JPS60228161A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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Publication number
JPS60228161A
JPS60228161A JP8488384A JP8488384A JPS60228161A JP S60228161 A JPS60228161 A JP S60228161A JP 8488384 A JP8488384 A JP 8488384A JP 8488384 A JP8488384 A JP 8488384A JP S60228161 A JPS60228161 A JP S60228161A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
ink
plate
inkjet head
holes
Prior art date
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Pending
Application number
JP8488384A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuo Ozaki
光男 尾崎
Tsuneo Mizuno
恒雄 水野
Kohei Kiyota
航平 清田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS60228161A publication Critical patent/JPS60228161A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To detect the position of a nozzle head easily by providing a mark corresponding to a position set aside for a nozzle head to an ink channel board and making on a substrate a through hole through while a mark can be detected on a substrate side. CONSTITUTION:Markers 29, 30 are formed on an ink channel board 28 by etching and through holes 33, 34 are provided on a vibrating plate 32. A bottom plate 24, an ink channel board 28 and a vibration board 32 are laminated and the markers 29, 30 are detected from the vibration board 32 through the through holes 33, 34. Thus each plate is polished until the head of a nozzle 27 to be formed on a straight line 31 is reached without measuring frequency the longitudinal dimension of the nozzle to be formed through polishing.

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 本発明はインクジェットヘッドに係り、特に粒子化特性
を決定する要因の一つであるノズル長の加工を正確に、
かつ効率良く行い得るインクジェットヘッド構造に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Technical Field of the Invention The present invention relates to an inkjet head, and in particular, it is possible to accurately process the nozzle length, which is one of the factors determining the particle formation characteristics.
The present invention also relates to an inkjet head structure that can be carried out efficiently.

(b) 技術の背景 印字記録用インクが収容されている圧力室上に設置され
ている圧電素子に印字情報に基づいて電圧を印加して歪
ませ、この歪みによる応力を圧力室に伝達して、圧力室
に連通しているノズルより印字用インクを記録紙上に噴
射記録するインクジェット記録方式は周知である。この
インクジェット記録方式はノンインパクト記録方式であ
り、印字記録する際の騒音の発生が少なく、また印字の
品位が良いので、電子計算機の出力情報を記録するのに
最近広く用いられるようになっている。
(b) Background of the technology A voltage is applied to a piezoelectric element installed above a pressure chamber containing print recording ink, and the piezoelectric element is distorted based on print information, and the stress caused by this distortion is transmitted to the pressure chamber. 2. Description of the Related Art An inkjet recording method is well known in which printing ink is ejected onto recording paper from a nozzle communicating with a pressure chamber. This inkjet recording method is a non-impact recording method that generates little noise during printing and has good print quality, so it has recently become widely used for recording information output from electronic computers. .

(C) 従来技術と問題点 第1図はこのようなインクジェットヘッドの平面図で、
第2図は第1図をA−A ’線に沿って切断した断面図
である。第1図、および第2図に示すようにステンレス
製の薄板よりなり、インク室lヘインクを供給するイン
ク供給管2を備えた底板3の上には、インクを収容し、
圧電素子4により発生した圧力を伝達する圧力室5と、
この圧力室5に連通し記録紙上にインクを噴射記録する
ためのノズル6とよりなるインク流路を、エツチング加
工等により形成したインク流路板7が積層されている。
(C) Prior art and problems Figure 1 is a plan view of such an inkjet head.
FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 1 taken along line A-A'. As shown in FIGS. 1 and 2, the bottom plate 3 is made of a thin plate made of stainless steel and has an ink supply pipe 2 that supplies ink to the ink chamber l.
a pressure chamber 5 that transmits the pressure generated by the piezoelectric element 4;
An ink channel plate 7 is laminated in which an ink channel formed by etching or the like is formed by nozzles 6 communicating with the pressure chamber 5 and ejecting ink onto the recording paper.

更にこのインク流路板7上には圧電素子4を備えた振動
板8が積層され、これ等底板3、インク流路板7、およ
び振動板8がろう付は法等を用いて接合され、更に前記
した底板3、インク流路板7、振動板8のノズル面Bが
研磨されてノズル6の長手方向の寸法βが所定の値にな
っている。
Furthermore, a diaphragm 8 having a piezoelectric element 4 is laminated on this ink channel plate 7, and the bottom plate 3, ink channel plate 7, and diaphragm 8 are joined by brazing or the like. Furthermore, the nozzle surfaces B of the bottom plate 3, ink flow path plate 7, and diaphragm 8 described above are polished so that the longitudinal dimension β of the nozzle 6 has a predetermined value.

このことを更に詳述すると、第3図に示すようにピン(
図示せず)が挿通するような貫通孔11A。
To explain this in more detail, as shown in Figure 3, the pin (
11A of through-holes into which a (not shown) is inserted.

11Bを有し、インク供給管2を設けた底板3上に第4
図に示すように前記したノズル6、圧力室5、インク室
1、貫通孔11A 、IIBをエツチング加工等により
形成したインク流路板7が積層され、更にその上に第5
図に示すような貫通孔11A、11Bが形成された振動
板8が積層されている。次いでこれ等底板3、インク流
路板6、振動板8のそれぞれの貫通孔11A、 IIB
にピンが挿通された状態で接合が行われ、この接合され
た3枚の板のノズル面B側をカット、ラッピングしてノ
ズル6の長手方向の寸法を所定の値になるようにして形
成している。
11B on the bottom plate 3 provided with the ink supply pipe 2.
As shown in the figure, an ink channel plate 7 in which the nozzle 6, pressure chamber 5, ink chamber 1, through holes 11A, and IIB are formed by etching or the like is laminated, and a fifth
Vibration plates 8 in which through holes 11A and 11B are formed as shown in the figure are stacked. Next, the through holes 11A and IIB of the bottom plate 3, ink channel plate 6, and diaphragm 8, respectively.
The nozzle surface B side of the three joined plates is cut and wrapped to form the nozzle 6 with a predetermined longitudinal dimension. ing.

ところで、従来このノズル6の長手方向の寸法iを加工
するには、第4図に示すように貫通孔11B(この孔が
寸法基準孔となる)の中心0より接合された3枚のステ
ンレス板の研磨された面Cまでの寸法!1を測定するこ
とで、ノズル6の長手方向の寸法が設計値の値に合致し
ているか、否かを検知していた。
By the way, conventionally, in order to process the longitudinal dimension i of this nozzle 6, as shown in FIG. Dimensions to polished surface C! By measuring 1, it was detected whether the longitudinal dimension of the nozzle 6 matched the design value or not.

然し、このような従来のインクジェットヘッドでは、研
磨工程中に於いて度々前記した寸法11の値を測定しな
ければならず、また各板を積層する時に生じる各板の位
置ずれや、底板3、インク流路板7、振動板8をろう接
法で接合する際の、それ等の板の加熱、および冷却によ
る収縮等のためにノズル寸法が設計値を満足する値とな
らず、そのため所望のインク粒子化特性を有するインク
ジェットヘッドが得られないといった欠点があった。
However, in such a conventional inkjet head, the value of the above-mentioned dimension 11 must be frequently measured during the polishing process, and the positional deviation of each plate that occurs when stacking the plates, the bottom plate 3, When the ink flow path plate 7 and the diaphragm plate 8 are joined by soldering, the nozzle dimensions do not satisfy the design value due to shrinkage due to heating and cooling of these plates. There was a drawback that an inkjet head having ink particle formation characteristics could not be obtained.

+dl 発明の目的 本発明は上記した欠点を除去し、圧力室等のインク流路
を形成するインク流路板と、底板のような少なくとも他
の一枚の基板とを接合後、基板とインク流路板を研磨し
てノズル長を所定の値に加工する際、その形成されるノ
ズルの先端の位置が容易に検知でき名ようにした新規な
インクシェアドヘッドの提供を目的とするものである。
+dl Object of the Invention The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks, and after bonding an ink flow path plate that forms an ink flow path such as a pressure chamber to at least one other substrate such as a bottom plate, the substrate and the ink flow The object of the present invention is to provide a novel ink shared head in which the position of the tip of the formed nozzle can be easily detected when the nozzle length is processed to a predetermined value by polishing the road plate.

+8) 発明の構成 上記目的は、インクを噴射するノズルを有するインク流
路板と、少なくとも他の一枚の基板を接合して形成され
るインクジェットヘッドに於いて、前記インク流路板に
前記ノズルの先端子定位置に対応してマークを付与し、
前記基板に前記マークを基板側から検知できる貫通孔を
設けた本発明のインクジェットヘッドによって達成され
る。
+8) Structure of the Invention The above object is to provide an inkjet head formed by bonding an ink flow path plate having nozzles for ejecting ink and at least one other substrate. A mark is given corresponding to the fixed position of the tip of the
This is achieved by the inkjet head of the present invention, in which the substrate is provided with a through hole through which the mark can be detected from the substrate side.

即ち、本発明のインクジェットヘッドに於いては、ノズ
ル孔等を形成するインク流路板に、予めノズルの先端形
成位置を示すマーカーを付し、このマーカーが検知でき
るような貫通孔をインク流路板以外の基板に設け、イン
クジェットヘッドを形成する際、このマーカーの位置を
検知しながらインクジェットヘッド形成用基板が研磨で
きるようにし、インクジェットへフードのノズル長さが
精度よく形成できるようにしたものである。
That is, in the inkjet head of the present invention, a marker indicating the position where the tip of the nozzle is formed is attached in advance to the ink flow path plate forming the nozzle holes, etc., and a through hole that can be detected by the marker is formed in the ink flow path. It is installed on a substrate other than a plate, and when forming an inkjet head, the inkjet head forming substrate can be polished while detecting the position of this marker, so that the nozzle length of the hood can be accurately formed on the inkjet. be.

(f) 発明の実施例 以下図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に説
明する。
(f) Embodiment of the Invention An embodiment of the invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第6図は本発明のインクジェットヘッドを構成する底板
の一実施例を示す平面図、第7図は本発明のインクジェ
ットヘッドを構成するインク流路板の一実施例を示す平
面図、第8図は本発明のインクジェットヘッドを構成す
る振動板の一実施例を示す平面図、第9図は上記各板を
接合して形成したインクジェットヘッドである。
FIG. 6 is a plan view showing an embodiment of the bottom plate constituting the inkjet head of the present invention, FIG. 7 is a plan view showing an embodiment of the ink channel plate constituting the inkjet head of the present invention, and FIG. 9 is a plan view showing one embodiment of the diaphragm constituting the inkjet head of the present invention, and FIG. 9 is an inkjet head formed by joining the above-mentioned plates.

第6図から第7図に示すように本発明のインクジェット
ヘッドは、位置合わせ用貫通孔21と22を形成し、イ
ンク供給管23を設けた底板24の上に、位置合わせ用
貫通孔21.22を形成し、インク室25と圧力室26
とノズル27がエツチング加工されたインク流路板28
が積層されている。このインク流路板28には形成され
るべきノズル27の寸法lを検知するためのマーカー2
9.30がエツチング加工により形成されている。この
マーカー29は形成されるべきノズル27の近傍に長方
形状で形成され、またマーカー30はインク流路板28
の側面側に長方形状に設けられ、このマーカー29.3
0の辺を結ぶ直線31は形成されるべき長さlのノズル
27の先端部に合致するようにしている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the inkjet head of the present invention has alignment through holes 21 and 22 formed on a bottom plate 24 on which an ink supply pipe 23 is provided. 22, an ink chamber 25 and a pressure chamber 26.
and an ink channel plate 28 with etched nozzles 27.
are layered. This ink channel plate 28 has a marker 2 for detecting the dimension l of the nozzle 27 to be formed.
9.30 is formed by etching. This marker 29 is formed in a rectangular shape near the nozzle 27 to be formed, and the marker 30 is formed on the ink flow path plate 27.
This marker 29.3 is provided in a rectangular shape on the side of the
The straight line 31 connecting the 0 sides is made to coincide with the tip of the nozzle 27 having a length l to be formed.

更にこのインク流路板28の上には、振動板32が積層
されている。この振動板32には、前記した位置合わせ
の基準となる貫通孔21.22が設けられ、かつ前記し
たマーカー29を検知するために、マーカー29の位置
に対応して貫通孔33が設けられ、更にこの振動板32
の側面には、前記マーカー30を検知するための半円状
の貫通孔34が設けられている。
Furthermore, a diaphragm 32 is laminated on top of the ink flow path plate 28. This diaphragm 32 is provided with through holes 21 and 22 that serve as the reference for alignment, and in order to detect the markers 29 described above, through holes 33 are provided corresponding to the positions of the markers 29, Furthermore, this diaphragm 32
A semicircular through hole 34 for detecting the marker 30 is provided on the side surface of the marker.

このようにすれば、第9図に示すように底板24インク
流路板28、振動板32を積層した場合、振動板32よ
り貫通孔33、および半円状の貫通孔34を介してマー
カー29、および30が容易に検知でき、そのため研磨
によって形成されるノズルの長手方向の寸法を度々測定
する必要がなく、このマーカー29とマーカー30を結
んだ直線31上に形成されるべきノズル27の先端部が
到達するまで、各板を研磨すると良い。
In this way, when the bottom plate 24, ink flow path plate 28, and diaphragm 32 are stacked as shown in FIG. , and 30 can be easily detected, so there is no need to frequently measure the longitudinal dimension of the nozzle formed by polishing, and the tip of the nozzle 27 to be formed on the straight line 31 connecting the markers 29 and 30. It is a good idea to polish each plate until the area is reached.

またこのようにして形成したマーカー29.30の位置
は、予めインク流路板に形成されているので、前記貫通
孔21 、22にピンを挿通して各板を接合する際、ピ
ンと貫通孔21.22の間が位置ずれしても、形成すべ
きノズルの先端の位置に対応して形成されているマーカ
ー29.30の位置は変動することはなく、またろう接
待の収縮等による絶対変形量についても、マーカーの大
きさに対する変形量は、基準孔である貫通孔22から、
形成されるべきノズルの先端位置までの距II A I
に対する変形量よりも充分微少である。従ってノズルの
長手方向の寸、法が正確に制御された状態で、インク流
路板を含む多層のステンレス板が研磨できる。
Furthermore, since the positions of the markers 29 and 30 formed in this way are previously formed on the ink flow path plate, when the pins are inserted into the through holes 21 and 22 to join each plate, the pins and the through holes 29 and 22 are connected. Even if the position between .22 and 22 is shifted, the position of the marker 29 and 30, which are formed in correspondence with the position of the tip of the nozzle to be formed, will not change, and the absolute amount of deformation due to shrinkage of wax treatment etc. Also, the amount of deformation with respect to the size of the marker is calculated from the through hole 22 which is the reference hole,
Distance to the tip position of the nozzle to be formed II A I
This is sufficiently smaller than the amount of deformation. Therefore, a multilayer stainless steel plate including an ink channel plate can be polished while the longitudinal dimension and shape of the nozzle are accurately controlled.

また本実施例の他にマーカー29.30の形状は長方形
に限らず、三角形等、認識しやすい形状で良く、またマ
ーカーの個数はインク流路板28の側面に1個だけ設け
ても、或いは側面以外に1個だけ設けても良い。
In addition to this embodiment, the shape of the markers 29 and 30 is not limited to a rectangle, but may be any shape that is easy to recognize, such as a triangle, and the number of markers may be only one on the side of the ink channel plate 28, or Only one may be provided other than on the side.

更にマルチノズルヘッドの場合には、各ノズル間に複数
個のマーカーを形成しても良い。
Furthermore, in the case of a multi-nozzle head, a plurality of markers may be formed between each nozzle.

更に以上述べた実施例の他に、ノズルや圧力室等のイン
ク流路をハーフエツチング等により加工して形成したイ
ンク流路板の上に振動板を重ねて接合する場合、即ち底
板を省略した場合に於いても、本発明は適用可能である
Furthermore, in addition to the embodiments described above, when a diaphragm is stacked and bonded to an ink flow path plate formed by processing ink flow paths such as nozzles and pressure chambers by half-etching, etc., in other words, the bottom plate is omitted. The present invention is applicable in any case.

なお、インク流路形成時のエツチング工程で同時にノズ
ルの先端位置を示すマーカーを形成すれば、効率良く本
発明のインクシエンドヘッドを形成できる。
Note that the ink end head of the present invention can be efficiently formed by forming a marker indicating the position of the tip of the nozzle at the same time as the etching step when forming the ink flow path.

(a 発明の効果 以上述べたように、本発明のインクジェットヘッドによ
れば、形成すべきインクジェットヘッドのノズルの長平
方向の寸法が、研磨工程途中に度々測定することなく容
易に検知でき、またインクジェットヘッドを形成する際
に、これ等底板、インク流路板、振動板の各板を重ね合
わせる時に位置ずれしたとしても、形成されるノズル長
の寸法は変動しなくなり、ノズル寸法が所定の値に制御
された粒子化特性の良い、高信頼度のインクジェットヘ
ッドが容易に形成できる効果を生じる。
(a) Effects of the Invention As described above, according to the inkjet head of the present invention, the longitudinal dimension of the nozzle of the inkjet head to be formed can be easily detected without frequent measurement during the polishing process. Even if the bottom plate, ink channel plate, and diaphragm are misaligned when overlapping each other when forming the head, the length of the formed nozzle will not change and the nozzle size will remain at the specified value. The effect is that a highly reliable inkjet head with well-controlled particle formation characteristics can be easily formed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はインクジェットヘッドの平面図、第2図は第1
図をA−A’線に沿って切断した断面図、第3図、第4
図、および第5図は従来のインクジェットヘッドを形成
する際の説明図、第6図より第9図迄は本発明のインク
ジェットヘッドを形成する際の説明図である。 図に於いて、21 、22は位置合わせ用貫通孔、23
はインク供給管、24は底板、25はインク室、26は
圧力室、27はノズル、2Bはインク流路板、29 、
30は位置合わせ用マーカー、31はマーカーを結ぶ直
線、32は振動板、33.34はマーカー検知用貫通孔
、lはノズル寸法、lIは基準孔からの距離を示す。 第1図 第2v!J 第6図 第8図
Figure 1 is a plan view of the inkjet head, and Figure 2 is the top view of the inkjet head.
A sectional view taken along the line A-A', Figures 3 and 4.
5 and 5 are explanatory diagrams for forming a conventional inkjet head, and FIGS. 6 to 9 are explanatory diagrams for forming an inkjet head of the present invention. In the figure, 21 and 22 are through holes for positioning, 23
is an ink supply pipe, 24 is a bottom plate, 25 is an ink chamber, 26 is a pressure chamber, 27 is a nozzle, 2B is an ink channel plate, 29,
30 is a marker for alignment, 31 is a straight line connecting the markers, 32 is a diaphragm, 33 and 34 are through holes for marker detection, l is a nozzle size, and lI is a distance from a reference hole. Figure 1 2v! J Figure 6 Figure 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] インクを噴射するノズルを有するインク流路板と、少な
くとも他の一枚の基板を接合して形成されるインクジェ
ットヘッドに於いて1、前記インク流路板に前記ノズル
の先端子定位置に対応してマークを付与し、前記基板に
前記マークを基板側から検知できる貫通孔を設けたこと
を特徴とするインクジェットヘッド。
In an inkjet head formed by bonding an ink flow path plate having nozzles for ejecting ink and at least one other substrate, 1. The ink flow path plate has a position corresponding to the fixed position of the tip of the nozzle. An inkjet head characterized in that a mark is provided on the substrate, and a through hole is provided in the substrate so that the mark can be detected from the substrate side.
JP8488384A 1984-04-25 1984-04-25 Ink jet head Pending JPS60228161A (en)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55118876A (en) * 1979-03-07 1980-09-12 Canon Inc Method of fabricating multinozzle recording head
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