのち、注入孔17の周囲に流れた保護流体16
を拭き取って封止しており、面倒であった。
However, as shown in FIGS. 7 to 9, the envelope 15
When the insulating protective fluid 16 is filled and sealed inside the envelope 15, the protective fluid 16 is sealed inside the envelope 15, so that it may not be affected by a rise in ambient temperature, a thermal cycle test, or a temperature rise in the spring A during operation. When the protective fluid 16 thermally expands, the pressure increases due to the increase in volume, and stress is applied to weak parts of the envelope 15, such as the joint between the glass substrate 1 and the rear glass plate 13, causing the glass substrate 1 to warp. The thin film formed on the glass substrate 1 may peel off. Furthermore, when injecting the protective fluid 16 into the envelope 15, it is difficult to inject the protective fluid 16 flush with the top surface of the rear glass plate 13 as shown in FIG. 10, and as shown in FIG. I feel like I'm lacking,
As shown in Figure 12, it is easy to become excessive. If the protective fluid 16 is insufficient and sealed with the resin 18 or the glass plate 19, as shown in FIG. easy to become. On the other hand, as shown in Figure 12,
When the protective fluid 16 is in an excessive state, the resin 18 and the glass plate 1
9, the excess protective fluid 16 flows around the injection hole 17, making it difficult or unreliable to bond with the resin 18 or adhesive 20. Therefore, as shown in FIG.
It was a hassle to wipe it off and seal it.

問題点を解決するための手段 この発明は、透光性前面基板と背面板とからなる外囲器
内に薄膜E、L素子とこの薄膜KL素子に対する絶縁性
保護流体を収容してなる薄膜Bl、パネルにおいて、前
記外囲器の絶縁性保護流体の注入孔に多孔質ガラスを配
置したことを特徴とするものである。
Means for Solving the Problems The present invention provides a thin film Bl which contains thin film E and L elements and an insulating protective fluid for the thin film KL elements in an envelope comprising a translucent front substrate and a back plate. , the panel is characterized in that porous glass is disposed in the insulating protective fluid injection hole of the envelope.

作用 すなわち、上記の構成によれば、絶縁性保護流体中に含
まれる水分および薄膜KL素子が発生するガスは多孔質
ガラスによって吸着され、薄膜EL素子が水分やガスに
よって劣化することが防止される。また、特開昭55−
124182号公報のように水分、吸収体を外囲器内に
収納するものに比較して、全体を薄くできる。さらに、
多孔質ガラスを通して外囲器内に保護流体を注入した場
合はもちろん、外囲器内に保護流体を注入したのちに、
多孔質ガラスを注入孔に配置しても、余剰の保護流体が
多孔質ガラスに吸収されるので、保護流体が注入孔の周
囲に流れて、封止が困難ないし不確実になることもない
。しかも、多孔質ガラスに乾燥窒素等の気体を含ませる
ことにより、周囲温度の上昇や薄膜KLパネルの動作に
よる発熱による温度上昇に起因して保護流体の膨張によ
る内圧上昇を吸収することもでき、信頼性の高い薄膜B
CLバネlしが得られる。
In other words, according to the above configuration, the moisture contained in the insulating protective fluid and the gas generated by the thin film KL element are adsorbed by the porous glass, and the thin film EL element is prevented from deteriorating due to moisture and gas. . Also, JP-A-55-
The entire structure can be made thinner than the one disclosed in Japanese Patent No. 124182, in which the moisture and absorber are housed in the envelope. moreover,
Not only when the protective fluid is injected into the envelope through the porous glass, but also after the protective fluid is injected into the envelope.
Even if the porous glass is placed in the injection hole, the excess protective fluid is absorbed by the porous glass, so that the protective fluid does not flow around the injection hole and make the seal difficult or unreliable. Moreover, by impregnating the porous glass with a gas such as dry nitrogen, it is possible to absorb the increase in internal pressure due to the expansion of the protective fluid due to the rise in ambient temperature or the heat generated by the operation of the thin-film KL panel. Highly reliable thin film B
CL spring strength is obtained.

実施例 以下、この発明の実施例を図面全参照して説明する。Example Embodiments of the present invention will be described below with reference to all the drawings.

第1図はこの発明の一実施例の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of the present invention.

図において、次の点を除いては第7図と同様であり、同
一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。
The figure is the same as FIG. 7 except for the following points, and the same parts are given the same reference numerals and their explanations will be omitted.

この実施例の薄膜ELバネ)v23は、ガラス基板1と
背面ガラス板18とで構成される外囲器15内に、薄膜
KL素子1゜2を収納するとともに、シリコンオイルや
シリコングリース等の絶縁性保護流体16を収容したも
のにおいて、背面ガラス板13の注入孔17の外側に、
多孔質ガラス24の周囲に一体となっている無気孔ガラ
ス25の下面を接着剤26で接着し、樹脂27で封止し
である。
The thin film EL spring (V23) of this embodiment houses a thin film KL element 1°2 in an envelope 15 consisting of a glass substrate 1 and a rear glass plate 18, and is coated with insulating material such as silicone oil or silicone grease. In the one containing the protective fluid 16, on the outside of the injection hole 17 of the rear glass plate 13,
The lower surface of a non-porous glass 25 integrated around the porous glass 24 is adhered with an adhesive 26 and sealed with a resin 27.

前記多孔質ガラス24は、数10〜数1000^の微細
な細孔(平均細孔直径4oX程度)を有する気孔率が2
5 VOI%、比表面積が200m”/2、乾燥見掛比
重が1,5程度のもので高い水分吸着性を有している。
The porous glass 24 has a porosity of 2 and has several tens to several thousand fine pores (average pore diameter of about 40X).
5 VOI%, specific surface area of 200 m''/2, dry apparent specific gravity of about 1.5, and has high water adsorption properties.

この多孔質ガラス24は、例えば次のようにして作成さ
れる。まず硅砂(s1o+)、硼酸(H,Bo、)、ソ
ーダ灰(Na* 003 ’)を主原料として、5in
s−B+OHN’zO系の硼硅酸ガラス(Sin、 :
 70 wt%。
This porous glass 24 is created, for example, as follows. First, using silica sand (s1o+), boric acid (H, Bo,
s-B+OHN'zO-based borosilicate glass (Sin:
70 wt%.

B203 ; 23 wt%、Na0 ; 7 wt%
)を作成し、これを板状に加工する。次に、数100℃
の温度で熱処理を施して分相させる。すると、数10A
のオーダーで、ガラス相とガラス相のからみ合い構造の
分離が起こって、Bt’ Os N tl@ Oす・ソ
チの力゛フス相と、S i021 、ノチのガラス相に
分相する。@1記BHO; N ;r O相は、酸溶液
又は熱水等に溶けるので、酸処理を施すと、前記BtO
+ Na5O相力玉溶解除去されて、EtiO,成分に
富んだ多孔質力゛ラス24(EliO,成分96チ)が
得られる。この多孔質ガラス24は、はとんどが810
.成分なので、化学的に安定であり、保護流体16と接
触しても相互に何ら悪影響を与えない。無気孔力゛ヲヌ
25は、多孔質ガラス24と別個に製作したものを溶着
ないし接着剤で接着してもよいが、多孔質力゛ラス24
と一体に形成することができる。すなわち、多孔質ガラ
スは適当な温度で再加熱すると無気孔化するので、例え
ば、板状の多孔質ガラスの周囲を所定温度以上に加熱さ
れた加熱体に抑圧接触させると、外周部のみを無気孔化
できる。こののち、多孔質ガラス24の片面を工・ソチ
ンダ液に接触させると、多孔管ガラス24が無気孔ガラ
ス25よりもエリチング速度が大きいことによって、多
孔質ガラス24が主としてエツチングされて、多孔質ガ
ラス24の上面が無電孔ガラス25の上面よりも低くな
る。
B203; 23 wt%, Na0; 7 wt%
) and process it into a plate shape. Next, several hundred degrees Celsius
Heat treatment is performed at a temperature of Then, the number 10A
Separation of the entangled structure of the glass phase occurs on the order of , and the phase separates into a strength phase of Bt' Os N tl @ Sochi and a glass phase of S i021 and Nochi. @1 BHO; N ; r O phase is soluble in acid solution or hot water, so when acid treatment is performed, the BtO
+ The Na5O phase is dissolved and removed to obtain a porous glass 24 rich in EtiO and components (EliO and 96 components). This porous glass 24 has a diameter of 810 mm.
.. Since it is a component, it is chemically stable, and even if it comes into contact with the protective fluid 16, there will be no adverse effect on each other. The non-porous glass 25 may be manufactured separately from the porous glass 24 and then welded or bonded with an adhesive.
It can be formed integrally with In other words, porous glass becomes non-porous when reheated at an appropriate temperature, so for example, if the periphery of a plate-shaped porous glass is pressed into contact with a heating element heated to a predetermined temperature or higher, only the outer periphery becomes non-porous. Can be made into pores. After that, when one side of the porous glass 24 is brought into contact with the etching solution, the porous glass 24 is mainly etched because the etching rate of the porous tube glass 24 is higher than that of the non-porous glass 25. The upper surface of 24 is lower than the upper surface of non-porous glass 25.

第2図は、上記のように多孔質ガラス24と無気孔ガラ
ス25とを一体化したものを、接着剤26で背面ガラス
板13に接着したのち、保護流体16を注入する要領に
ついて説明するだめの要部拡大断面図を示す。図におい
て、28はフ1.素ゴム等よりなるOリングで、このO
リング28を介して注入管29が多孔質ガラス24に取
り付けられている。この状態で、全体を真空チャンバー
内に入れて排気したのち、注入管29の先端全シリコン
オイル等の絶縁性保護流体16中に浸漬し、次いで大剣
圧ないし加圧雰囲剣にすると、注入管29および多孔質
ガラス24を通って、保護流体16が外囲器15内に注
入される。このとき、多孔質ガラス24の優れた水分吸
着作用によって、保護流体16中に含捷れている水分は
、多孔質ガラス24に吸着除去されて、外囲器15内に
は水分を含まない保護流体16を注入することができる
FIG. 2 shows how to inject the protective fluid 16 after bonding the porous glass 24 and the non-porous glass 25 to the rear glass plate 13 with the adhesive 26 as described above. An enlarged sectional view of the main part is shown. In the figure, 28 is F1. This O-ring is made of raw rubber, etc.
An injection tube 29 is attached to the porous glass 24 via a ring 28 . In this state, the entire body is placed in a vacuum chamber and evacuated, and then the entire tip of the injection tube 29 is immersed in an insulating protective fluid 16 such as silicone oil. Protective fluid 16 is injected into envelope 15 through tube 29 and porous glass 24 . At this time, due to the excellent moisture adsorption effect of the porous glass 24, the moisture contained in the protective fluid 16 is adsorbed and removed by the porous glass 24, leaving the envelope 15 free of moisture. Fluid 16 can be injected.

また、多孔管ガラス24が注入孔17に配置されている
と、保護流体16の注入終了後に、外囲器15内の保護
流体16がこぼれることがない、。さらに、多孔質ガラ
ス24が一部乾燥窒素等を含む状態で保護流体16の注
入を終了して、樹脂27で封止すると、周囲温度の上昇
や薄膜KLパネル23の動作時の温度上昇で保護流体1
6が膨張(2ても、前記乾燥窒素等が圧縮されて、保護
流体16の膨張を吸収し、内圧の上昇を防止し、薄膜E
Lバネ/l/28の破壊を防止できるうこの多孔質ガラ
ス24中の乾燥窒素等の気体は多孔質ガラス24内に保
持され、保護流体16中に混入することはない。
Moreover, when the porous tube glass 24 is placed in the injection hole 17, the protective fluid 16 in the envelope 15 will not spill out after the injection of the protective fluid 16 is completed. Furthermore, if the injection of the protective fluid 16 is finished in a state where the porous glass 24 partially contains dry nitrogen, etc. and is sealed with the resin 27, it will be protected from the rise in ambient temperature and the temperature rise during operation of the thin-film KL panel 23. Fluid 1
6 expands (in 2, the dry nitrogen, etc. is compressed, absorbs the expansion of the protective fluid 16, prevents an increase in internal pressure, and thin film E
Gas such as dry nitrogen in the porous glass 24 that can prevent the L spring/l/28 from breaking is retained within the porous glass 24 and will not mix into the protective fluid 16.

第3図はこの発明の他の実施例の要部拡大断面図を示す
。この実施例は、従来と同様の方法で注入孔17から外
囲器15内に保護流体16を注入したのち、多孔質ガラ
ス24の上面および側面を無啜孔ガラス30で覆ったキ
ャップ31を接着剤2乙で接着したものである。この実
施例では、保護流体16を第11図のように過剰気味に
注入していても、注入孔17に多孔質ガラス24を配置
すると、多孔質ガラス24が余剰の保護流体16を吸収
するので、接着剤25による接着部に保護流体16が流
れず、接着剤25による接着が困難ないし不確実になる
ことがない。また、保護流体16中に含まれている水分
は、多孔質ガラス24によって吸着除去され、薄膜EL
素子12が劣化することがない。
FIG. 3 shows an enlarged sectional view of a main part of another embodiment of the present invention. In this embodiment, after the protective fluid 16 is injected into the envelope 15 from the injection hole 17 in the same manner as before, a cap 31 covering the top and side surfaces of the porous glass 24 with non-porous glass 30 is bonded. It was glued with Agent 2 O. In this embodiment, even if the protective fluid 16 is injected in an excessive amount as shown in FIG. 11, if the porous glass 24 is placed in the injection hole 17, the porous glass 24 will absorb the excess protective fluid 16. , the protective fluid 16 does not flow into the bonded portion by the adhesive 25, and bonding by the adhesive 25 does not become difficult or unreliable. In addition, the moisture contained in the protective fluid 16 is adsorbed and removed by the porous glass 24, and the thin film EL
The element 12 will not deteriorate.

第4図はこの発明のさらに他の実施例の要部拡大断面図
を示す。この実施例1は、外囲器15内に注入孔17を
通して保護流体16を注入したのち、注入孔17に多孔
質ガラス24を接着剤2乙で接着し、さらにその外側に
皿状のガラス板32を接着剤33で接着したものである
。この実施例においても、多孔質ガラス24の接着時に
多孔質ガラス24か余剰の保護流体16を吸収するので
、接着部分に保護流体16が流れて接着困難ないし接着
不良になることかがい。しかも、多孔質ガラス24の外
部に空洞84が形成されるので、周囲温度の上昇・や薄
膜KLバネp自体の動作による温度上昇による保護流体
16の熱膨張に対して、より有利となる。
FIG. 4 shows an enlarged sectional view of a main part of still another embodiment of the present invention. In this first embodiment, after the protective fluid 16 is injected into the envelope 15 through the injection hole 17, a porous glass 24 is bonded to the injection hole 17 with an adhesive 2, and a dish-shaped glass plate is placed on the outside of the porous glass 24. 32 is bonded with an adhesive 33. In this embodiment as well, since the porous glass 24 absorbs excess protective fluid 16 when bonding the porous glass 24, it is likely that the protective fluid 16 will flow into the bonded area, resulting in difficulty in bonding or poor bonding. Moreover, since the cavity 84 is formed outside the porous glass 24, it is more advantageous against thermal expansion of the protective fluid 16 due to an increase in ambient temperature or a temperature increase due to the operation of the thin film KL spring p itself.

なお、この発明は上記実施例以外に、注入孔に多孔質ガ
ラスを配置するものをすべて含むものである。
In addition to the above-mentioned embodiments, the present invention includes all embodiments in which porous glass is disposed in the injection hole.

発明の効果 この発明は以上のように、外囲器の保護流体の注入孔に
多孔質ガラスを配置したので、保護流体中の水分を多孔
質ガラスで吸着することができ、水分による薄膜EL素
子の劣化を防止できるばかりで力<、多孔質ガラスによ
って外囲器内に注入する保護流体の流出を防止できるの
で、容易かつ確実に封止できる。また、多孔質ガラス中
に乾燥窒素等の気体を含ませることにより、周囲温度や
薄膜ELパネル温度の上昇に伴う保護流体の熱膨張を、
前記気体で吸収して内圧増大に起因する外囲器の破壊や
薄膜EL素子の構成模の剥離を防止することができる。
Effects of the Invention As described above, in this invention, the porous glass is arranged in the protective fluid injection hole of the envelope, so that the moisture in the protective fluid can be adsorbed by the porous glass, and the thin film EL element due to moisture can be absorbed. In addition to preventing deterioration of the envelope, the porous glass also prevents the protective fluid injected into the envelope from leaking out, so it can be easily and reliably sealed. In addition, by incorporating a gas such as dry nitrogen into the porous glass, thermal expansion of the protective fluid due to increases in ambient temperature or thin-film EL panel temperature can be suppressed.
It is possible to prevent destruction of the envelope and peeling of the structure of the thin film EL element due to absorption by the gas and increase in internal pressure.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例の薄膜ELパネルの断面図
、第2図は絶縁性保護流体の注入方法について説明する
ための要部拡大断面図である。 第3図および第4図はこの発明の他の実施例の薄膜EL
パネルの要部拡大断面図である。 第5図は薄膜EL素子の断面図、第6図は透明電極と背
面電極の関係を示す平面図、第7図は従改ル 来の薄膜ELパネルの断面図、第8図は従来の薄j膀K
 Lパネルの要部断面図、第9図は従来のさらに他の薄
膜KLパネルの断面図、第10図ないし第12図は絶縁
性保護流体の注入時の問題点について説明するための要
部拡大断面図である。 1・・・ 透光性前面基板(ガラス基板)、2・・・・
・・透明電極、 3.5・・・・・誘電体層、 4・・・・・・・・・・・発光層、 6・・・・・・・・・背面電極、 13・・・・・・・・・ 背面板(背面ガラス板)、1
5・・・・・ 外囲器、 16・・・・・・・ 絶縁性保護流体、17・・・・・
・ 注入孔、 24・・・・・・・ 多孔質ガラス。 第1図 哨3図 1 第4図 第9図 12 第5図 第6図 第 7 図 ]] 1つ ]4 第8図 第10図 コ警 ] 第11図 第12図
FIG. 1 is a sectional view of a thin film EL panel according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part for explaining a method of injecting an insulating protective fluid. FIG. 3 and FIG. 4 show thin film EL of other embodiments of this invention.
FIG. 3 is an enlarged sectional view of the main part of the panel. Figure 5 is a cross-sectional view of a thin-film EL element, Figure 6 is a plan view showing the relationship between the transparent electrode and the back electrode, Figure 7 is a cross-sectional view of a conventional thin-film EL panel, and Figure 8 is a conventional thin-film EL panel. j bladder K
Figure 9 is a cross-sectional view of the main part of the L panel, Figure 9 is a cross-sectional view of another conventional thin-film KL panel, and Figures 10 to 12 are enlarged views of the main part to explain problems when injecting insulating protective fluid. FIG. 1... Translucent front substrate (glass substrate), 2...
...Transparent electrode, 3.5...Dielectric layer, 4...Light emitting layer, 6...Back electrode, 13... ... Rear plate (rear glass plate), 1
5... Envelope, 16... Insulating protective fluid, 17...
・Injection hole, 24...Porous glass. 1] Fig. 1 Fig. 3 Fig. 1 Fig. 4 Fig. 9 Fig. 12 Fig. 5 Fig. 6 Fig. 7]] 1] 4 Fig. 8 Fig. 10 Fig. 1 Fig. 11 Fig. 12

Claims (1)

【特許請求の範囲】 透光性前面基鈑と背面板とからなる外囲器内に、薄膜E
L素子および絶縁性保護流体を収容してなる薄膜KLパ
ネルにおいて、 nj1記外回外囲器縁保護流体の注入孔に多孔質ガラス
を配置したことを特徴とする薄膜ELパネル。 tro Lum1nescence )発光を呈する薄
膜EL素子を外囲器内に絶縁性保護流体とともに収納し
たEL表示パネルに対して有効庁技術となる絶縁性保護
流体の注入孔封止構造に関するものである。
[Claims] A thin film E is provided in an envelope consisting of a translucent front substrate and a back plate.
A thin film EL panel comprising an L element and an insulating protective fluid, characterized in that a porous glass is disposed in an injection hole for the nj1 supinated envelope rim protective fluid. The present invention relates to a structure for sealing an insulating protective fluid injection hole, which is an effective technology for an EL display panel in which a thin film EL element that emits light (luminescence) is housed together with an insulating protective fluid in an envelope.
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