JPS60202027A - 基板の抜取方法および装置 - Google Patents
基板の抜取方法および装置Info
- Publication number
- JPS60202027A JPS60202027A JP5761484A JP5761484A JPS60202027A JP S60202027 A JPS60202027 A JP S60202027A JP 5761484 A JP5761484 A JP 5761484A JP 5761484 A JP5761484 A JP 5761484A JP S60202027 A JPS60202027 A JP S60202027A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding plate
- substrates
- support
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H1/00—Supports or magazines for piles from which articles are to be separated
- B65H1/04—Supports or magazines for piles from which articles are to be separated adapted to support articles substantially horizontally, e.g. for separation from top of pile
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ〕０発明の技術分野
本発明は半導体装置の製造工程、特にウェハ・プロセス
における基板の保持や工程間の搬送に使用される基板支
持体より基板を抜き取る装置および方法に関する。
における基板の保持や工程間の搬送に使用される基板支
持体より基板を抜き取る装置および方法に関する。
（ｂ）、技術の背景
近年ウェハ・プロセスの自動化により、上記の基板支持
体は基板を１枚宛順次に、自動機への挿入・取り出しが
容易に行えるよう種々の工夫がなされている。
体は基板を１枚宛順次に、自動機への挿入・取り出しが
容易に行えるよう種々の工夫がなされている。
一方半導体装置の大規模化に伴い、工程の信頼性維持の
ため、処理装置、特に検査装置のステーションで抜取検
査を行う頻度が増え、基板支持体より任意の基板を１枚
取り出したり、または取り出した後の歯抜けの位置に挿
入したりする必要が生じた。
ため、処理装置、特に検査装置のステーションで抜取検
査を行う頻度が増え、基板支持体より任意の基板を１枚
取り出したり、または取り出した後の歯抜けの位置に挿
入したりする必要が生じた。
これに対して、ウェハを破損しないで、特別な位置合わ
せ精度を必要としない簡易な装置が望まれている。
せ精度を必要としない簡易な装置が望まれている。
（Ｃ）、従来技術と問題点
第１図はウェハ・プロセスにおいて、ウェハを１枚ずつ
処理する枚葉式の装置ヘウエハを挿入するために使用さ
れるベルトと基板支持体との断面図を模式的に示す。
処理する枚葉式の装置ヘウエハを挿入するために使用さ
れるベルトと基板支持体との断面図を模式的に示す。
図において、基板支持体１に基板２がＳＥＭＩ（米国半
導体製造装置工業会）規格の４．７６ｍｍピンチで数１
０枚収容され、ピンチ毎に支持体ｌを下げ、基板を１枚
宛ベルト３に載せ検査装置に運ぶ。
導体製造装置工業会）規格の４．７６ｍｍピンチで数１
０枚収容され、ピンチ毎に支持体ｌを下げ、基板を１枚
宛ベルト３に載せ検査装置に運ぶ。
このような支持体中の任意の１枚の基板を取り出す方法
としてつぎの２つが用いられていた。
としてつぎの２つが用いられていた。
ｉ、基板支持体の前方（基板の挿入・取り出しを行う側
）に設けられたベルトに、目的の基板を後方より押し出
して取り出す方法。
）に設けられたベルトに、目的の基板を後方より押し出
して取り出す方法。
ｉｉ 、基板支持体の前方より薄い板を挿入し、基板を
持ち上げて取り出す方法。
持ち上げて取り出す方法。
これらの方法は、何れも正確な位置合わせと、基板と取
り出し装置の移動部との間に平行度を必要とし、両者間
にズレがある場合は基板を破損するという欠点があった
。
り出し装置の移動部との間に平行度を必要とし、両者間
にズレがある場合は基板を破損するという欠点があった
。
（ｄ）９発明の目的
本発明の目的は従来技術の有する上記の欠点を除去し、
特別な位置合わせ精度を必要とせず、かつウェハを破損
しないで任意の基板を基板支持体より取り出せる簡易な
基板取り出し装置および方法を得ることにある。
特別な位置合わせ精度を必要とせず、かつウェハを破損
しないで任意の基板を基板支持体より取り出せる簡易な
基板取り出し装置および方法を得ることにある。
（ｅ）０発明の構成
上記の目的は、複数の基板を間隔をおいて平行に、かつ
該基板に垂直な方向に並べて収容する基板支持体と、該
基板支持体の基板を挿入・取り出しする側に、該基板１
枚分だけ通過するスリットを有する基板押さえ板、およ
び該基板押さえ板を一方向に急加速させる手段よりなり
、該急加速手段の動作により基板支持体内の一基板が基
板押さえ板のスリットより慣性によって取り出される本
発明による基板の抜取方法および装置によって達成され
る。
該基板に垂直な方向に並べて収容する基板支持体と、該
基板支持体の基板を挿入・取り出しする側に、該基板１
枚分だけ通過するスリットを有する基板押さえ板、およ
び該基板押さえ板を一方向に急加速させる手段よりなり
、該急加速手段の動作により基板支持体内の一基板が基
板押さえ板のスリットより慣性によって取り出される本
発明による基板の抜取方法および装置によって達成され
る。
本発明によれば、従来例とは逆に、取り出す基板以外に
外力を加えることにより、所望の基板を抜き取るのであ
るが、この際の位置合わせは基板間隔を対象とすればよ
いので極めてラフなものでよい。
外力を加えることにより、所望の基板を抜き取るのであ
るが、この際の位置合わせは基板間隔を対象とすればよ
いので極めてラフなものでよい。
（ｆ）０発明の実施例
第２図は本発明の実施例を示す基板の抜取装置の斜視図
である。以下の回において第１図と同一番号は同一対象
を示す。
である。以下の回において第１図と同一番号は同一対象
を示す。
図で１は基板支持体で、アルミニウム、ＰＰ（ポリプロ
ピレン）、ＰＦＡ（ポリフロロアセテート）等よりなり
、その中に基板２を収容する。４は押さえ板で、テフロ
ン、ＰＦＡ等よりなり、ウェハ１枚が楽に通過できるス
リット５と、取り出した基板を受ける受け板６を設ける
。押さえ板４は、例えば第３図の平面図に示されるよう
に、基板支持体ｌに密着して上下に移動できるよう構成
される。
ピレン）、ＰＦＡ（ポリフロロアセテート）等よりなり
、その中に基板２を収容する。４は押さえ板で、テフロ
ン、ＰＦＡ等よりなり、ウェハ１枚が楽に通過できるス
リット５と、取り出した基板を受ける受け板６を設ける
。押さえ板４は、例えば第３図の平面図に示されるよう
に、基板支持体ｌに密着して上下に移動できるよう構成
される。
第４図は本発明による方法の実施例を示す説明図である
。
。
第４図（ａ）において、押さえ板４を上下に移動して所
望の基板２に、スリット５を合わせて基板支持体ｌに固
定し、台７の上に載せ矢印で示される方向に急加速し略
基板支持体１の幅だけ移動させる・そのときにスリット
に合わせた基板２は受け板６上に、第４図（ｂ）に示す
ように取り出される。
望の基板２に、スリット５を合わせて基板支持体ｌに固
定し、台７の上に載せ矢印で示される方向に急加速し略
基板支持体１の幅だけ移動させる・そのときにスリット
に合わせた基板２は受け板６上に、第４図（ｂ）に示す
ように取り出される。
その状態でゆっくりと元の位置に戻し、点線の矢印で示
されるように押さえ板６引き下げ取り出した基板２をベ
ルト３に載せ検査装置に送る。
されるように押さえ板６引き下げ取り出した基板２をベ
ルト３に載せ検査装置に送る。
取り出される基板以外は、弾力性のある上記材料ででき
た押さえ板４により押さえられているため、急加速して
も基板は破損しない。 、゛（幻８８発明効果 以上詳細に説明したように本発明によれば、特別な位置
合わせ精度を必要とせず、かつウェハを破損しないで任
意の基板を基板支持体より取り出せる簡易な基板取り出
し装置および方法を得るこ □゛とができる。 パ へ
た押さえ板４により押さえられているため、急加速して
も基板は破損しない。 、゛（幻８８発明効果 以上詳細に説明したように本発明によれば、特別な位置
合わせ精度を必要とせず、かつウェハを破損しないで任
意の基板を基板支持体より取り出せる簡易な基板取り出
し装置および方法を得るこ □゛とができる。 パ へ
第１図は基板支持体と基板搬送ベルトとの模式 ゛の抜
取装置の斜視図、策３図は押さえ板４が基板的な断面図
、第２図は本発明の実施例を示す基板支持体１に密着し
て上下に移動できる構造を示す平面図、第４図は本発明
による方法の実施例を示す説明図である。 図において、１は基板支持体、２は基板、３はヘルド、
４は押さえ板、５はスリット、６は受け仮、７は台を示
す。 阜 １ 図 界２旧 築３１回 集４ 口
取装置の斜視図、策３図は押さえ板４が基板的な断面図
、第２図は本発明の実施例を示す基板支持体１に密着し
て上下に移動できる構造を示す平面図、第４図は本発明
による方法の実施例を示す説明図である。 図において、１は基板支持体、２は基板、３はヘルド、
４は押さえ板、５はスリット、６は受け仮、７は台を示
す。 阜 １ 図 界２旧 築３１回 集４ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、複数の基板を間隔をおいて平行に、かつ該基板に垂
直な方向に並べて収容する基板支持体と、該基板支持体
の基板を挿入・取り出しする側に、該基板１枚分だけ通
過するスリットを有する基板−押さえ板、および該基板
押さえ板を一方向に急加速させる手段よりなり、該急加
速手段の動作により基板支持体内の一基板が基板押さえ
板のスリットより慣性によって取り出されることをこと
を特徴とする基板の抜取方法。 ２、複数の基板を間隔をおいて平行に、かつ該基板に垂
直な方向に並べて収容する基板支持体と、該基板支持体
の基板を挿入・取り出しする側に、該基板１枚分だけ通
過するスリットを有する垂直方向に可動の基板押さえ板
、および該基板押さえ板を一方向に急加速させる手段よ
りなることを特徴とする基板の抜取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5761484A JPS60202027A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 基板の抜取方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5761484A JPS60202027A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 基板の抜取方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60202027A true JPS60202027A (ja) | 1985-10-12 |
Family
ID=13060745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5761484A Pending JPS60202027A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 基板の抜取方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60202027A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6268936U (ja) * | 1985-10-21 | 1987-04-30 | ||
| JPH0540205U (ja) * | 1991-10-28 | 1993-05-28 | 安藤電気株式会社 | マガジンからの部品飛び出し防止機構 |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP5761484A patent/JPS60202027A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6268936U (ja) * | 1985-10-21 | 1987-04-30 | ||
| JPH0540205U (ja) * | 1991-10-28 | 1993-05-28 | 安藤電気株式会社 | マガジンからの部品飛び出し防止機構 |
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