JPS60229380A - セラミツクアクチユエ−タ - Google Patents
セラミツクアクチユエ−タInfo
- Publication number
- JPS60229380A JPS60229380A JP59085223A JP8522384A JPS60229380A JP S60229380 A JPS60229380 A JP S60229380A JP 59085223 A JP59085223 A JP 59085223A JP 8522384 A JP8522384 A JP 8522384A JP S60229380 A JPS60229380 A JP S60229380A
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- JP
- Japan
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- laminate
- insulator
- electrode
- electrodes
- filled
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は微小位置決め素子、流体制御バルブ。
ロボット等に用いて好適なアクチーエータに関する。
〈従来技術〉
圧電（又は電歪）材料に電界を印加すると、圧電逆効果
により歪が生じる。この圧電逆効果を利用したアクチェ
エータ素子として、従来、第２図（、）〜（ｃ） Ｋ示
すものが知られている。
により歪が生じる。この圧電逆効果を利用したアクチェ
エータ素子として、従来、第２図（、）〜（ｃ） Ｋ示
すものが知られている。
第２図（１）において、１は矩形状のグリーンシートで
あり、圧電（又は電歪）セラミック材料の仮焼粉末に適
量のバインダー、可塑剤１分散剤を添加し、有機溶剤中
で混合し、薄膜状（厚さ０．１ｍｍ程度）に乾燥したも
のでおる。２および２ａはグリーンシート１の片面の端
面に帯状のわずかなスペース７を残して、厚さ数！ｍ程
度に形成した電極である。上記グリーンシート１を、ス
ペース７０部分が一枚おきに同位置になるように所望の
枚数だけ重ね、加熱しなが圧力を加える。
あり、圧電（又は電歪）セラミック材料の仮焼粉末に適
量のバインダー、可塑剤１分散剤を添加し、有機溶剤中
で混合し、薄膜状（厚さ０．１ｍｍ程度）に乾燥したも
のでおる。２および２ａはグリーンシート１の片面の端
面に帯状のわずかなスペース７を残して、厚さ数！ｍ程
度に形成した電極である。上記グリーンシート１を、ス
ペース７０部分が一枚おきに同位置になるように所望の
枚数だけ重ね、加熱しなが圧力を加える。
第２図（ｂ）は、上記により形成した積層体８の厚さを
拡大して示す側面図、第２図（ｅ）は、第２図（ｂ）の
斜視図である。第２図（ｂ）、 （ｃ）ＶＣおいて、３
および４４−ｉ積層体８の側面に形成した電極リードで
、積層体８の側面に露出した電極２および２ａＫ接続さ
れる。６は電源で、リード線５を介して電極リード３お
よび４に接続きれている。
拡大して示す側面図、第２図（ｅ）は、第２図（ｂ）の
斜視図である。第２図（ｂ）、 （ｃ）ＶＣおいて、３
および４４−ｉ積層体８の側面に形成した電極リードで
、積層体８の側面に露出した電極２および２ａＫ接続さ
れる。６は電源で、リード線５を介して電極リード３お
よび４に接続きれている。
上記構成において、電源６からリード線５．電極リード
３および４を介して電極２および２ａＫ電界を印加する
。その結果、例えば電極２側にプラス、電極２ａｌｌｌ
Ｋマイナスの電界が加わり、積層したセラミ、夕の枚数
に応じた強さの圧電逆効果による歪が発生する。
３および４を介して電極２および２ａＫ電界を印加する
。その結果、例えば電極２側にプラス、電極２ａｌｌｌ
Ｋマイナスの電界が加わり、積層したセラミ、夕の枚数
に応じた強さの圧電逆効果による歪が発生する。
しかしながら、上記構成の積層体８においては、各層間
の電極のない０部（第２図におけるスペース７の部分）
Ｋは電界が印加されないため、電極部分２および２ａの
先端に応力の差が生じ、積層体８にクラックが発生しや
すいという欠点がある。
の電極のない０部（第２図におけるスペース７の部分）
Ｋは電界が印加されないため、電極部分２および２ａの
先端に応力の差が生じ、積層体８にクラックが発生しや
すいという欠点がある。
第３図（ａ）、 （ｂ）は、上記クラ、りの発生を防止
した他の従来例を示すもので、第３図においてはグリー
ンシート１の片面全面に電極２を形成し、第２図に示し
たと同様に積層体９全形成したものである。しかしなが
ら、本例においては、積層体９の側面に露出した電極２
および２ａが電極リード５かいこともあって非常に困難
であるという欠点がある。
した他の従来例を示すもので、第３図においてはグリー
ンシート１の片面全面に電極２を形成し、第２図に示し
たと同様に積層体９全形成したものである。しかしなが
ら、本例においては、積層体９の側面に露出した電極２
および２ａが電極リード５かいこともあって非常に困難
であるという欠点がある。
〈発明の目的〉
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなされたもので、
積層体にクラックが発生せず、電極間の絶縁が容易な構
成のセラミ、クアクチ＝エータを提供することを目的と
する。
積層体にクラックが発生せず、電極間の絶縁が容易な構
成のセラミ、クアクチ＝エータを提供することを目的と
する。
〈発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、
囚 圧電（又り電歪）セラミックからなるグリーンシー
トの片面の端面に沿って、加熱によって消滅する消滅部
材を形成し、前記消滅部材が形成された部分を除いて前
記グリーンノートに電極を形成し、 （６） 前記グリーンシートの複数枚を重ね、前記消滅
部材が交互に同位置になるように積層体を形成し、 （Ｃ） 前記積層体を加熱して焼成すると共に１前記消
滅部材を消滅させて、前記積層体に空隙部を形成し、 ■） 前記積層体の空隙部に絶縁物を充填し、（６）前
記積層体の前記絶縁物を充填した側面に、前記絶縁物の
長さより短い幅で前記電極を取り出すだめの電極リード
を形成したことを構成上の特徴とするものである。
トの片面の端面に沿って、加熱によって消滅する消滅部
材を形成し、前記消滅部材が形成された部分を除いて前
記グリーンノートに電極を形成し、 （６） 前記グリーンシートの複数枚を重ね、前記消滅
部材が交互に同位置になるように積層体を形成し、 （Ｃ） 前記積層体を加熱して焼成すると共に１前記消
滅部材を消滅させて、前記積層体に空隙部を形成し、 ■） 前記積層体の空隙部に絶縁物を充填し、（６）前
記積層体の前記絶縁物を充填した側面に、前記絶縁物の
長さより短い幅で前記電極を取り出すだめの電極リード
を形成したことを構成上の特徴とするものである。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。なお
、従来技術と同一要素には同一符号を付して重複する説
明は省略する。
、従来技術と同一要素には同一符号を付して重複する説
明は省略する。
第１図（、）〜（ｅ）は本発明の一実施例を示すもので
、第１図（、）はグリーン７−ト１を積層する前の斜視
図を示している。第１図（ａ） において、２０は加熱
によって消滅する例えばプラスチックの如き消滅部材で
あり、矩形状のグリ−７ソート１の片面の端面に沿って
長帯状に形成されている（この消滅部材２０が形成され
る面積はグリーンシート１の全面積に対して極めて小さ
い方が望ましい）。２，２ａは消滅部材２０の部分を除
いて形成した電極である。
、第１図（、）はグリーン７−ト１を積層する前の斜視
図を示している。第１図（ａ） において、２０は加熱
によって消滅する例えばプラスチックの如き消滅部材で
あり、矩形状のグリ−７ソート１の片面の端面に沿って
長帯状に形成されている（この消滅部材２０が形成され
る面積はグリーンシート１の全面積に対して極めて小さ
い方が望ましい）。２，２ａは消滅部材２０の部分を除
いて形成した電極である。
第１図（ｂ）は、前記のグリーンシート１を複数枚重ね
て積層体４０を形成し、厚さを拡大した側面図でちる。
て積層体４０を形成し、厚さを拡大した側面図でちる。
第１図（ｂ） において、消滅部材２０は隣り合ったグ
リーンシートの消滅部材２０と交互に同位置になるよう
に積層される。
リーンシートの消滅部材２０と交互に同位置になるよう
に積層される。
第１図（ｃ）は、紡記第１図（ｂ）の積層体４０を加熱
して焼成した状態を示す側面図で、本図においては加熱
により、消滅部材２０が消滅し、その消滅した後に空隙
部５０が形成されている。
して焼成した状態を示す側面図で、本図においては加熱
により、消滅部材２０が消滅し、その消滅した後に空隙
部５０が形成されている。
第１図（ｄ）は、第１図（ｅ）で形成した空ＦＪｓｏＶ
Ｃ絶縁物３１を充填した状態を示すものである。この絶
縁物３１の充填作業は、例えば積層体４０の側面に絶縁
物３１を塗布した後、その積層体の表面を拭い去れば空
隙部５０１Ｃ絶縁物が侵入し、きわめて簡単に充填する
ことができる。
Ｃ絶縁物３１を充填した状態を示すものである。この絶
縁物３１の充填作業は、例えば積層体４０の側面に絶縁
物３１を塗布した後、その積層体の表面を拭い去れば空
隙部５０１Ｃ絶縁物が侵入し、きわめて簡単に充填する
ことができる。
第１図（、）は、第１図（ｄ）の絶縁物３１を充填した
積層体４０の側面に、電極リード５および４を形成して
、積層した各セラミ、クシートの電極２および２ａに接
続した状態を示す斜視図である。第１図（ｅ）の如く構
成し、電源６からリード線５．電極リード３，４を介し
て電界を印加すると、セラミックシートは両面で交互圧
電極リード３．４に接続しているので、例えば電極２側
にプラス、電極２ａ側にマイナスの電界が加わり、積層
したセラミックの枚数に応じた強さの圧電逆効果による
歪が発生する。このような構成のセラミックアクチコエ
ータは、電極２，２ａが形成されていない部分は絶縁物
が充填されているので、この部分はセラミックが密着し
ていない。従って、第２図に示す従来例の如く電極部の
先端に応力の差が生じることがない。また、第３図に示
す従来例の如く、積層体を形成後に絶縁体を設ける必要
がなく、その絶縁物図（ａ）は矩形状グリーンシート１
の２辺の端部に帯状の消滅部材２０を形成した状態を示
す斜視図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）のグリーンシー
トを積層し、本発明と同様の方法で暁成し、絶縁物３１
を充填して積層体５０を形成したものである。本実施例
によれば電極リード５，４を対向する側に２箇所形成で
きるので、電極２，２ａおよび電極リード５．４の接続
の信頼性を向上させることができる。
積層体４０の側面に、電極リード５および４を形成して
、積層した各セラミ、クシートの電極２および２ａに接
続した状態を示す斜視図である。第１図（ｅ）の如く構
成し、電源６からリード線５．電極リード３，４を介し
て電界を印加すると、セラミックシートは両面で交互圧
電極リード３．４に接続しているので、例えば電極２側
にプラス、電極２ａ側にマイナスの電界が加わり、積層
したセラミックの枚数に応じた強さの圧電逆効果による
歪が発生する。このような構成のセラミックアクチコエ
ータは、電極２，２ａが形成されていない部分は絶縁物
が充填されているので、この部分はセラミックが密着し
ていない。従って、第２図に示す従来例の如く電極部の
先端に応力の差が生じることがない。また、第３図に示
す従来例の如く、積層体を形成後に絶縁体を設ける必要
がなく、その絶縁物図（ａ）は矩形状グリーンシート１
の２辺の端部に帯状の消滅部材２０を形成した状態を示
す斜視図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）のグリーンシー
トを積層し、本発明と同様の方法で暁成し、絶縁物３１
を充填して積層体５０を形成したものである。本実施例
によれば電極リード５，４を対向する側に２箇所形成で
きるので、電極２，２ａおよび電極リード５．４の接続
の信頼性を向上させることができる。
なおグリーンシートは矩形に限ることなく、例えば第５
図（ａ） ＶＣ示す如き円板状のグリーンシート１を積
層し、第５図（ｂ）に示す如く円柱状の積層体６０を形
成してもよく、その形は任意である。
図（ａ） ＶＣ示す如き円板状のグリーンシート１を積
層し、第５図（ｂ）に示す如く円柱状の積層体６０を形
成してもよく、その形は任意である。
〈発明の効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明したように、本発明に
よれば、クラックが生じることがなく、かつ、積層体の
電極間に簡単に絶縁物を形成することができる。
よれば、クラックが生じることがなく、かつ、積層体の
電極間に簡単に絶縁物を形成することができる。
第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明の実施例を示す説明図、
第４図（ａ）、 （ｂ）乃至第５図（＆Ｌ （ｂ）は本
発明の他の実施例を示す説明図、第２図（ａ）〜（、）
乃至第３図（ａ）。 （ｂ）は従来例を示す説明図である５、ト・グリーンシ
ート、２．２ａ・・・１に＆、ｓ、４・・・電極リード
、５・・・リード線、６・・・電源、２ｏ・・・消滅部
材、３ｏ・・・空隙部、５１・・・絶縁物、４０．５０
．６０・・・積層体。 第１図 （ａ） 第２ （ａ） （ｃ） （ｂ） ７Ａ３図 篤５図
第４図（ａ）、 （ｂ）乃至第５図（＆Ｌ （ｂ）は本
発明の他の実施例を示す説明図、第２図（ａ）〜（、）
乃至第３図（ａ）。 （ｂ）は従来例を示す説明図である５、ト・グリーンシ
ート、２．２ａ・・・１に＆、ｓ、４・・・電極リード
、５・・・リード線、６・・・電源、２ｏ・・・消滅部
材、３ｏ・・・空隙部、５１・・・絶縁物、４０．５０
．６０・・・積層体。 第１図 （ａ） 第２ （ａ） （ｃ） （ｂ） ７Ａ３図 篤５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （４）圧電（又は電歪）セラミックからなるグリーンシ
ートの片面の端面に沿って、加熱によって消滅する消滅
部材を形成し、前記消滅部材が形成された部分を除いて
、前記グリーンシートに電極を形成し、 （Ｂ） ＩＩＩ記グリグリーンシート数枚を重ね、前記
消滅部材が交互に同位置になるように積層体を形成し、 （Ｃ） 前記積層体を加熱して焼成すると共に１前記消
滅部材を消滅させて、前記積層体に空隙部を形成し、 の） 前記積層体の空隙部に絶縁物を充填し、（ト）
前記積層体の前記絶縁物を充填した側面Ｋ、前記絶縁物
の長さより短い幅で前記電極を取り出すための電極リー
ドを形成したことを特徴とするセラミックアクチュエー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59085223A JPS60229380A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | セラミツクアクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59085223A JPS60229380A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | セラミツクアクチユエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60229380A true JPS60229380A (ja) | 1985-11-14 |
Family
ID=13852565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59085223A Pending JPS60229380A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | セラミツクアクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60229380A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0391419A2 (en) * | 1989-04-07 | 1990-10-10 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same |
| US5089739A (en) * | 1990-03-19 | 1992-02-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Laminate type piezoelectric actuator element |
| US5245734A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-21 | Battelle Memorial Institute | Multilayer piezoelectric actuator stack and method for its manufacture |
| US7651587B2 (en) | 2005-08-11 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Two-piece dome with separate RF coils for inductively coupled plasma reactors |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5748897A (en) * | 1980-09-05 | 1982-03-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Electrostrictive element assembly |
| JPS58140173A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-19 | Seiko Epson Corp | 固体変位装置 |
| JPS60154581A (ja) * | 1984-01-23 | 1985-08-14 | Sony Corp | 積層圧電体およびその製造方法 |
| JPS60176282A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-10 | Toyota Motor Corp | 積層型圧電磁器およびその製造方法 |
-
1984
- 1984-04-27 JP JP59085223A patent/JPS60229380A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS60176282A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-10 | Toyota Motor Corp | 積層型圧電磁器およびその製造方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0391419A2 (en) * | 1989-04-07 | 1990-10-10 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same |
| EP0584842A2 (en) * | 1989-04-07 | 1994-03-02 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same |
| EP0584842A3 (en) * | 1989-04-07 | 1994-04-20 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same |
| US5245734A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-21 | Battelle Memorial Institute | Multilayer piezoelectric actuator stack and method for its manufacture |
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| US7651587B2 (en) | 2005-08-11 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Two-piece dome with separate RF coils for inductively coupled plasma reactors |
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